專利名稱：層壓裝置以及層壓方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于通過對薄膜狀材料以及基板加熱并且加壓、將薄膜狀材料層壓、埋入在基板上，以及/或者使基板上的薄膜狀材料平坦化的層壓壓制裝置以及真空層壓裝置。
背景技術(shù)：
在印刷電路用基板上，因形成導(dǎo)電性圖案等原因在表面會產(chǎn)生凹凸和孔。在于這樣的基板的表面貼上薄膜狀的絕緣材料和感光材料之類的薄膜狀材料的時(shí)候，如果用通常的層壓機(jī)，則在基板表面的凹部和孔中易于殘留氣泡，結(jié)果經(jīng)常導(dǎo)致次品的產(chǎn)生。
對此，對這樣的用途采用了在真空中將薄膜狀材料粘貼在基板表面的真空層壓壓制裝置。
在用真空層壓壓制裝置之前，薄膜狀材料被保持在基板表面上輕輕地被按壓。該作業(yè)是用通常的層壓機(jī)來進(jìn)行的。
以往，一般廣泛使用的真空層壓壓制裝置，在壓制部具有由可相互密封配合的上下外殼部件所構(gòu)成的真空室。在真空室內(nèi)配置上下一對加壓塊。在表面保持有薄膜狀材料的基板，以被保持在上下一對薄膜傳送帶之間的狀態(tài)，相對于在壓制部的上下一對加壓塊之間運(yùn)入運(yùn)出。一個(gè)加壓塊被固定在一個(gè)外殼部件的內(nèi)側(cè)，具有加熱器。另一個(gè)加壓塊被固定在上下驅(qū)動裝置上，同樣具有加熱器。
基板被插入上下一對加壓塊之間后，上下外殼部件相互密封配合而構(gòu)成真空室。在一邊將真空室內(nèi)部的氣體排出，同時(shí)基板以保持在薄膜傳送帶上的狀態(tài)，由設(shè)在上下加壓塊上的加熱器加熱。因加熱器的熱量，將基板上的薄膜狀材料軟化。
基板在加熱到規(guī)定的溫度后，被上下加壓塊按壓。
在表面保持有薄膜狀材料的基板，被夾在上下加壓塊之間而被加壓，軟化的薄膜狀材料幾乎緊密接觸地粘貼在基板的凹凸面上。
上下加壓塊的加壓面能夠以彈性體或者剛體的平板制成。
在這種以往的真空層壓壓制裝置中，有以下必須解決的問題。
以往，由于用于運(yùn)送基板的上下一對薄膜傳送帶是繃緊的，因而受到了沿薄膜傳送帶長方向的張力。具體地說，以在將薄膜傳送帶卷出的輥上施加了旋轉(zhuǎn)阻力的狀態(tài)，用另一個(gè)輥卷取薄膜傳送帶，就向薄膜傳送帶的長方向、即基板運(yùn)送方向施加張力。
然而，僅向薄膜傳送帶的長方向施加張力的話，易于在薄膜傳送帶上發(fā)生‘縱向皺折’。另外，薄膜傳送帶在和基板一起被加熱器加熱時(shí)，因加熱而受到影響易于產(chǎn)生局部‘松弛’。
這樣在薄膜傳送帶產(chǎn)生‘縱向皺折’和‘松弛’的狀態(tài)下，如果由上下加壓塊在加熱的狀態(tài)下對基板加壓，則在基板上的薄膜狀材料的表面就形成起因于薄膜傳送帶的‘起皺’的凹凸。這就對基板上的薄膜狀材料的緊密接觸性、充分地埋入以及表面平坦化產(chǎn)生妨礙。這是本發(fā)明要解決的第一個(gè)課題。
在以往的真空層壓裝置中，從另外的觀點(diǎn)來看也還有以下所述的所需解決的問題。
以往，一般普遍使用的真空層壓裝置大致分成兩類。一類是作為加壓機(jī)構(gòu)、由彈性體組成的隔板(diaphragm)的真空層壓裝置，另一類是作為加壓機(jī)構(gòu)、使用的是加壓面為平滑的剛體的加壓板的真空層壓裝置。
使用隔板的真空層壓裝置，具有由能夠相互密封配合的上下外殼部件組成的真空室。
將被臨時(shí)固定的薄膜狀材料保持于表面的基板，通過上下一對薄膜傳送帶，在被保持在該傳送帶之間的狀態(tài)下被運(yùn)送，被插入上下一對加壓塊之間。一個(gè)加壓塊的加壓面由彈性體組成，被固定在一個(gè)外殼部件的內(nèi)側(cè)并具有加熱器。
另一個(gè)加壓塊，是將由具有可撓性的彈性體組成的隔板安裝在加壓面上，被固定于另一個(gè)外殼部件的內(nèi)側(cè)，同樣具有加熱器。
將基板插入一對加壓塊之間后，上下外殼部件相互密封配合而構(gòu)成真空室。
在一邊對真空室內(nèi)部抽氣減壓，同時(shí)以將基板保持在薄膜傳送帶的狀態(tài)，由設(shè)在上下加壓塊上的加熱器來加熱。由加熱器的熱量，軟化基板上的薄膜狀材料。
在基板被加熱到規(guī)定溫度后，使上述由彈性體組成的隔板、通過氣體壓力而向基板方向伸展。在表面保持有薄膜狀材料的基板，在由安裝在一個(gè)加熱塊上的彈性體組成的、伸展開的隔板的外表面和同樣由彈性體組成的另一個(gè)加壓塊的加壓面之間，通過一對薄膜傳送帶夾住而被加壓，軟化了的薄膜材料緊密地粘貼在基板上的凹凸面上。
另一方面，使用加壓面為平滑的剛體的加壓板的真空層壓裝置，在壓制部具有由相互能夠密封配合的上下外殼部件組成的真空室。
在真空室內(nèi)配置有上下一對加壓塊。在表面保持有薄膜狀材料的基板通過上下一對薄膜傳送帶，以保持在其間的狀態(tài)被運(yùn)送，相對于壓制部的上下一對加壓塊之間運(yùn)入以及運(yùn)出。一個(gè)加壓塊被固定在一個(gè)外殼部件的內(nèi)側(cè)并具有加熱器。另一個(gè)加壓塊被固定在上下驅(qū)動裝置上也同樣具有加熱器。
上下加壓塊的加壓是通過剛體的平板的平滑面形成的。
在將基板插入上下一對加壓塊之間后，上下外殼部件相互密封配合而構(gòu)成真空室。
在對真空室內(nèi)部進(jìn)行抽氣減壓后，通過由上下驅(qū)動裝置使上下加壓塊相互接近，在位于其間的基板保持在薄膜傳送帶上的狀態(tài)下，由設(shè)在上下加壓塊上的加熱器加熱。由加熱器的熱量，軟化基板上的薄膜狀材料。
在表面保持有薄膜狀材料的基板被加熱到規(guī)定溫度之后，以由上下驅(qū)動裝置使上下加壓塊進(jìn)一步接近，通過一對薄膜傳送帶被夾在上下加壓塊之間而被加壓，其結(jié)果，軟化了的薄膜狀材料被緊密地粘貼在基板的凹凸面上。
作為該真空層壓裝置的重要功能是，能夠以高的生產(chǎn)效率實(shí)現(xiàn)以下兩點(diǎn)，即，在基板表面的深陷的凹部以及孔內(nèi)，埋入薄膜狀材料而不剩余氣泡；考慮到對后續(xù)工序的影響，使埋入后的薄膜狀材料的表面平坦。
然而，使用了隔板的以往的真空層壓裝置，由于結(jié)構(gòu)上不能夠調(diào)節(jié)真空室內(nèi)的抽氣減壓和基板與薄膜狀材料的加熱的時(shí)機(jī)，因此在還沒有充分排氣的情況下薄膜狀材料就軟化了，從而具有殘留氣泡的可能性高的缺點(diǎn)。
