專利名稱：氣體回收利用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及氣體回收，尤其涉及一種氣體回收利用裝置。
背景技術(shù)：
目前，在很多行業(yè)的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)領(lǐng)域均使用工藝氣體，這些氣體有些要求純度很 高，有些本身稀少，價(jià)格昂貴。工藝過程中大多是開放的，沒有回收利用裝置，不僅浪費(fèi)氣 體，不經(jīng)濟(jì)，對(duì)能源的一種浪費(fèi)。如果這些工藝氣體有毒有害，還會(huì)對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重影響。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種氣體回收利用裝置，可以將系統(tǒng)中的 工藝氣體在線增壓收集，儲(chǔ)存利用。 為了解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案 本實(shí)用新型提供了一種氣體回收利用裝置，其進(jìn)氣端與一個(gè)工藝腔體相連，其排 氣端與用氣點(diǎn)相連，包括增壓單元、壓力檢測(cè)和反饋單元及壓力調(diào)節(jié)單元，其中，增加單元 與壓力調(diào)節(jié)單元通過管線相連，壓力檢測(cè)和反饋單元通過信號(hào)控制增壓單元的氣體壓力。 本實(shí)用新型采用的氣體回收利用裝置，通過對(duì)工藝氣體增壓后回收，最終以工藝 要求的壓力輸出給用氣點(diǎn)，可以節(jié)約成本，更可較少污染。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。


圖1是本實(shí)用新型一具體實(shí)施例的原理示意圖。
圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖部分符號(hào)說明1無油增壓泵2通斷閥3壓力表4壓力檢測(cè)和反饋單元5儲(chǔ)氣罐6手動(dòng)閥7減壓閥8氣源分配器9管線10工藝腔體11用氣點(diǎn)具體實(shí)施方式如圖l所示，其為本實(shí)用新型一具體實(shí)施例的原理示意圖。密封的工藝腔體(可以 是手套箱箱體)內(nèi)存有工藝氣體，這些工藝氣體通過管線進(jìn)入無油增壓泵(抽氣)，工藝氣 體被增壓后通過管線進(jìn)入儲(chǔ)氣罐被儲(chǔ)存。儲(chǔ)氣罐的氣體壓力由壓力檢測(cè)和反饋單元控制， 符合壓力要求的工藝氣體最終被供應(yīng)給工藝腔體內(nèi)的用氣點(diǎn)。 如圖2所示，本實(shí)用新型的氣體回收利用裝置包括增壓單元、壓力檢測(cè)和反饋單元及 壓力調(diào)節(jié)單元。其中增壓單元可進(jìn)一步包括無油增壓泵1與儲(chǔ)氣罐5，且可以在無油增壓泵1 與儲(chǔ)氣罐5之間安裝通斷閥2，更可以在無油增壓泵1與儲(chǔ)氣罐5之間安裝壓力表3，便于測(cè)量 和觀察儲(chǔ)氣罐的入口壓力；壓力調(diào)節(jié)單元為減壓閥7，更可以包括手動(dòng)閥6，根據(jù)用氣點(diǎn)11的壓 力要求調(diào)節(jié)儲(chǔ)氣罐5的出口壓力；在實(shí)際應(yīng)用中，往往會(huì)存在多個(gè)用氣點(diǎn)ll，此時(shí)，在壓力調(diào)節(jié) 單元與用氣點(diǎn)11之間設(shè)置氣源分配器8，其具有多個(gè)氣體出口 ，能夠滿足工藝需要。 可以看出，氣體回收利用裝置布局為工藝腔體10通過管線9與無油增壓泵1的 入口相連，無油增壓泵1的出口通過管線9與斷通閥2的入口相連，斷通閥2的出口通過管 線9與儲(chǔ)氣罐5的入口現(xiàn)了相連，在斷通閥3與儲(chǔ)氣罐5之間的管線上安裝有壓力表3與 壓力檢測(cè)和反饋單元4，儲(chǔ)氣罐5的出口通過管線9與手動(dòng)閥6的入口相連，手動(dòng)閥6的出 口通過管線9與減壓閥7的入口相連，減壓閥7的出口通過管線9與用氣點(diǎn)11相連。當(dāng)用 氣點(diǎn)11為多處時(shí)，在減壓閥7與用氣點(diǎn)11之間設(shè)置一個(gè)氣源分配器8，氣源分配器8的各 個(gè)氣體出口通過管線9與工藝腔體10內(nèi)的用氣點(diǎn)11相連。其中，管線9和儲(chǔ)氣罐5都是 潔凈的，以保證工藝氣體不被污染。 上所述的僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用來限定本實(shí)用新型的實(shí)施范 圍。即凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍的內(nèi)容所作的等效變化與修飾，都應(yīng)為本實(shí)用新型的 技術(shù)范疇。
權(quán)利要求一種氣體回收利用裝置，其進(jìn)氣端與一個(gè)工藝腔體相連，其排氣端與用氣點(diǎn)相連，其特征在于，包括增壓單元、壓力檢測(cè)和反饋單元及壓力調(diào)節(jié)單元，其中，增加單元與壓力調(diào)節(jié)單元通過管線相連，壓力檢測(cè)和反饋單元通過信號(hào)控制增壓單元的氣體壓力。
2. 如權(quán)利要求1所述的氣體回收利用裝置，其特征在于，所述增壓單元包括無油增壓 泵、儲(chǔ)氣罐。
3. 如權(quán)利要求2所述的氣體回收利用裝置，其特征在于，在所述無油增壓泵與儲(chǔ)氣罐 之間安裝有通斷閥。
4. 如權(quán)利要求1所述的氣體回收利用裝置，其特征在于，在所述無油增壓泵與儲(chǔ)氣罐 之間安裝有壓力表。
5. 如權(quán)利要求1所述的氣體回收利用裝置，其特征在于，所述壓力調(diào)節(jié)單元為減壓閥。
6. 如權(quán)利要求6所述的氣體回收利用裝置，其特征在于，所述壓力調(diào)節(jié)單元還包括手 動(dòng)閥。
7. 如權(quán)利要求1所述的氣體回收利用裝置，其特征在于，所述氣體回收利用裝置還包 括氣源分配器，位于壓力調(diào)節(jié)單元與用氣點(diǎn)之間。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種氣體回收利用裝置，可以將系統(tǒng)中的工藝氣體在線增壓收集，儲(chǔ)存利用。其進(jìn)氣端與一個(gè)工藝腔體相連，其排氣端與用氣點(diǎn)相連，其特征在于，包括增壓單元、壓力檢測(cè)和反饋單元及壓力調(diào)節(jié)單元，其中，增加單元與壓力調(diào)節(jié)單元通過管線相連，壓力檢測(cè)和反饋單元通過信號(hào)控制增壓單元的氣體壓力。
文檔編號(hào)F24F7/00GK201500538SQ20092007551
公開日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2009年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月30日
發(fā)明者唐俊, 李銀生 申請(qǐng)人:上海米開羅那機(jī)電技術(shù)有限公司;北京米開羅那機(jī)電技術(shù)有限責(zé)任公司