透鏡構(gòu)件的制造方法及透鏡構(gòu)件、曲面形狀圖案的制造方法以及曲面形狀圖案形成用樹脂膜的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及透鏡構(gòu)件的制造方法、由此得到的透鏡構(gòu)件、曲面形狀圖案的制造方法、能夠形成透鏡等的曲面形狀圖案形成用樹脂膜。
【背景技術(shù)】
[0002]在1C技術(shù)、LSI技術(shù)中，為了提高工作速度、集成度，進(jìn)行了將電配線基板中的電配線的一部分替換為光纖、光波導(dǎo)等光配線，并且利用光信號代替電信號。
[0003]例如，專利文獻(xiàn)1中公開了在表面上具備光學(xué)元件的1C芯片的上方設(shè)置光波導(dǎo)膜，在這些1C芯片與光波導(dǎo)膜之間進(jìn)行光通信。然而，如專利文獻(xiàn)1那樣在具備光學(xué)元件這樣的光通信單元的基板與光波導(dǎo)這樣的光通信單元之間進(jìn)行光通信時，存在如下問題:如果沒有以高精度將這些光通信單元彼此進(jìn)行位置對準(zhǔn)而安裝，則無法進(jìn)行光通信；如果不聚光，則光損耗(信號強(qiáng)度)會減小。
[0004]為了解決該問題，進(jìn)行了在基板表面上設(shè)置微透鏡的操作。
[0005]例如，專利文獻(xiàn)2中公開了在透明基板的表面上設(shè)置有微透鏡的帶透鏡基板。為了制造該帶透鏡基板，在透明基板的表面上形成感光性樹脂抗蝕劑并且在基板的背面形成具有開口部的遮光膜。接著，從遮光膜側(cè)照射光，將感光性樹脂抗蝕劑中存在于與遮光膜的開口部相對位置的部分曝光后進(jìn)行顯影，形成圓柱狀的抗蝕劑結(jié)構(gòu)物。然后，加熱該抗蝕劑結(jié)構(gòu)物，使抗蝕劑結(jié)構(gòu)物的表面受熱下垂(熱/?'扎)，從而制造微透鏡。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-11210號公報
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-361858號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明所要解決的課題
[0011]如專利文獻(xiàn)2那樣在基板表面上形成透鏡時，存在如下問題:由于基板表面的微細(xì)凹凸、基板表面與透鏡構(gòu)件形成材料的表面張力差異，透鏡構(gòu)件的形狀會有差異，或者無法以窄間距形成透鏡構(gòu)件。該問題不僅存在于利用受熱下垂的透鏡中，在向基板上滴加液滴樹脂來形成透鏡構(gòu)件的情況、在制作了透鏡形狀的抗蝕劑后通過各向異性蝕刻在基板本身上形成透鏡構(gòu)件的情況下也同樣是問題。此外，作為其他透鏡構(gòu)件，還有通過注射成型使凸透鏡從基座突出的微透鏡，但在該情況下，基座越厚，透鏡構(gòu)件就越厚，存在如果將基板與透鏡構(gòu)件復(fù)合則厚度會變厚的問題。
[0012]本發(fā)明為了解決上述課題而進(jìn)行，其目的在于，提供能夠在任意基板上形成所希望的透鏡形狀的透鏡構(gòu)件的制造方法、由此得到的透鏡構(gòu)件、曲面形狀圖案的制造方法、能夠形成透鏡的曲面形狀圖案形成用樹脂膜。
[0013]用于解決課題的方法
[0014]本發(fā)明人等進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過如下的透鏡構(gòu)件的制造方法，能夠解決上述課題，由此完成了本發(fā)明，該透鏡構(gòu)件的制造方法具有:工序A，形成包含基板、配置于該基板上的曲面形狀形成用樹脂層和配置于該基板與該曲面形狀形成用樹脂層之間的柱狀構(gòu)件形成用樹脂層的層疊體；工序B，對所述柱狀構(gòu)件形成用樹脂層和所述曲面形狀形成用樹脂層進(jìn)行蝕刻，在所述基板上形成包含柱狀構(gòu)件和曲面形狀形成用構(gòu)件的柱狀層疊部；以及工序C，加熱所述曲面形狀形成用構(gòu)件，以使其受熱下垂而形成透鏡。
[0015]SP，本發(fā)明提供以下的[1]?[11]。
[0016][1] 一種透鏡構(gòu)件的制造方法，具有:
[0017]工序A，形成包含基板、配置于該基板上的曲面形狀形成用樹脂層和配置于該基板與該曲面形狀形成用樹脂層之間的柱狀構(gòu)件形成用樹脂層的層疊體；
[0018]工序B，對所述柱狀構(gòu)件形成用樹脂層和所述曲面形狀形成用樹脂層進(jìn)行蝕刻，在所述基板上形成包含柱狀構(gòu)件和曲面形狀形成用構(gòu)件的柱狀層疊部；以及
[0019]工序C，加熱所述曲面形狀形成用構(gòu)件，以使其受熱下垂而形成透鏡。
[0020][2]如[1]所述的透鏡構(gòu)件的制造方法，所述曲面形狀形成用樹脂層為感光性的樹脂層。
[0021][3]如[1]或[2]所述的透鏡構(gòu)件的制造方法，所述柱狀構(gòu)件形成用樹脂層為感光性的樹脂層。
