專(zhuān)利名稱(chēng)：：基板收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在收納半導(dǎo)體晶片、掩模玻璃等基板的容器主體的開(kāi)口部嵌入蓋體時(shí)、通過(guò)墊圏將這些容器主體和蓋體之間密封的基板收納容器。
背景技術(shù)：
：近年來(lái)，由半導(dǎo)體晶片構(gòu)成的基板大口徑化，從200mm型基板擴(kuò)大到300mm型基板，以收納于專(zhuān)用的基板收納容器的狀態(tài)被安置于既定的加工裝置上而從工廠(chǎng)出貨。如圖18局部地表示的那樣，這種基板收納容器包括將由半導(dǎo)體晶片構(gòu)成的基板整齊收納的前開(kāi)口盒式的容器主體、裝卸自如地嵌入到該容器主體的開(kāi)口正面部的蓋體、以及發(fā)生變形而將這些容器主體和蓋體之間密封的彈性墊圏，隨著基板的大口徑化而變得大型化(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l)?；迨占{容器的容器主體使用成形材料而注射成形為既定壁厚，以能夠確保一定強(qiáng)度，在容器主體的內(nèi)部?jī)蓚?cè)、換言之在兩側(cè)壁內(nèi)表面分別并列設(shè)置有水平支承基板的多個(gè)齒，在底部?jī)蓚?cè)分別經(jīng)由賦予剛性的厚壁的增強(qiáng)肋而一體形成與開(kāi)口正面部周緣相連的底軌。該容器主體的頂部一體形成有機(jī)器人凸緣用的安裝肋，在開(kāi)口正面部的周緣兩側(cè)分別形成有蓋體用的卡止肋，在兩側(cè)壁外表面一體形成有操作把手用的裝配肋。蓋體形成為與容器主體的開(kāi)口正面部對(duì)應(yīng)的形態(tài)，在兩側(cè)部分別可擺動(dòng)地軸支承與容器主體的卡止肋卡止的卡止片。此外，墊圈使用彈性體材料形成，包括與蓋體的周緣部嵌合的框形的基體、和從該基體向外方以逐漸變細(xì)的方式伸長(zhǎng)且在容器主體的開(kāi)口正面部的密封面與蓋體之間壓縮變形的撓性密封片。專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2002-68364號(hào)>^報(bào)以往的基板收納容器如上述那樣構(gòu)成，因此，當(dāng)容器主體、墊團(tuán)的尺寸偏差累積時(shí)，難以將容器主體與蓋體之間的整周密封，存在空氣等進(jìn)入容器主體內(nèi)而污染基板這樣的問(wèn)題。4對(duì)于該問(wèn)題進(jìn)行說(shuō)明，以往的基板收納容器的容器主體為確保一定強(qiáng)度而成形為既定厚度的壁厚，并且分別形成有齒、底軌、增強(qiáng)肋、安裝肋、卡止肋以及裝配肋，因此，無(wú)法使壁厚均勻，在成形時(shí)容易招致縮坑(sink)、變形等問(wèn)題。而且，以往的容器主體中，賦予剛性用的增強(qiáng)肋的前部與容器主體開(kāi)口正面部的周緣等相連結(jié)而壁厚地一體形成，隨著壁厚的增加，成形時(shí)開(kāi)口正面部出現(xiàn)縮坑，結(jié)果，有可能在開(kāi)口正面部的密封面產(chǎn)生凹坑。另一方面，由于墊圈使用彈性體材料成形，因此基本上存在形狀穩(wěn)定性差、由于保管時(shí)的栽荷、成形后的收縮等而容易發(fā)生變形這樣的特征。尤其是將墊圏的密封片成形為逐漸變細(xì)的形式，因此存在在制造時(shí)密封片的末端部比根部先冷卻，密封片的末端部容易變形為波形這樣的特征。由這樣的容器主體的壁厚不均勻引起的尺寸偏差、隨著墊圈的形狀穩(wěn)定性變差而產(chǎn)生的尺寸偏差累積時(shí)，難以將容器主體的開(kāi)口正面部與蓋體之間的整周強(qiáng)力密封，產(chǎn)生空氣等從外部經(jīng)由較弱的密封部分進(jìn)入到容器主體內(nèi)，導(dǎo)致基板污染這樣的大問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而作出的，其目的在于提供一種可將容器主體與蓋體之間適當(dāng)密封、且可抑制空氣等進(jìn)入到容器主體內(nèi)而使基板污染的問(wèn)題的基板收納容器。