專利名稱：基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶基板的基板粘合系統(tǒng)，特別涉及縮短至粘合完成的時間，并且極力減少了系統(tǒng)中的利用機器人的基板交接作業(yè)的基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法。
背景技術(shù)：
在液晶顯示面板的制造中，有如下工序以幾μπι左右的極其接近的間隔，用基板的周緣部中設(shè)置的粘接劑(以下，還稱為密封劑)，粘合設(shè)置了透明電極、薄膜晶體管陣列的兩張玻璃基板(以下，將粘合后的基板稱為液晶顯示面板)，在由此形成的基板之間的空間中封入液晶。在該液晶的封入中，有以不設(shè)置注入口的方式在描繪出密接了密封劑的圖案的一個的基板上滴下液晶，并在真空腔內(nèi)將另一個的基板配置在該一個的基板上，使這上下的基板接近而粘合的方法等。作為上述液晶基板的粘合方法的一個以往方法，已知為了向真空腔內(nèi)送入送出基板而設(shè)置預(yù)備室，使真空腔內(nèi)成為與預(yù)備室相同的氣氛而進行基板的送入送出的方法(例如，參照專利文獻1)。在該專利文獻1中，還公開了將上基板和下基板載置到輸送夾具，并在輸送機上從預(yù)備室向粘合室輸送的技術(shù)。另外，作為其他以往例，已知如下系統(tǒng)將下基板從第1裝載室經(jīng)由間隔件散布裝置、封入材料涂敷裝置、液晶注入裝置以及第1預(yù)備排隊裝置輸送到裝配裝置，將上基板從第2裝載室經(jīng)由第2預(yù)備排隊室以及預(yù)備室輸送到同一裝配裝置，在裝配裝置中使這兩張基板粘合之后，經(jīng)由封入材料硬化裝置、熱處理裝置以及基板切斷裝置將該粘合后的基板輸送到卸載裝置(例如，參照專利文獻2)。進而，作為其他以往例，提出了具備機械性地進行基板的定位、傾斜的校正的機構(gòu)的印刷基板輸送輸送機(例如，參照專利文獻3)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻1 日本特開2001-305563號公報專利文獻2 日本特開2003-15101號公報專利文獻3 日本特開平10-310220號公報

發(fā)明內(nèi)容
在上述專利文獻1記載的技術(shù)中，在液晶基板組裝系統(tǒng)中，在向用于粘合基板的粘合室(真空腔)送入送出基板時，為了使粘合室內(nèi)成為與預(yù)備室相同的氣氛，使粘合室內(nèi)始終保持真空狀態(tài)，向該粘合室的一側(cè)中設(shè)置的一個預(yù)備室內(nèi)以大氣狀態(tài)送入要粘合的兩張基板，如果送入結(jié)束，則使該預(yù)備室成為真空狀態(tài)，將這兩張基板從該預(yù)備室輸送到粘合室內(nèi)。在粘合室中，將這些基板保持于上平臺和下平臺，使上平臺下降到在下平臺中保持的下基板上，從而粘合這上下兩張基板。如果在粘合室中這兩張基板的粘合結(jié)束，則該粘合后的基板從該粘合室的另一側(cè)中設(shè)置的另一個預(yù)備室排出。專利文獻1記載的裝置由于成為上述結(jié)構(gòu)，所以裝置成為長的構(gòu)造，其中需要大的設(shè)置面積。另外，由于需要使各個預(yù)備室、粘合室成為真空狀態(tài)，所以需要配置專用的裝置， 而且，到真空狀態(tài)之前要花費時間而難以縮短節(jié)拍時間。進而，在上述專利文獻1中，沒有記載任何與其前工序的關(guān)系。進而，由于在從預(yù)備室向粘合室輸送上下基板的輸送中使用了輸送夾具，所以還有在向輸送夾具交接基板的交接等中要花費時間這樣的課題。另外， 在上述專利文獻2中，僅記載了在各裝置間通過移動單元使基板移動的內(nèi)容，但沒有公開使用什么樣的輸送單元來輸送基板而交接到各裝置的內(nèi)容。但是，在通過輥式輸送機方式來輸送基板的情況下，在輥式輸送機上載置基盤時， 有時由于輥式輸送機的緊急停止等，輸送中的基板相對其輸送方向傾斜某一角度。在上述專利文獻3中，記載了校正基板的傾斜的方法，但在利用該方法來進行基板的傾斜校正的情況下，使基板停止到規(guī)定位置，然后，從旁邊按壓所停止的基板而消除其傾斜，所以在傾斜的校正中花費時間，且需要用于進行上述動作的各個機械機構(gòu)，存在裝置大型化這樣的問題。本發(fā)明的目的在于提供一種解決上述問題的基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法，能夠在使該基板移動著的狀態(tài)下進行基板的傾斜校正，能夠縮短傾斜校正所需的時間， 并且能夠?qū)崿F(xiàn)裝置整體的小型化，能夠以沒有傾斜的狀態(tài)，將基板輸送到輸送目的地的機構(gòu)部。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種基板輸送裝置，具有相對基板的輸送方向在左右方向上配置左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機而成的輸送機，通過驅(qū)動左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機，以穩(wěn)定速度輸送基板，其特征在于，設(shè)置有基板檢測傳感器，在與基板的輸送方向垂直的方向上隔開間隔而配置在左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機中，對所輸送的基板進行檢測；以及控制單元，根據(jù)通過左側(cè)輸送機的基板檢測傳感器和右側(cè)輸送機的基板檢測傳感器檢測到的基板的檢測定時的時間差，求出所輸送的基板相對其輸送方向的傾斜角，根據(jù)傾斜角，使基于左側(cè)輸送機的基板的輸送速度和基于右側(cè)輸送機的基板的輸送速度不同，其中，使基于左側(cè)輸送機的基板的輸送速度和基于右側(cè)輸送機的基板的輸送速度不同，而使基板在左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機的面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，從而校正基板的傾斜。