專(zhuān)利名稱(chēng)：一種排壓裝置及帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)藥品儲(chǔ)存領(lǐng)域，尤其涉及一種危險(xiǎn)易分解的化學(xué)藥品的 排壓裝置及帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置。
背景技術(shù)：
隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，集成度的不斷提高，線寬的不斷減小，對(duì)硅片的質(zhì) 量要求也越來(lái)越高，特別是對(duì)硅拋光片的表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)。這主要是因?yàn)閽伖馄?面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會(huì)嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率。在目前的集成電路生產(chǎn)中，由 于硅拋光片表面沾污問(wèn)題，仍有大量的材料被損失掉。在硅晶體管和集成電路生產(chǎn)中，幾乎 每道工序都有硅片清洗的問(wèn)題，硅片清洗的好壞對(duì)器件性能有嚴(yán)重的影響，處理不當(dāng)，可能 使全部硅片報(bào)廢，做不出管子來(lái)，或者制造出來(lái)的器件性能低劣，穩(wěn)定性和可靠性很差。而在硅片的清洗過(guò)程中以及集成電路產(chǎn)品的制造過(guò)程中，需使用大量的化學(xué)藥 品，這些化學(xué)藥品一般是由廠務(wù)通過(guò)管道注入到化學(xué)罐中，由化學(xué)罐進(jìn)行儲(chǔ)存，需使用化學(xué) 藥品時(shí)，再?gòu)幕瘜W(xué)罐中將該化學(xué)藥品通入到處理罐中，接著進(jìn)行相應(yīng)的處理程序。通常來(lái)說(shuō) 儲(chǔ)存化學(xué)藥品的化學(xué)罐裝在一個(gè)匣子里，該匣子集成在半導(dǎo)體制造機(jī)臺(tái)中請(qǐng)參考圖1，圖1為現(xiàn)有的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，由圖1可知，現(xiàn)有的化 學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置包括化學(xué)罐10、進(jìn)液管路20、進(jìn)液氣壓平衡管路30以及出液管路；所述進(jìn) 液管路20上設(shè)有第二充氣閥21，所述進(jìn)液管路20與廠務(wù)相應(yīng)化學(xué)藥品設(shè)備相連，以便從所 述廠務(wù)注入化學(xué)藥品至所述化學(xué)罐10中；所述進(jìn)液氣壓平衡管路30上設(shè)置有第三充氣閥 31，以便在廠務(wù)向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品時(shí)，排出所述化學(xué)罐10內(nèi)的氣體，使所述 化學(xué)罐10內(nèi)的氣壓與外界氣壓相等，從而使化學(xué)藥品能順利注入到所述化學(xué)罐10內(nèi)；所述 出液管路包括控制管路41及液體管路42，所述控制管路41的一端插入所述化學(xué)罐10的上 部，另一端與一氮?dú)馄肯噙B，所述控制管路41上設(shè)置有第四充氣閥411及氣體流量控制器 412 ；所述液體管路42的一端插入所述化學(xué)罐10的底部，另一端流出化學(xué)藥品供使用，所述 液體管路42上設(shè)置有液體流量控制器421、第五充氣閥422以及過(guò)濾器423。同時(shí)，所述化學(xué)罐10上從下向上依次設(shè)置有第一液位監(jiān)測(cè)傳感器50、第二液位監(jiān) 測(cè)傳感器51以及第三液位監(jiān)測(cè)傳感器52，以監(jiān)測(cè)所述化學(xué)罐10內(nèi)的液位，以便廠務(wù)及時(shí)向 所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品。并且，現(xiàn)有的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括匣子60、排氣管道70、泄露監(jiān)測(cè)傳感器80 以及清洗管路90 ；所述化學(xué)罐10設(shè)置于所述匣子60中，所述匣子60設(shè)置于半導(dǎo)體制造機(jī) 臺(tái)中；所述排氣管道70設(shè)置于所述匣子60上，以保持所述匣子60內(nèi)部的氣壓與外界大氣 壓相等；所述泄露監(jiān)測(cè)傳感器80設(shè)置于所述匣子60的底部，以監(jiān)測(cè)所述化學(xué)罐10是否發(fā) 生泄露；所述清洗管路90與所述化學(xué)罐10相連，向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入去離子水，以便對(duì) 所述化學(xué)罐10及其相關(guān)管路進(jìn)行清洗和維護(hù)，并且所述清洗管路上設(shè)置有第六充氣閥91。