另外，由于所有加壓面都由彈性體構(gòu)成，所以在埋入基板后的薄膜狀材料的表面上，會產(chǎn)生因基板表面的凹凸而導(dǎo)致的凹凸不平，由于需要設(shè)置另外的使表面平坦的工序，所以增高了裝置的成本，裝置也變得大型化，從而具有難以以高的生產(chǎn)率來實(shí)現(xiàn)的問題。
而且，由于是使由彈性體組成的隔板伸展來加壓的方式，所以，因彈性體的強(qiáng)度而不能夠施加足夠的加壓力，還具有難以將薄膜狀材料埋入深陷的凹部和孔中的缺點(diǎn)，這一點(diǎn)也還有改善的余地。
另一方面，對采用平滑的加壓板的真空層壓裝置也有需要改善的缺點(diǎn)。即，用剛體的平板的平滑的面來加壓的結(jié)構(gòu)，由于壓力不能夠施加到基板的凹部，所以難以將薄膜狀材料埋入凹部而不殘存氣泡。
對此，本發(fā)明所要解決的另一個(gè)課題(第2課題)是提供一種將薄膜狀材料均勻地埋入深陷的凹部以及孔內(nèi)而不殘存氣泡、并且能夠使埋入后的薄膜狀材料的表面平坦的、小型且廉價(jià)的具有高生產(chǎn)率的真空層壓裝置。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述第1課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種層壓裝置，是用于在基板上層壓、埋入薄膜狀材料或?qū)迳系谋∧畈牧蠈?shí)行平坦化的層壓裝置；具有壓制部；基板運(yùn)送機(jī)構(gòu)，具有被形成為上下一對薄膜傳送帶的、將在表面保持有薄膜狀材料的基板保持在其間并可以沿長方向移動的上下一對薄膜傳送帶，用于通過使該一對薄膜傳送帶邊受到沿長方向的張力邊移動而使所述基板相對于所述壓制部運(yùn)入以及運(yùn)出；上側(cè)以及下側(cè)加壓塊，其為了夾持住被所述基板運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)入的基板并加壓而設(shè)置在所述壓制部；張力施加機(jī)構(gòu)，其用于至少在所述壓制部向所述一對薄膜傳送帶施加橫方向的張力。
所述張力施加機(jī)構(gòu)，可包括通過從上下方向夾持所述一對薄膜傳送帶的兩端邊緣部、對該薄膜傳送帶施加橫方向的張力的夾持部件。
所述夾持部件，是分別安裝在所述上側(cè)以及下側(cè)加壓塊的兩端邊緣部的具有彈性的部件，并可以變形，隨著所述上側(cè)以及下側(cè)加壓塊相互接近而夾持所述薄膜傳送帶，然后通過所述上側(cè)以及下側(cè)加壓塊的進(jìn)一步接近而對所述薄膜傳送帶施加向橫方向外方的力。
安裝在所述上側(cè)加壓塊上的夾持部件，具有從所述上側(cè)加壓塊的兩端邊緣部向下方和向外方延伸的部分，安裝在所述下側(cè)加壓塊上的夾持部件，具有從所述下側(cè)加壓塊的兩端邊緣部向上方和向外方延伸的部分。
所述夾持部件可由彈性材料制成。
另外，根據(jù)本發(fā)明，還提供一種層壓裝置，由上側(cè)以及下側(cè)外殼部件構(gòu)成真空室，并將真空室配置在所述壓制部，該真空室，可通過使該上側(cè)以及下側(cè)外殼部件相互密封配合并排出內(nèi)部的氣體而得到減壓狀態(tài)，并可通過使該上側(cè)以及下側(cè)外殼部件相互分離來形成基板的出入口用的開口部，所述上側(cè)以及下側(cè)加壓塊被配置在所述真空室內(nèi)。
另外，為了解決第2課題，根據(jù)本發(fā)明，提供一種真空層壓裝置，是用于在基板上層壓、埋入薄膜狀材料，而且對基板上的薄膜狀材料實(shí)行平坦化的真空層壓裝置；具有真空室，其具有可相互密封配合以及分離的上側(cè)以及下側(cè)外殼部件；驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其用于使所述上側(cè)以及下側(cè)外殼部件相互密封配合以及分離；減壓機(jī)構(gòu)，其用于對被所述上側(cè)以及下側(cè)外殼部件圍住的、所述真空室內(nèi)的第1空間進(jìn)行減壓；基板運(yùn)送機(jī)構(gòu)，其具有被形成為可撓性的上下一對薄膜傳送帶、將在表面保持有薄膜狀材料的基板保持在其間并可沿長方向移動的上下一對薄膜傳送帶，用于通過使該一對薄膜傳送帶經(jīng)過形成于處于分離狀態(tài)的所述上側(cè)以及下側(cè)外殼部件間的開口部而移動、使所述基板相對于所述真空室運(yùn)入以及運(yùn)出；上側(cè)以及下側(cè)加壓部件，其被形成為設(shè)在所述真空室內(nèi)的上側(cè)以及下側(cè)加壓部件、并由用于通過所述一對薄膜傳送帶來夾持所述基板并加壓的加壓面為平滑的剛體所組成；驅(qū)動機(jī)構(gòu)，用于使該上側(cè)以及下側(cè)加壓部件之中至少一個(gè)接近以及離開另一個(gè)；加熱機(jī)構(gòu)，用于對所述基板以及所述薄膜狀材料加熱；封入機(jī)構(gòu)，其被形成為設(shè)在所述真空室內(nèi)的封入機(jī)構(gòu)、并用于通過在所述基板周圍使所述一對薄膜傳送帶相互緊密接觸而形成將所述基板封入在所述一對薄膜傳送帶之間的封閉空間；壓力差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，其用于在所述真空室內(nèi)使所述封閉空間外部的壓力高于內(nèi)部的壓力。
用于使所述上側(cè)以及下側(cè)外殼部件相互密封配合以及分離的所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)、和用于使所述上側(cè)以及下側(cè)加壓部件之中至少一個(gè)接近以及離開另一個(gè)的所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)，是可分別獨(dú)立并動作的不同的機(jī)構(gòu)。
所述封入機(jī)構(gòu)，包括用于從上下方向夾住所述一對薄膜傳送帶而使之相互緊密接觸的一對夾持機(jī)構(gòu)。
在所述一對夾持機(jī)構(gòu)從上下方向夾住所述一對薄膜傳送帶時(shí)，該一對夾持機(jī)構(gòu)的至少一個(gè)對所述封閉空間內(nèi)的所述薄膜傳送帶整體施加向外的張力。
也可以將所述一對夾持機(jī)構(gòu)的一個(gè)由具有彈性的部件構(gòu)成，將所述一對夾持機(jī)構(gòu)的另一個(gè)，由與具有所述彈性的部件對向的面構(gòu)成。
或者，將所述一對夾持機(jī)構(gòu)的雙方，都由具有彈性的部件構(gòu)成。
具有所述彈性的部件，被配置成能夠圍住所述基板的周圍的環(huán)狀，并且，具有朝向所述一對薄膜傳送帶并向外擴(kuò)張而延伸的部分。