另外，輸送機在基板的輸送方向上排列由左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機構(gòu)成的多個區(qū)間輸送機而成，針對每個區(qū)間輸送機，檢測基板的傾斜角，根據(jù)所檢測出的傾斜角使基板旋轉(zhuǎn)，從而校正基板的傾斜。另外，在輸送機中，通過使右側(cè)輸送機和左側(cè)輸送機中的某一個增速，使以穩(wěn)定速度輸送的基板的一個邊部側(cè)的移動速度成為比穩(wěn)定速度快的速度或者慢的速度而移動，使基板旋轉(zhuǎn)。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種輸送機中的基板的傾斜校正方法，在該輸送機中，相對基板的輸送方向在左右方向上配置了左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機，通過驅(qū)動左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機，以穩(wěn)定速度輸送基板，其特征在于，通過在左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機中相互相對基板的輸送方向垂直的方向上配置的基板檢測傳感器來檢測基板，從而根據(jù)其檢測結(jié)果來檢測基板的傾斜，根據(jù)所檢測出的基板的傾斜，使基于左側(cè)輸送機的基板的移動速度和基于右側(cè)輸送機的基板的移動速度不同，一邊在左側(cè)輸送機、右側(cè)輸送機上以穩(wěn)定速度輸送基板，一邊使基板旋轉(zhuǎn)，來校正基板的傾斜。另外，在本發(fā)明中，輸送機在基板的輸送方向上排列由左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機構(gòu)成的多個區(qū)間輸送機而成，針對每個區(qū)間輸送機，檢測基板的傾斜角，根據(jù)所檢測出的傾斜角，一邊以穩(wěn)定速度輸送基板，一邊使基板旋轉(zhuǎn)，從而校正基板的傾斜。另外，在本發(fā)明中，在輸送機中，通過使右側(cè)輸送機和左側(cè)輸送機中的某一方增速，使以穩(wěn)定速度輸送的基板的一方的邊部側(cè)的移動速度成為比穩(wěn)定速度快的速度或者慢的速度而移動，使基板旋轉(zhuǎn)。根據(jù)本發(fā)明，從涂敷用于基板粘合的密封劑的涂敷裝置開始大致串行地配置粘合裝置、密封劑硬化裝置(紫外線照射裝置)等，并且在下基板、粘合完成后的液晶面板的輸送中使用左右獨立驅(qū)動方式的輥式輸送機來輸送，能夠在各裝置的近前校正基板的傾斜， 并且能夠向粘合裝置、粘合室同時送入上下基板，所以能夠大幅縮短液晶面板的制造時間， 并且在裝置近前進行基板的傾斜校正，所以涂敷、粘合精度大幅提高。


圖1是示出具備本發(fā)明的基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法的液晶面板組裝系統(tǒng)的整體配置的俯視圖。圖2是示出圖1所示的液晶面板組裝系統(tǒng)中的本發(fā)明的基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法的一個實施方式的概略結(jié)構(gòu)圖。圖3是示出圖1所示的液晶面板組裝系統(tǒng)中的本發(fā)明的基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法的其他實施方式的概略結(jié)構(gòu)圖。圖4是示出圖1中的基板粘合室的一個具體例和該基板粘合室中的從前處理室送入基板以及向后處理室送出基板的動作的縱剖面圖。(符號說明)1 下基板；2 上基板；3 基板送入機器人；4 排隊機構(gòu)；5 第1輸送線路(內(nèi)線路)；5L 左側(cè)輥式輸送機；5R 右側(cè)輥式輸送機；6 第2輸送線路(外線路)；7 膏涂敷機 (密封劑分配器)；8 短路用電極形成用涂敷機；9 液晶滴下裝置；10 第1檢查室；11 基板反轉(zhuǎn)裝置；12 移載室；13 機器手；14 前處理室；15 基板粘合室(真空腔)；16 后處理室；17:紫外線照射室；18:第2檢查室(面板檢查室)；19:粘合基板(液晶面板)；20 第3 輸送線路；21a、21b、21al 21a3、21bl 2Ib3 輥子；22a,22b,22al 22a2、22bl 22b3 動力傳達(dá)軸；23a、23b、23al 23a3、23bl 23bs 驅(qū)動馬達(dá)；24a、24b、24al 24a3、24bl 24b3 基板檢測傳感器；25i 2 區(qū)間輥式輸送機；26 輸送機伸縮機構(gòu)；27 輥式輸送機；28 機器手； 29 手指部；30 吸盤；31 上平臺；32 粘附引腳；33 閘閥；34 下平臺；35 基板交接用的輥式輸送機；36 閘閥；37 輸送機伸縮機構(gòu)；38 輥式輸送機。
具體實施例方式以下，根據(jù)

本發(fā)明的實施方式。圖1是示出具備本發(fā)明的基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法的液晶面板組裝系統(tǒng)的整體配置的俯視圖，1是下基板、2是上基板、3是基板送入機器人、4是排隊機構(gòu)、5是第1輸送線路(內(nèi)線路)、6是第2輸送線路(外線路)、7是膏涂敷機(密封劑分配器)、8是短路用電極形成用涂敷機、9是液晶滴下裝置、10是第1檢查室、11是基板反轉(zhuǎn)裝置、12 是移載室、13是機器手、14是前處理室、15是基板粘合室(真空腔)、16是后處理室、17是紫外線照射室、18是第2檢查室(面板檢查室)、19是粘合基板(液晶面板)、20是第3輸送線路。在該圖中，設(shè)置有輸送下基板1的第1輸送線路(內(nèi)線路)5 ；以及輸送形成有 TFT (Thin Film Transistor 薄膜晶體管)等的上基板2的第2輸送線路(外線路)6。輸送洗凈后的上 基板2以及下基板1的第1輸送線路5以及第2輸送線路6由在輸送方向上排列了1列輥子而成的輥式輸送機或者帶輸送機構(gòu)成。