然而，由于有些化學(xué)藥品性質(zhì)不穩(wěn)定，容易分解產(chǎn)生氣體，從而造成化學(xué)罐2內(nèi)的 氣壓升高。例如雙氧水，容易發(fā)生如下分解反應(yīng)2H202 = 2H20+02，產(chǎn)生水和氧氣，所產(chǎn)生的氧氣導(dǎo)致化學(xué)罐2內(nèi)的氣壓升高，當(dāng)化學(xué)罐2內(nèi)的氣壓升高到一定程度時(shí)，容易導(dǎo)致爆炸等 危險(xiǎn)，從而造成損失。因此，有必要對(duì)現(xiàn)有的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置進(jìn)行改進(jìn)。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種排壓裝置及帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，以 解決現(xiàn)有技術(shù)中的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置沒(méi)有設(shè)置排壓裝置，從而在儲(chǔ)存易分解的化學(xué)藥品 時(shí)，容易導(dǎo)致化學(xué)罐內(nèi)的氣壓過(guò)高而導(dǎo)致爆炸，造成損失的問(wèn)題。為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種排壓裝置，用于排放密閉容器內(nèi)的液體或 氣體，以避免所述密閉容器內(nèi)的壓力過(guò)大，該排壓裝置包括壓力測(cè)量?jī)x、閥控制器以及第一 充氣閥，所述壓力測(cè)量?jī)x與所述密閉容器相連；所述閥控制器的一端與所述壓力測(cè)量?jī)x相 連，另一端與所述第一充氣閥相連，控制所述第一充氣閥的開(kāi)關(guān)；所述第一充氣閥設(shè)置于一 第一管道上，所述第一管道與所述密閉容器相連。 可選的，該排壓裝置還包括手動(dòng)閥及第二管道，所述手動(dòng)閥設(shè)置在所述第二管道 上，所述第二管道并聯(lián)在所述第一充氣閥的兩端，且所述第二管道與所述第一管道連通。可選的，該排壓裝置還包括廢棄容器，所述第一管道的一端與所述密閉容器相連， 另一端與所述廢棄容器相連。為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型還提出一種化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝 置包括化學(xué)罐、進(jìn)液管路、進(jìn)液氣壓平衡管路、出液管路以及排壓裝置；所述進(jìn)液管路、所述 進(jìn)液氣壓平衡管路以及所述出液管路分別與所述化學(xué)罐相連；所述排壓裝置包括壓力測(cè)量 儀、閥控制器以及第一充氣閥，所述壓力測(cè)量?jī)x與所述化學(xué)罐相連；所述閥控制器的一端與 所述壓力測(cè)量?jī)x相連，另一端與所述第一充氣閥相連，控制所述第一充氣閥的開(kāi)關(guān)；所述第 一充氣閥設(shè)置于一第一管道上，所述第一管道與所述化學(xué)罐相連?？蛇x的，所述排壓裝置還包括手動(dòng)閥及第二管道，所述手動(dòng)閥設(shè)置在所述第二管 道上，所述第二管道并聯(lián)在所述第一充氣閥的兩端，且所述第二管道與所述第一管道連通?？蛇x的，所述排壓裝置還包括廢棄容器，所述第一管道的一端與所述化學(xué)罐相連， 另一端與所述廢棄容器相連?？蛇x的，所述進(jìn)液管路上設(shè)置有第二充氣閥?？蛇x的，所述進(jìn)液氣壓平衡管路上設(shè)置有第三充氣閥?？蛇x的，所述出液管路包括控制管路及液體管路，所述控制管路的一端插入所述 化學(xué)罐的上部，另一端與一氮?dú)馄肯噙B，所述液體管路的一端插入所述化學(xué)罐的底部，另一 端流出化學(xué)藥品供使用。可選的，所述壓力測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述液體管路上，通過(guò)所述液體管路與所述化學(xué) 罐相連，所述第一管道與所述液體管路相連?？蛇x的，所述控制管路上設(shè)置有第四充氣閥及氣體流量控制器?？蛇x的，所述液體管路上設(shè)置有液體流量控制器、第五充氣閥以及過(guò)濾器。可選的，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括第一液位監(jiān)測(cè)傳感器、第二液位監(jiān)測(cè)傳感器 以及第三液位監(jiān)測(cè)傳感器，所述第一液位監(jiān)測(cè)傳感器、第二液位監(jiān)測(cè)傳感器以及第三液位 監(jiān)測(cè)傳感器從下至上依次設(shè)置于所述化學(xué)罐上。