在本發(fā)明中，為了解決上述問(wèn)題，提供一種基板收納容器，包括收納基板的容器主體、嵌入該容器主體的開(kāi)口部的蓋體、將這些容器主體和蓋體之間密封的能壓縮變形的墊圏，其特征在于，在容器主體的開(kāi)口部?jī)?nèi)周和蓋體的某一方形成墊圈用的裝配部，并在另一方形成墊圏用的密封面，密封面的平坦度的最大值與最小值之差小于0.50mm，墊圈包括裝配于裝配部上的基體、沿密封面方向從該基體伸長(zhǎng)的撓性密封片、形成在該密封片上且與密封面接觸的接觸部。另外，優(yōu)選的是，將蓋體嵌入容器主體的開(kāi)口部時(shí)墊團(tuán)的壓縮變形所必需的壓縮力為35100N的范圍。此外，可以使基板為直徑300mm以上的半導(dǎo)體晶片，容器主體形成為收納直徑300mm以上的半導(dǎo)體晶片的前開(kāi)口盒，將其正面作為開(kāi)5口部，在開(kāi)口部的周緣附近形成多個(gè)肋。而且，可以設(shè)計(jì)成，在容器主體的開(kāi)口部的周緣兩側(cè)分別形成有卡止肋，在蓋體的兩側(cè)部分別可旋轉(zhuǎn)地支承有卡止片，所述卡止片卡掛于容器主體的卡止肋。另外，可以設(shè)計(jì)成，密封片的末端部為接觸部，從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度W在5~10mm的范圍?？梢詫⒚芊馄哪┒瞬肯蚺c密封片的伸長(zhǎng)方向交叉的方向彎曲而形成接觸部，將從密封片的根部到接觸部最末端之間的寬度W設(shè)在510mm的范圍。另外，優(yōu)選地，從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度W(mm)與墊團(tuán)將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL(mm)之比(W/FL)為1.5~4的范圍。另外，優(yōu)選地，設(shè)墊圏的接觸部與密封面開(kāi)始接觸時(shí)的密封片長(zhǎng)度為L(zhǎng)l，并且設(shè)墊圈的接觸部與密封面強(qiáng)力接觸而撓曲時(shí)的密封片的長(zhǎng)度為L(zhǎng)2，此時(shí)，將L1與L2之差設(shè)為墊圏將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL。另外，可以將墊圈形成為大致框形，使墊圈的至少一邊的一部分處的密封片長(zhǎng)度與剩余部分處的密封片長(zhǎng)度不同，一部分處的密封片長(zhǎng)度長(zhǎng)于剩余部分處的密封片的長(zhǎng)度。也可以設(shè)計(jì)成，一部分處的密封片比剩余部分處的密封片長(zhǎng)0.8~1.2倍。另外，還可以設(shè)計(jì)成，一部分處的密封片位于密封面的平坦度為最大值或最小值的部位，或位于密封面中距離蓋體的卡止片最遠(yuǎn)的遠(yuǎn)離部位。還可以使一部分處的密封片位于密封面的平坦度變化的部位。此外，可以使用熱塑性樹(shù)脂成形墊圏的基體，并使用熱塑性彈性體或橡膠成形密封片及接觸部，將密封片設(shè)置于基體上而使其一體化。此外，可以使墊圏由嵌入截面為大致槽形的裝配部的基體、形成在從裝配部露出的基體的周面露出部上而沿密封面方向伸長(zhǎng)的撓性密封片、形成在該密封片上而與密封面接觸的接觸部、從與裝配部的內(nèi)表面對(duì)置的基體周面一側(cè)部突出而與裝配部?jī)?nèi)表面接觸的第1突起組、從與裝配部的上述內(nèi)表面相反一側(cè)的相反側(cè)內(nèi)表面對(duì)置的基體周面另一側(cè)部突出而與裝配部的相反側(cè)內(nèi)表面接觸的第2突起組形成。此外，可以由靠近基體的周面露出部的露出側(cè)突起、和比該露出側(cè)突起更接近裝配部的內(nèi)底部的靠近基體周面內(nèi)底部的通常突起分別形成第1、第2突起組?？