兩個輥式輸送機或者帶輸送機相對基板的移動方向在左右方向上分開而配置，分別構(gòu)成為能夠通過各自的驅(qū)動機構(gòu)獨立地進行驅(qū)動控制。以下，通過由輥式輸送機構(gòu)成的情況來說明。上下基板1、2在輥式輸送機上分別被輸送。在第1輸送線路5的近前，設(shè)置有將洗凈后的下基板1送入到該系統(tǒng)的基板送入機器人3 ；以及用于從基板送入機器人3使下基板1排隊的排隊機構(gòu)4。從排隊機構(gòu)4向第 1輸送線路5交接下基板1，在第1輸送線路5上，下基板1使其粘合面朝上而在箭頭方向上移動。在該第1輸送線路5的途中，設(shè)置有在下基板1上環(huán)狀(閉環(huán)狀)地涂敷密封劑 (粘接劑)的膏涂敷機(密封劑分配器)7。與該膏涂敷機7串行(即，下游側(cè))地，配置了點狀地涂敷導(dǎo)電性膏的短路用電極形成用涂敷機8。進而，在該短路用電極形成用涂敷機8的下游側(cè)，配置有在如上所述進行了涂敷的密封劑的環(huán)內(nèi)滴下期望量的液晶的液晶滴下裝置9。在該液晶滴下裝置9的下游側(cè)，配置有對所涂敷的密封劑、所滴下的液晶等的狀態(tài)進行檢查的第1檢查室10。在該第1檢查室 10中檢查了的下基板1通過移載室12中設(shè)置的機器手13，交接到在前處理室14與第2檢查室18之間設(shè)置的第3輸送線路20。該第3輸送線路20也由輥式輸送機形成。通過該第 3輸送線路20，首先，下基板1被送入到基板送入側(cè)的前處理室14內(nèi)。進而，由第2輸送線路6輸送來的上基板2在由基板反轉(zhuǎn)裝置11進行表背反轉(zhuǎn)之后，由移載室12中設(shè)置的機器手13，送入到前處理室14內(nèi)。另外，在前處理室14中，也設(shè)置有保持上基板2而送入到基板粘合室(真空腔)15中的機器手(未圖示)；以及輸送下基板1的輥式輸送機(未圖示)。另外，在該前處理室14中，設(shè)置有使輥式輸送機伸縮的輸送機伸縮機構(gòu)(未圖示)，如果在前處理室14 與基板粘合室15之間設(shè)置的閘閥(未圖示)打開，則通過該輸送機伸縮機構(gòu)，輥式輸送機能夠越過間閥而與基板粘合室15的輥式輸送機連接。如果上下兩個基板1、2被送入到前處理室14，則前處理室14的基板送入側(cè)的入口中設(shè)置的閘閥(未圖示)關(guān)閉，前處理室14內(nèi)通過未圖示的真空泵，排氣直至變?yōu)橐?guī)定的真空度(150Τοπ·左右以下，將其稱為半真空)。如果前處理室14內(nèi)變?yōu)榘胝婵盏臓顟B(tài)，則與基板粘合室15之間的閘閥打開，輥式輸送機通過輸送機伸縮機構(gòu)延伸到基板粘合室15 側(cè)而與基板粘合室15的輥式輸送機連接。下基板1在該輥式輸送機上移動而被送入到基板粘合室15內(nèi)，并且，通過機器手，上基板2被送入到基板粘合室15內(nèi)。此時，基板粘合室 15內(nèi)成為半真空狀態(tài)。在該前處理室14中，設(shè)置有接收下基板1而將其輸送到基板粘合室15的下平臺的成為第3輸送線路20的輥式輸送機；以及用于接收上基板2而將其交接到基板粘合室15的上平臺(加壓板)31(圖4)的機器手28 (圖4)。另外，在后面詳述基板粘合室15中的基板1、2的接收。如果基板粘合室15中的兩個基板1、2的交接結(jié)束，并在其上下兩平臺46、47(圖 4)中分別保持了該上下基板1、2，則從前處理室14延伸的輥式輸送機收縮到前處理室14 內(nèi)，上述閘閥關(guān)閉。之后，基板粘合室15內(nèi)排氣直至變?yōu)楦哒婵?約5X I(T3Torr)。之后， 一邊進行上下兩個基板1、2的對位，一邊使上平臺下降而將上基板2粘合到下基板1。如果該粘合結(jié)束，則基板粘合室15內(nèi)恢復(fù)到半真空，基板粘合室15與后處理室16之間的閘閥 (未圖示)打開。此時，后處理室16成為半真空的狀態(tài)。在后處理室16中，也設(shè)置有輸送機伸縮機構(gòu)(未圖示)，如果與基板粘合室15之間的閘閥打開，則后處理室16中設(shè)置的該輸送機伸縮機構(gòu)進行動作，輥式輸送機從后處理室16延伸而與基板粘合室15的輥式輸送機連接，向后處理室16送入粘合上下基板1、2而成的粘合基板(即，液晶面板)19。如果向后處理室16送入了粘合基板19，則輥式輸送機收縮到后處理室16內(nèi)，后處理室16與基板粘合室15之間的閘閥關(guān)閉，而使后處理室16內(nèi)成為大氣狀態(tài)。如果后處理室16內(nèi)成為大氣狀態(tài)，則后處理室16與紫外線照射室17之間的閘閥(未圖示)打開，通過后處理室16中設(shè)置的輸送機伸縮機構(gòu)(未圖示)，與紫外線照射室17的輥式輸送機連接。之后，在上述輥式輸送機上向紫外線照射室17內(nèi)送入液晶面板19，在此對密封劑照射紫外線而使密封劑硬化。如果密封劑的硬化完成，則在輥式輸送機上輸送液晶面板19，輸送到第2檢查室(面板檢查室)18而進行其檢查。這樣，大致直線狀地排列各處理室14 18，在一部分中使用機器手，但由于設(shè)成大致整體地在基板的輸送中使用輥式輸送機的結(jié)構(gòu)，所以能夠?qū)⒀b置的設(shè)置面積抑制為最小限。另外，通過以上的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)制造液晶面板19，但在該液晶基板粘合系統(tǒng)中，基板 1、2的輸送大部分由輥式輸送機來進行，所以與以往的利用機器手的輸送相比，上下基板 1、2關(guān)于其輸送方向順時針方向或者逆時針方向旋轉(zhuǎn)而傾斜，有可能使對位的精度降低。因此，需要防止在輸送路徑上停止的情況下產(chǎn)生的基板的位置偏移，而在各處理裝置中交接上下基板1、2時設(shè)成沒有位置偏移的狀態(tài)。因此，在該實施方式中，配置有用于在第1輸送線路5、第2輸送線路6的輥式輸送機中的向各處理部交接上下基板1、2之前，進行對位 (即，檢測上下基板1、2的旋轉(zhuǎn)(傾斜)，并校正其傾斜)的檢測傳感器。