5[0023]可選的，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括匣子，所述化學(xué)罐設(shè)置于所述匣子中?？蛇x的，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括排氣管道，所述排氣管道設(shè)置于所述匣子上?？蛇x的，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括泄露監(jiān)測(cè)傳感器，所述泄露監(jiān)測(cè)傳感器設(shè)置 于所述匣子的底部?？蛇x的，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括清洗管路，所述清洗管路與所述化學(xué)罐相連， 向所述化學(xué)罐內(nèi)注入去離子水，所述清洗管路上設(shè)置有第六充氣閥。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的排壓裝置包括壓力測(cè)量?jī)x、閥控制器以及第 一充氣閥，當(dāng)所述壓力測(cè)量?jī)x測(cè)量的壓力過(guò)大時(shí)，所述閥控制器控制所述第一充氣閥打開(kāi)， 從而排出密閉容器內(nèi)的氣體或液體，降低密閉容器內(nèi)的壓力，避免其因壓力過(guò)大而爆炸；本 實(shí)用新型提供的帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置包括排壓裝置，從而避免儲(chǔ)存的化學(xué)藥品 分解產(chǎn)生氣體，導(dǎo)致化學(xué)罐內(nèi)氣壓過(guò)大而造成化學(xué)罐爆炸，提高了化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置的安 全性。

圖1為現(xiàn)有的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的排壓裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的排壓裝置及帶排壓裝置的化學(xué) 藥品儲(chǔ)存裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征 將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、 明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。本實(shí)用新型的核心思想在于，提供一種排壓裝置，以在密閉容器內(nèi)的氣壓過(guò)大時(shí) 及時(shí)排出密閉容器內(nèi)的液體或氣體，減小密閉容器內(nèi)的氣壓，防止其因氣壓過(guò)大而爆炸。同 時(shí)還提供一種化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，所述化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置包括所述排壓裝置，從而避免儲(chǔ) 存的化學(xué)藥品分解產(chǎn)生氣體，導(dǎo)致化學(xué)罐內(nèi)氣壓過(guò)大而造成化學(xué)罐爆炸，提高了化學(xué)藥品 儲(chǔ)存裝置的安全性。請(qǐng)參考圖2，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的排壓裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示， 該排壓裝置100包括壓力測(cè)量?jī)x101、閥控制器102以及第一充氣閥103，所述壓力測(cè)量?jī)x 101與密閉容器200相連，測(cè)量所述密閉容器200內(nèi)的氣壓；所述閥控制器102的一端與所 述壓力測(cè)量?jī)x101相連，另一端與所述第一充氣閥103相連，控制所述第一充氣閥103的開(kāi) 關(guān)；所述第一充氣閥103設(shè)置于一第一管道104上，所述第一管道104與所述密閉容器200 相連，正常情況下，所述充氣閥103處于關(guān)閉狀態(tài)，當(dāng)所述壓力測(cè)量?jī)x101測(cè)量出所述密閉 容器200內(nèi)的氣壓超過(guò)警戒氣壓值時(shí)，所述閥控制器102控制所述第一充氣閥103，使其打 開(kāi)，從而所述密閉容器200內(nèi)的液體或氣體通過(guò)所述第一管道104及所述第一充氣閥103 排出所述密閉容器200，其中，所述警戒氣壓值為1. 