裝置I (參照?qǐng)D1)中，由液狀樹脂保管機(jī)構(gòu)16和分送器17 —體化而成的供給機(jī)構(gòu)15 (參照?qǐng)D1、圖2)在液狀樹脂供給模塊4和各成型模塊3A、3B、3C、3D之間進(jìn)行移動(dòng)。因此，作為用于從壓縮機(jī)41供給壓縮空氣的配管36優(yōu)選使用具有柔軟性的尼龍管42。
[0136]參照?qǐng)D3，對(duì)分送器17的動(dòng)作進(jìn)行說明。從壓縮機(jī)41依次經(jīng)由尼龍管42和電-氣調(diào)壓閥43，向一個(gè)主劑用筒18內(nèi)供給壓縮空氣。通過使用供給至一個(gè)筒18內(nèi)的壓縮空氣，來按壓該筒18內(nèi)的柱塞45。通過被按壓的柱塞45下降來按壓主劑39。由此，經(jīng)由氟樹脂管27，向設(shè)置在分送器17上的主劑的儲(chǔ)存部28移送主劑39。
[0137]同樣地，從壓縮機(jī)41依次經(jīng)由尼龍管42和電-氣調(diào)壓閥43，向一個(gè)硬化劑用筒19內(nèi)供給壓縮空氣。通過使用被供給至一個(gè)筒19內(nèi)的壓縮空氣，來按壓該筒19內(nèi)的柱塞46。通過被按壓的柱塞46下降來按壓硬化劑40。由此，經(jīng)由氟樹脂管29，向設(shè)置在分送器17上的硬化劑的儲(chǔ)存部30移送硬化劑40。
[0138]控制部22 (參照?qǐng)D1)以如下方式控制主劑39的移送和硬化劑40的移送。同步進(jìn)行從壓縮機(jī)41供給的壓縮空氣按壓一個(gè)筒18內(nèi)的主劑39的動(dòng)作和通過使用計(jì)量送出機(jī)構(gòu)31來從該筒18內(nèi)向儲(chǔ)存部28吸入主劑39的動(dòng)作。同步進(jìn)行通過從壓縮機(jī)41供給壓縮空氣而按壓一個(gè)筒19內(nèi)的硬化劑40的動(dòng)作和通過使用計(jì)量送出機(jī)構(gòu)32來從該筒19內(nèi)向儲(chǔ)存部30吸入硬化劑40的動(dòng)作。如此，能夠在各個(gè)儲(chǔ)存部28、30中不形成真空狀態(tài)的情況下向儲(chǔ)存部28穩(wěn)定地填滿主劑39且向儲(chǔ)存部30穩(wěn)定地填滿硬化劑40。
[0139]根據(jù)液狀樹脂的粘度的高低，也可以例如通過使用電-氣調(diào)壓閥43、44來從高壓至低壓多級(jí)控制壓縮空氣的壓力。由此，能夠分別向儲(chǔ)存部28、30進(jìn)一步穩(wěn)定地填滿主劑39和硬化劑40。通過使用電-氣調(diào)壓閥43、44來根據(jù)液狀樹脂的粘度使壓力最佳化，從而能夠進(jìn)一步控制氟樹脂管27、29中的液狀樹脂和空氣的積存。
[0140]根據(jù)本實(shí)施例，能夠得到與實(shí)施例1相同的效果。
[0141]此外，根據(jù)本實(shí)施例，分別設(shè)置有多個(gè)筒18、19。由此，在一個(gè)筒中的液狀樹脂為空的情況下，能夠通過切換至剩余的一個(gè)筒中并與氟樹脂管27、29連接。因此，由于無需為了交換筒而停止樹脂成型裝置I的運(yùn)轉(zhuǎn)，不會(huì)降低生產(chǎn)率。
[0142]此外，根據(jù)本實(shí)施例，通過使用電-氣調(diào)壓閥43、44來將壓縮空氣的壓力控制為多級(jí)，例如將壓縮空氣的壓力控制為四級(jí)至五級(jí)。由此，能夠進(jìn)一步抑制氟樹脂管27、29中的液狀樹脂和空氣的積存。
