激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)及激光裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于激光領(lǐng)域，具體涉及一種激光用光學(xué)片安裝結(jié)構(gòu)及激光裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]激光裝置包括激光源和把從激光源發(fā)出的激光集中到被加工產(chǎn)品上的集光光學(xué)元件，還有在激光源和集光光學(xué)元件之間的過(guò)濾器。在激光裝置中，光學(xué)元件(Mirror)，過(guò)濾器(Filter),波長(zhǎng)板(wave;plate)，偏光板(polarizer)，還有窗口(window)等直接暴露在激光下的光學(xué)元件，也就是光學(xué)元件暴露在高能量的激光下，使用壽命會(huì)受到影響。光學(xué)元件通過(guò)安裝結(jié)構(gòu)安裝在激光裝置上，此時(shí)不止要保證光路要很精密，在安裝到裝配設(shè)備上時(shí)也要保證沒(méi)有彎曲和變形。而現(xiàn)有的安裝結(jié)構(gòu)在安裝光學(xué)元件時(shí)在局部位置會(huì)發(fā)生彎曲或者變形，從而造成激光束特性的改變。使用這樣的激光束進(jìn)行加工很難得到帶有想要的形態(tài)和特性的光斑。所以要研發(fā)在固定時(shí)不會(huì)造成光學(xué)元件變形的裝配裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型要解決的問(wèn)題是:提供一種變形和彎曲較小的激光器件用激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)。
[0004]為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是:一種激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)，包括，底座，以及固定蓋，所述底座上設(shè)置有臺(tái)階型安裝部位，所述固定蓋能夠拆卸地固定于所述底座上，在本技術(shù)方案中，還包括第一緩沖片，第二緩沖片，所述激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)通過(guò)第一緩沖片與第二緩沖片將光學(xué)元件固定于底座上，所述第二緩沖片為與光學(xué)元件相接觸的柔性材料緩沖片，所述第一緩沖片為硬度高于所述第二緩沖片的硬度的緩沖片，所述固定蓋壓在所述第一緩沖片上。
[0005]光學(xué)元件被固定于第二緩沖片與臺(tái)階型安裝部位之間，用來(lái)分散固定蓋施加于光學(xué)元件上的作用力。
[0006]進(jìn)一步的，所述固定蓋為板彈簧式固定蓋，所述固定蓋具有壓設(shè)在所述的第一緩沖件上的板彈簧并采用螺絲固定于所述底座上。
[0007]進(jìn)一步的，所述固定蓋為螺紋式固定蓋，所述底座上設(shè)置有與所述固定蓋匹配的螺紋。
[0008]進(jìn)一步的，所述第一緩沖片為菱形或圓形，所述第二緩沖片為菱形或圓形。
[0009]進(jìn)一步的，所述底座上具有貫通孔，所述臺(tái)階型安裝部位圍設(shè)于所述貫通孔的周?chē)?br>[0010]進(jìn)一步的，所述的光學(xué)元件為鏡片、濾波器、波長(zhǎng)板、偏振鏡及透光板中的一種。
[0011]本實(shí)用新型解決的又一技術(shù)問(wèn)題是提供一種激光裝置。
[0012]為了解決上術(shù)技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的激光裝置，其包含有以上任一技術(shù)方案的激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)，還包括能夠產(chǎn)生激光的激光光源、將所述的激光光源發(fā)出的激光聚焦到被加工體上的光學(xué)鏡頭、設(shè)置于所述的激光光源與光學(xué)鏡頭之間的光路上的多個(gè)光學(xué)元件，每個(gè)所述光學(xué)元件通過(guò)所述激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)安裝固定。
[0013]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:固定光學(xué)元件時(shí)，光學(xué)元件受力均勻，從而使得變形和彎曲最小化，所以使通過(guò)光學(xué)元件入射的激光束的特性變化達(dá)到最小，以此較好的維持了激光束特性。并且使用壽命較長(zhǎng)。
【附圖說(shuō)明】
[0014]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述
[0015]圖1為本實(shí)用新型提供的激光裝置的大略構(gòu)成圖；
[0016]圖2為本激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)實(shí)施例一的立體示意圖；
[0017]圖3為本激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)實(shí)施例一的分解示意圖；
[0018]圖4為本激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)實(shí)施例二的分解示意圖；
[0019]圖5為本激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)實(shí)施例一的剖面示意圖；
[0020]圖6為本激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)實(shí)施例二的剖面示意圖；
[0021]其中:1:光路；10:激光源；30:光路變更部；31(32，33，34，35)、光學(xué)元件；40、掃描器；40a、X-掃描器；40b、Y-掃描器；50、加工工件；60、激光源控制器；70，700、激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)；71，710、底座；71a，710a、安裝部位；71b，710b、貫通孔；71c，710c、內(nèi)壁;71d、螺絲孔;711、螺紋;72、固定蓋;720a、外螺紋;720b、凹口 ;73、第一緩沖片；74、第二緩沖片；75、螺絲。
【具體實(shí)施方式】
[0022]實(shí)施例1:如圖2.3.5所示的激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)70，一種激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)，包括，底座71，以及固定蓋72，底座71中央有貫通孔71b，貫通孔71b上不的內(nèi)表面處光學(xué)元件的下面有臺(tái)階型的安裝部位71a，所述固定蓋72能夠拆卸地固定于所述底座71上，本實(shí)施中，采用螺絲75固定式，所述固定蓋72為板彈簧式固定蓋，并采用螺絲75固定于所述底座71上，所述固定蓋72具有壓設(shè)在所述的第一緩沖件73上的板彈簧72a。還包括第一緩沖片73，第二緩沖片74，所述激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)通過(guò)第一緩沖片73與第二緩沖片74將光學(xué)元件固定于底座71上，以上螺絲75穿過(guò)固定蓋72，通過(guò)底座71上的螺絲安裝孔安裝起來(lái)。
[0023]所述第二緩沖片74為與光學(xué)元件31相接觸的柔性材料緩沖片，所述第一緩沖片73為硬度高于所述第二緩沖片74的硬度的緩沖片，所述固定蓋72壓在所述第一緩沖片73上。所述第一緩沖片73為菱形或圓形，所述第二緩沖片74為菱形或圓形。所述底座71上具有貫通孔71b，所述臺(tái)階型安裝部位71a圍設(shè)于所述貫通孔71b的周?chē)?br>[0024]如圖1所示，使用以上激光用光學(xué)元件安裝結(jié)構(gòu)70的大概構(gòu)成圖。如圖1，包含了具備發(fā)射激光束的激光源10、使從激光源發(fā)出的激光束照射在被加工工件50光路變更部30、光路1、掃描器40，還有在控制以上光源的開(kāi)關(guān)的激光控制器60。光路變更部30即包各類(lèi)光學(xué)元件31，32，33，34，35。
[0025]掃描器40可以是電流掃描器，掃描器具有掃描器控制器。掃描器是由使激光分別向X方向和Y方向掃描。掃描器控制器包含分別驅(qū)動(dòng)X-掃描器40a和Y-掃描器40b的X-掃描器控制器和41a和Y-掃描器控制器41b。
[0026]光學(xué)元件