專(zhuān)利名稱(chēng)：帶有交錯(cuò)壁結(jié)構(gòu)的晶圓容器的制作方法
帶有交錯(cuò)壁結(jié)構(gòu)的晶圓容器
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體晶圓是易碎基材，如果在運(yùn)輸期間沒(méi)有得到正確地保護(hù)，它們就可能很容 易變得被刮擦或被損壞。每個(gè)半導(dǎo)體晶圓在硅基材上構(gòu)圖而具有許多集成電路。已經(jīng)開(kāi)發(fā) 出許多容器來(lái)保護(hù)半導(dǎo)體晶圓，防止它們?cè)谶\(yùn)送和裝卸期間受到損壞。通常，晶圓容器的上半部和下半部被操作者不正確地組合或者由于在運(yùn)輸期間碰 撞容器的力而變得錯(cuò)位。這種錯(cuò)位可能弄臟、弄裂或是以另外的方式損壞容器內(nèi)存儲(chǔ)的貴 重晶圓。在半導(dǎo)體晶圓的各種水平晶圓容器之中，容器具有雙層壁結(jié)構(gòu)。 US6, 193, 068 (Lewis)是一個(gè)例子。Lewis中的雙層壁被設(shè)計(jì)成保護(hù)晶圓不受到可能接觸底 座外壁的力。然而，在Lewis中，外壁是直接在內(nèi)壁的后面并且在相同的角扇區(qū)對(duì)準(zhǔn)。這種 晶圓容器中的內(nèi)壁一般是剛性的并且不能充分地吸收震動(dòng)。外力可能大到足以使外壁彎進(jìn) 內(nèi)壁，這又會(huì)損壞存儲(chǔ)在晶圓容器內(nèi)的晶圓。還需要一種晶圓容器，它不那么易于變得分開(kāi)并且足夠堅(jiān)固，以便保護(hù)半導(dǎo)體晶 圓抵抗在運(yùn)送和裝卸期間傳遞的力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種晶圓容器，其在底座上具有雙層壁結(jié)構(gòu)。該壁結(jié)構(gòu)包括多個(gè)外壁 和多個(gè)內(nèi)壁，每個(gè)內(nèi)壁與每個(gè)相鄰的外壁共用公共角扇區(qū)的最小百分比。本發(fā)明還涉及一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用于促進(jìn)蓋子與底座的正確對(duì)準(zhǔn)。該對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)包括 基準(zhǔn)突出物和視覺(jué)識(shí)別符，這些基準(zhǔn)突出物被蓋子容納，該視覺(jué)識(shí)別符用于引導(dǎo)操作者正 確對(duì)準(zhǔn)容器的兩個(gè)半部。本發(fā)明的另一實(shí)施例涉及一種鎖定機(jī)構(gòu)，用于將晶圓容器的兩個(gè)半部固定在一 起。下半部包括與底座垂直的壁結(jié)構(gòu)。該壁結(jié)構(gòu)包括分段的內(nèi)、外壁，該壁結(jié)構(gòu)的每個(gè)部分 的弧長(zhǎng)不同。每個(gè)內(nèi)壁的弧長(zhǎng)不完全與任何外壁的弧長(zhǎng)重疊。本發(fā)明的又一實(shí)施例涉及用于與底座接合的晶圓容器的蓋子。該蓋子包括一個(gè)或 多個(gè)凹口，每個(gè)凹口都具有易于接收來(lái)自底座的閂銷(xiāo)的斜坡。


圖1是本發(fā)明的容器的透視圖，示出了插入在容器的兩個(gè)半部之間的晶圓；圖2示出了底座上的對(duì)準(zhǔn)蓋子的基準(zhǔn)突出物；圖3A示出了對(duì)準(zhǔn)蓋子的基準(zhǔn)突出物；圖3B示出了未對(duì)準(zhǔn)蓋子的基準(zhǔn)突出物；圖3C示出了具有有助于與底座的正確定向的對(duì)準(zhǔn)箭頭的蓋子；圖4A示出了閂銷(xiāo)的鉤部的高度尺寸；圖4B示出了圖2的基準(zhǔn)突出物的高度尺寸；圖5示出了圖1的容器，其中頂蓋固定在下半部上；
