本發(fā)明涉及密封墊片生產(chǎn)，尤其涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備用的密封墊片生產(chǎn)設(shè)備及方法。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，半導(dǎo)體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用，如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件，無論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的。大部分的電子產(chǎn)品，如計算機、移動電話或是數(shù)字錄音機當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)聯(lián)，常見的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等。

2、刻蝕設(shè)備用于對晶圓表面進行刻蝕，以形成所需的電路線條和孔洞，刻蝕設(shè)備通常采用反應(yīng)離子刻蝕或等離子刻蝕等技術(shù)，以實現(xiàn)高精度、高效率的刻蝕操作，半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備使用密封墊片，一般的半導(dǎo)體設(shè)備用的密封墊片使用注塑的方法生產(chǎn)，產(chǎn)品邊緣會產(chǎn)生拉絲或者毛刺，使墊片在使用時容易受到化學(xué)溶液的腐蝕，在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的內(nèi)部產(chǎn)生污染，降低半導(dǎo)體的合格率，不能滿足實際的需求。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體設(shè)備用的密封墊片生產(chǎn)設(shè)備及方法，旨在解決一般的半導(dǎo)體設(shè)備用的密封墊片使用注塑的方法生產(chǎn)，產(chǎn)品邊緣會產(chǎn)生拉絲或者毛刺，使墊片在使用時容易受到化學(xué)溶液的腐蝕，在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的內(nèi)部產(chǎn)生污染，降低半導(dǎo)體的合格率的技術(shù)問題。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

3、一種半導(dǎo)體設(shè)備用的密封墊片生產(chǎn)設(shè)備及方法，包括底板，所述底板一端的上表面固定連接有第一固定柱，所述第一固定柱的頂端固定連接有液壓缸，所述底板的上表面固定連接有第一收集箱，所述底板上表面靠近第一收集箱的一側(cè)固定連接有第二固定柱，所述底板的上表面靠近第一收集箱的另一側(cè)固定連接有第二收集箱，所述底板另一端的上表面固定連接有第三固定柱，所述第三固定柱的頂部固定連接有第二滑軌，所述第二滑軌內(nèi)滑動連接有第三滑板，所述第三滑板的頂部固定連接有滑動架，所述滑動架的上表面固定連接有第三滑軌，所述第三滑軌內(nèi)部滑動連接有第二滑板；

4、所述第二固定柱頂部安裝有沖壓機構(gòu)，沖壓機構(gòu)用于沖壓密封墊片；

5、所述底板的上表面安裝有聯(lián)動機構(gòu)，聯(lián)動機構(gòu)用于實現(xiàn)機構(gòu)聯(lián)動；

6、所述滑動架上安裝有承壓機構(gòu)，承壓機構(gòu)用于與沖壓機構(gòu)配合使用。

7、在一個優(yōu)選的方案中，所述沖壓機構(gòu)包括固定連接于第二固定柱頂端的第一滑軌，所述第一滑軌的內(nèi)部滑動連接有第一滑板，所述第一滑板的頂部固定連接有沖壓筒，所述沖壓筒的內(nèi)部滑動連接有緩沖桿，所述緩沖桿的一端套接有沖壓彈簧；

8、所述緩沖桿上安裝有沖壓氣密機構(gòu)，沖壓氣密機構(gòu)用于吸附?jīng)_壓后的廢料；

9、所述沖壓筒的一端安裝有剪切機構(gòu)，剪切機構(gòu)用于對密封墊片進行剪切。

10、所述沖壓氣密機構(gòu)包括套接于緩沖桿一端的波紋管，所述緩沖桿的內(nèi)部設(shè)置有吸附通道，所述吸附通道的一端設(shè)置有吸附槽，所述剪切機構(gòu)包括設(shè)置于沖壓筒一端邊緣的第一剪切刀，所述沖壓筒的一端表面設(shè)置有多個空隙槽，所述沖壓筒一端靠近緩沖桿的邊緣設(shè)置有第二剪切刀。

