技術(shù)編號：11817129
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體微電子、平板顯示及光電子技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體微電子、平板顯示及光電子技術(shù)領(lǐng)域的工件搬送裝置。背景技術(shù)超薄玻璃0.1-1.5mm，極超薄玻璃＜0.1mm，超薄玻璃0.3-1.1mm通常用于液晶顯示LCD玻璃基板工件、有機(jī)發(fā)光顯示OLED玻璃基板工件和觸摸屏等工件，極超薄玻璃和聚酯薄膜0.03-0.2mm用于柔性顯示工件。2012年美國康寧公司生產(chǎn)出100μm可繞式屏幕玻璃，2013年德國肖特公司生產(chǎn)出25-100μm卷狀超薄玻璃，2014年日本旭硝子公司展...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。