圖2是示出圖1所示的液晶面板組裝系統(tǒng)中的本發(fā)明的基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法的一個實施方式的概略結(jié)構(gòu)圖，該圖(a)示出基板(此處，以下基板1為例)以正常的姿勢輸送的狀態(tài)，該圖(b)示出基板以旋轉(zhuǎn)(傾斜)后的狀態(tài)輸送的狀態(tài)，5L是左側(cè)輥式輸送機、5R是右側(cè)輥式輸送機、21a、21b是輥子、2h、22b是動力傳達(dá)軸、23a、2;3b是驅(qū)動馬達(dá)、2^、24b是基板檢測傳感器，對與前圖對應(yīng)的部分附加同一符號而省略重復(fù)的說明。此處，說明了第1輸送線路5，但對于第2輸送線路，也是同樣的。另外，此處，說明了下基板1，但對于上基板2，也是同樣的。在該圖中，在由輥式輸送機構(gòu)成的第1輸送線路5中，在其左右分別配置了輥子 21a、21b的列，經(jīng)由動力傳達(dá)軸2h、22b分別與用于驅(qū)動左右的輥子21a、21b的驅(qū)動馬達(dá) 23a,23b連接。驅(qū)動馬達(dá)23a、23b的驅(qū)動力經(jīng)由動力傳達(dá)軸22a、22b傳達(dá)到輥子21a、21b， 由此，輥子21a、21b被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。通過在這些輥子21a、21b上載置了下基板1的狀態(tài)下對這些輥子21a、21b進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，向箭頭方向輸送下基板1。
此處，輥子21a的列、驅(qū)動馬達(dá)23a以及動力傳達(dá)軸22a形成左側(cè)輥式輸送機5L， 輥子21b的列、驅(qū)動馬達(dá)23b、以及動力傳達(dá)軸22b形成右側(cè)輥式輸送機5R，左側(cè)輥式輸送機5L相對于下基板1的輸送方向(用空白箭頭表示)配置在左側(cè)、右側(cè)輥式輸送機5R同樣地配置在右側(cè)，并且以在左側(cè)輥式輸送機5L的輥子21a的列上載置下基板1的左側(cè)邊部、 在右側(cè)輥式輸送機5R的輥子21b的列上載置下基板1的右側(cè)邊部而輸送該下基板1的方式，保持了左側(cè)輥式輸送機5L與右側(cè)輥式輸送機5R的間隔。在使用由上述左側(cè)輥式輸送機5L和右側(cè)輥式輸送機5R構(gòu)成的輥式輸送機的第1 輸送線路5中，在相對于輸送方向為直角的方向(左右方向)上，配置了對下基板1的左右兩邊部的通過進行檢測的基板檢測傳感器24a、24b。如果下基板1被輸送到膏涂敷機7 (圖 1)的平臺(未圖示)的近前，則通過該第1輸送線路5中設(shè)置的基板檢測傳感器24a、24b 檢測該下基板1的左右兩邊部(另外，在圖2中，示出下基板1通過了基板檢測傳感器24a、 24b之后的狀態(tài))。如果左右各個側(cè)的基板檢測傳感器24a、24b中的某一個檢測到下基板 1的邊部，則未圖示的控制單元進行控制，以使所檢測到的一側(cè)的驅(qū)動馬達(dá)23a或者23b停止。如圖2(a)所示，在基板檢測傳感器24a、24b同時檢測到下基板1的各個邊部的前端時，控制單元判定為以沒有傾斜的正確的狀態(tài)輸送了下基板1，對驅(qū)動馬達(dá)23a、23b保持原樣地進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動而輸送下基板1。因此，如果如圖2(b)所示，下基板1從行進方向觀察(以下，同樣)向逆時針旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)(傾斜)地被輸送(即，與右邊部側(cè)相比更慢地輸送下基板1的左邊部側(cè))，則左側(cè)輥式輸送機5L和右側(cè)輥式輸送機5R中配置的基板檢測傳感器24a、24b不會同時檢測到下基板1，而首先，右側(cè)輥式輸送機5R的基板檢測傳感器24b (以下，稱為右側(cè)的基板檢測傳感器24b)檢測到下基板1，接下來，左側(cè)輥式輸送機5L的基板檢測傳感器24a(以下，稱為左側(cè)的基板檢測傳感器24a)檢測到下基板1，但從右側(cè)的基板檢測傳感器24b檢測到下基板1后直到左側(cè)的基板檢測傳感器24a檢測到下基板1期間，保持不變地維持此時的移動速度(以下，將其稱為穩(wěn)定速度)而輸送下基板1。之后，如果左側(cè)的基板檢測傳感器24a 檢測到下基板1，則使左側(cè)的驅(qū)動馬達(dá)23a增速而以比右邊部側(cè)(S卩，比穩(wěn)定速度)更快的移動速度(以下，將其稱為傾斜校正速度)輸送下基板1的左邊部側(cè)。由此，下基板1 一邊輸送一邊順時針方向旋轉(zhuǎn)，該下基板1的傾斜得到校正。這樣，為了校正下基板1的傾斜，通過未圖示的控制部，求出從右側(cè)的基板檢測傳感器24b檢測到下基板1的右邊部側(cè)之后直至左側(cè)的基板檢測傳感器24a檢測到下基板1 的左邊部側(cè)為止的時間，根據(jù)上述時間求出下基板1的傾斜方向和傾斜量，根據(jù)它們求出將用于在移動了預(yù)定的規(guī)定距離時校正上述下基板1的傾斜的下基板1的移動速度，而作為傾斜校正速度，以按照該傾斜校正速度使下基板1的左邊部移動的方式，設(shè)定左側(cè)的驅(qū)動馬達(dá)23a的旋轉(zhuǎn)速度。由此，下基板1的左邊部以該傾斜校正速度移動，但下基板1的右邊部以穩(wěn)定速度移動，所以下基板1 一邊輸送一邊順時針方向旋轉(zhuǎn)，從而校正由于逆時針方向的旋轉(zhuǎn)引起的傾斜。這樣，在輥式輸送機上，無需使下基板1的輸送停止，而能夠進行該下基板1的傾斜校正，因此，無需在圖1中的膏涂敷機7、液晶滴下裝置9、基板粘合裝置15等的平臺中載置了下基板1時進行下基板的對位，能夠縮短作業(yè)時間。另外，在上述各裝置中，設(shè)置了用于進行各自的處理的平臺，在各平臺中，為了規(guī)定下基板1的停止位置，而具備基板定位機構(gòu)。該定位機構(gòu)由相對基板輸送方向在直角方向上規(guī)定下基板1的左右兩邊部側(cè)的行進的上下動作的兩根規(guī)制引腳構(gòu)成。如果下基板1 在輥式輸送機上輸送到裝置內(nèi)，則該規(guī)制引腳以使下基板1的移動停止的方式突出至輥式輸送機之上，停止該下基板1的行進。