5 2. 1個(gè)大氣壓。進(jìn)一步地，該排壓裝置100還包括手動(dòng)閥105及第二管道106，所述手動(dòng)閥105設(shè) 置在所述第二管道106上，所述第二管道106并聯(lián)在所述第一充氣閥103的兩端，且所述第二管道106與所述第一管道104連通；所述手動(dòng)閥105用于在所述密閉容器200內(nèi)的氣壓 過(guò)大，且所述第一充氣閥103或所述閥控制器102處于異常的情況下控制所述第二管道106 的通斷，排出所述密閉容器200內(nèi)的液體或氣體。進(jìn)一步地，該排壓裝置100還包括廢棄容器107，所述第一管道104的一端與所述 密閉容器200相連，另一端與所述廢棄容器107相連，避免排出的液體或氣體為有毒有害液 體或氣體時(shí)對(duì)環(huán)境造成污染。請(qǐng)繼續(xù)參考圖3，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝 置結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置包括化學(xué)罐10、進(jìn) 液管路20、進(jìn)液氣壓平衡管路30、出液管路以及排壓裝置100 ；所述進(jìn)液管路20、所述進(jìn)液 氣壓平衡管路30以及所述出液管路分別與所述化學(xué)罐10相連；所述排壓裝置100包括壓 力測(cè)量?jī)x101、閥控制器102以及第一充氣閥103，所述壓力測(cè)量?jī)x101與所述化學(xué)罐10相 連；所述閥控制器102的一端與所述壓力測(cè)量?jī)x101相連，另一端與所述第一充氣閥103相 連，控制所述第一充氣閥103的開(kāi)關(guān)；所述第一充氣閥103設(shè)置于一第一管道104上，所述 第一管道104與所述化學(xué)罐相連。 進(jìn)一步地，所述排壓裝置100還包括手動(dòng)閥105及第二管道106，所述手動(dòng)閥105 設(shè)置在所述第二管道106上，所述第二管道106并聯(lián)在所述第一充氣閥103的兩端，且所述 第二管道106與所述第一管道104連通。進(jìn)一步地，所述排壓裝置100還包括廢棄容器107，所述第一管道104的一端與所 述化學(xué)罐10相連，另一端與所述廢棄容器107相連。進(jìn)一步地，所述進(jìn)液管路20上設(shè)有第二充氣閥21，所述進(jìn)液管路20與廠務(wù)相應(yīng)化 學(xué)藥品設(shè)備相連，以便從所述廠務(wù)注入化學(xué)藥品至所述化學(xué)罐10中，所述第二充氣閥21控 制所述進(jìn)液管路20的通斷。進(jìn)一步地，所述進(jìn)液氣壓平衡管路30上設(shè)置有第三充氣閥31，以便在廠務(wù)向所述 化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品時(shí)，排出所述化學(xué)罐10內(nèi)的氣體，使所述化學(xué)罐10內(nèi)的氣壓與 外界氣壓相等，從而使化學(xué)藥品能順利注入到所述化學(xué)罐10內(nèi)。進(jìn)一步地，所述出液管路包括控制管路41及液體管路42，所述控制管路41的一端 插入所述化學(xué)罐10的上部，另一端與一氮?dú)馄肯噙B，所述控制管路41上設(shè)置有第四充氣閥 411及氣體流量控制器412，以便控制所述控制管路的通斷及所述氮?dú)獾牧髁浚凰鲆后w管 路42的一端插入所述化學(xué)罐10的底部，另一端流出化學(xué)藥品供使用，所述液體管路42上 設(shè)置有液體流量控制器421、第五充氣閥422以及過(guò)濾器423 ；所述液體流量控制器421控 制所述化學(xué)藥品的流量，所述第五充氣閥422控制所述液體管路42的通斷，所述過(guò)濾器423 對(duì)所述化學(xué)藥品進(jìn)行過(guò)濾，去掉其中的顆粒雜質(zhì)。進(jìn)一步地，所述壓力測(cè)量?jī)x101設(shè)置在所述液體管路42上，通過(guò)所述液體管路42 與所述化學(xué)罐10相連，所述第一管道104與所述液體管路42相連。