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硬脆基板載具的定位架板的制作方法

文檔序號(hào):4152727閱讀:186來源:國知局
專利名稱:硬脆基板載具的定位架板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
硬脆基板載具的定位架板技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型有關(guān)于一種載具的定位架板,尤其是一種硬脆基板載具的定位架板, 可組裝成一個(gè)硬脆基板載具,并用以承載放置晶圓或玻璃基板等硬脆基板。
背景技術(shù)
[0002]請(qǐng)參閱圖1,中國臺(tái)灣公告第M385544號(hào)《卡匣改良結(jié)構(gòu)》專利案所揭示的現(xiàn)有硬脆基板載具9,該硬脆基板載具9包含兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的蓋板91、兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的定位架板92 及至少一個(gè)止擋件93。[0003]該二定位架板92設(shè)于該 二蓋板91之間,該至少一個(gè)止擋件93的兩端則可分別連接在該二蓋板91的未連接該二定位架板92的其中一端(依圖示而言即為“該二蓋板91的底端”),使該硬脆基板載具9得以保持固定形狀。同時(shí),該硬脆基板載具9還可以由該二蓋板91、二定位架板92及至少一個(gè)止擋件93共同圍設(shè)形成一容置空間R,以供容置對(duì)應(yīng)尺寸的硬脆基板(圖未繪示),且該容置空間R在與該至少一個(gè)止擋件93相對(duì)的一端形成一置入 Π O。[0004]其中,各該定位架板92設(shè)有數(shù)個(gè)定位片921,該數(shù)個(gè)定位片921平行于該二蓋板 91,且呈間隔設(shè)置,以于任兩個(gè)相鄰的定位片921之間形成一導(dǎo)槽T。此外,該二定位架板 92的數(shù)個(gè)定位片921呈相對(duì)設(shè)置,使該二定位架板92的各導(dǎo)槽T相對(duì)。[0005]據(jù)此,請(qǐng)配合參閱圖2,數(shù)個(gè)硬脆基板8可分別通過該置入口 0,并由各硬脆基板8 的兩側(cè)順著該二定位架板92上相對(duì)的導(dǎo)槽T導(dǎo)引,而插置入該容置空間R,直至硬脆基板的一端與該止擋件93接觸。[0006]然而,各硬脆基板8經(jīng)濕工藝處理后,需再進(jìn)行干燥程序的處理,故架設(shè)于該現(xiàn)有定位架板92上的硬脆基板,可隨著該硬脆基板載具9被送入一干燥設(shè)備中。此時(shí),各該硬脆基板8的兩側(cè)分別被夾設(shè)在各該定位架板92上相鄰的二定位片921之間,但整片定位片 921皆無設(shè)置通風(fēng)口 ;因此,如圖2所示,各硬脆基板8兩側(cè)的側(cè)端區(qū)段SI因被定位片921 所遮擋,使硬脆基板8無法全面性地均勻受風(fēng),縱使該硬脆基板8與定位片921之間存在有間隙,仍使得各硬脆基板8的側(cè)端區(qū)段SI的通風(fēng)效果,遠(yuǎn)不及于各硬脆基板8未被定位片 921遮擋的中間區(qū)段S2的通風(fēng)效果,從而影響硬脆基板8的干燥效率。實(shí)用新型內(nèi)容[0007]本實(shí)用新型的主要目的乃改善上述缺點(diǎn),以提供一種硬脆基板載具的定位架板, 其系能夠具有良好通風(fēng)效果。[0008]為達(dá)到前述目的,本實(shí)用新型所運(yùn)用的技術(shù)內(nèi)容包含有[0009]一種硬脆基板載具的定位架板,其包含一個(gè)架體;及數(shù)個(gè)定位單元,并排間隔設(shè)置于該架體,以于任兩個(gè)相鄰的定位單元之間形成一個(gè)導(dǎo)槽,各該定位單元具有至少一個(gè)肋片,該肋片設(shè)有至少一個(gè)呈貫穿狀的通風(fēng)口。[0010]本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,該架體可以包含兩個(gè)連結(jié)片及數(shù)個(gè)支撐體,該兩個(gè)連結(jié)片呈相對(duì)設(shè)置,各該支撐體的兩端分別連接至該兩個(gè)連結(jié)片。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,各該定位單元的肋片數(shù)量可以為數(shù)個(gè),且該數(shù)個(gè)肋片的端緣可以呈不連續(xù)設(shè)置,使任兩個(gè)相鄰肋片在各該支撐體處形成一個(gè)風(fēng)道。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,該風(fēng)道的寬度至少小于各該肋片的二分之一長度。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,各該肋片可以連接于任兩個(gè)相鄰的支撐體。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,各該肋片的端緣可以呈弧形。