圖6A是圖5的閉合容器的側(cè)視圖；圖6B是圖5的閉合容器的另一側(cè)視圖；圖7示出了本發(fā)明的底座上的角扇區(qū)的位置；圖8是底座的俯視圖；圖9是本發(fā)明的底座的透視圖；圖10是頂蓋內(nèi)部的透視圖；圖11是圖10的斜坡的分解視圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的容器存儲(chǔ)半導(dǎo)體晶圓或半導(dǎo)體膜框架。圖1示出了該容器的兩個(gè)半部， 底座100及其相應(yīng)的蓋子200。底板60的底面10上的肋形圖案30用于增強(qiáng)底座100的一 體性。底座100的存儲(chǔ)區(qū)由內(nèi)壁80、底面10和外壁90A、90B、92A和92B所限定。晶圓30、 32和晶圓分隔器37-39插在蓋子200與底座100之間。發(fā)生碰撞時(shí)，外壁區(qū)段90A、90B、92A和92B將彎曲至內(nèi)壁區(qū)段80的內(nèi)徑12。外壁 區(qū)段90A、90B、92A和92B吸收來(lái)自側(cè)面碰撞的大部分能量，由此較少量的能量傳遞給內(nèi)壁 區(qū)段80。因此，借助本發(fā)明的交錯(cuò)壁結(jié)構(gòu)，晶圓30、32避開(kāi)強(qiáng)力碰撞的沖擊。圖2示出了晶圓容器250的底座100的替代實(shí)施例。在這個(gè)更優(yōu)選的實(shí)施例中， 在底座100的底板60上安裝有一系列基準(zhǔn)突出物?；鶞?zhǔn)突出物20A、20B、22A、22B、24A、 24B、28A和28B被設(shè)計(jì)成幫助底座100以下面的方式對(duì)準(zhǔn)蓋子200。蓋子200具有支架，這 些支架被設(shè)計(jì)成與突出物20、22、24和28對(duì)齊。具體地說(shuō)，支架70的凹槽70A松散地配合 在突出物20A上，同時(shí)凹槽70B松散地配合在突出物20B上。同樣地，凹槽78A配合在突出 物28A上(未示出)，同時(shí)凹槽78B滑過(guò)突出物28B。凹槽74A和74B分別配合在突出物 24A和24B上。優(yōu)選地，支架70、72、74、78的凹槽均不緊貼地配合在突出物20、22、24和28 上。在最優(yōu)選的實(shí)施例中，這四個(gè)支架都相同并且都具有支架70的外形。圖3C示出了蓋 子200，其中所有支架都具有相同結(jié)構(gòu)。在圖3A中，示出了底座100的俯視圖連同蓋子200的輪廓圖。虛線用于代表蓋子 200以及蓋子200是如何正確對(duì)準(zhǔn)底座100。圖3A中還示出了每個(gè)轉(zhuǎn)角處的閂銷(xiāo)25。在每 個(gè)閂銷(xiāo)附近的是開(kāi)口 31，該開(kāi)口提供閂銷(xiāo)25移入鎖定位置或非鎖定位置的活動(dòng)余地。成對(duì) 的基準(zhǔn)突出物位于底座100的上表面的每一邊。例如，在圖3A中，突出物24A和24B位于 底座100的介于開(kāi)口 31C與31D之間的一邊，同時(shí)突出物28A和28B位于底座100的介于 開(kāi)口 31A與31D之間的相鄰邊。同樣地，突出物22A和22B位于底座100的介于開(kāi)口 31B 與31A之間的不同邊。突出物20A和20B位于底座100的第四邊。圖3B示出了旋轉(zhuǎn)90° 后的圖3A的蓋子200。在圖3B的位置中，蓋子200未對(duì)準(zhǔn)其底座100。因?yàn)榘疾?0A和凹 槽78A分別沒(méi)有與基準(zhǔn)突出物20A和基準(zhǔn)突出物28A對(duì)齊，所以蓋子200不能正確地配合 到底座100上，。也就是說(shuō)，支架70和78的凹槽沒(méi)有自由地滑到突出物20A和28A上，由 此防止蓋子200不正確地安置在底座100上。圖3B還示出了定向箭頭35和37。這些定向 箭頭35和37提供了視覺(jué)參考，以便幫助操作者正確地將蓋子200與底座100對(duì)準(zhǔn)。在優(yōu) 選實(shí)施例中，蓋子200還具有如圖3C所示的一對(duì)定向箭頭，當(dāng)兩個(gè)半部相對(duì)于彼此處于正 確位置時(shí)，這對(duì)定向箭頭與底座100上的箭頭一致。