進(jìn)一步地，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括第一液位監(jiān)測(cè)傳感器50、第二液位監(jiān)測(cè)傳 感器51以及第三液位監(jiān)測(cè)傳感器52，所述第一液位監(jiān)測(cè)傳感器50、第二液位監(jiān)測(cè)傳感器51 以及第三液位監(jiān)測(cè)傳感器52從下至上依次設(shè)置于所述化學(xué)罐10上，以監(jiān)測(cè)所述化學(xué)罐10 內(nèi)的液位，以便廠務(wù)及時(shí)向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品，并且當(dāng)化學(xué)罐10內(nèi)的化學(xué)藥品 達(dá)到一定量時(shí)及時(shí)關(guān)閉進(jìn)液管路20。[0044]進(jìn)一步地，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括匣子60，所述化學(xué)罐10設(shè)置于所述匣子60 中，所述匣子60設(shè)置于半導(dǎo)體制造機(jī)臺(tái)中，防止所述化學(xué)罐10內(nèi)的化學(xué)藥品泄露對(duì)機(jī)臺(tái)產(chǎn) 生影響。 進(jìn)一步地，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括排氣管道70，所述排氣管道70設(shè)置于所述 匣子60上，以保持所述匣子60內(nèi)部的氣壓與外界大氣壓相等。進(jìn)一步地，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括泄露監(jiān)測(cè)傳感器80，所述泄露監(jiān)測(cè)傳感器 80設(shè)置于所述匣子60的底部，以監(jiān)測(cè)所述化學(xué)罐10是否發(fā)生泄露。進(jìn)一步地，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置還包括清洗管路90，所述清洗管路90與所述化學(xué) 罐10相連，向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入去離子水，以便對(duì)所述化學(xué)罐10及其相關(guān)管路進(jìn)行清 洗和維護(hù)，并且所述清洗管路上設(shè)置有第六充氣閥91，所述第六充氣閥91控制所述清洗管 路90的通斷。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置的使用方法為當(dāng)所述第一液位監(jiān)測(cè)傳感器50監(jiān)測(cè)到所述化學(xué)罐10內(nèi)的化學(xué)藥品量過(guò)少時(shí)，所 述第二充氣閥21打開(kāi)，廠務(wù)通過(guò)所述向所述進(jìn)液管路20向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥 品，同時(shí)所述第三充氣閥31打開(kāi)，所述進(jìn)液氣壓平衡管路30排出所述化學(xué)罐10內(nèi)的氣體， 使所述化學(xué)罐10內(nèi)的氣壓與外界氣壓相等，從而使化學(xué)藥品能順利注入到所述化學(xué)罐10 內(nèi)；當(dāng)所述第二液位監(jiān)測(cè)傳感器51監(jiān)測(cè)到所述化學(xué)罐10內(nèi)的化學(xué)藥品量達(dá)到正常值時(shí)，所 述第二充氣閥21關(guān)閉，所述第三充氣閥31關(guān)閉，停止向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品；并 且，在所述第二液位監(jiān)測(cè)傳感器51出現(xiàn)異常的情況下，所述第三液位傳感器52監(jiān)測(cè)到所述 化學(xué)罐10內(nèi)的化學(xué)藥品量過(guò)高時(shí)，所述第二充氣閥21關(guān)閉，所述第三充氣閥31關(guān)閉，停止 向所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品；當(dāng)所述化學(xué)罐10破裂而導(dǎo)致化學(xué)藥品泄露時(shí)，所述泄露 監(jiān)測(cè)傳感器80監(jiān)測(cè)到泄露狀況，所述第二充氣閥21關(guān)閉，所述第三充氣閥31關(guān)閉，停止向 所述化學(xué)罐10內(nèi)注入化學(xué)藥品；當(dāng)需使用化學(xué)藥品時(shí)，所述第四充氣閥411打開(kāi)，所述第五充氣閥422打開(kāi)，所述 控制管路41開(kāi)啟，向所述化學(xué)罐10內(nèi)沖入氮?dú)?，所述氣體流量控制器412調(diào)整所述氮?dú)獾?