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,各該定位單元的肋片數(shù)量可以為數(shù)個(gè),且該數(shù)個(gè)肋片的端緣呈連續(xù)設(shè)置。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,各該定位單元設(shè)有至少一個(gè)凸部,所述凸部設(shè)在該定位單元的肋片的表面。也就是說各個(gè)定位單元在具有一個(gè)肋片時(shí),該肋片可以設(shè)有一個(gè)或數(shù)個(gè)凸部,若設(shè)有數(shù)個(gè)凸部,該數(shù)個(gè)凸部也不一定要位于同一個(gè)表面;或者,各個(gè)定位單元具有數(shù)個(gè)肋片時(shí),可以每個(gè)肋片都設(shè)有一個(gè)或數(shù)個(gè)凸部,或是只有其中幾個(gè)肋片設(shè)有凸部,而另外也可以有沒設(shè)置凸部的肋片。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,該凸部可以是由各該肋片的兩端向中間遞增厚度所形成。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,各該肋片的兩端可以分別向兩側(cè)隆起而形成一個(gè)凸部。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,各該定位單元的肋片數(shù)量可以為單一個(gè),該肋片跨接該數(shù)個(gè)支撐體。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,該肋片的兩端可以分別連接于間距最大的兩個(gè)支撐體。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,該至少一個(gè)通風(fēng)口可以沿該肋片的長軸方向呈連續(xù)分布。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,該至少一個(gè)通風(fēng)口的通風(fēng)面積至少大于該肋片總面積的三分之一。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,各該定位單元可以在該肋片的至少一個(gè)表面設(shè)有至少一個(gè)凸部。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,其中,該凸部可以是由各該肋片局部增加厚度所形成。本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果在于,本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,可使完成組裝的硬脆基板載具,能夠借助各定位單元的通風(fēng)口,使該定位架板可提供良好的通風(fēng)效果,具有提升各硬脆基板的干燥效率的功效。

圖1 :現(xiàn)有的硬脆基板載具的立體不意圖。圖2 :現(xiàn)有的硬脆基板載具的局部側(cè)首I]不意圖。[0028]圖3:本實(shí)用新型第一實(shí)施例的局部剖切立體圖。[0029]圖4:本實(shí)用新型第一實(shí)施例的側(cè)剖示意圖。[0030]圖5:圖4中5-5截線的剖視圖。[0031]圖6:本實(shí)用新型另一實(shí)施形態(tài)的側(cè)剖示意圖。[0032]圖7:圖6中7-7截線的剖視圖。[0033]圖8:本實(shí)用新型第二實(shí)施例的側(cè)剖示意圖。[0034]圖9:圖8中9-9截線的剖視圖。[0035]主要元件符號(hào)說明[0036]〔本實(shí)用新型〕[0037]I架體11連結(jié)片[0038]111結(jié)合部12支撐體[0039]2定位單元2,定位單元[0040]21肋片21,肋片[0041]211通風(fēng)口211’ 通風(fēng)口22凸部22,凸部[0043]22,,凸部[0044]3導(dǎo)槽[0045]4風(fēng)道[0046]G硬脆基板W覽度[0047]L長度D槽距[0048]SI側(cè)端區(qū)段S2中間區(qū)段[0049]〔現(xiàn)有技術(shù)〕[0050]8硬脆基板[0051]9硬脆基板載具91蓋板[0052]92定位架板921定位片[0053]93止擋件[0054]R容置空間O置入口[0055]T導(dǎo)槽SI側(cè)端區(qū)段[0056]S2中間區(qū)段。
具體實(shí)施方式
[0057]為讓本實(shí)用新型的上述及其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂,下文特舉本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例,并配合附圖,作詳細(xì)說明如下[0058]請(qǐng)參閱圖3,為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的局部剖切立體圖,在本實(shí)施例中,該硬脆基板載具的定位架板包含一架體I及數(shù)個(gè)定位單元2,該數(shù)個(gè)定位單元2并排間隔設(shè)置于該架體I。[0059]該架體I可以包含二連結(jié)片11及數(shù)個(gè)支撐體12 ;該二二連結(jié)片11呈相對(duì)設(shè)置,并可以設(shè)有數(shù)個(gè)結(jié)合部111,以將該定位架板結(jié)合于該硬脆基板載具的二蓋板(圖未繪示)之間。