專利名稱：一種防劃傷的滾輪裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種滾輪裝置，尤其是指一種防劃傷的滾輪裝置。
技術(shù)背景爐管是集成電路制造業(yè)中的重要設(shè)備，用于在晶圓表面生成非金屬薄膜，為晶圓的光刻工序作準(zhǔn)備。如圖l所示，爐管由加熱器3、外管4、內(nèi)管5、 底座6、晶舟l、升降機(jī)7等組成。加熱器3用于爐管的加熱升溫；底座6用 于承載內(nèi)、外管；外管4用于晶圓的加熱腔室的密封；內(nèi)管5置于外管4內(nèi) 部，用于與外管5的空間相隔離，以形成晶圓的加熱腔室；晶舟l用于承載 晶圓；升降機(jī)7用于控制晶舟1的運(yùn)動(dòng)，從而進(jìn)行取、放晶圓的操作。爐管設(shè)備在運(yùn)行一段時(shí)間后，內(nèi)管5和外管4表面會(huì)生成一定厚度的非 金屬薄膜，對(duì)正常的工作造成影響，因此需要定期拆卸內(nèi)管5和外管4對(duì)其 進(jìn)行清洗。在拆卸過程中，由于機(jī)臺(tái)和拆卸裝置水平誤差及重力影響、拆卸 裝置的抖動(dòng)、人為碰動(dòng)內(nèi)管5等造成內(nèi)管5傾斜或顫動(dòng)，從而接觸到底座6 內(nèi)側(cè)壁上突出的圓心定位裝置，進(jìn)而劃傷內(nèi)管5。該劃傷會(huì)縮短內(nèi)管5的使用 壽命；同時(shí)，劃傷處易積聚粉塵，由于晶圓的制造過程對(duì)環(huán)境要求非常嚴(yán)格， 粉塵有可能造成晶圓的短路等。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種防劃傷的滾輪裝置，有效避免內(nèi)管的劃 傷。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的4支術(shù)方案如下所述裝置至少包括支架、 滾輪、頂緊螺栓、擋圏和軸，所述軸穿過滾輪的中心位置，所述軸和滾輪之 間設(shè)有擋圏，所述支架套接于一本體的突出部位。進(jìn)一步地，所述本體是爐管底座。所述突出部位是圓心定位裝置，材質(zhì) 是不銹鋼等硬質(zhì)材料。所述滾輪的材質(zhì)是聚四氟或聚胺脂等軟質(zhì)材料。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于由于滾輪的材質(zhì)是聚四氟或聚胺脂等軟質(zhì)材料， 故將其套接于圓心定位裝置上，可有效避免內(nèi)管的劃傷，從而避免粉塵的積 聚，保證爐管裝置內(nèi)的潔凈的運(yùn)行環(huán)境。另外，可轉(zhuǎn)動(dòng)滾輪起導(dǎo)向作用，易于內(nèi)管的拆卸和安裝。

圖l是爐管的三維結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的滾輪裝置的三維結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型的滾輪裝置的主視圖；圖4是本實(shí)用新型的滾輪裝置的左視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說明。 圖2、圖3和圖4分別是本實(shí)用新型的滾輪裝置的三維結(jié)構(gòu)示意圖、主視 圖和左視圖。所述裝置至少包括支架8、滾輪12、頂緊螺栓U、擋圏9和軸 10，所述軸10穿過滾輪12的中心位置，軸10和滾輪12之間設(shè)有擋圏9，所 述支架8套接于底座6內(nèi)側(cè)壁上突出的圓心定位裝置上。滾輪12由聚四氟或 聚胺脂等軟質(zhì)材料制成。圓心定位裝置一般由不銹鋼等硬質(zhì)材料制成，當(dāng)內(nèi)管5發(fā)生傾斜時(shí)，很
容易劃傷內(nèi)管5。安裝滾輪裝置后，突出邢位是滾輪12，材質(zhì)硬度低，可防 止內(nèi)管5被劃傷。同時(shí)滾輪12可以轉(zhuǎn)動(dòng)，起導(dǎo)向作用，易于內(nèi)管5的拆卸和 安裝。該滾輪裝置也是可拆卸的，當(dāng)拆卸或安裝內(nèi)管5時(shí)，將所述裝置套在 圓心定位裝置上起保護(hù)作用，內(nèi)管拆卸或安裝完畢后，即可將所述裝置取下。所述滾輪裝置的安裝和拆卸步驟分別如下安裝時(shí)先將支架8套裝在底 座6內(nèi)側(cè)壁的圓心定位裝置上，然后擰緊頂緊螺栓ll即可；拆卸時(shí)先松動(dòng)頂 緊螺栓ll,然后將支架8從圓心定位裝置上取下即可。底座6內(nèi)側(cè)壁上有三個(gè)圓心定位裝置，故需三個(gè)上述的滾輪裝置進(jìn)行保 護(hù)。根據(jù)具體的圓心定位裝置的數(shù)量，需設(shè)置相應(yīng)數(shù)量的滾輪裝置。以上已描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型不局限用于爐 管的內(nèi)管保護(hù)。具體的說，可以用于對(duì)任何突出部件的防護(hù)。因此，雖然已 公開了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域技術(shù)人員將會(huì)意識(shí)到，在不背離權(quán)利要求書中公開的本實(shí)用新型范圍的情況下，任何修改、添加和替換均屬 于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1. 一種防劃傷的滾輪裝置，其特征在于所述裝置至少包括支架、滾輪、頂緊螺栓、擋圈和軸，所述軸穿過滾輪的中心位置，所述軸和滾輪之間設(shè)有擋圈，所述支架套接于一本體的突出部位。
2. 如權(quán)利要求1所述的防劃傷的滾輪裝置，其特征在于所述本體是爐管底座。
3. 如權(quán)利要求1所述的防劃傷的滾輪裝置，其特征在于所述突出部位是 圓心定位裝置。
4. 如權(quán)利要求3所述的防劃傷的滾輪裝置，其特征在于所述圓心定位裝 置的材質(zhì)是硬質(zhì)材料。
5. 如權(quán)利要求4所述的防劃傷的滾輪裝置，其特征在于所述硬質(zhì)材料是 不銹鋼。
6. 如權(quán)利要求1所述的防劃傷的滾輪裝置，其特征在于所述滾輪的材質(zhì) 是軟質(zhì)材料。
7. 如權(quán)利要求6所述的防劃傷的滾輪裝置，其特征在于所述軟質(zhì)材料是 聚四氟或聚胺脂。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種防劃傷的滾輪裝置，所述裝置至少包括支架、滾輪、頂緊螺栓、擋圈和軸，所述軸穿過滾輪的中心位置，所述軸和滾輪之間設(shè)有擋圈，所述支架套接于一本體的突出部位。該裝置可有效地防止其他本體被所述本體的突出部位劃傷。
文檔編號(hào)F27B17/00GK201081546SQ20062004934
公開日2008年7月2日 申請(qǐng)日期2006年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月21日
發(fā)明者剛 王, 歆 王, 鵬 王, 王春華, 俊 蔡 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司