流量，在氮?dú)獾膲毫ο拢龌瘜W(xué)藥品通過(guò)所述液體管路42流出，以供使用，所述液體流量 控制器421調(diào)節(jié)所述化學(xué)藥品的流量，所述過(guò)濾器423對(duì)所述化學(xué)藥品進(jìn)行過(guò)濾，去掉其中 的顆粒雜質(zhì)；當(dāng)所述化學(xué)藥品長(zhǎng)期未使用，并且分解產(chǎn)生大量的氣體導(dǎo)致所述化學(xué)罐10內(nèi)的 氣壓過(guò)大，且所述壓力測(cè)量?jī)x101測(cè)量出所述化學(xué)罐10內(nèi)的氣壓超過(guò)警戒氣壓值時(shí)，所述 閥控制器102控制所述第一充氣閥103，使其打開(kāi)，從而所述化學(xué)罐10內(nèi)的液體通過(guò)所述第 一管道104及所述第一充氣閥103排出至所述廢棄容器107中，并且當(dāng)所述閥控制器102 或所述第一充氣閥103處于異常時(shí)，手動(dòng)打開(kāi)所述手動(dòng)閥105，從而將所述化學(xué)罐10內(nèi)的液 體通過(guò)所述第二管道106排出至所述廢棄容器107內(nèi)；當(dāng)所述化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置需清洗維護(hù)時(shí)，開(kāi)啟所述第四充氣閥411、所述第一充氣 閥103以及所述手動(dòng)閥105，排出所述化學(xué)罐10內(nèi)的化學(xué)藥品；當(dāng)所述化學(xué)藥品排盡后，關(guān) 閉所述第四充氣閥411，開(kāi)啟所述第六充氣閥91，向所述化學(xué)罐10內(nèi)通入去離子水，當(dāng)所 述去離子水達(dá)到一定量時(shí)，開(kāi)啟所述第四充氣閥411、所述第一充氣閥103以及所述手動(dòng)閥 105，排出所述去離子水；反復(fù)幾次注入并排出去離子水，直至沖洗干凈。[0053]綜上所述，本實(shí)用新型提供了一種排壓裝置，該排壓裝置包括壓力測(cè)量?jī)x、閥控制 器以及第一充氣閥，當(dāng)所述壓力測(cè)量?jī)x測(cè)量的壓力過(guò)大時(shí)，所述閥控制器控制所述第一充 氣閥打開(kāi)，從而排出密閉容器內(nèi)的氣體或液體，降低密閉容器內(nèi)的壓力，避免其因壓力過(guò)大 而爆炸；同時(shí)，本實(shí)用新型還提供一種帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝 置包括所述排壓裝置，從而避免儲(chǔ)存的化學(xué)藥品分解產(chǎn)生氣體，導(dǎo)致化學(xué)罐內(nèi)氣壓過(guò)大而 造成化學(xué)罐爆炸，提高了化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置的安全性。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新 型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其 等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種排壓裝置，用于排放密閉容器內(nèi)的液體或氣體，其特征在于，包括壓力測(cè)量?jī)x、閥控制器以及第一充氣閥，所述壓力測(cè)量?jī)x與所述密閉容器相連；所述閥控制器的一端與所述壓力測(cè)量?jī)x相連，另一端與所述第一充氣閥相連，控制所述第一充氣閥的開(kāi)關(guān)；所述第一充氣閥設(shè)置于一第一管道上，所述第一管道與所述密閉容器相連。
2.如權(quán)利要求1所述的排壓裝置，其特征在于，還包括手動(dòng)閥及第二管道，所述手動(dòng)閥 設(shè)置在所述第二管道上，所述第二管道并聯(lián)在所述第一充氣閥的兩端，且所述第二管道與 所述第一管道連通。
3.如權(quán)利要求1所述的排壓裝置，其特征在于，還包括廢棄容器，所述第一管道的一端 與所述密閉容器相連，另一端與所述廢棄容器相連。
4.一種化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，包括化學(xué)罐、進(jìn)液管路、進(jìn)液氣壓平衡管路、出 液管路以及排壓裝置；所述進(jìn)液管路、所述進(jìn)液氣壓平衡管路以及所述出液管路分別與所 述化學(xué)罐相連；所述排壓裝置包括壓力測(cè)量?jī)x、閥控制器以及第一充氣閥，所述壓力測(cè)量?jī)x 與所述化學(xué)罐相連；所述閥控制器的一端與所述壓力測(cè)量?jī)x相連，另一端與所述第一充氣 閥相連，控制所述第一充氣閥的開(kāi)關(guān)；所述第一充氣閥設(shè)置于一第一管道上，所述第一管道 與所述化學(xué)罐相連。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，所述排壓裝置還包括手動(dòng)閥 及第二管道，所述手動(dòng)閥設(shè)置在所述第二管道上，所述第二管道并聯(lián)在所述第一充氣閥的 兩端，且所述第二管道與所述第一管道連通。