各該支撐體12則可呈長條形態(tài),各該支撐體12的兩端分別連接至該二連結(jié)片11,該數(shù)個(gè)支撐體12較佳可互呈平行地間隔排列設(shè)置于同一平面。該數(shù)個(gè)定位單元2系相互平行地并排間隔設(shè)置于該架體1,且各定位單元2具有至少一肋片21 ;在本實(shí)施例中,各定位單元2的肋片21數(shù)量為數(shù)個(gè),且可以選擇使各肋片21連接于任兩個(gè)相鄰的支撐體12。此外,該數(shù)個(gè)肋片21、支撐體12及該二連結(jié)片11可以選擇為一體成型制造,各該定位單元2的肋片21還可以朝正交于各該支撐體12的同一方向凸出。請(qǐng)配合參閱圖4,各定位單元2的各肋片21設(shè)有至少一呈貫穿狀的通風(fēng)口 211,且任兩個(gè)相鄰的定位單元2之間形成一導(dǎo)槽3 (如圖5所示),以導(dǎo)引并供一硬脆基板G插置,具有避免硬脆基板G錯(cuò)位插置的功效。在本實(shí)施例中,各該肋片21鄰近該支撐體12的端緣較佳呈弧形,以順暢導(dǎo)引液體。另,各定位單元2的數(shù)個(gè)肋片21端緣可以呈連續(xù)或不連續(xù)設(shè)置,當(dāng)該數(shù)個(gè)肋片21端緣呈不連續(xù)設(shè)置時(shí),任兩個(gè)相鄰肋片21在各該支撐體12處可形成一風(fēng)道4 ;其中,該風(fēng)道4的寬度W至少小于各肋片21的二分之一長度L,使插置于各導(dǎo)槽3中的硬脆基板G的受風(fēng)面積得以提升,同時(shí)仍可維持避免硬脆基板G錯(cuò)位插置。請(qǐng)參閱圖5,各定位單元2還可以在至少一肋片21的至少一表面設(shè)有至少一凸部22,使各該導(dǎo)槽3在該凸部22處的最小槽距D僅略大于硬脆基板G的厚度,以提供類似夾持的效果,使硬脆基板G可較穩(wěn)固地置放于該導(dǎo)槽3中;在如圖5所示的實(shí)施例中,該凸部22可以是由各該肋片21的兩端向中間遞增厚度所形成。請(qǐng)參閱圖6、7,在本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中,各該肋片21的兩端可分別向兩側(cè)隆起而形成該凸部22’ ;如此,相較于圖5所示的實(shí)施例,圖7所示的實(shí)施例可進(jìn)一步地提供更多夾持硬脆基板G的定位點(diǎn),據(jù)以更穩(wěn)固地將該硬脆基板G置放于該導(dǎo)槽3中。同時(shí),借助該凸部22’的設(shè)置,還能增加各該肋片21與對(duì)應(yīng)的支撐體12的結(jié)合面積,可增加該肋片21與支撐體12之間的結(jié)合強(qiáng)度。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3、4,據(jù)由前述結(jié)構(gòu),當(dāng)架設(shè)于該定位架板上的硬脆基板G被送入一干燥設(shè)備后,由該干燥設(shè)備產(chǎn)生的熱風(fēng),有部分可穿過各該導(dǎo)槽3而吹送在對(duì)應(yīng)的硬脆基板G表面,而硬脆基板G的側(cè)端區(qū)段SI,則因?yàn)楦鞫ㄎ粏卧?的肋片21設(shè)有通風(fēng)口 211,使硬脆基板G在側(cè)端區(qū)段SI的多數(shù)部分呈裸露態(tài),令部分的熱風(fēng)可貫穿流過各通風(fēng)口 211及流通于各風(fēng)道4,從而大幅地增加各硬脆基板G在側(cè)端區(qū)段SI處的受風(fēng)面積,使各硬脆基板G的側(cè)端區(qū)段SI處的通風(fēng)效果不亞于中間區(qū)段S2處;如此,各硬脆基板G能夠較全面性地均勻受風(fēng),從而提升各硬脆基板G的干燥效率。此外,本實(shí)用新型還可以借助端緣呈弧形的肋片21,使沾附在該定位架板的液體能連續(xù)且順暢地向下流動(dòng)排出,避免液體積聚而影響硬脆基板G局部的干燥效率。請(qǐng)參閱圖8,本實(shí)用新型的第二實(shí)施例大致上同于第一實(shí)施例,其差異僅在于第二實(shí)施例選擇將各定位單元2’的肋片21’數(shù)量設(shè)為單一個(gè),且較佳可如圖所示,使各肋片21’的兩端分別連接于該定位架板上間距最大的二支撐體12。而各肋片21’可以設(shè)有至少一呈貫穿狀的通風(fēng)口 211’,該至少一通風(fēng)口 211’可以沿該肋片21’的長軸方向呈連續(xù)分布,使該至少一通風(fēng)口 211’的通風(fēng)面積至少大于該肋片21’總面積的三分之一,在本實(shí)施例中,各肋片21’的通風(fēng)口 211’數(shù)量可選擇以單一個(gè)表示。請(qǐng)參閱圖9,該數(shù)個(gè)定位單元2’呈間隔設(shè)置,以于任兩個(gè)相鄰定位單元2’之間形成一導(dǎo)槽3,以導(dǎo)引并供一硬脆基板G插置,避免硬脆基板G錯(cuò)位插置。同樣地,各定位單元2’還可以在該肋片21’的至少一表面設(shè)有至少一凸部22”,使硬脆基板G可較穩(wěn)固地置放于該導(dǎo)槽3中;在本實(shí)施例中,該凸部22”可以是由各該肋片21’局部增加厚度所形成。 綜上所述,本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,可使完成
