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一種新型光阻桶結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的制作方法

文檔序號(hào):12766428閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種新型光阻桶結(jié)構(gòu),桶頂部,桶身部和桶底部;在光阻桶的桶身部有底角開口,內(nèi)側(cè)桶壁為增加桶內(nèi)光阻流動(dòng)性的非圓柱形結(jié)構(gòu),上述結(jié)構(gòu)使得光阻在內(nèi)側(cè)桶壁的流動(dòng)性增加,有效地降低光阻粘壁聚集現(xiàn)象,避免光阻在使用過程中出現(xiàn)斷層或空穴,同時(shí),流動(dòng)性增加的殘余光阻不會(huì)粘附在內(nèi)側(cè)桶壁上,而是沿內(nèi)側(cè)底面經(jīng)底角開口進(jìn)行合并回收利用,提高操作的便捷性及殘留光阻利用率,避免浪費(fèi)。

技術(shù)研發(fā)人員:李志歡;劉學(xué)敏;雷洪偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼:201621399072
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.19
技術(shù)公布日:2017.06.30

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