6.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，所述排壓裝置還包括廢棄容 器，所述第一管道的一端與所述化學(xué)罐相連，另一端與所述廢棄容器相連。
7.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，所述進(jìn)液管路上 設(shè)置有第二充氣閥。
8.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，所述進(jìn)液氣壓平 衡管路上設(shè)置有第三充氣閥。
9.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，所述出液管路包 括控制管路及液體管路，所述控制管路的一端插入所述化學(xué)罐的上部，另一端與一氮?dú)馄?相連，所述液體管路的一端插入所述化學(xué)罐的底部，另一端流出化學(xué)藥品供使用。
10.如權(quán)利要求9所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，所述壓力測(cè)量?jī)x設(shè)置在所述 液體管路上，通過(guò)所述液體管路與所述化學(xué)罐相連，所述第一管道與所述液體管路相連。
11.如權(quán)利要求9所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，所述控制管路上設(shè)置有第四 充氣閥及氣體流量控制器。
12.如權(quán)利要求9所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，所述液體管路上設(shè)置有液體 流量控制器、第五充氣閥以及過(guò)濾器。
13.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，還包括第一液 位監(jiān)測(cè)傳感器、第二液位監(jiān)測(cè)傳感器以及第三液位監(jiān)測(cè)傳感器，所述第一液位監(jiān)測(cè)傳感器、 第二液位監(jiān)測(cè)傳感器以及第三液位監(jiān)測(cè)傳感器從下至上依次設(shè)置于所述化學(xué)罐上。
14.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，還包括匣子，所 述化學(xué)罐設(shè)置于所述匣子中。
15.如權(quán)利要求14所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，還包括排氣管道，所述排氣管道設(shè)置于所述匣子上。
16.如權(quán)利要求14所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，還包括泄露監(jiān)測(cè)傳感器，所 述泄露監(jiān)測(cè)傳感器設(shè)置于所述匣子的底部。
17.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，其特征在于，還包括清洗管 路，所述清洗管路與所述化學(xué)罐相連，向所述化學(xué)罐內(nèi)注入去離子水，所述清洗管路上設(shè)置 有第六充氣閥。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種排壓裝置，該排壓裝置包括壓力測(cè)量?jī)x、閥控制器以及第一充氣閥，當(dāng)所述壓力測(cè)量?jī)x測(cè)量的壓力過(guò)大時(shí)，所述閥控制器控制所述第一充氣閥打開(kāi)，從而排出密閉容器內(nèi)的氣體或液體，降低密閉容器內(nèi)的壓力，避免其因壓力過(guò)大而爆炸；同時(shí)，本實(shí)用新型還提供一種帶排壓裝置的化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置，該化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置包括所述排壓裝置，從而避免儲(chǔ)存的化學(xué)藥品分解產(chǎn)生氣體，導(dǎo)致化學(xué)罐內(nèi)氣壓過(guò)大而造成化學(xué)罐爆炸，提高了化學(xué)藥品儲(chǔ)存裝置的安全性。
文檔編號(hào)B65D90/48GK201729437SQ20102024650
公開(kāi)日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者何顯雙, 吳良輝, 汪亞軍 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司