1.一種用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中硅烷廢氣的預(yù)處理裝置，其特征在于：包括燃燒罐體，所述燃燒罐體的一側(cè)設(shè)有真空泵管接頭，所述燃燒罐體的另一側(cè)設(shè)有排氣管道管接頭，所述真空泵管接頭和所述排氣管道管接頭位于所述燃燒罐體的中部或中上部，所述真空泵管接頭和所述排氣管道管接頭之間設(shè)有壓縮空氣管接頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)處理裝置，其特征在于：所述真空泵管接頭通過(guò)法蘭盤與真空泵連接，所述排氣管道管接頭通過(guò)法蘭盤與排氣管道連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的預(yù)處理裝置，其特征在于：所述壓縮空氣管接頭通過(guò)輸氣管路與空壓機(jī)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的預(yù)處理裝置，其特征在于：所述真空泵管接頭的中心線與所述排氣管道管接頭的中心線重合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的預(yù)處理裝置，其特征在于：所述燃燒罐體的頂端設(shè)有法蘭盤，密封蓋通過(guò)螺栓、螺母安裝在所述燃燒罐體的法蘭盤上。