除了箭頭，可以使用其它類(lèi)型的視覺(jué)標(biāo)記來(lái)幫助操作者辨別什么時(shí)候蓋子和底座正確對(duì)準(zhǔn)了。圖4A示出了鎖鉤的高度尺寸HI。圖4B示出了基準(zhǔn)突出物的高度尺寸H2。如果 蓋子200沒(méi)有充分下壓到底座100上，H2具有的高度就會(huì)防止閂銷(xiāo)25與蓋子200接合。在 優(yōu)選實(shí)施例中，H2> HI。圖5示出了閉合的晶圓容器250的透視圖。具體來(lái)說(shuō)，蓋子200的側(cè)壁75和支架 70,74圍起壁結(jié)構(gòu)80、90和92的外部以形成閉合容器250。蓋子200的主要表面50具有圖 案，該圖案給容器250的頂部提供了結(jié)構(gòu)強(qiáng)度以及剛性。具體地，發(fā)現(xiàn)在蓋子200上增加星 形圖案33以及增加同心肋條52、54，會(huì)形成堅(jiān)硬且輕質(zhì)的蓋子200。這個(gè)星形圖案33并不 限于四個(gè)臂部，而是可以具有多于四個(gè)的臂部，如圖3B所示。底座100還具有安裝在底板 60的各個(gè)轉(zhuǎn)角上的閂銷(xiāo)25。如圖5所示，當(dāng)各個(gè)閂銷(xiāo)25鎖入蓋子200的相應(yīng)凹口 43時(shí)， 容器250的這兩個(gè)半部就被固定。圖5中還能看到的是在蓋子200的周邊上的唇狀物27。 該唇狀物27使得容器250能夠堆疊在與這第一個(gè)容器相同的第二個(gè)容器上。為了描述底座100的分段壁結(jié)構(gòu)如何匹配其蓋子200，在圖6A和6B中示出了容器 250的側(cè)視圖。壁區(qū)段81配合在蓋子200的側(cè)壁75的內(nèi)側(cè)。側(cè)壁75具有槽35，這允許外 壁81和85的一部分被暴露。類(lèi)似地，當(dāng)這兩個(gè)半部100、200接合時(shí)，外壁85將配合在蓋 子100的側(cè)壁75的內(nèi)側(cè)。另外，支架70A和70B嵌套在底座100的外壁83和87的外側(cè)， 為存儲(chǔ)在其中的晶圓提供穩(wěn)定的存儲(chǔ)區(qū)。底座100上的多個(gè)壁區(qū)段在底座100的圓周內(nèi)占據(jù)特定區(qū)域。在本文中，這些區(qū) 域被稱(chēng)作扇區(qū)。圖7示出了可能存在于位于底座100上的圓周50內(nèi)的角扇區(qū)R1-R6的一 個(gè)例子。Rl、R3和R5代表內(nèi)壁區(qū)段所處的位置處的角扇區(qū)，而R2、R4和R6代表外壁區(qū)段 所處的位置處的角扇區(qū)。各個(gè)角扇區(qū)的最外邊界由弧限定。最外弧表示為41B、41D和41F。 圓周50內(nèi)的最內(nèi)弧是41A、41C和41E?；?1A示為以約2°的角度、延伸到角扇區(qū)41F 中。弧41C示為以角度91皿(192延伸到相鄰扇區(qū)1 4和1 2中，其中，91約為3°，θ 2約為 4°。弧41Ε從扇區(qū)R5延伸角度α，角度α約為5°。盡管只示出六個(gè)角扇區(qū)，但是該容 器可以具有8個(gè)或更多個(gè)角扇區(qū)。圖8是底座100的俯視圖，示出了分段壁80、82、84、86、90Α、90Β、92Α、92Β和角扇 區(qū)R1-R8。底板60的底面10顯示為沒(méi)有任何肋形圖案30，以示出角扇區(qū)R1-R8的更清晰 的視圖。然而應(yīng)當(dāng)理解，在優(yōu)選實(shí)施例中具有肋形圖案30。一系列內(nèi)壁80、82、84和86垂 直或幾乎垂直于底座100。另外，一系列外壁90Α、90Β、92Α、92Β也垂直或幾乎垂直于底座 100。所示這些壁都具有為特定弧長(zhǎng)的弧。例如，內(nèi)壁86具有為弧長(zhǎng)58的弧59。類(lèi)似地， 外壁92Α具有為弧長(zhǎng)56的弧53。