也可以將所述一對夾持機(jī)構(gòu)之中的至少一個(gè)，設(shè)在所述上側(cè)或者下側(cè)加壓部件上。
也可以將所述一對夾持機(jī)構(gòu)之中的所述至少一個(gè)、和設(shè)有該至少一個(gè)夾持機(jī)構(gòu)的所述上側(cè)或下側(cè)加壓部件的所述加壓面、和由與該加壓面對向的所述薄膜傳送帶的外表面所圍成的第2空間、以及所述真空室內(nèi)的所述第1空間連通的通路，被設(shè)在設(shè)有所述至少一個(gè)夾持機(jī)構(gòu)的所述上側(cè)或下側(cè)加壓部件上。
另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種真空層壓方法，是用于在基板上層壓、埋入薄膜狀材料，而且對基板上的薄膜狀材料實(shí)行平坦化的真空層壓方法；具有使薄膜狀材料重疊在基板上并臨時(shí)固定在該基板上的過程；將臨時(shí)固定有所述薄膜狀材料的所述基板保持在可撓性的上下一對薄膜傳送帶之間、通過使該一對薄膜傳送帶沿長方向移動而將所述基板運(yùn)送到規(guī)定位置的運(yùn)送過程；在所述規(guī)定位置、將所述基板的周圍環(huán)境壓力降低到規(guī)定壓力的過程；將所述薄膜狀材料和所述基板一起加熱到規(guī)定溫度的過程；在被減壓的環(huán)境中、通過在所述基板的周圍使所述上下一對薄膜傳送帶相互緊密接觸而形成所述基板被封入進(jìn)該上下一對薄膜傳送帶間的封閉空間的過程；通過使該封閉空間外部的壓力高于內(nèi)部壓力，利用所述上下一對薄膜傳送帶對臨時(shí)固定有所述薄膜狀材料的所述基板進(jìn)行加壓的過程；通過被形成為在所述基板的表面和背面分別對向設(shè)置的一對加壓部件、并由各加壓面為平滑的剛體組成的一對加壓部件，介由所述一對薄膜傳送帶夾持所述基板并加壓的過程。
也可以進(jìn)一步備有在由所述可撓性的上下一對薄膜傳送帶對所述基板進(jìn)行加壓的所述過程、和通過由所述加壓面為平滑的剛體組成的所述一對加壓部件來對所述基板進(jìn)行加壓的所述過程之間，再次將所述封閉空間外部的壓力降低到規(guī)定壓力的過程。


圖1是本發(fā)明的層壓裝置的第1實(shí)施例的側(cè)視圖，所取的是局部的長方向剖面。
圖2是階段地示意本發(fā)明的層壓裝置的第1實(shí)施例中張力施加機(jī)構(gòu)的夾持部件的作用的剖面圖，是從薄膜傳送帶的長方向所見的圖。
圖3是本發(fā)明的層壓裝置的第2實(shí)施例的側(cè)視圖，所取的是局部的剖面。
圖4是本發(fā)明的層壓裝置的第2實(shí)施例中真空層壓部的詳細(xì)側(cè)視圖，所取的是局部剖面。
圖5是從圖4的箭頭部沿箭頭方向的剖面圖。
圖6是本發(fā)明的層壓裝置的第2實(shí)施例中真空層壓部的詳細(xì)側(cè)視圖，是階段示意將薄膜狀材料埋入基板的過程的最初過程的圖，所取的是局部剖面。
圖7是本發(fā)明的層壓裝置的第2實(shí)施例中真空層壓部的詳細(xì)側(cè)視圖，是階段示意將薄膜狀材料埋入基板的過程的第2階段的圖，所取的是局部剖面。
圖8是本發(fā)明的層壓裝置的第2實(shí)施例中真空層壓部的詳細(xì)側(cè)視圖，是階段示意將薄膜狀材料埋入基板的過程的第3階段的圖，所取的是局部剖面。
圖9是本發(fā)明的層壓裝置的第2實(shí)施例中真空層壓部的詳細(xì)側(cè)視圖，是階段示意將薄膜狀材料埋入基板的過程的第3階段的圖，所取的是局部剖面。
圖10是本發(fā)明的層壓裝置的第2實(shí)施例中真空層壓部的詳細(xì)側(cè)視圖，是階段示意將薄膜狀材料埋入基板的過程的第4階段的圖，所取的是局部剖面。
圖11是本發(fā)明的層壓裝置的其他的實(shí)施例中真空層壓部的詳細(xì)側(cè)視圖，所取的是局部剖面。
圖12是本發(fā)明的層壓裝置的另一實(shí)施例中真空層壓部的詳細(xì)側(cè)視圖，所取的是局部剖面。
圖13是沿圖4的箭頭部所示方向所見的本發(fā)明的層壓裝置的另外的實(shí)施例中真空層壓部的剖面圖。
圖中1—真空室，2—上側(cè)外殼部件，3—下側(cè)外殼部件，4—支撐塊，5—下側(cè)支撐部件，6—支柱，7、12—驅(qū)動裝置，8—基板，9—開口部，10—上側(cè)加壓塊，11—下側(cè)加壓塊，13—桿，14—密封機(jī)構(gòu)，15—薄膜傳送帶卷出部，16—薄膜傳送帶卷取部，17—上側(cè)薄膜傳送帶，18—下側(cè)薄膜傳送帶，19、20—輥式輸送機(jī)，21—輥，22—上側(cè)加壓塊兩端邊緣部，23—下側(cè)加壓塊兩端邊緣部，23a—下側(cè)加壓塊的外邊緣部，24—上側(cè)夾持部件，24a—上側(cè)夾持部件一邊部分，24b—上側(cè)夾持部件另一邊部分，25—下側(cè)夾持部件，25a—下側(cè)夾持部件一邊部分，25b—下側(cè)夾持部件另一邊部分，25’—夾持部件，26、27—孔，28、29—第2空間，30—封閉空間，P—壓制部，S—第1空間，V—真空層壓部。
具體實(shí)施例方式
以下參照圖1以及圖2來說明用于解決上述第1課題的本發(fā)明的實(shí)施例。
圖1是本發(fā)明第1實(shí)施例的真空層壓壓制裝置的側(cè)視圖，所示的是長方向局部的剖面。
在真空壓制裝置的壓制部P設(shè)有真空室1。真空室1由上側(cè)外殼部件2以及下側(cè)外殼部件3組成。上側(cè)外殼部件2安裝在支撐塊4上。另外，在真空壓制部P設(shè)有作為底座的下側(cè)支撐部件5，支撐塊4和下側(cè)支撐部件5通過將上端固定在支撐塊4上、將下端固定在下側(cè)支撐部件5上的支柱6而相互連接在一起。
在作為形成真空室1的另一個(gè)部件的下側(cè)外殼部件3的下面，以軸安裝有如氣缸裝置那樣的驅(qū)動裝置7。驅(qū)動裝置7形成用于使上側(cè)外殼部件2以及下側(cè)外殼部件3相互密封配合以及分離的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
一旦下側(cè)外殼部件3由上述驅(qū)動裝置7的驅(qū)動而上升，上側(cè)外殼部件2和下側(cè)外殼部件3的周圍邊緣部就相互密封而配合，真空室1內(nèi)部就處于密封狀態(tài)。在該狀態(tài)下，一旦從設(shè)在真空室1上的排氣口(未圖示)排出內(nèi)部的空氣，就能夠使真空室1內(nèi)處于減壓狀態(tài)。另一方面，一旦用上述驅(qū)動裝置7使下側(cè)外殼部件3下降，上下外殼部件2、3相互分離，就形成基板8的出入口用的開口部9。