梢詫⒌?、第2突起組的露出側(cè)突起的基部隔著基體而形成在大致相同的位置，將第1突起組和/或笫2突起組的露出側(cè)突起形成得比通常突起粗?？梢允沟?、第2突起組從基體的周面露出部向周面內(nèi)底部方向逐漸縮短?？梢詫⒌?突起組和/或第2突起組的露出側(cè)突起形成為逐漸變細(xì)的形式。可以使第1、第2突起組的露出側(cè)突起從基體的周面內(nèi)底部向周面露出部方向彎曲。可以將第1突起組和/或第2突起組的通常突起形成為逐漸變細(xì)的形式?？梢允沟?、第2突起組的通常突起從基體的周面內(nèi)底部側(cè)向周面露出部方向彎曲。在本發(fā)明中，為了解決上述問(wèn)題，提供一種基板收納容器，包括由成形材料成形并收納基板的前開(kāi)口盒式容器主體、嵌入該容器主體的正面開(kāi)口部的蓋體、將這些容器主體和蓋體之間密封的可壓縮變形的墊圏，其特征在于，使容器主體的開(kāi)口部向其寬度方向外側(cè)伸出而形成框緣部，將該框緣部的內(nèi)表面形成為墊團(tuán)用的密封面，在容器主體上形成指向框緣部方向的增強(qiáng)肋，減少增強(qiáng)肋中與容器主體框緣部對(duì)置的對(duì)置部的壁厚，來(lái)抑制容器主體成形時(shí)在框緣部的密封面產(chǎn)生凹陷。通過(guò)使增強(qiáng)肋的對(duì)置部相對(duì)于容器主體的框緣部為非連續(xù)，從而可以減少增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚。將增強(qiáng)肋的對(duì)置部連結(jié)于容器主體的框緣部，在該增強(qiáng)肋的對(duì)置部設(shè)置貫通孔，從而可以減少增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚。將增強(qiáng)肋的對(duì)置部連結(jié)于容器主體的框緣部，使該增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚為根部壁厚的2/3以下，從而可以減少增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚。還可以在容器主體的底部底面形成指向容器主體前后方向的多個(gè)增強(qiáng)肋，將各增強(qiáng)肋的前部作為對(duì)置部。還可以在容器主體的底部?jī)蓚?cè)隔著增強(qiáng)肋分別形成輸送用的底軌，將各增強(qiáng)肋的前部作為對(duì)置部。在此，技術(shù)方案中的基板至少包括單個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體晶片、掩模玻璃等。半導(dǎo)體晶片無(wú)論是200mm式晶片、300mm式晶片、450mm式晶片均可。此外，容器主體無(wú)論是前開(kāi)口盒式、頂開(kāi)口盒式、透明式、不透明式、半透明式等均可。蓋體也與容器主體一樣，無(wú)論是透明式、不透明式、半透明式等均可。此外，墊圏用的裝配部可以形成在容器主體的開(kāi)口部?jī)?nèi)周，也可以形成在蓋體的周緣部。密封面也是既可以形成在容器主體的開(kāi)口部?jī)?nèi)周，也可以形成在蓋體的周緣部。此外，墊圏可以使用既定成形材料、例如由聚酯系彈性體、聚烯烴系彈性體、氟系彈性體、聚氨酯系彈性體等構(gòu)成的熱塑性彈性體、氟系橡膠、EPDM、硅橡膠等中的單個(gè)或多個(gè)來(lái)制造。墊圏可以是無(wú)端的環(huán)形、框形，也可以是在容器主體與蓋體之間沿周向排列的多個(gè)柔軟線(xiàn)條。墊圏的基體和密封片可以由相同材料形成，也可以不是這樣。例如，也可以由硬質(zhì)塑料、硬度為80Hs以上的硬質(zhì)橡膠或硬質(zhì)熱塑性彈性體成形基體，而在其周面一部分上由彈性材料成形并粘接密封片，可提高密封性、處理性等。另外，基體的截面無(wú)論是大致L字形、矩形、梯形、多邊形、圓形、橢圓形均可。