每個(gè)內(nèi)、外壁都占據(jù)角扇區(qū)R1-R8中的一個(gè)。內(nèi)壁弧的 50% -99. 5%之間不位于與相鄰?fù)獗诘幕∠嗤慕巧葏^(qū)中。例如，內(nèi)壁弧59的90%以上位 于R7中，并且?guī)缀鯖](méi)有占據(jù)相鄰的角扇區(qū)R6或R8。外壁92Α位于弧53上，并且?guī)缀跞?位于角扇區(qū)R4之內(nèi)。因此，外壁92Α的約95%沒(méi)有位于相鄰的角扇區(qū)R3或R5中。因?yàn)閮?nèi)壁區(qū)段與外壁區(qū)段交替，所以?xún)?nèi)壁的弧可以侵入相鄰的角扇區(qū)。在本發(fā)明 的優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)內(nèi)壁區(qū)段的弧長(zhǎng)侵占相鄰的外壁角扇區(qū)弧長(zhǎng)的0% -50%。在本發(fā)明 的更優(yōu)選實(shí)施例中，內(nèi)壁82占據(jù)角扇區(qū)R3并且與外壁92Α共用角扇區(qū)R4的0. 1 %至25% ； 內(nèi)壁82還與外壁90Α共用角扇區(qū)R2的0. 至25%。最優(yōu)選地，內(nèi)壁82與外壁92Α共用 角扇區(qū)R4的0. 至10%，與外壁90Α共用角扇區(qū)R2的0. 至10%。類(lèi)似地，主要占據(jù)角扇區(qū)Rl的內(nèi)壁80優(yōu)選地與外壁90A共用角扇區(qū)R2的0%至50%，與外壁92B共用角扇 區(qū)R8的0% -50%。更優(yōu)選地，內(nèi)壁80與外壁90A共用角扇區(qū)R2的0. 至25%;內(nèi)壁80 還與外壁92B共用角扇區(qū)R8的0. 至25%。最優(yōu)選地，內(nèi)壁80與外壁90A共用角扇區(qū) R2的0. 至10%，與外壁92B共用角扇區(qū)R8的0. 至10%。本發(fā)明并不限于如圖8所示的只具有8個(gè)角扇區(qū)R1-R8的容器。本發(fā)明對(duì)具有少 于8個(gè)角扇區(qū)的底座以及具有多于8個(gè)角扇區(qū)的底座同樣適用。扇區(qū)的數(shù)量將等于內(nèi)、外 壁區(qū)段的總數(shù)。每個(gè)壁區(qū)段的弧限定每個(gè)角扇區(qū)的最外邊界。盡管圖8中的每個(gè)壁(80、 82、84、86、90A、90B、92A和92B)各自占據(jù)的底座圓周小于90° (即，每個(gè)壁優(yōu)選為具有小 于(π/2半徑)的弧長(zhǎng))，但這并不是本發(fā)明起作用所必須的情況。換言之，每個(gè)壁都可以 占據(jù)圓周的更大角部分。此外，每個(gè)內(nèi)壁(80、82、84、86)都不需要具有與其它每個(gè)內(nèi)壁相 同的弧長(zhǎng)。類(lèi)似地，每個(gè)外壁(90Α、90Β、92Α和92Β)都不需要具有與底座100上的其它每 個(gè)外壁相同的弧長(zhǎng)。圖8還示出了安裝在底座100的每個(gè)轉(zhuǎn)角處的閂銷(xiāo)25。在閂銷(xiāo)25的 后部是肋條23。肋條23是用于加強(qiáng)閂銷(xiāo)25的可選特征。盡管圖5示出了四個(gè)閂銷(xiāo)，但是 如果只存在兩個(gè)閂銷(xiāo)，本發(fā)明也將令人滿意地工作。圖9示出了晶圓容器250的下半部，本文仍稱(chēng)作底座100。底座100的壁結(jié)構(gòu)包 括分段的內(nèi)壁和分段的外壁。連續(xù)的壁結(jié)構(gòu)非常堅(jiān)硬，很不利，即使在有一個(gè)或兩個(gè)側(cè)面開(kāi) 口的情況下也是如此。通過(guò)提供分段的壁結(jié)構(gòu)，內(nèi)壁80、82、84和86更易彎曲和吸收震動(dòng)。 因此，如果容器跌落或者受到外力碰撞，那么壁80、82、84和86充分地緩沖容器250內(nèi)的晶圓。如圖9所示，外壁90Α、90Β、92Α和92Β與內(nèi)壁80、82、84和86交錯(cuò)。