在真空室1內(nèi)，配置有用于夾持基板進(jìn)行加熱以及加壓的上側(cè)加壓塊10和下側(cè)加壓塊11。上側(cè)加壓塊10具有加熱板(未圖示)，安裝在上側(cè)外殼部件2上。在上側(cè)加壓塊10在基板8的側(cè)面，即、加壓面?zhèn)?，安裝有將作為加壓面的表面加工成平滑的剛體的加壓板(未圖示)。
下側(cè)加壓塊11也具有加熱板(未圖示)，在基板側(cè)的面、即加壓面?zhèn)?，安裝有加壓面為平滑的剛體的加壓板(未圖示)。與上側(cè)加壓塊10安裝在上側(cè)外殼部件2上不同，下側(cè)加壓塊11不安裝在下側(cè)外殼部件3上。
在下側(cè)支撐部件5上，設(shè)有液壓缸裝置之類的驅(qū)動裝置12，下側(cè)加壓塊11設(shè)置在貫穿下側(cè)外殼部件3并延伸出來的驅(qū)動裝置12的桿13的上端。由于在下側(cè)外殼部件3和桿13之間設(shè)有密封機(jī)構(gòu)14，所以桿13就在密封下側(cè)外殼部件3的狀態(tài)下貫穿并延伸，成為能夠維持真空室1的機(jī)械密封性的結(jié)構(gòu)。通過使驅(qū)動裝置12動作，能夠使上側(cè)加壓塊10和下側(cè)加壓塊11相對地接近和離開。
在真空層壓裝置的壓制部P的前后，配置有薄膜傳送帶卷出部15以及薄膜傳送帶卷取部16。薄膜傳送帶卷出部15以及薄膜傳送帶卷取部16進(jìn)行用于在其間保持基板8并運(yùn)送的上下一對薄膜傳送帶17以及18的卷出以及卷取。薄膜傳送帶17以及18配置成貫穿上側(cè)以及下側(cè)外殼部件2和3處于相互分離而敞開狀態(tài)的真空室1并延伸。在表面保持有薄膜狀材料的基板8由輥式輸送機(jī)19從上一個(gè)工序運(yùn)往薄膜傳送帶卷出部15，被放入薄膜傳送帶17以及18之間。在薄膜傳送帶卷出部15被施加了旋轉(zhuǎn)阻力的狀態(tài)下，通過在薄膜傳送帶卷取部16進(jìn)行卷取動作，邊給與沿長方向的適當(dāng)?shù)膹埩呉苿拥谋∧魉蛶?7和18，就能夠?qū)⒈３衷谠摫∧魉蛶еg的基板8從開口部9搬入真空室1內(nèi)。同樣，能夠?qū)⒒?從真空室1運(yùn)出。被運(yùn)出的基板8經(jīng)輥式輸送機(jī)20而被送到下一個(gè)工序。在薄膜傳送帶卷出部15以及薄膜傳送帶卷取部16之間，在適當(dāng)?shù)奈恢迷O(shè)有多個(gè)作為薄膜傳送帶導(dǎo)向的輥21。這樣，薄膜傳送帶17、18、薄膜傳送帶卷出部15、輥21以及薄膜傳送帶卷取部16，就形成用于將在表面上保持有薄膜狀材料的基板8相對于壓制部P運(yùn)入和運(yùn)出的基板運(yùn)送機(jī)構(gòu)。
以下，基于圖2來說明本發(fā)明的第1實(shí)施例中安裝在上下加壓塊10以及11上的張力施加機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)以及動作。在作為從薄膜傳送帶的長方向所見圖的圖2中，所示的分別是(a)為上下加壓塊相互離開的狀態(tài)；(b)為上下加壓塊相互接近的狀態(tài)；(c)為上下加壓塊進(jìn)一步接近并夾持住基板進(jìn)行加壓的狀態(tài)。在圖2(a)的狀態(tài)下，保持在薄膜傳送帶17、18之間的基板8，位于壓制部P的上下加壓塊10、11之間。在上下的加壓塊10、11的各自的兩端邊緣部22、23的內(nèi)側(cè)，安裝有由如橡膠之類的彈性材料制成的夾持部件24、25。最好使夾持部件24、25在加壓塊10、11的兩端邊緣部22、23的大致全長上、至少在跨越基板8的長度范圍內(nèi)延伸。夾持部件24、25具有在橫方向上向外開的V字形的截面形狀。夾持部件24、25的一邊部分24a、25a，由于以水平狀態(tài)安裝在上下加壓塊10、11上，所以另一邊部分24b、25b相對于水平傾斜而延伸。具體地說，安裝在上側(cè)加壓塊10上的夾持部件24的另一邊部分24b，從上側(cè)加壓塊10的兩端邊緣部向下方及外方延伸，安裝在下側(cè)加壓塊11上的夾持部件25的另一邊部分24b從下側(cè)加壓塊10的兩端邊緣部向上方及外方延伸。
雖然夾持部件24、25可以做成具有連續(xù)橫貫其全長的圖示的V字形截面形狀，但是希望至少在另一邊部分24b、25b設(shè)置斷續(xù)的(切口)槽口。
在圖2(b)中，當(dāng)上下加壓塊10、11相互接近時(shí)，夾持部件24、25的另一邊部分24b、25b的前邊緣就從上下方向夾持住薄膜傳送帶17、18。
而且，如圖2(c)所示，在上下加壓塊10、11從夾持住基板8到加壓的期間，以彈性材料做成的夾持部件24、25的另一邊部分24b、25b朝向各自的一邊部分24a、25a變形。這時(shí)，另一邊部分24b、25b以夾持住薄膜傳送帶17、18的狀態(tài)，對該薄膜傳送帶給與橫方向的張力。
作為構(gòu)成夾持部件24、25的彈性材料，也可以使用橡膠以外的材料。
要使夾持部件24、25具有彈性，除了可以如上所述以彈性材料構(gòu)成全體之外，也可以用彈簧鉸鏈把一邊部分24a、25a和另一邊部分24b、25b連接在一起。在這種情況下，一邊部分24a、25a當(dāng)然是彈性材料，另一邊部分24b、25b不必要以彈性材料構(gòu)成。
在上述第1實(shí)施例中，用安裝在上下加壓塊10、11上的夾持部件24、25構(gòu)成對薄膜傳送帶17、18施加橫方向張力的張力施加機(jī)構(gòu)，將加壓塊的驅(qū)動力用于施加張力，但并不局限于此?？梢栽O(shè)置與加壓塊無關(guān)的張力施加機(jī)構(gòu)，也可以利用用于施加張力的別的驅(qū)動源。
另外，不僅只在壓制部的范圍，也可以在更寬的范圍對薄膜傳送帶施加橫方向的張力。
根據(jù)這里說明的本發(fā)明的第1實(shí)施例，由于對薄膜傳送帶的橫方向也施加張力，所以能夠抑制薄膜傳送帶中‘縱向皺折’及‘松弛’的產(chǎn)生，因此，能夠防止它們所導(dǎo)致的基板上的薄膜狀材料表面的凹凸的形成，使薄膜狀材料對于基板具有足夠好的緊密接觸性以及埋入性，同時(shí)能夠使薄膜狀材料高精度地平坦化。
其次，參照圖3至圖14，對用于解決上述第2課題的本發(fā)明的實(shí)施例加以說明。
圖3是本發(fā)明第2實(shí)施例的真空層壓裝置的側(cè)視圖，所示的是局部的長方向剖面。