11、進一步的，空隙槽的作用是在密封墊片與沖壓筒之間形成空隙，防止密封墊片吸附在沖壓筒上。

12、在一個優(yōu)選的方案中，所述聯(lián)動機構(gòu)包括固定連接于底板上表面的兩個連接塊，所述連接塊的一側(cè)分別轉(zhuǎn)動連接有第一轉(zhuǎn)動板和第二轉(zhuǎn)動板，所述第一轉(zhuǎn)動板的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有聯(lián)動板，所述第二轉(zhuǎn)動板的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有連接板，所述底板的上表面固定連接有安裝板，所述安裝板的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有輔助板，所述第一轉(zhuǎn)動板的一端滑動連接有第二滑槽，所述第二轉(zhuǎn)動板的一端滑動連接有第一滑槽，所述第一滑槽的底端與滑動架的上表面固定連接。

13、在一個優(yōu)選的方案中，所述承壓機構(gòu)包括固定連接于滑動架上表面的兩個固定座，所述固定座的一側(cè)固定連接有固定筒，所述滑動架的一側(cè)固定連接有固定軸，所述固定軸的一端套接有承壓彈簧，所述固定軸的一端滑動連接有滑動筒，所述滑動筒的一端轉(zhuǎn)動連接由于轉(zhuǎn)動筒，所述滑動筒的頂部固定連接有電機，所述電機輸出軸的一端固定連接有主動齒輪，所述轉(zhuǎn)動筒的一端固定連接有從動齒輪，所述轉(zhuǎn)動筒的一端的外壁和內(nèi)壁上分別設(shè)置有上輔助槽和下輔助槽，所述固定筒的一端內(nèi)壁上設(shè)置有上安裝槽，所述固定軸的一端外壁設(shè)置有下安裝槽；

14、所述滑動筒的內(nèi)部安裝有承壓氣密機構(gòu)，承壓氣密機構(gòu)用于吸附密封墊片；

15、所述固定軸的內(nèi)部安裝有內(nèi)圈處理機構(gòu)，內(nèi)圈處理機構(gòu)用于處理密封墊片的內(nèi)圈；

16、所述固定筒的內(nèi)部安裝有外圈處理機構(gòu)，外圈處理機構(gòu)用于密封墊片的外圈。

17、在一個優(yōu)選的方案中，所述承壓氣密機構(gòu)包括設(shè)置于滑動筒內(nèi)部的多個固定吸附管，所述固定吸附管的一端套接有連接管，所述固定吸附管的另一端設(shè)置有通氣槽，所述轉(zhuǎn)動筒的內(nèi)部設(shè)置有轉(zhuǎn)動吸附管，所述轉(zhuǎn)動吸附管的一端設(shè)置有連通槽。

18、在一個優(yōu)選的方案中，所述內(nèi)圈處理機構(gòu)包括固定軸的內(nèi)部插接有安裝桿，所述安裝桿的一端固定連接有第一電磁線圈，所述連接板的內(nèi)部靠近第一電磁線圈的一端插接有加熱柱，所述加熱柱外表面固定連接有多個第一導(dǎo)熱板，所述第一導(dǎo)熱板的一側(cè)分別轉(zhuǎn)動連接有第一內(nèi)加熱板和第二內(nèi)加熱板，所述第一內(nèi)加熱板的一側(cè)設(shè)置有內(nèi)彈片，所述外圈處理機構(gòu)包括插接于固定筒外壁上的多個固定桿，所述固定桿的一端固定連接有第二電磁線圈，所述固定筒的外壁上固定連接有加熱環(huán)，所述加熱環(huán)的內(nèi)壁上固定連接有多個第二導(dǎo)熱板，所述第二導(dǎo)熱板的一側(cè)分別轉(zhuǎn)動連接有第一外加熱板和第二外加熱板，所述第一外加熱板一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有外彈片。

19、一種半導(dǎo)體設(shè)備用的密封墊片生產(chǎn)設(shè)備的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：

20、s1、準(zhǔn)備階段：連接管和波紋管分別與氣泵連接，將密封墊片的胚體貼在轉(zhuǎn)動筒上位于轉(zhuǎn)動吸附管的一端，通過氣泵抽氣將密封墊片吸附住，推動沖壓筒向左滑動，緩沖桿的一端先與密封墊片接觸，液壓缸的輸出軸繼續(xù)移動，推動第一轉(zhuǎn)動板向一側(cè)轉(zhuǎn)動，通過聯(lián)動板、輔助板和連接板的聯(lián)動作用，使第二轉(zhuǎn)動板反向轉(zhuǎn)動，使滑動架靠近第二滑槽。