[0143]此外，可通過使用靜電電容式傳感器、光束傳感器、紅外線傳感器和接近傳感器等來對(duì)各筒18內(nèi)的主劑39和各筒19內(nèi)的硬化劑40的液量進(jìn)行管理。通過對(duì)液量進(jìn)行管理，從而在分別設(shè)置為多個(gè)的筒18、19中，檢測(cè)出一個(gè)筒18、19的液狀樹脂的剩余不多的情況。
[0144]在樹脂成型裝置I進(jìn)行動(dòng)作的狀態(tài)下，當(dāng)一個(gè)筒18、19的液狀樹脂的剩余不多時(shí)，通過切換至其他未使用的筒18、19并使用該未使用的筒18、19中的液狀樹脂33。具體來講，第一，將主劑39的剩余不多的筒18切換至其他未使用的筒18。第二，將硬化劑40的剩余不多的筒19切換至其他未使用的筒19。由此，能夠避免在填滿于儲(chǔ)存部28的主劑39以及填滿于儲(chǔ)存部30的硬化劑40為空的情況。因此，能夠避免在混合室33中混入空氣的情況。
[0145](實(shí)施例3)
[0146]參照?qǐng)D4，對(duì)本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置I的實(shí)施例3中所使用的分送器17進(jìn)行說明。作為主劑39的計(jì)量送出機(jī)構(gòu)31，設(shè)置有伺服電動(dòng)機(jī)47、滾珠絲杠48和滾珠絲杠螺母49。在主劑39的儲(chǔ)存部28中設(shè)置有被安裝在滾珠絲杠48的前端上的柱塞50。通過伺服電動(dòng)機(jī)47，滾珠絲杠48旋轉(zhuǎn)并按壓柱塞50。通過柱塞50按壓主劑39而向混合室33送出規(guī)定量的主劑39。
[0147]同樣地，作為硬化劑的計(jì)量送出機(jī)構(gòu)32，設(shè)置有伺服電動(dòng)機(jī)51、滾珠絲杠52和滾珠絲杠螺母53。在硬化劑40的儲(chǔ)存部30中設(shè)置有被安裝在滾珠絲杠51的前端上的柱塞54。通過伺服電動(dòng)機(jī)51，滾珠絲杠52旋轉(zhuǎn)并按壓柱塞54。通過柱塞54向混合室33送出規(guī)定量的硬化劑40。
[0148]分別被送出至混合室33的通道55的規(guī)定量的主劑39和規(guī)定量的硬化劑40在通道55中進(jìn)行匯合而開始混合。之后，主劑39和硬化劑40被送出至靜態(tài)攪拌機(jī)34。
[0149]此外，通過分別控制三通閥(未圖示)而切換如下的一系列動(dòng)作。第一系列動(dòng)作為如下的動(dòng)作:從筒18 (參照?qǐng)D3)經(jīng)由氟樹脂管27向儲(chǔ)存部28移送主劑39的動(dòng)作和從儲(chǔ)存部28向混合室33送出主劑39的動(dòng)作。第二系列動(dòng)作為如下的動(dòng)作:從筒19 (參照?qǐng)D3)經(jīng)由氟樹脂管29向儲(chǔ)存部30移送硬化劑40的動(dòng)作和從儲(chǔ)存部30向混合室33送出硬化劑40的動(dòng)作。
[0150]參照?qǐng)D4，對(duì)分送器17的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，分別從計(jì)量送出機(jī)構(gòu)31和計(jì)量送出機(jī)構(gòu)32向混合室33的通道55內(nèi)送出一定比例的主劑39和硬化劑40。