真空層壓裝置，具有真空層壓部V，在真空層壓部V設(shè)有真空室1。真空室1由上側(cè)外殼部件2以及下側(cè)外殼部件3組成。在真空室1上設(shè)有連接在用于使內(nèi)部處于減壓狀態(tài)的排氣裝置(未圖示)上的排氣口(未圖示)和連接在用于釋放減壓狀態(tài)的供氣裝置(未圖示)上的供氣口。排氣口以及排氣裝置一起構(gòu)成減壓機(jī)構(gòu)。上側(cè)外殼部件2安裝在支撐塊4上。另外，在真空層壓部V上設(shè)有作為底座的下側(cè)支撐部件5，支撐塊4和下側(cè)支撐部件5，通過將上端固定在支撐塊4上、將下端固定在下側(cè)支撐部件5上的支柱6而相互連接在一起。
在作為形成真空室1的另一方部件的下側(cè)外殼部件3的下面，以軸安裝著如氣缸裝置之類的驅(qū)動裝置7。驅(qū)動裝置7形成用于使上側(cè)外殼部件2以及下側(cè)外殼部件3相互密封配合以及分離的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
一旦下側(cè)外殼部件3由上述驅(qū)動裝置7驅(qū)動而上升，上側(cè)外殼部件2和下側(cè)外殼部件3的周緣部就密封配合，真空室1內(nèi)部就處于密封狀態(tài)。在該狀態(tài)下，當(dāng)從設(shè)在真空室1上的排氣口、由排氣裝置排出內(nèi)部的空氣時(shí)，就能夠使由上下外殼部件2、3所圍住的真空室1內(nèi)的空間(第1空間)S(參照圖7)處于減壓狀態(tài)。另一方面，當(dāng)由上述驅(qū)動裝置7使下側(cè)外殼部件3下降時(shí)，上下外殼部件2、3相互分離，形成基板8的出入口用的開口部9。
在真空室1內(nèi)配置有上側(cè)加壓塊10和下側(cè)加壓塊11。這些上下加壓塊10、11是用于通過后述的一對薄膜傳送帶來夾持住基板并加壓的加壓部件。
上側(cè)加壓塊10具有加熱器(未圖示)，并安裝在上側(cè)外殼部件2上。在上側(cè)加壓塊10面對基板8的面、即加壓面上，安裝有加壓面為平滑的剛體的加壓板(未圖示)。
下側(cè)加壓塊11也具有加熱器(未圖示)，在面對基板8的面、即加壓面上安裝有加壓面為平滑的剛體的加壓板(未圖示)。與上側(cè)加壓塊10安裝在上側(cè)外殼部件2上不同，下側(cè)加壓塊11不安裝在下側(cè)外殼部件3上。
在下側(cè)支撐部件5上設(shè)有如液壓缸裝置之類的驅(qū)動裝置12，下側(cè)加壓塊11安裝在貫穿下側(cè)外殼部件3并延伸的驅(qū)動裝置12的桿13的上端。由于在下側(cè)外殼部件3和桿13之間設(shè)有密封機(jī)構(gòu)14，所以桿13在密封狀態(tài)下貫穿下側(cè)外殼部件3并延伸，成為能夠維持真空室1的密封性的結(jié)構(gòu)。通過使驅(qū)動裝置12動作，上側(cè)加壓塊10和下側(cè)加壓塊11能夠相對地接近和離開。
驅(qū)動裝置7和驅(qū)動裝置12能夠做成相互獨(dú)立地動作的不同的機(jī)構(gòu)。
在真空層壓裝置的真空層壓部V上，配置有薄膜傳送帶卷出部15以及薄膜傳送帶卷取部16。薄膜傳送帶卷出部15以及薄膜傳送帶卷取部16進(jìn)行用于在其間保持基板8并運(yùn)送的上下一對薄膜傳送帶17以及18的卷出和卷取。薄膜傳送帶17以及18被配置成在上側(cè)以及下側(cè)外殼部件2及3相互分離而打開的狀態(tài)貫穿真空室1并延伸。在表面臨時(shí)固定有薄膜狀材料的基板8，通過輥式輸送機(jī)19從上一個(gè)工序被運(yùn)送到薄膜傳送帶卷出部15，并被放入薄膜傳送帶17以及18之間。在薄膜傳送帶卷出部15被施加旋轉(zhuǎn)阻力的狀態(tài)下，通過在薄膜傳送帶卷取部16進(jìn)行卷取動作、能夠邊施加適當(dāng)?shù)膹埩呇亻L方向移動的薄膜傳送帶17以及18，將保持在該薄膜傳送帶之間的基板8、通過開口部9運(yùn)進(jìn)真空室1內(nèi)。同樣，能夠?qū)⒒?從真空室1運(yùn)出。被運(yùn)出來的基板8通過輥式輸送機(jī)20被運(yùn)送到下一個(gè)工序。在薄膜傳送帶卷出部15以及薄膜傳送帶卷取部16之間，在合適的位置設(shè)有多個(gè)為薄膜傳送帶導(dǎo)向的輥21。這樣，薄膜傳送帶17、18、薄膜卷出部15、輥21以及薄膜卷取部16就形成了用于將在表面保持有薄膜狀材料的基板8相對于真空層壓部V運(yùn)入運(yùn)出的基板運(yùn)送結(jié)構(gòu)。
以下，用圖4以及圖5對本發(fā)明第2實(shí)施例的裝置結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
圖4是本發(fā)明第2實(shí)施例中真空層壓部的側(cè)視圖，所取的是局部的剖面。
另外，圖5所示的是沿圖4的箭頭部的剖面圖。
如圖5所示，在下側(cè)加壓塊11的外邊緣部23a的內(nèi)側(cè)，由例如橡膠類的彈性材料做成的下側(cè)夾持部件25包圍住基板8的周圍，環(huán)繞下側(cè)加壓塊11的外邊緣部23a的全周以環(huán)狀安裝。同樣，在上側(cè)加壓塊10的外邊緣部22a的內(nèi)側(cè)，由例如橡膠類的彈性材料做成的下側(cè)夾持部件24圍住主基板8的周圍，環(huán)繞上側(cè)加壓塊10的外邊緣部22a的全周以環(huán)狀安裝(參照圖4)。在本實(shí)施例中，在真空室1內(nèi)分別設(shè)在上下加壓塊10、11上的上下夾持部件24、25，構(gòu)成用于通過在基板8的周圍使一對薄膜傳送帶17、18相互緊密地接觸而在一對薄膜傳送帶17、18之間形成封入基板8的封閉空間30(參照圖8)的封入機(jī)構(gòu)。
上側(cè)夾持部件24以及下側(cè)夾持部件25，具有呈朝在徑向上向外敞開的V字形的剖面形狀。上側(cè)夾持部件24以及下側(cè)夾持部件25的一邊部分24a、25a，由于以水平狀態(tài)安裝在上下加壓塊10、11上，所以另一邊部分24b、25b傾斜朝向薄膜傳送帶17、18并向外方向擴(kuò)張和延伸。具體地說，安裝在上側(cè)加壓塊10上的上側(cè)夾持部件24的另一邊部分24b，從上側(cè)加壓塊10的外邊緣部22a向下并向外延伸，安裝在下側(cè)加壓塊11上的下側(cè)夾持部件25的另一邊部分25b，從下側(cè)加壓塊11的外邊緣部23a向上并向外延伸。
另外，在上下加壓塊10、11的分別由上下夾持部件24、25包圍的范圍內(nèi)，設(shè)有分別貫穿上下加壓塊10、11的至少一個(gè)孔26、27?？?6、27構(gòu)成可以與由夾持部件24、25、加壓塊10、11、分別與加壓塊10、11的加壓面對向的薄膜傳送帶17、18的外表面所圍住的空間(第2空間)28、29(參照圖8)以及真空室1內(nèi)的第1空間S連通的通路。
