技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種氣浮真空吸附搬送裝置，該裝置包括：下工作平臺、上搬送工作平臺、四柱臺板間隙限位機(jī)構(gòu)、氣浮真空吸附交換搬送氣動控制系統(tǒng)；下工作平臺為工藝制程設(shè)備的工作平臺，配置運(yùn)動結(jié)構(gòu)、工藝制程功能機(jī)構(gòu)以及相關(guān)機(jī)架組成工藝制程設(shè)備；上搬送平臺為工藝制程設(shè)備上下料搬送設(shè)備的搬送工作平臺，配置相關(guān)運(yùn)動結(jié)構(gòu)組成自動搬送移載設(shè)備；四柱臺板間隙限位機(jī)構(gòu)與下工作平臺和上搬送平臺連接；氣浮真空吸附交換搬送氣動控制系統(tǒng)與下工作平臺和上搬送平臺連接。本發(fā)明使超薄玻璃基板類工件、超薄柔性顯示基板工藝制程上下料搬送中工件無變形，大幅度提高了良品率，從而能夠?qū)崿F(xiàn)大規(guī)模、自動化生產(chǎn)線制造。

技術(shù)研發(fā)人員：安志強(qiáng);田鵬明;張遼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京京城清達(dá)電子設(shè)備有限公司
文檔號碼：201610753607
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.29
技術(shù)公布日：2016.11.16