[0151]在該工序中，根據(jù)進(jìn)行樹脂成型的對(duì)象，以最佳的比例混合主劑39和硬化劑40。例如，通過分別控制伺服電動(dòng)機(jī)47、51的旋轉(zhuǎn)速度而控制柱塞50、54的移動(dòng)量(行程)。通過分別控制伺服電動(dòng)機(jī)47、51的旋轉(zhuǎn)速度，從而能夠高精度地控制柱塞50、54的移動(dòng)量。因此，能夠高精度地控制主劑39和硬化劑40的送出量。
[0152]接下來，通過使用靜態(tài)攪拌機(jī)34來進(jìn)一步混合在通道55內(nèi)進(jìn)行匯合并開始混合的主劑39和硬化劑40。由此，生成混合液狀樹脂(參照?qǐng)D2所示的混合液狀樹脂37)。
[0153]接下來，從安裝在靜態(tài)攪拌機(jī)34的前端上的噴嘴36的開口朝向正下方噴出混合液狀樹脂，并供給至圖2所示的型腔13。
[0154]根據(jù)本實(shí)施例，通過高精度地控制柱塞50、54的移動(dòng)量，從而能夠分別穩(wěn)定地且高精度地送出一定量的主劑39和硬化劑40。因此，分送器17能夠穩(wěn)定地且高精度地噴出混合液狀樹脂37 (參照?qǐng)D2)。
[0155]此外，可以使主劑39的送出開始時(shí)間和硬化劑40的送出開始時(shí)間一致，并且，可以使主劑39的送出完結(jié)時(shí)間和硬化劑40的送出完結(jié)時(shí)間一致。由此，能夠進(jìn)一步穩(wěn)定混合液狀樹脂37(參照?qǐng)D2)的噴出。
[0156]在結(jié)束主劑39和硬化劑40的送出之后，也可通過使伺服電動(dòng)機(jī)47、51反向旋轉(zhuǎn)，從而從噴嘴36的前端部抽吸混合液狀樹脂37 (參照?qǐng)D2)。由此，能夠防止混合液狀樹脂37從噴嘴36的前端部垂滴的現(xiàn)象。
[0157]圖4中表示了通過柱塞50、54靜態(tài)按壓液狀樹脂(主劑39和硬化劑40)的情況。不限于此，還可以設(shè)為如下的結(jié)構(gòu):在柱塞50、54的前端設(shè)置螺旋狀的旋轉(zhuǎn)部件，以動(dòng)態(tài)按壓液狀樹脂。另外，還可以設(shè)為如使儲(chǔ)存部28、30本身旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。
[0158]作為液狀樹脂的計(jì)量送出機(jī)構(gòu)，使用了使用伺服電動(dòng)機(jī)和滾珠絲杠的送出機(jī)構(gòu)(伺服液壓缸方式)。不限于此，還可以使用例如步進(jìn)電動(dòng)機(jī)與滾珠絲杠的組合、單軸偏心螺桿方式(單螺桿泵方式)或氣缸等送出機(jī)構(gòu)。
[0159](實(shí)施例4)
[0160]參照?qǐng)D5，對(duì)本發(fā)明所涉及的樹脂成型裝置I的實(shí)施例4進(jìn)行說明。與實(shí)施例1的區(qū)別為在供給機(jī)構(gòu)15中將分送器17劃分為兩個(gè)塊。具體來講，將分送器17劃分為如下兩個(gè)塊:即，通過計(jì)量并送出經(jīng)儲(chǔ)存的液狀樹脂的塊(儲(chǔ)存送出部)和通過將被送出的液狀樹脂混合來噴出的塊(混合噴出部)。進(jìn)而，將儲(chǔ)存送出部劃分為主劑的儲(chǔ)存送出部和硬化劑的儲(chǔ)存送出部。混合噴出部能夠沿Y方向移動(dòng)。