其次，基于圖6至圖10來說明本發(fā)明的第2實(shí)施例的動作。圖6至圖10是本發(fā)明的第2實(shí)施例中真空層壓部的側(cè)視圖，所取的是局部的剖面。
首先，上下外殼部件2、3分離，通過基板出入口用開口部9，將在表面保持有薄膜狀材料的基板8、通過一對薄膜傳送帶17、18、以保持在其間的狀態(tài)，運(yùn)入在真空室1內(nèi)的上下加壓塊10、11之間的規(guī)定位置(圖6)。
其次，下側(cè)外殼部件3通過驅(qū)動裝置(相當(dāng)于圖3中的驅(qū)動裝置7)的驅(qū)動而上升，上側(cè)外殼部件2和下側(cè)外殼部件3的周圍邊緣部之間密封配合，在使真空室1內(nèi)部處于密封狀態(tài)后，真空室1內(nèi)的第1空間S通過排氣機(jī)構(gòu)(未圖示)排氣而減壓到規(guī)定的壓力(圖7)。
然后，通過驅(qū)動裝置(相當(dāng)于圖3中的驅(qū)動裝置12)使下側(cè)加壓塊11上升到規(guī)定的位置。
上下加壓塊10、11以相互接近的狀態(tài)、通過設(shè)置在上下加壓塊10、11上的加熱器(未圖示)對基板8加熱，同時(shí)，分別設(shè)在上下加壓塊10、11的上側(cè)夾持部件24以及下側(cè)夾持部件25的另一邊部分24b、25b的前邊緣，從上下方向夾持住薄膜傳送帶17、18(圖8)。
由于上側(cè)夾持部件24以及下側(cè)夾持部件25分別環(huán)繞上側(cè)加壓塊10以及下側(cè)加壓塊11的外部邊緣部22a、23a的全周長而安裝，在該狀態(tài)下，分別形成上側(cè)加壓塊10、上側(cè)夾持部件24以及上側(cè)薄膜傳送帶17所圍住的空間28，和下側(cè)加壓塊11、下側(cè)夾持部件25以及下側(cè)薄膜傳送帶18所圍住的空間29以及上下薄膜傳送帶17、18之間的封閉空間30。
將基板8加熱到規(guī)定溫度，并在保持于基板上的薄膜狀材料充分軟化之后，由供氣裝置從供氣口向真空室1供給一定量的空氣，使真空室1內(nèi)的第1空間S的壓力上升到規(guī)定壓力。
這樣，通過孔26、27而與真空室1內(nèi)的第1空間S連通的第2空間28、29內(nèi)的壓力，與第1空間S內(nèi)的壓力同樣上升到規(guī)定壓力，成為與封閉空間30內(nèi)的壓力相比相對較高的壓力。因此，孔26、27和供氣裝置以及供氣口構(gòu)成在真空室1內(nèi)用于使封閉空間30外部的壓力比內(nèi)部的壓力更高的壓力差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)。
由該第2空間28、29內(nèi)和封閉空間30內(nèi)的壓力差，保持有薄膜狀材料的基板8就通過上下薄膜傳送帶17、18被加壓。
這時(shí)，由于通過使用可撓性薄膜傳送帶17、18的空氣壓來加壓，不是像由剛體的平板加壓那樣使壓力傳播方向僅向一個(gè)方向而是向所有的方向，所以能夠使薄膜狀材料沿著基板的凹凸埋入而不會形成氣泡(圖9)。
而且，以驅(qū)動裝置使上下加壓塊10、11接近，通過安裝在上下加壓塊10、11上的剛體的加壓板平滑的加壓面夾持住基板8并加壓，可不用另外設(shè)置平坦化工序也能夠使薄膜狀材料表面平坦化(圖10)。
另外，在上下加壓塊10、11夾持住基板8到加壓的期間，由彈性材料做成的上側(cè)夾持部件24以及下側(cè)夾持部件25的另一邊部分24b、25b分別朝向一邊部分24a、25a而變形。
為此，另一邊部分24b、25b以夾持住薄膜傳送帶17、18的狀態(tài)，能夠?qū)υ诜忾]空間30內(nèi)的薄膜傳送帶全體給與向外的張力，這樣，就能夠抑制在薄膜傳送帶上發(fā)生‘縱向皺折’和‘松弛’。
其結(jié)果，在以加壓塊加壓時(shí)，能夠更加可靠地使薄膜狀材料的表面平坦化。
另外，如圖8的狀態(tài)那樣，通過由彈性材料做成的上側(cè)夾持部件24以及下側(cè)夾持部件25的另一邊部分24b、25b分別朝向一邊部分24a、25a變形，如上所述對薄膜傳送帶給與向外的張力，將上下薄膜傳送帶拉伸，能夠使得上下薄膜傳送帶的間隙變小，上下薄膜傳送帶本身將薄膜狀材料向基板按壓。其結(jié)果，能夠提高薄膜狀材料與基板的緊密接觸性，使與薄膜狀材料的熱傳導(dǎo)更好，更快地使薄膜狀材料軟化，從而提高生產(chǎn)效率。
作為構(gòu)成夾持部件24、25的彈性材料，可以使用橡膠以外的材料。另外，只要能夠形成第2空間28、29以及封閉空間30，也可以采用具有如圖12所示的剖面形狀的夾持部件25’。而且，夾持部件可以不是對薄膜傳送帶給與向外的張力的形狀，也可以如圖11以及圖12所示那樣僅安裝在上側(cè)加壓塊上或下側(cè)加壓塊上。在將夾持部件僅安裝在上下加壓塊其中之一的場合，取代另一邊的夾持部件的夾持機(jī)構(gòu)，就由與一邊的夾持部件對向的加壓塊的面所構(gòu)成。
在圖示的實(shí)施例中，將夾持部件24、25安裝在上下加壓塊10、11的至少一個(gè)上，利用加壓塊的驅(qū)動力，通過上下薄膜傳送帶夾持以形成第2空間28、29以及封閉空間30，但并不局限于此。也可以另外設(shè)置與加壓塊無關(guān)的、用于形成第2空間28、29以及封閉空間30的密封機(jī)構(gòu)。
另外，為了使第2空間28、29和封閉空間30之間產(chǎn)生壓力差，可以另外從真空室1的外部向第2空間28、29內(nèi)導(dǎo)入加壓空氣，本領(lǐng)域的技術(shù)人員也可以任意選擇使第2空間28、29和封閉空間30之間產(chǎn)生壓力差的別的合適的機(jī)構(gòu)。
另外，在上述實(shí)施例中，是以上下夾持部件連續(xù)環(huán)繞上下加壓塊的外部邊緣部的全周而配置來進(jìn)行說明的，只要使第2空間28、29以及封閉空間30內(nèi)能夠維持持續(xù)必要范圍的時(shí)間和必要范圍的壓力值，就不必要求完全的密封，可以如圖13所示那樣，以不連續(xù)的狀態(tài)環(huán)狀配置上下夾持部件。
在本發(fā)明的真空層壓方法中，首先作為準(zhǔn)備階段，將薄膜狀材料重疊并臨時(shí)固定在基板8上。該過程能夠使用通常的層壓機(jī)來進(jìn)行。