圖3是示出圖1所示的液晶面板組裝系統(tǒng)中的本發(fā)明的基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法的其他實施方式的概略結(jié)構(gòu)圖，該圖(a)示出了基板(此處，以下基板1為例子)從傾斜姿勢向正常的姿勢校正了傾斜的過程，該圖(b)示出下基板1的移動速度的變化，21al 21a3、21bl 2Ib3 是輥子、22al 22a2、22bl 22b3 是動力傳達(dá)軸、23al 23a3、23bl 23bs是驅(qū)動馬達(dá)、24al 24a3、24bl 24b3是基板檢測傳感器、25工 2 是區(qū)間輥式輸送機， 對與前圖對應(yīng)的部分附加同一符號而省略重復(fù)的說明。此處，說明了第1輸送線路5，但對于第2輸送線路，也是同樣的。另外，此處，說明了下基板1，但對于上基板2，也是同樣的。在圖2所示的實施方式中，在輥式輸送機的1個部位配置了基板檢測傳感器Ma、 Mb，但在圖3所示的該實施方式中，在裝置間的基板輸送路徑的距離長的情況下，將輸送路徑在其輸送方向上分成多個區(qū)間，并針對各個區(qū)間的每一個配置輥式輸送機(此處，配置了 3個區(qū)間輥式輸送機25i 253，但不限于此)，以能夠針對每個區(qū)間輥式輸送機使輸送速度可變的方式，設(shè)置了驅(qū)動裝置。在圖3(a)中，在該實施方式中，將裝置間的距離長的下基板1的輸送路徑分成3 個區(qū)間，并針對每個區(qū)間分別配置了由左側(cè)輥式輸送機和右側(cè)輥式輸送機構(gòu)成的區(qū)間輥式輸送機25i、252、2\。另外，在各個區(qū)間輥式輸送機25i、252、2 中，在其左側(cè)的輥式輸送機 (即，左側(cè)輥式輸送機)的始端側(cè)設(shè)置了基板檢測傳感器Mal、Ma2、Ma3，在其右側(cè)的輥式輸送機(即，右側(cè)輥式輸送機)的始端側(cè)設(shè)置了基板檢測傳感器24bl、2ba2、24b3。下基板1以一定的穩(wěn)定速度在這些區(qū)間輥式輸送機25^2 ^ 上輸送，但如果在下基板1中存在傾斜，則在區(qū)間輥式輸送機25i中，由基板檢測傳感器Mal、24bl檢測其傾斜，在區(qū)間輥式輸送機2 中，由基板檢測傳感器Ma2、24b2檢測其傾斜，在區(qū)間輥式輸送機2 中，由基板檢測傳感器Ma3、24b3檢測其傾斜，從而該下基板1的傾斜在由區(qū)間輥式輸送機25^25^2 輸送時被校正。此處，區(qū)間輥式輸送機25i包括由在下基板1的輸送方向上排列的輥子21al的列、驅(qū)動馬達(dá)23al、和將該驅(qū)動馬達(dá)23al的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力傳達(dá)到各個輥子21al的動力傳達(dá)軸 22al構(gòu)成的左側(cè)輥式輸送機；以及由在下基板1的輸送方向上排列的輥子21bl的列、驅(qū)動馬達(dá)23bl、和將該驅(qū)動馬達(dá)23bl的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力傳達(dá)到各個輥子21bl的動力傳達(dá)軸22bl構(gòu)成的右側(cè)輥式輸送機，區(qū)間輥式輸送機252也同樣地，包括由在下基板1的輸送方向上排列的輥子21a2的列、驅(qū)動馬達(dá)23a2、和將該驅(qū)動馬達(dá)23a2的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力傳達(dá)到各個輥子21a2的動力傳達(dá)軸22a2構(gòu)成的左側(cè)輥式輸送機；以及由在下基板1的輸送方向上排列的輥子21b2 的列、驅(qū)動馬達(dá)23b2、和將該驅(qū)動馬達(dá)23b2的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力傳達(dá)到各個輥子21b2的動力傳達(dá)軸 22b2構(gòu)成的右側(cè)輥式輸送機，區(qū)間輥式輸送機2 也同樣地，包括由在下基板1的輸送方向上排列的輥子21a3的列、驅(qū)動馬達(dá)23a3、和將該驅(qū)動馬達(dá)23a3的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力傳達(dá)到各個輥子 21a3的動力傳達(dá)軸22a3構(gòu)成的左側(cè)輥式輸送機；以及由在下基板1的輸送方向上排列的輥子21b3的列、驅(qū)動馬達(dá)23b3、和將該驅(qū)動馬達(dá)23b3的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力傳達(dá)到各個輥子21b3的動力傳達(dá)軸22b3構(gòu)成的右側(cè)輥式輸送機。
接下來，使用圖3(b)，說明該實施方式的動作。下基板1如圖所示，以傾斜了角度θ的狀態(tài)從區(qū)間輥式輸送機25i開始輸送。因此，在區(qū)間輥式輸送機25i中，首先，在其基板檢測傳感器24al、24bl中，基板檢測傳感器24bl 檢測到下基板1的右邊部的通過(圖3(b)的時刻T1)。下基板1在圖3(b)中的時刻Ttl時以加速度α 1開始輸送，時刻T1時的下基板1的移動速度如圖3 (b)所示，是穩(wěn)定速度的V1 (例如，V1 = 750mm/se c)。如果以該穩(wěn)定速度V1行進了距離AL1，則基板檢測傳感器24al檢測到下基板1的左邊部(圖3 (b)的時刻T2)，但如果存在該檢測，則根據(jù)下基板1的這些基板檢測傳感器24bl、24al的檢測時間差(T2-T1)、下基板1的輸送速度V1、以及基板檢測傳感器 24al、24bl之間的距離K，未圖示的控制部求出下基板1的傾斜角θ ( = Ian1N1 · (T2-T1) /K)。如果求出了下基板1的傾斜量θ (在圖3 (b)中也是時刻T2)，則控制部對區(qū)間輥式輸送機25i的驅(qū)動馬達(dá)23al輸出按照加速度α 1增速至傾斜校正速度V2的指令，在時間 、時使區(qū)間輥式輸送機25i的左側(cè)輥式輸送機的輥子21al增速至傾斜校正速度V2。