這種交錯(cuò)的雙 壁結(jié)構(gòu)為存儲(chǔ)在容器250內(nèi)的晶圓提供了防止其震動(dòng)的最大保護(hù)。此外，當(dāng)外壁90Α、90Β、 92Α和92Β的角扇區(qū)與相鄰內(nèi)壁的角扇區(qū)具有最小重疊時(shí)，外壁90Α、90Β、92Α和92Β具有更 大的耐彎曲性。外壁92Α和92Β都具有槽15。優(yōu)選地，槽15的下部沒(méi)有延伸至與底板60 相同的水平。槽15使得操作者的臂能夠更容易地接近存儲(chǔ)在底座100內(nèi)的晶圓。圖9的底板60還包括閂銷(xiāo)25，用于將底座100固定到蓋子200上。每個(gè)閂銷(xiāo)25 具有安裝在底座100的轉(zhuǎn)角區(qū)60上的近端。每個(gè)閂銷(xiāo)25的遠(yuǎn)端終止于抓在蓋子200上的 鉤子25Α處。圖10示出蓋子200的詳細(xì)視圖。在蓋子200的內(nèi)表面44上是一系列同心肋條 51、52、54。如果晶圓容器250受到外力，那么最外的肋條54可以接觸底座100上的壁結(jié)構(gòu) 的一部分。在運(yùn)送或裝卸期間，當(dāng)閉合的容器250受到強(qiáng)大的側(cè)面沖擊力時(shí)，外壁區(qū)段90Α、 90Β、92Α和92Β通過(guò)朝向內(nèi)壁區(qū)段80的內(nèi)徑12向內(nèi)彎曲而吸收大部分沖擊。借助蓋子200 內(nèi)部的肋條58，外壁區(qū)段90Α、90Β、92Α和92Β被限制彎曲超過(guò)直徑12。除了肋條之外，蓋子200還包含側(cè)壁75，側(cè)壁75從表面44垂直地延伸。在優(yōu)選實(shí) 施例中，在側(cè)壁75中具有兩個(gè)槽35。槽35各自被支架71或73圍繞。支架70Α和70Β也 都附連到蓋子200的側(cè)壁75上。支架70、71和73用于將蓋子200在底座100上定向到正 確位置上。支架73具有兩個(gè)鰭狀物77Α和77Β，這兩個(gè)鰭狀物77Α和77Β通過(guò)窄帶74連在 一起，從而形成凹槽72Α和72Β。此外，凹槽74Α和74Β位于支架71內(nèi)。蓋子200的四個(gè)轉(zhuǎn) 角區(qū)60都具有凹口 43，該凹口 43用于容納相應(yīng)的閂銷(xiāo)25。為了增強(qiáng)蓋子200的安全性， 使它不脫離底座100，而提供具有斜坡85的凹口 43。
圖11示出了本發(fā)明的將蓋子200固定在底座100上的鎖定機(jī)構(gòu)的分解視圖。凹 口 43示為矩形。凹口 43的較長(zhǎng)邊緣具有斜坡85。斜坡85的適當(dāng)角度范圍為從蓋子200 的平面起5° -30°之間。為了將蓋子200固定到底座100上，凹口 43在它們對(duì)應(yīng)的閂銷(xiāo) 上方對(duì)準(zhǔn)，使得鉤子25A能夠進(jìn)入凹口 43。然后鎖鉤25A下滑至斜坡85的正斜面上，即，蓋 子200的頂面50的正面。一旦閂銷(xiāo)25鎖入就位，蓋子200就牢固地與底座100接合。為 了使蓋子200脫離底座100，操作者向后推鉤子25A直到它離開(kāi)凹口 43，然后將蓋子200抬 離底座100。盡管凹口 43示為矩形，但是它還可以具有其它形狀，例如“T”形或橢圓形。本文所描述的各種分段壁的例子僅僅是本發(fā)明的代表。應(yīng)當(dāng)理解，在不背離本發(fā) 明的精神和范圍的情況下，可以對(duì)晶圓容器的前述例子和操作方法做出各種改型和替代。 在一些例子中，根據(jù)本領(lǐng)域技術(shù)人員所遇到的具體情況，可以采用本發(fā)明的某些特征而不 用其它特征。因此，本發(fā)明的范圍將由所附權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
