1.一種高溫等離子焚燒廢氣的方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)提供一高溫等離子焚燒廢氣設(shè)備，所述高溫等離子焚燒廢氣設(shè)備包括反應(yīng)器和壓縮機(jī)，所述反應(yīng)器的焚燒腔中安裝有高頻高壓大功率電源，所述壓縮機(jī)的進(jìn)氣口通過第一閥門與廢氣源連通，所述壓縮機(jī)的出氣口通過第二閥門與所述反應(yīng)器的進(jìn)氣口連通，所述反應(yīng)器的排氣口設(shè)置有第三閥門；
(2)將廢氣源經(jīng)所述壓縮機(jī)的進(jìn)氣口通入所述壓縮機(jī)中，經(jīng)壓縮后得到壓縮廢氣；
(3)將所述壓縮廢氣經(jīng)所述壓縮機(jī)的出氣口和所述反應(yīng)器的進(jìn)氣口通入所述反應(yīng)器的焚燒腔中，經(jīng)所述高頻高壓大功率電源聚能放電，得到高溫等離子態(tài)氣體，此時所述反應(yīng)器的壓力增高，所述高溫等離子態(tài)氣體的體積急劇膨脹，工業(yè)廢氣中的有害物質(zhì)迅速被完全裂解，其中工業(yè)廢氣的有機(jī)成分被裂解為基本粒子，工業(yè)廢氣的無機(jī)物質(zhì)還原為單體元素；
(4)將所述工業(yè)廢氣從所述反應(yīng)器的排氣口無污染排放。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫等離子焚燒廢氣的方法，其特征在于，所述高頻高壓大功率電源的頻率大于2萬赫茲，壓力大于1萬伏，功率大于1萬瓦。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫等離子焚燒廢氣的方法，其特征在于，所述高溫等離子態(tài)氣體的溫度大于3千度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫等離子焚燒廢氣的方法，其特征在于，步驟(3)和步驟(4)之間還設(shè)置有將所述工業(yè)廢氣進(jìn)行冷卻的冷卻步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫等離子焚燒廢氣的方法，其特征在于，所述第三閥門為可調(diào)排氣量的可調(diào)排氣閥，或者所述第三閥門包括并聯(lián)的預(yù)排氣閥和主排氣閥，所述預(yù)排氣閥設(shè)置為小通徑閥，所述主排氣閥設(shè)置為大通徑閥，步驟(4)為：首先進(jìn)行小流量排氣，控制所述第三閥門的通徑在DN6～DN25，使所述焚燒腔中的氣體壓力降低至1bar～2ar；然后大流量排氣，控制所述第三閥門的通徑在DN32～DN80，使所述焚燒腔內(nèi)的低壓氣體通過大流量的方式排出。
6.一種高溫等離子焚燒廢氣的設(shè)備，包括反應(yīng)器，所述反應(yīng)器設(shè)有進(jìn)氣口、排氣口以及分別與所述進(jìn)氣口和所述排氣口連通的焚燒腔，其特征在于，所述反應(yīng)器的焚燒腔中安裝有高頻高壓大功率電源，所述高溫等離子焚燒廢氣設(shè)備還包括壓縮機(jī)，所述壓縮機(jī)的進(jìn)氣口通過第一閥門與廢氣源連通，所述壓縮機(jī)的出氣口通過第二閥門與所述反應(yīng)器的進(jìn)氣口連通，所述反應(yīng)器的排氣口設(shè)置有第三閥門。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高溫等離子焚燒廢氣的設(shè)備，其特征在于，所述高頻高壓大功率電源的頻率大于2萬赫茲，壓力大于1萬伏，功率大于1萬瓦。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高溫等離子焚燒廢氣的設(shè)備，其特征在于，所述焚燒腔中還設(shè)置有冷卻機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高溫等離子焚燒廢氣的設(shè)備，其特征在于，所述第三閥門為可調(diào)排氣量的可調(diào)排氣閥，或者所述第三閥門包括并聯(lián)的預(yù)排氣閥和主排氣閥，所述預(yù)排氣閥設(shè)置為小通徑閥，所述主排氣閥設(shè)置為大通徑閥。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的高溫等離子焚燒廢氣的設(shè)備，其特征在于，所述預(yù)排氣閥的通徑為DN6～DN25，所述主排氣閥的通徑為DN32～DN80。