然后，在使增速了的一側(cè)的下基板1的邊部(即，左邊部)以該傾斜校正速度V2移動了、時間之后 (由此得到的移動距離ADp此時，下基板1的右邊部以穩(wěn)定速度V1移動)，以減速度α2 減速，而設(shè)成穩(wěn)定速度力。此處，如果將由上述輥式輸送機(即，該第1輸送線路5(圖1)) 輸送的下基板1的間隔設(shè)成1，則以使在時刻T1至?xí)r刻(1\+、+、+、)移動的距離χ成為χ =Isine的方式，增速至傾斜校正速度％(其中，區(qū)間輥式輸送機25ρ252、253的間隔超過該距離χ)。通過以上的處理，下基板1的傾斜被校正而其傾斜角θ變?yōu)?、或者變小，接下來， 如果下基板1被輸送距離△ L2而進入到接下來的區(qū)間輥式輸送機252，則通過其基板檢測傳感器位置24a2、24b2進行同樣的下基板1的邊部的檢測(圖3 (b)的時刻T3、T4)，如果在該下基板1中存在傾斜，則與區(qū)間輥式輸送機25i同樣地，檢測傾斜方向、傾斜角，進行該傾斜角的校正。另外，在圖3(b)中，通過區(qū)間輥式輸送機252，從時刻1\增速至與此時檢測到的傾斜角θ對應(yīng)的傾斜校正速度V3而移動距離Δ D2，從而校正該檢測出的傾斜角Θ，并且， 在區(qū)間輥式輸送機253中，從時刻1~6增速至與此時檢測出的傾斜角θ對應(yīng)的傾斜校正速度 V4而移動距離Δ D3，從而校正該傾斜角θ。另外，通過在區(qū)間輥式輸送機25i中進行傾斜角的校正，在下基板1中傾斜消失了的情況下，在區(qū)間輥式輸送機252、253中，檢測不到傾斜，所以不進行傾斜角的校正，下基板 1作為整體以穩(wěn)定速度V1被輸送，并且，通過在區(qū)間輥式輸送機252中進行傾斜角的校正， 在下基板1中傾斜消失了的情況下，在區(qū)間輥式輸送機253中，檢測不到傾斜，所以不進行傾斜角的校正，下基板1作為整體以穩(wěn)定速度V1被輸送。在進一步詳細(xì)說明圖3(b)時，上述控制部根據(jù)所檢測到的應(yīng)校正的傾斜量，與傾斜方向?qū)?yīng)地，求出左側(cè)/右側(cè)輥式輸送機中的某一方的增速的速度。此處，區(qū)間輥式輸送機25i中的傾斜量的校正量沒有達(dá)到所檢測出的傾斜量，所以在該區(qū)間輥式輸送機25i中校正處理后的下基板1中，殘留有傾斜量，因此，在區(qū)間輥式輸送機252中，也與區(qū)間輥式輸送機25i同樣地，進行下基板1的傾斜角的檢測，進行其校正處理。但是，在區(qū)間輥式輸送機252 中檢測的傾斜量小于在區(qū)間輥式輸送機25i中檢測的傾斜量，所以該區(qū)間輥式輸送機252中的從穩(wěn)定速度V1增速的傾斜校正速度如圖3 (b)所示，小于V3和在區(qū)間輥式輸送機25i中增速的傾斜校正速度V2。但是，使加速度的值等于區(qū)間輥式輸送機25i中的加速度α ，而設(shè)成比增速了的傾斜校正速度V2小的傾斜校正速度V3。設(shè)成以該傾斜的校正速度V3在區(qū)間輥式輸送機2 中行進規(guī)定距離AD2,然后，以按照與區(qū)間輥式輸送機25i相同的減速度 α 2從該傾斜校正速度V3減速后的穩(wěn)定速度V1移動的狀態(tài)。另一方面，在區(qū)間輥式輸送機2 的另一方的輥式輸送機中，使下基板1以一定的穩(wěn)定速度V1移動。由此，由于傾斜，下基板1的較晚的一側(cè)，快速前進，被校正成沒有傾斜的狀態(tài)，但加減速的狀態(tài)還有時不是理想值，而傾斜有時不處于容許值內(nèi)。因此，由區(qū)間輥式輸送機2 的基板檢測傳感器Ma3、24b3，檢測該下基板1的傾斜。與區(qū)間輥式輸送機25i 的情況同樣地進行基于該檢測結(jié)果的動作。即，如圖3(b)所示，利用在區(qū)間輥式輸送機253 中的后檢測到下基板1 (時刻T6)的一方的輥式輸送機，使下基板1的該側(cè)增速而進行傾斜校正。變?yōu)樵撉闆r下的增速后的傾斜校正速度V4、即小于區(qū)間輥式輸送機25中的增速后的傾斜校正速度V3的速度。通過該傾斜校正，下基板1的傾斜進入容許范圍內(nèi)，保持不變地停止到規(guī)定位置。 另外，在使這樣的基板1最終停止時，如圖3(b)所示，使移動速度減速至速度V5，符合預(yù)定的停止位置地停止。另外，上述停止位置是指，如以上的說明，上下動作至比輥式輸送機的高度位置高的位置的止動引腳的位置，也可以通過該止動引腳使基板1停止。另外，以上的處理，對于上基板2也是同樣的。如上所述，通過不使基板的移動停止地校正基板的傾斜，能夠大幅縮短基板的輸送時間，并且無需設(shè)置傾斜校正所需的時間。另外，在圖3所示的實施方式中，使后檢測出的一方的基板的邊部由輥式輸送機增速成傾斜校正速度，從而校正基板的傾斜，但還能夠通過在相同的輥式輸送機中的兩個檢測傳感器中，使后檢測出的一方的基板的邊部的輸送速度保持為恒定，并使先檢測出的一方的基板的邊部從穩(wěn)定速度減速，來校正基板的傾斜，當(dāng)然也能得到與上述同樣的效果。但是，圖1中的上述裝置中的各平臺能夠通過未圖示的驅(qū)動機構(gòu)上下移動，如果下基板1由輥式輸送機輸送至該平臺上而輥式輸送機停止，則通過使該平臺上升，能夠在平臺面上從輥式輸送機接收下基板1。另外，還可以在平臺中設(shè)置的輥式輸送機中設(shè)置上下移動機構(gòu)，使輥式輸送機移動至平臺面之下而交接基板。圖4是示出圖1中的基板粘合室15的一個具體例和該基板粘合室15中的從前處理室14送入基板以及向后處理室16送出基板的動作的縱剖面圖J6是輸送機伸縮機構(gòu)、27 是輥式輸送機、觀是機器手、四是手指部、30是吸盤、31是上平臺、32是粘附引腳、33是閘閥、；34是下平臺、35是基板交接用的輥式輸送機、36是間閥、37是輸送機伸縮機構(gòu)、38是輥式輸送機，對與圖1對應(yīng)的部分附加同一符號而省略重復(fù)的說明。在該圖中，在前處理室14(圖1)中，在其下側(cè)，設(shè)置了具備伸縮的輸送機伸縮機構(gòu) 26的輥式輸送機27，在其頂部側(cè)，設(shè)置了機器手觀。在基板粘合室15與前處理室14之間設(shè)置了閘閥33，基板粘合室15內(nèi)通常保持為規(guī)定的真空度。另外，在基板粘合室15與后處理室16(圖1)之間也設(shè)置了閘閥36?