一種晶圓容器，包括底座，其中，所述底座的圓形區(qū)域具有包含多個(gè)角扇區(qū)的圓周；壁結(jié)構(gòu)，其附接在所述底座上，所述壁結(jié)構(gòu)包括沿著第一外弧的第一壁和沿著第一內(nèi)弧的第二壁，所述第一外弧限定第一角扇區(qū)，所述第一內(nèi)弧限定第二角扇區(qū)，其中，所述第一壁和所述第二壁共用公共角扇區(qū)的0％至50％；沿著第二外弧的第三壁，所述第二外弧限定第三角扇區(qū)，以及沿著第二內(nèi)弧的第四壁，所述第二內(nèi)弧限定第四角扇區(qū)，其中，所述第三壁和所述第四壁共用公共角扇區(qū)的0％至50％；以及蓋子，其與所述底座接合，以便形成閉合的容器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓容器，還包括總計(jì)為k個(gè)壁的一系列附加壁，其中，k為 大于4的整數(shù)，第k個(gè)壁具有與所述第一壁共用公共角扇區(qū)的0 %至50 %的弧，并且各個(gè)內(nèi) 弧沿著所述圓周與各個(gè)外弧交替。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓容器，其中，所述壁結(jié)構(gòu)的壁共用公共角扇區(qū)的0.至 25%。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓容器，其中，所述壁結(jié)構(gòu)的壁共用公共角扇區(qū)的0.至 10%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓容器，其中，所述蓋子包括與各個(gè)凹口相鄰的斜坡，所述 斜坡具有用于引導(dǎo)所述底座上的閂銷(xiāo)與其相應(yīng)的凹口接合的坡度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓容器，其中，所述底座具有四個(gè)轉(zhuǎn)角，并且閂銷(xiāo)安裝在所 述轉(zhuǎn)角的至少兩個(gè)上。
7.一種晶圓容器，包括底座，其中，所述底座的圓形區(qū)域具有包含多個(gè)角扇區(qū)的圓周；壁結(jié)構(gòu)，其包括分段的內(nèi)壁和分段的外壁，所述壁結(jié)構(gòu)垂直于所述底座，每個(gè)內(nèi)壁都位 于所述底座的相應(yīng)第一弧上，每個(gè)外壁都位于所述底座的相應(yīng)第二弧上，其中，所述第一弧 的弧長(zhǎng)的50%至99. 5%沒(méi)有位于與所述第二弧的弧長(zhǎng)相同的角扇區(qū)中；以及蓋子，其與所述底座接合，以便形成閉合的容器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓容器，其中，所述第一弧的弧長(zhǎng)的至少90%沒(méi)有位于與 所述第二弧的弧長(zhǎng)相同的角扇區(qū)中。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓容器，其中，每個(gè)分段的內(nèi)壁占據(jù)所述圓周小于90°的 部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓容器，其中，所述分段的內(nèi)壁與所述分段的外壁交替。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓容器，其中，所述蓋子包含凹口，所述凹口具有用于接 收所述底座的斜坡。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的容器，還包括連接到所述底座上的一對(duì)閂銷(xiāo)，其中，當(dāng)每個(gè) 閂銷(xiāo)鎖至所述蓋子的相應(yīng)斜坡上時(shí)，所述閂銷(xiāo)將所述底座固定在所述蓋子上。