其次，將在表面保持有臨時(shí)固定的薄膜狀材料的基板8放入可撓性的上下一對薄膜傳送帶17、18之間。使在其間保持基板8的薄膜傳送帶17、18沿長方向移動，通過開口部9將基板8運(yùn)送到真空室1內(nèi)的規(guī)定位置(圖6)。
接著，通過驅(qū)動裝置使下側(cè)外殼部件3上升并使之與上側(cè)外殼部件2密封配合，使真空室1內(nèi)部的第1空間S處于密封狀態(tài)(圖7)。然后，通過排氣機(jī)構(gòu)對第1空間S進(jìn)行排氣。這樣，將基板8周圍環(huán)境減壓到規(guī)定的壓力。
在第1空間S被減壓的狀態(tài)下，通過驅(qū)動裝置使下側(cè)加壓塊11上升到規(guī)定位置，使之與上側(cè)加壓塊10接近(圖8)。這樣，分別設(shè)在上下加壓塊10、11上的上下夾持部件24、25就在基板8的周圍夾持住上下薄膜傳送帶17、18，使之相互緊密接觸，在上下一對薄膜傳送帶17、18之間形成密封基板8的封閉空間30，同時(shí)，還通過在上下加壓塊10、11上配備的加熱器，將基板8與薄膜狀材料一起加熱到規(guī)定溫度。
在將被保持在基板8上的薄膜狀材料加熱并充分軟化后，通過由供氣裝置從供氣口向真空室1的第1空間S供給一定量的空氣，真空室1的第1空間S的壓力上升到規(guī)定壓力。其結(jié)果，介由設(shè)在上下加壓塊10、11上的孔26、27與第1空間S連通的第2空間28、29、也上升到與第1空間S相同的壓力值。這樣，封閉空間30外部的壓力比封閉空間30內(nèi)部的壓力更高，臨時(shí)固定有薄膜狀材料的基板8就通過上下一對薄膜傳送帶17、18而被加壓(圖9)。由于通過采用了可撓性薄膜傳送帶17、18的空氣壓來加壓，被按壓的可撓性薄膜傳送帶17、18就變形為基板8的凹凸形狀，能夠?qū)?上的薄膜狀材料從各方向傳播壓力。其結(jié)果，薄膜狀材料被埋入基板8的孔和凹部而不殘留氣泡。
最后，通過使下側(cè)加壓塊11進(jìn)一步上升，可利用分別設(shè)在上下加壓塊10、11上的剛體的加壓板平滑的加壓面，介由薄膜傳送帶17、18夾持住基板8并加壓(圖10)。通過上一過程中可撓性薄膜傳送帶17、18對基板8的加壓可能產(chǎn)生的、在薄膜狀材料的外表面上的凹凸形狀，就被剛體的加壓板平滑的加壓面通過本過程的加壓而平坦化。
這樣，不設(shè)置其他的工序就能夠進(jìn)行基板8上的薄膜狀材料表面的平坦化。
另外，在通過使封閉空間30外部的壓力比內(nèi)部的壓力更高而利用一對薄膜傳送帶17、18對基板進(jìn)行加壓的過程、和利用上下加壓塊10、11夾持住基板8并加壓的過程之間，也可以設(shè)置使封閉空間30外部的壓力再度減壓到規(guī)定壓力的過程。這樣，由于介于上下加壓塊10、11和薄膜狀材料之間的空氣變得更少，能夠使層壓后薄膜表面的平坦性更高。
權(quán)利要求
1.一種層壓裝置，是用于在基板上層壓、埋入薄膜狀材料或?qū)迳系谋∧畈牧蠈?shí)行平坦化的層壓裝置，其特征在于，具有壓制部；基板運(yùn)送機(jī)構(gòu)，具有被形成為上下一對薄膜傳送帶的、將在表面保持有薄膜狀材料的基板保持在其間并可沿長方向移動的上下一對薄膜傳送帶，用于通過使該一對薄膜傳送帶邊受到沿長方向的張力邊移動而使所述基板相對于所述壓制部運(yùn)入以及運(yùn)出；上側(cè)以及下側(cè)加壓塊，其為了夾持住被所述基板運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)入的基板并加壓而設(shè)置在所述壓制部；張力施加機(jī)構(gòu)，其用于至少在所述壓制部向所述一對薄膜傳送帶施加橫方向的張力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層壓裝置，其特征在于，所述張力施加機(jī)構(gòu)，包括通過從上下方向夾持所述一對薄膜傳送帶的兩端邊緣部、對該薄膜傳送帶施加橫方向的張力的夾持部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的層壓裝置，其特征在于，所述夾持部件，是分別安裝在所述上側(cè)以及下側(cè)加壓塊的兩端邊緣部的具有彈性的部件，并可以變形，隨著所述上側(cè)以及下側(cè)加壓塊相互接近而夾持所述薄膜傳送帶，然后通過所述上側(cè)以及下側(cè)加壓塊的進(jìn)一步接近而對所述薄膜傳送帶施加向橫方向外方的力。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層壓裝置，其特征在于，安裝在所述上側(cè)加壓塊上的夾持部件，具有從所述上側(cè)加壓塊的兩端邊緣部向下方和向外方延伸的部分，安裝在所述下側(cè)加壓塊上的夾持部件，具有從所述下側(cè)加壓塊的兩端邊緣部向上方和向外方延伸的部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層壓裝置，其特征在于，所述夾持部件可由彈性材料制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的層壓裝置，其特征在于，由上側(cè)以及下側(cè)外殼部件構(gòu)成真空室，并將真空室配置在所述壓制部，該真空室，可通過使該上側(cè)以及下側(cè)外殼部件相互密封配合并排出內(nèi)部的氣體而得到減壓狀態(tài)，并可通過使該上側(cè)以及下側(cè)外殼部件相互分離來形成基板的出入口用的開口部，所述上側(cè)以及下側(cè)加壓塊被配置在所述真空室內(nèi)。
7.一種真空層壓裝置，是用于在基板上層壓、埋入薄膜狀材料，而且對基板上的薄膜狀材料實(shí)行平坦化的真空層壓裝置，其特征在于，具有真空室，其具有可相互密封配合以及分離的上側(cè)以及下側(cè)外殼部件；驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其用于使所述上側(cè)以及下側(cè)外殼部件相互密封配合以及分離；減壓機(jī)構(gòu)，其用于對被所述上側(cè)以及下側(cè)外殼部件圍住的、所述真空室內(nèi)的第1空間進(jìn)行減壓；基板運(yùn)送機(jī)構(gòu)，其具有被形成為可撓性的上下一對薄膜傳送帶、將在表面保持有薄膜狀材料的基板保持在其間并可沿長方向移動的上下一對薄膜傳送帶，用于通過使該一對薄膜傳送帶經(jīng)過形成于處于分離狀態(tài)的所述上側(cè)以及下側(cè)外殼部件間的開口部而移動、使所述基板相對于所述真空室運(yùn)入以及運(yùn)出；上側(cè)以及下側(cè)加壓部件，其被形成為設(shè)在所述真空室內(nèi)的上側(cè)以及下側(cè)加壓部件、并由用于通過所述一對薄膜傳送帶來夾持所述基板并加壓的加壓面為平滑的剛體所組成；驅(qū)動機(jī)構(gòu)，用于使該上側(cè)以及下側(cè)加壓部件之中至少一個(gè)接近以及離開另一個(gè)；加熱機(jī)構(gòu)，用于對所述基板以及所述薄膜狀材料加熱；封入機(jī)構(gòu)，其被形成為設(shè)在所述真空室內(nèi)的封入機(jī)構(gòu)、并用于通過在所述基板周圍使所述一對薄膜傳送帶相互緊密接觸而形成將所述基板封入在所述一對薄膜傳送帶之間的封閉空間；壓力差產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，其用于在所述真空室內(nèi)使所述封閉空間外部的壓力高于內(nèi)部的壓力。