組裝的硬脆基板載具,能夠借助各定位單元的通風(fēng)口,使該定位架板可提供良好的通風(fēng)效果,具有提升各硬脆基板的干燥效率的功效。
權(quán)利要求1.一種硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,其包含一個(gè)架體;及數(shù)個(gè)定位單元,并排間隔設(shè)置于該架體,以于任兩個(gè)相鄰的定位單元之間形成一個(gè)導(dǎo)槽,各該定位單元具有至少一個(gè)肋片,該肋片設(shè)有至少一個(gè)呈貫穿狀的通風(fēng)口。
2.如權(quán)利要求1所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,該架體包含兩個(gè)連結(jié)片及數(shù)個(gè)支撐體,該兩個(gè)連結(jié)片呈相對(duì)設(shè)置,各該支撐體的兩端分別連接至該兩個(gè)連結(jié)片。
3.如權(quán)利要求2所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,各該定位單元的肋片數(shù)量為數(shù)個(gè),且該數(shù)個(gè)肋片的端緣呈不連續(xù)設(shè)置,使任兩個(gè)相鄰肋片在各該支撐體處形成一個(gè)風(fēng)道。
4.如權(quán)利要求3所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,該風(fēng)道的寬度至少小于各該肋片的二分之一長度。
5.如權(quán)利要求3所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,各該肋片連接于任兩個(gè)相鄰的支撐體。
6.如權(quán)利要求1所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,各該定位單元的肋片數(shù)量為數(shù)個(gè),且該數(shù)個(gè)肋片的端緣呈連續(xù)設(shè)置。
7.如權(quán)利要求1、2、3、4、5或6所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,各該肋片的端緣呈弧形。
8.如權(quán)利要求1、2、3、4、5或6所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,各該定位單元設(shè)有至少一個(gè)凸部,所述凸部設(shè)在該定位單元的肋片的表面。
9.如權(quán)利要求8所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,所述凸部是由各該肋片的兩端向中間遞增厚度所形成。
10.如權(quán)利要求1、2、3、4、5或6所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,各該肋片的兩端分別向兩側(cè)隆起而形成一個(gè)凸部。
11.如權(quán)利要求2所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,各該定位單元的肋片數(shù)量為一個(gè),且該肋片跨接該數(shù)個(gè)支撐體。
12.如權(quán)利要求11所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,該肋片的兩端分別連接于間距最大的兩個(gè)支撐體。
13.如權(quán)利要求12所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,該至少一個(gè)通風(fēng)口沿該肋片的長軸方向呈連續(xù)分布。
14.如權(quán)利要求13所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,該至少一個(gè)通風(fēng)口的通風(fēng)面積至少大于該肋片總面積的三分之一。
15.如權(quán)利要求11、12、13或14所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,各該定位單元在該肋片的至少一個(gè)表面設(shè)有至少一個(gè)凸部。
16.如權(quán)利要求15所述的硬脆基板載具的定位架板,其特征在于,該凸部是由各該肋片局部增加厚度所形成。
專利摘要一種硬脆基板載具的定位架板,包含一個(gè)架體;及數(shù)個(gè)定位單元,并排間隔設(shè)置于該架體,以于任兩個(gè)相鄰的定位單元之間形成一個(gè)導(dǎo)槽,各該定位單元具有至少一個(gè)肋片,該肋片設(shè)有至少一個(gè)呈貫穿狀的通風(fēng)口。本實(shí)用新型的硬脆基板載具的定位架板,可使完成組裝的硬脆基板載具,能夠借助各定位單元的通風(fēng)口,使該定位架板可提供良好的通風(fēng)效果,具有提升各硬脆基板的干燥效率的功效。
文檔編號(hào)B65D25/10GK202828460SQ20122039828
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月29日
發(fā)明者李耀恭 申請(qǐng)人:李耀恭
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