13.一種晶圓容器，包括頂蓋，其具有主要表面以及從所述主要表面延伸的第一壁結(jié)構(gòu)；多個(gè)支架，其附接到所述壁結(jié)構(gòu)上；所述頂蓋的每個(gè)轉(zhuǎn)角上的凹口；底座，其具有與所述頂蓋上的相應(yīng)凹口接合的多個(gè)閂銷(xiāo)；其中，每個(gè)凹口都具有第一邊緣和第二邊緣，所述第二邊緣比所述第一邊緣長(zhǎng)，所述第 二邊緣具有斜坡，所述斜坡用于接收來(lái)自所述底座的對(duì)應(yīng)閂銷(xiāo)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的晶圓容器，還包括在所述壁結(jié)構(gòu)中的間隙，其中，所述支架 中的一個(gè)包圍所述間隙的一側(cè)。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的晶圓容器，還包括與所述底座垂直的第二壁結(jié)構(gòu)，所述底 座具有圓形區(qū)域，所述圓形區(qū)域具有包含多個(gè)角扇區(qū)的圓周，其中，所述壁結(jié)構(gòu)包括與外壁 區(qū)段交替的內(nèi)壁區(qū)段，并且每個(gè)內(nèi)壁區(qū)段與下一個(gè)交替的外壁區(qū)段共用公共角扇區(qū)的0% 至 10%。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的晶圓容器，還包括存儲(chǔ)在所述晶圓容器中的多個(gè)半導(dǎo)體晶圓。
17.一種晶圓容器，包括底座，其具有上表面，在所述上表面上定位有圓周； 壁結(jié)構(gòu)，其從所述底座延伸； 一對(duì)基準(zhǔn)突出物，其位于所述上表面的每一側(cè)；以及 蓋子，其與所述基準(zhǔn)突出物對(duì)準(zhǔn)，以便形成鎖定的晶圓容器。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的晶圓容器，其中，所述蓋子包括支架，所述支架附接到所述 蓋子的第一表面上，并且每個(gè)支架都具有與對(duì)應(yīng)的一對(duì)基準(zhǔn)突出物互鎖的一對(duì)凹槽。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的晶圓容器，還包括在所述底座的至少兩個(gè)轉(zhuǎn)角處的閂銷(xiāo)。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的晶圓容器，其中，所述蓋子具有凹口，所述凹口接收來(lái)自所 述底座的閂銷(xiāo)，每個(gè)凹口都具有第一邊緣和第二邊緣，所述第二邊緣比所述第一邊緣長(zhǎng)，并 且所述第二邊緣具有斜坡，所述斜坡用于接收來(lái)自所述底座的對(duì)應(yīng)閂銷(xiāo)。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的晶圓容器，還包括存儲(chǔ)在所述晶圓容器中的多個(gè)半導(dǎo)體晶圓。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的晶圓容器，還包括在所述底座的上表面上的和在所述蓋子 上的視覺(jué)標(biāo)記，以便于所述底座與所述蓋子的對(duì)準(zhǔn)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種晶圓容器，包含套在一起的底座和蓋子。該底座包括由內(nèi)壁和外壁組成的交錯(cuò)壁結(jié)構(gòu)。該交錯(cuò)壁結(jié)構(gòu)布置成主要由外壁區(qū)段吸收側(cè)面沖擊力。該蓋子上的肋條抑制外壁區(qū)段彎曲超過(guò)內(nèi)壁直徑。該底座上的基準(zhǔn)突出物便于該底座與該蓋子的對(duì)準(zhǔn)。
文檔編號(hào)B65D85/48GK101888957SQ200780101838
公開(kāi)日2010年11月17日 申請(qǐng)日期2007年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月12日
發(fā)明者A·E·埃弗里, A·韋伯, G·J·霍夫曼, J·D·皮蘭特 申請(qǐng)人:必佳塑膠金屬制品廠(國(guó)際)有限公司