[0161]如圖5所示，主劑的儲(chǔ)存部28通過氟樹脂管56與混合室57連接。硬化劑的儲(chǔ)存部30通過氟樹脂管58與混合室57連接。在混合室57連接有靜態(tài)攪拌機(jī)34?；旌鲜?7和靜態(tài)攪拌機(jī)34 —起構(gòu)成將主劑和硬化劑混合的混合部35。混合部35和噴嘴36 —體化而一起構(gòu)成混合噴出部59。在分送器17設(shè)置有使混合噴出部59沿Y方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)60。各個(gè)主劑的計(jì)量送出機(jī)構(gòu)31和儲(chǔ)存部28—起構(gòu)成主劑的儲(chǔ)存送出部61。各個(gè)硬化劑的計(jì)量送出機(jī)構(gòu)32和儲(chǔ)存部30 —起構(gòu)成硬化劑的儲(chǔ)存送出部62。
[0162]在供給機(jī)構(gòu)15內(nèi)，通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)60使混合噴出部59沿-Y方向(朝向可動(dòng)下模12的方向)。也可以使混合噴出部59沿上下方向(Z方向)移動(dòng)。可以使圖5的(a)所示的分送器17以在鉛直面內(nèi)(包括Y軸和Z軸的面內(nèi))或水平面內(nèi)(包括X軸和Y軸的面內(nèi))以某一點(diǎn)為中心局部旋轉(zhuǎn)的方式往復(fù)移動(dòng)。
[0163]在本實(shí)施例中，將分送器17劃分為如下兩個(gè)塊:即，包括主劑的儲(chǔ)存送出部61和硬化劑的儲(chǔ)存送出部62的第一塊和包括混合噴出部59的第二塊。從第一塊分開的第二塊即混合噴出部59通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)60沿Y方向移動(dòng)。
[0164]首先，使用計(jì)量送出機(jī)構(gòu)31按規(guī)定量計(jì)量被儲(chǔ)存在主劑的儲(chǔ)存部28中的主劑。將規(guī)定量的主劑通過氟樹脂管56送出至稱作混合室57的空間。同樣地，使用計(jì)量送出機(jī)構(gòu)32按規(guī)定量計(jì)量被儲(chǔ)存在硬化劑的儲(chǔ)存部30中的硬化劑。將規(guī)定量的硬化劑經(jīng)由氟樹脂管58送出至稱作混合室57的空間。
[0165]接下來，在混合室57中使按一定的比例送出的主劑和硬化劑進(jìn)行匯合并開始混合。將開始混合的主劑和硬化劑移送至靜態(tài)攪拌機(jī)34并進(jìn)一步混合。由此生成混合液狀樹脂37。
[0166]接下來，使用移動(dòng)機(jī)構(gòu)60，使混合噴出部59移動(dòng)至可動(dòng)下模12上方的規(guī)定的位置。還可以同時(shí)進(jìn)行使混合噴出部59移動(dòng)的工序和生成混合液狀樹脂37的工序。
[0167]接下來，從分送器17前端的噴嘴36朝向正下方噴出混合液狀樹脂37。由此，向型腔13供給混合液狀樹脂37。
[0168]根據(jù)本實(shí)施例，能夠得到與實(shí)施例1相同的效果。
[0169]此外，根據(jù)本實(shí)施例，可得到能夠?qū)Χ鄰埓竺娣e的基板持續(xù)地且穩(wěn)定地供給所需的混合液狀樹脂37這一效果。具體來講，將分送器17劃分為如下兩個(gè)塊:即，包括主劑的儲(chǔ)存送出部61和硬化劑的儲(chǔ)存送出部62的第一塊和包括混合噴出部59的第二塊。使混合噴出部59相對(duì)于可動(dòng)下模12進(jìn)行進(jìn)退，并且，不使主劑的儲(chǔ)存送出部61和硬化劑的儲(chǔ)存送出部62進(jìn)行進(jìn)退。由此，能夠增加主劑的儲(chǔ)存部28和硬化劑的儲(chǔ)存部30的容積，從而能夠在儲(chǔ)存部28、30中分別儲(chǔ)存大容