21、s2、剪切階段：使沖壓筒上的第一剪切刀和第二剪切刀將密封墊片剪切掉內(nèi)部圓和外部圓圈，只留下密封墊片的圓環(huán)部分，起到使密封墊片邊緣齊整的效果，使沖壓筒的一端與轉(zhuǎn)動筒的一端擠壓著密封墊片推進固定筒內(nèi)部，轉(zhuǎn)動筒和滑動筒在固定軸上滑動，壓縮承壓彈簧，使密封墊片的邊緣位于上安裝槽和下安裝槽之間。

22、s3、處理階段：密封墊片的邊緣位于上安裝槽和下安裝槽之間，第一內(nèi)加熱板和第二內(nèi)加熱板抵住密封墊片的內(nèi)圈邊緣，啟動第一電磁線圈和第二電磁線圈，產(chǎn)生變化的磁場，使加熱柱和加熱環(huán)內(nèi)部產(chǎn)生電流，使加熱柱和加熱環(huán)的溫度升高，使密封墊片轉(zhuǎn)動，加熱柱和加熱環(huán)使密封墊片的內(nèi)圈均勻加熱融化，內(nèi)圈切口成熔融狀態(tài)，使溫度降低，密封墊片的內(nèi)圈表面光滑，起到增加密封墊片的耐腐蝕的效果，同理使密封墊片的外圈產(chǎn)生一樣的效果。

23、s4、收集階段：液壓缸的輸出軸往回移動，沖壓筒與轉(zhuǎn)動筒分離，外部的圓環(huán)部分廢料掉入第一收集箱內(nèi)部，密封墊片吸附在轉(zhuǎn)動筒上，內(nèi)部圓形廢料吸附在緩沖桿上，通過氣泵使圓形廢料掉入第一收集箱內(nèi)，使轉(zhuǎn)動筒上的密封墊片掉入第二收集箱內(nèi)，起到分類收集密封墊片和廢料的效果。

24、由上可知。本發(fā)明提供的一種半導(dǎo)體設(shè)備用的密封墊片生產(chǎn)設(shè)備及方法具有以下技術(shù)效果。

25、其一：通過產(chǎn)生變化的磁場，由于楞次定律，使加熱柱和加熱環(huán)內(nèi)部產(chǎn)生電流，使加熱柱和加熱環(huán)的溫度升高，使密封墊片轉(zhuǎn)動，由于加熱柱將溫度傳遞給第一導(dǎo)熱板，加熱柱和加熱環(huán)使密封墊片的內(nèi)圈均勻加熱融化，內(nèi)圈切口成熔融狀態(tài)，使溫度降低，密封墊片的內(nèi)圈表面光滑，起到增加密封墊片的耐腐蝕的效果，同理使密封墊片的外圈產(chǎn)生一樣的效果。

26、其二：通過使沖壓筒的一端與轉(zhuǎn)動筒的一端擠壓著密封墊片推進固定筒內(nèi)部，使密封墊片的邊緣位于上安裝槽和下安裝槽之間，承壓彈簧將轉(zhuǎn)動筒推出固定筒內(nèi)部，使得轉(zhuǎn)動筒與沖壓筒完成對密封墊片的夾持，緩沖桿與固定軸完成內(nèi)部圓形廢料的夾持，固定筒起到將外部圓圈廢料分離的效果。

27、其三：通過連接管和波紋管分別與氣泵連接，啟動液壓缸，液壓缸的輸出軸向一端伸出，推動沖壓筒向左滑動，緩沖桿的一端先與密封墊片接觸，使沖壓筒上的第一剪切刀和第二剪切刀將密封墊片剪切掉內(nèi)部圓和外部圓圈，只留下密封墊片的圓環(huán)部分，起到使密封墊片邊緣齊整的效果。

28、其四：通過設(shè)計有連通槽，氣泵固定吸附管、轉(zhuǎn)動吸附管、通氣槽和連通槽的作用，使密封墊片始終被吸附住，在轉(zhuǎn)動筒和滑動筒之間相對轉(zhuǎn)動時，由于連通槽的作用，使通氣槽和轉(zhuǎn)動吸附管始終連通，使轉(zhuǎn)動吸附管內(nèi)部的負(fù)壓始終存在，起到始終吸附住密封墊片的作用。