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空層壓裝置，其特征在于，用于使所述上側(cè)以及下側(cè)外殼部件相互密封配合以及分離的所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)、和用于使所述上側(cè)以及下側(cè)加壓部件之中至少一個(gè)接近以及離開另一個(gè)的所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)，是可分別獨(dú)立并動作的不同的機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空層壓裝置，其特征在于，所述密入機(jī)構(gòu)，包括用于從上下方向夾住所述一對薄膜傳送帶而使之相互緊密接觸的一對夾持機(jī)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空層壓裝置，其特征在于，在所述一對夾持機(jī)構(gòu)從上下方向夾住所述一對薄膜傳送帶時(shí)，該一對夾持機(jī)構(gòu)的至少一個(gè)對所述封閉空間內(nèi)的所述薄膜傳送帶整體施加向外的張力。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空層壓裝置，其特征在于，所述一對夾持機(jī)構(gòu)的一個(gè)，由具有彈性的部件構(gòu)成，所述一對夾持機(jī)構(gòu)的另一個(gè)，由與具有所述彈性的部件對向的面構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空層壓裝置，其特征在于，所述一對夾持機(jī)構(gòu)的雙方，都由具有彈性的部件構(gòu)成。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空層壓裝置，其特征在于，具有所述彈性的部件，被配置成能夠圍住所述基板的周圍的環(huán)狀，并且，具有朝向所述一對薄膜傳送帶并向外擴(kuò)張而延伸的部分。
14.根據(jù)權(quán)利要求9至13中任意一項(xiàng)所述的真空層壓裝置，其特征在于，所述一對夾持機(jī)構(gòu)之中的至少一個(gè)，設(shè)在所述上側(cè)或者下側(cè)加壓部件上。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的真空層壓裝置，其特征在于，可將所述一對夾持機(jī)構(gòu)之中的所述至少一個(gè)、和設(shè)有該至少一個(gè)夾持機(jī)構(gòu)的所述上側(cè)或下側(cè)加壓部件的所述加壓面、和由與該加壓面對向的所述薄膜傳送帶的外表面所圍成的第2空間、以及所述真空室內(nèi)的所述第1空間連通的通路，被設(shè)在設(shè)有所述至少一個(gè)夾持機(jī)構(gòu)的所述上側(cè)或下側(cè)加壓部件上。
16.一種真空層壓方法，是用于在基板上層壓、埋入薄膜狀材料，而且對基板上的薄膜狀材料實(shí)行平坦化的真空層壓方法，其特征在于，具有使薄膜狀材料重疊在基板上并臨時(shí)固定在該基板上的過程；將臨時(shí)固定有所述薄膜狀材料的所述基板保持在可撓性的上下一對薄膜傳送帶之間、通過使該一對薄膜傳送帶沿長方向移動而將所述基板運(yùn)送到規(guī)定位置的運(yùn)送過程；在所述規(guī)定位置、將所述基板的周圍環(huán)境壓力降低到規(guī)定壓力的過程；將所述薄膜狀材料和所述基板一起加熱到規(guī)定溫度的過程；在被減壓的環(huán)境中、通過在所述基板的周圍使所述上下一對薄膜傳送帶相互緊密接觸而形成所述基板被密入進(jìn)該上下一對薄膜傳送帶間的封閉空間的過程；通過使該封閉空間外部的壓力高于內(nèi)部壓力，利用所述上下一對薄膜傳送帶對臨時(shí)固定有所述薄膜狀材料的所述基板進(jìn)行加壓的過程；通過被形成為在所述基板的表面和背面分別對向設(shè)置的一對加壓部件、并由各加壓面為平滑的剛體組成的一對加壓部件，介由所述一對薄膜傳送帶夾持所述基板并加壓的過程。
17.如權(quán)利要求16所述的真空層壓方法，其特征在于，還具有在由所述可撓性的上下一對薄膜傳送帶對所述基板進(jìn)行加壓的所述過程、和通過由所述加壓面為平滑的剛體組成的所述一對加壓部件來對所述基板進(jìn)行加壓的所述過程之間，再次將所述封閉空間外部的壓力降低到規(guī)定壓力的過程。
全文摘要
一種層壓裝置以及層壓方法，層壓裝置包括基板運(yùn)送機(jī)構(gòu)?；暹\(yùn)送機(jī)構(gòu)具有上下一對薄膜傳送帶(7、8)。一對薄膜傳送帶(7、8)，將在表面保持有薄膜狀材料的基板8保持在其間并可沿長方向移動。一對薄膜傳送帶(7、8)，通過邊受到延長方向的張力邊移動，而將基板8相對于壓制部運(yùn)入以及運(yùn)出。層壓裝置，包括用于在壓制部挾持基板并加壓的上側(cè)以及下側(cè)加壓塊(10、11)。在各上側(cè)以及下側(cè)加壓塊(10、11)上，具有用于向一對薄膜傳送帶(7、8)施加沿橫方向的張力的張力施加機(jī)構(gòu)(24、25)。這種層壓裝置，使運(yùn)送基板的薄膜傳送帶的縱向皺折不妨礙基板上的薄膜狀材料的平整度。
文檔編號B29C43/22GK1526534SQ20041000707
公開日2004年9月8日 申請日期2004年2月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月4日
發(fā)明者三宅榮一, 三宅健 申請人:三榮技研股份有限公司