[0022][4]如[1]?[3]中任一項(xiàng)所述的透鏡構(gòu)件的制造方法，所述工序B中，通過曝光將所述曲面形狀形成用樹脂層光固化后，對所述柱狀構(gòu)件形成用樹脂層和所述曲面形狀形成用樹脂層進(jìn)行蝕刻。
[0023][5]如[1]?[4]中任一項(xiàng)所述的透鏡構(gòu)件的制造方法，所述工序B中，在所述曲面形狀形成用樹脂層曝光的同時將所述柱狀構(gòu)件形成用樹脂層曝光，從而將所述柱狀構(gòu)件形成用樹脂層光固化。
[0024][6]如[1]?[5]中任一項(xiàng)所述的透鏡構(gòu)件的制造方法，所述曲面形狀形成用樹脂層和/或所述柱狀構(gòu)件形成用樹脂層為由干膜形成的樹脂層。
[0025][7]如[1]?[6]中任一項(xiàng)所述的透鏡構(gòu)件的制造方法，所述基板為透明基板。
[0026][8] 一種透鏡構(gòu)件，通過上述[1]?[7]中任一項(xiàng)所述的制造方法得到。
[0027][9] 一種曲面形狀圖案的制造方法，具有上述[1]?[7]中任一項(xiàng)所述的透鏡構(gòu)件的制造方法中的所述工序A和所述工序B，并使通過所述工序B形成的所述曲面形狀形成用構(gòu)件受熱下垂，在所述曲面形狀形成用構(gòu)件形成曲面形狀。
[0028][10] 一種曲面形狀圖案形成用樹脂膜，包含含有曲面形狀形成用樹脂層和柱狀構(gòu)件形成用樹脂層的層疊體。
[0029][11]如[10]所述的曲面形狀圖案形成用樹脂膜，在所述曲面形狀形成用樹脂層側(cè)具有支撐膜，和/或在所述柱狀構(gòu)件形成用樹脂層側(cè)具有保護(hù)膜。
[0030]發(fā)明的效果
[0031]根據(jù)本發(fā)明的透鏡構(gòu)件的制造方法，能夠在任意基板上形成所希望的透鏡形狀。此外，由此得到的透鏡構(gòu)件和曲面形狀圖案的曲面形狀是所希望的良好形狀。進(jìn)而，根據(jù)本發(fā)明，可以得到能夠形成所希望形狀的透鏡的曲面形狀圖案形成用樹脂膜。
【附圖說明】
[0032]圖1為表示本發(fā)明的透鏡構(gòu)件的制造方法的一個實(shí)施方式的立體圖。
[0033]圖2為表示本發(fā)明的透鏡構(gòu)件的制造方法的一個實(shí)施方式的截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034][透鏡構(gòu)件]
[0035]本發(fā)明的一個實(shí)施方式中的透鏡構(gòu)件，在基板1上具有從基板1表面突出的柱狀構(gòu)件3，在該柱狀構(gòu)件3上具備具有彎曲凸面的透鏡6a。
[0036]根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施方式中的透鏡構(gòu)件的制造方法，在基板1與透鏡6a之間設(shè)有柱狀構(gòu)件3，透鏡6a沒有直接設(shè)置在基板1上。由此，即使存在基板1表面的微細(xì)凹凸等表面狀態(tài)、基板1表面與透鏡形成材料的表面張力的差異，它們也不會影響透鏡6a的形成。因此，能夠形成固定形狀、固定厚度的透鏡。此外，由于在柱狀構(gòu)件3上形成透鏡6a，因此還能夠抑制透鏡中心位置偏離。進(jìn)而，通過適宜地調(diào)節(jié)柱狀構(gòu)件3的高度，能夠在維持透鏡形狀的同時，任意地調(diào)節(jié)距離基板1表面的透鏡高度(圖1、圖2的實(shí)施方式)。
[0037]如此構(gòu)成的透鏡構(gòu)件，例如在與透鏡6a相對的位置和與基板1相對的位置分別配置發(fā)光元件、受光元件、光波導(dǎo)等光學(xué)構(gòu)件，供進(jìn)行光通信。
[0038]例如，從存在于與該基板1相對位置的發(fā)光元件發(fā)出的光信號，在通過柱狀構(gòu)件3和透鏡6a后，由凸透鏡面聚光，照射至存在于與透鏡6a相對位置的受光元件。由此，能夠以少的光損耗來進(jìn)行光通信。
[0039][曲面形狀圖案]
[0040]本發(fā)明的一個實(shí)施方式中的曲面形狀圖案7是指在基板1上形成的具有曲面的圖案，包含柱狀構(gòu)件3和形成于柱狀構(gòu)件3上的具有曲面形狀的構(gòu)件(相當(dāng)于透鏡6a)。本發(fā)明的一個實(shí)施方式中的透鏡構(gòu)件的透鏡和柱狀構(gòu)件也是曲面形狀圖案的一種(一部分)。
[0041]作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式中的曲面形狀圖案的、透鏡和柱狀構(gòu)件之外的例子，有光波導(dǎo)。如果將包含折射率低的包覆層(相當(dāng)于柱狀構(gòu)件3)和折射率高的芯層(相當(dāng)于透鏡6a)的光波導(dǎo)形成為直線狀，則光波導(dǎo)的光軸截面形狀成為接近于圓的形狀。由此，能夠得到與例如截面為圓形的光纖、受發(fā)光部為圓形的光電二極管、激光二極管的耦合損耗低的光波導(dǎo)。作為另一光波導(dǎo)的