；逭澈鲜?5如圖所示成為真空腔，在其中設(shè)置了保持下基板1的下平臺34和保持上基板2的上平臺31。在前處理室14的輥式輸送機27中，設(shè)置有輸送機伸縮機構(gòu)沈，如果基板粘合室 15與前處理室14之間的閘閥33打開，則通過輸送機伸縮機構(gòu)沈，前處理室14的輥式輸送機27延伸至基板粘合室15的輥式輸送機而連接，下基板1能夠送入到下平臺34上。在基板的粘合時，通過未圖示的驅(qū)動機構(gòu)，使上平臺31下降到下平臺34側(cè)而進行下基板1與上基板2的粘合。在前處理室14中設(shè)置的機器手28的手指部29中，設(shè)置了多個吸盤30。另外，如以上的說明，在前處理室14的上平臺31側(cè)，也設(shè)置了多個伸縮自如的粘盤(吸附引腳)32， 上平臺31側(cè)的粘盤32能夠在機器手28的手指部29之間下降而吸附保持上基板2。在這些吸盤30、32中，在其中心部設(shè)置了供給負(fù)壓的供給口(未圖示)，通過對該供給口供給負(fù)壓，而吸附上基板2。另外，關(guān)于負(fù)壓源、供給配管，省略了圖示。如上所述，以在交接上基板2時，能夠通過負(fù)壓吸附的方式，前處理室14以及基板粘合室15內(nèi)設(shè)成半真空狀態(tài)，對各吸盤30、32供給的負(fù)壓與其相比提高了真空度。在從前處理室14向基板粘合室15交接上基板2時，在通過機器手28側(cè)的粘盤30 和上平臺31側(cè)的粘盤32這兩者保持了上基板2之后，停止機器手28側(cè)的粘盤30的負(fù)壓供給，使機器手28以及延伸了的輥式輸送機27退避到前處理室14。之后，上基板2通過粘盤32被提升至上平臺31的面，并且通過這些多個粘盤32來保持。因此，即使提高了真空度，也通過粘附力在上平臺31上保持上基板2而不會掉下來。如果下基板1與上基板2的粘合結(jié)束，則以將上平臺31按壓到上基板2的狀態(tài)， 使粘盤32提升到該上平臺31的面的上側(cè)，從而能夠從上基板2的面處剝下粘盤32。另外， 此時，通過從粘盤32的中央部中設(shè)置的負(fù)壓供給口吹出正壓的氣體，能夠容易地剝下粘盤 32。另外，在下平臺34中，設(shè)置有未圖示的粘附片(粘附部件)和多個負(fù)壓供給口，以不使下基板1移動的方式保持下基板1。在從下基板1剝下該粘附部件的情況下，下平臺34 不移動，而從粘附片的中央部中設(shè)置的負(fù)壓供給口供給壓縮氣體而剝下。或者，在負(fù)壓供給口的中央部設(shè)置上下引腳，通過該上下引腳推開下基板1，能夠從下基板1剝下粘附部件。前處理室14中設(shè)置的輥式輸送機27成為能夠通過伸縮機構(gòu)26延伸到基板粘合室15側(cè)的構(gòu)造，在前處理室14與基板粘合室15之間的閘閥33關(guān)閉時，收縮到前處理室14 側(cè)，在閘閥33打開而將下基板1輸送到基板粘合室15內(nèi)時，延伸到基板粘合室15側(cè)，與基板粘合室15中設(shè)置的基板交接用的輥式輸送機35相接，下基板1平滑地交接到基板粘合室15的下平臺34。下平臺34設(shè)置在作為接收輸送機的圖2所示那樣的結(jié)構(gòu)的輥式輸送機 35的左右側(cè)的區(qū)間輥式輸送機之間，以能夠上下移動的方式設(shè)置了驅(qū)動機構(gòu)。另外，在后處理室16中，設(shè)置了能夠通過此處設(shè)置的輸送機伸縮機構(gòu)37，伸縮到基板粘合室15側(cè)的輥式輸送機38，如果下基板1與上基板2的粘合完成而后處理室16與基板粘合室15之間的閘閥36打開，則輥式輸送機38延伸到基板粘合室15側(cè)而與基板交接用的輥式輸送機35連接，從該輥式輸送機35經(jīng)由輥式輸送機38，通過基板粘合而形成的液晶面板19從基板粘合室15送出，而輸送到后處理室16。另外，此處，能夠大致同時進行向基板粘合室15送入上下基板1、2和向上下平臺 31、34的載置保持，由此，能夠大幅縮短液晶面板19的組裝時間。如上所述，如果上下基板1、2從前處理室14分別保持到基板粘合室15的上平臺 31、下平臺34，則閘閥33關(guān)閉。另外，基板粘合室15與后處理室16之間的閘閥36預(yù)先關(guān)閉。如果閘閥33關(guān)閉，則使基板粘合室15內(nèi)從半真空狀態(tài)成為高真空狀態(tài)而進行上下基板1、2的粘合。雖然未圖示，但在基板粘合室15的室外，設(shè)置了使上平臺31上下動作的驅(qū)動機構(gòu)、使粘盤32上下動作的驅(qū)動機構(gòu)，這些驅(qū)動機構(gòu)中設(shè)置的動力傳達(dá)軸與上平臺31、 粘盤32連結(jié)，使上述驅(qū)動機構(gòu)動作而使粘盤32、上平臺31上下移動，從而進行上下基板1、 2的粘合。在該粘合時，使上平臺31移動到下平臺34側(cè)。如果上下基板1、2的粘合結(jié)束，則如上所述，使基板粘合室15內(nèi)成為半真空狀態(tài)， 使預(yù)先設(shè)成半真空狀態(tài)的后處理室16成為高真空狀態(tài)。如果基板粘合室15內(nèi)成為半真空狀態(tài)，則閘閥36被打開，輥式輸送機38從后處理室16延伸到基板粘合室15內(nèi)，基板交接用的輥式輸送機35上的上下基板1、2粘合而成為液晶面板19的制造物被送出到后處理室 16。如果向后處理室16送入了液晶面板19，則閘閥36關(guān)閉，后處理室16內(nèi)恢復(fù)到大氣狀態(tài)。通過后處理室16內(nèi)恢復(fù)到大氣，對液晶面板19整體均勻地施加大氣壓，上下基板1、2 之間的間隔成為正規(guī)的間隔。然后，在圖1中，通過構(gòu)成第3輸送線路20的輥式輸送機，將液晶面板19輸送到紫外線照射室17。在此，通過對密封劑照射紫外線而使密封劑硬化。如果密封劑的硬化結(jié)束，則同樣地通過輥式輸送機，將液晶面板19輸送到面板檢查室18，對其狀態(tài)進行檢查而輸送到未圖示的接下來的工序。如上所述，在該具體例中，在圖4中，為了使基板粘合室15內(nèi)的狀態(tài)反復(fù)變?yōu)榘胝婵盏臓顟B(tài)和高真空的狀態(tài)，而在其前后設(shè)置了前處理室14和后處理室16，并在它們的一側(cè)分別設(shè)置閘閥33、36而進行開閉，從而接收上下基板1、2以及送出它們粘合后的液晶面板 19。這樣，通過使基板粘合室15內(nèi)的狀態(tài)反復(fù)進行半真空狀態(tài)與高真空狀態(tài)的切換，縮短使基板粘合室15內(nèi)成為真空狀態(tài)的時間，并且防止基板粘合室15內(nèi)的清潔度降低。另外，向基板粘合裝置15內(nèi)大致同時地送入上下基板1、2而保持到上平臺31和下平臺34上，所以與以往分別送入的情況相比，能夠縮短粘合所需的時間。另外，由于大致直線狀地配置進行基板粘合之前的工序的各處理室的配置，并在上下基板1、2的輸送中使用了輥式輸送機，所以能夠使各處理裝置的平臺結(jié)構(gòu)成為大致相同的結(jié)構(gòu)，并且能夠縮小裝置的設(shè)置面積，并且能夠縮短節(jié)拍時間。進而，設(shè)為在輥式輸送機或者帶輸送機上輸送基板，并且在輸送中無需停止基板移動而能夠校正基板的水平方向的傾斜的結(jié)構(gòu)，所以無需在平臺上進行傾斜校正，能夠提高節(jié)拍時間。
權(quán)利要求
1.一種基板輸送裝置，具有相對基板的輸送方向在左右方向上配置左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機而成的輸送機，通過驅(qū)動該左側(cè)輸送機和該右側(cè)輸送機，以穩(wěn)定速度輸送該基板，該基板輸送裝置的特征在于，設(shè)置有基板檢測傳感器，在與該基板的輸送方向垂直的方向上隔開間隔而配置在該左側(cè)輸送機和該右側(cè)輸送機中，對所輸送的該基板進行檢測；以及控制單元，根據(jù)通過該左側(cè)輸送機的該基板檢測傳感器和該右側(cè)輸送機的該基板檢測傳感器檢測到的該基板的檢測定時的時間差，求出所輸送的該基板相對其輸送方向的傾斜角，根據(jù)該傾斜角，使基于該左側(cè)輸送機的該基板的輸送速度和基于該右側(cè)輸送機的該基板的輸送速度不同，其中，使基于該左側(cè)輸送機的該基板的輸送速度和基于該右側(cè)輸送機的該基板的輸送速度不同，而使該基板在該左側(cè)輸送機和該右側(cè)輸送機的面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，從而校正該基板的傾斜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于，所述輸送機在所述基板的輸送方向上排列由所述左側(cè)輸送機和所述右側(cè)輸送機構(gòu)成的多個區(qū)間輸送機而成，針對每個該區(qū)間輸送機，檢測所述基板的傾斜角，根據(jù)所檢測出的該傾斜角使所述基板旋轉(zhuǎn)，從而校正所述基板的傾斜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的基板輸送裝置，其特征在于，在所述輸送機中，通過使所述右側(cè)輸送機和所述左側(cè)輸送機中的某一方增速，使以所述穩(wěn)定速度輸送的所述基板的一方的邊部側(cè)的移動速度成為比該穩(wěn)定速度快的速度或者慢的速度而移動，使所述基板旋轉(zhuǎn)。
4.一種輸送機中的基板的傾斜校正方法，在該輸送機中，相對基板的輸送方向在左右方向上配置了左側(cè)輸送機和右側(cè)輸送機，通過驅(qū)動該左側(cè)輸送機和該右側(cè)輸送機，以穩(wěn)定速度輸送該基板，所述基板的傾斜校正方法的特征在于，通過在該左側(cè)輸送機和該右側(cè)輸送機中相互相對該基板的輸送方向垂直的方向上配置的基板檢測傳感器來檢測該基板，從而根據(jù)其檢測結(jié)果來檢測該基板的傾斜，根據(jù)所檢測出的該基板的傾斜，使基于該左側(cè)輸送機的該基板的移動速度和基于該右側(cè)輸送機的該基板的移動速度不同，一邊在該左側(cè)輸送機、該右側(cè)輸送機上以該穩(wěn)定速度輸送該基板，一邊使該基板旋轉(zhuǎn)，從而校正該基板的傾斜。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板的傾斜校正方法，其特征在于，所述輸送機在所述基板的輸送方向上排列由所述左側(cè)輸送機和所述右側(cè)輸送機構(gòu)成的多個區(qū)間輸送機而成，針對每個該區(qū)間輸送機，檢測所述基板的傾斜角，根據(jù)所檢測出的該傾斜角，一邊以所述穩(wěn)定速度輸送所述基板，一邊使所述基板旋轉(zhuǎn)，從而校正所述基板的傾斜。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或者5所述的基板的傾斜校正方法，其特征在于，在所述輸送機中，通過使所述右側(cè)輸送機和所述左側(cè)輸送機中的某一方增速，使以所述穩(wěn)定速度輸送的所述基板的一方的邊部側(cè)的移動速度成為比該穩(wěn)定速度快的速度或者慢的速度而移動，使所述基板旋轉(zhuǎn)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板輸送裝置和基板的傾斜校正方法，能夠在基板移動著的狀態(tài)下進行基板的傾斜校正。基板輸送線路(5)由相對下基板(1)的輸送方向(箭頭)左側(cè)的左側(cè)輥式輸送機(5L)和右側(cè)的右側(cè)輸送機(5R)構(gòu)成。如摘要附圖所示，在所輸送的下基板(1)傾斜的情況下，輥式輸送機(5L、5R)中的基板檢測傳感器(24a、24b)根據(jù)檢測到該下基板(1)各個的邊部的定時的時間差來檢測該傾斜的大小和方向，根據(jù)該檢測結(jié)果使基于輥式輸送機(5L、5R)中的某一側(cè)的輥子(21a或者21b)的輸送速度與穩(wěn)定速度不同，使下基板(1)旋轉(zhuǎn)該傾斜角度。
文檔編號B65G43/08GK102285527SQ20111012159
公開日2011年12月21日 申請日期2011年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月17日
發(fā)明者中山幸徳, 山本立春, 市村久, 海津拓哉, 石田剛 申請人:株式會社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)