根據(jù)本發(fā)明，相對(duì)于容器主體的框緣部連續(xù)或非連續(xù)的增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚比以往的小，因此，在由成形材料成形的容器主體的冷卻時(shí)由于冷卻延遲的增強(qiáng)肋的收縮而導(dǎo)致墊圈用的密封面受拉伸而凹陷的現(xiàn)象變少，墊圏所接觸的密封面的成形狀態(tài)良好。根據(jù)本發(fā)明，具有如下有益效果將容器主體和蓋體之間適當(dāng)密封，抑制基板保管時(shí)等的密封性變差，從而可防止氣體等進(jìn)入容器主體內(nèi)而污染基板。此外，若使將蓋體嵌入容器主體開(kāi)口部時(shí)的墊圏的壓縮變形所必需的壓縮力為35100N范圍，就可得到良好的密封性，而且可抑制將蓋體嵌入容器主體開(kāi)口部時(shí)的設(shè)備負(fù)荷的增大。此外，若使密封片的末端部為接觸部，從密封片根部到接觸部最8末端的寬度W為5~10mm的范圍，則可使撓曲量適當(dāng)而形成均勻的密封。而且，可防止成形時(shí)的變形量增大、墊圈過(guò)度緊貼而容易粘結(jié)的問(wèn)題。此外，若使從密封片根部到接觸部最末端的寬度W(mm)與墊圈將容器主體與蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL(mm)之比(W/FL)為1.5~4的范圍，則可防止墊圍的壓縮強(qiáng)度增大為所需以上而導(dǎo)致墊圏緊貼于密封片難以取下蓋體。而且，可防止因尺寸誤差、變形、外部環(huán)境的變化等引起墊團(tuán)的密封性變差。還具有如下有益效果使容器主體的開(kāi)口部向其寬度方向外側(cè)伸出而形成框緣部，并將該框緣部的內(nèi)表面形成為墊圏用的密封面，在容器主體形成指向框緣部方向的增強(qiáng)肋，減少增強(qiáng)肋中與容器主體框緣部對(duì)置的對(duì)置部的壁厚來(lái)抑制容器主體成形時(shí)在框緣部的密封面產(chǎn)生凹陷，因此，可以使密封面的平坦度的最大值與最小值之差小于0.50mm，可以抑制基板保管時(shí)等的密封性變差。圖1是示意表示本發(fā)明的基板收納容器的實(shí)施方式的分解立體說(shuō)明圖。圖2是示意表示本發(fā)明的基板收納容器的實(shí)施方式的墊圏的主視說(shuō)明圖。圖3是示意表示本發(fā)明的基板收納容器的實(shí)施方式的墊圏的說(shuō)明圖。圖4是示意表示圖3的IV部的要部放大剖視圖。圖5是示意表示本發(fā)明的基板收納容器的實(shí)施方式的容器主體、蓋體以及墊圏之間關(guān)系的剖視說(shuō)明圖。圖6是示意表示蓋體嵌入到圖5的容器主體時(shí)的墊團(tuán)的剖視說(shuō)明圖。圖7是示意表示本發(fā)明的基板收納容器的第2實(shí)施方式的容器主體、蓋體以及墊圍之間關(guān)系的剖視說(shuō)明圖。圖8是示意表示本發(fā)明的基板收納容器的第3實(shí)施方式的墊圍的立體說(shuō)明圖。圖9是圖8的IX-IX線(xiàn)剖視說(shuō)明圖。9圖IO是示意表示將蓋體嵌入本發(fā)明的基板收納容器的第3實(shí)施方式的容器主體上時(shí)的墊圈的剖視說(shuō)明圖。圖11是示意表示本發(fā)明的基板收納容器的第4實(shí)施方式的后視立體說(shuō)明圖。圖12是示意表示本發(fā)明的基板收納容器的第4實(shí)施方式的側(cè)視說(shuō)明圖。圖13是表示本發(fā)明的基板收納容器的第4實(shí)施方式的、從底面?zhèn)瓤吹暮笠暳Ⅲw說(shuō)明圖。圖14是表示圖12的XIV部的說(shuō)明圖。圖15是表示圖13的XV部的說(shuō)明圖。圖16是表示本發(fā)明的基板收納容器的第4實(shí)施方式的、從正面?zhèn)瓤吹囊空f(shuō)明圖。圖17是表示本發(fā)明的基板收納容器的第5實(shí)施方式的、從正面?zhèn)瓤吹囊空f(shuō)明圖。圖18是表示以往的基板收納容器的、從正面?zhèn)瓤吹恼f(shuō)明圖。附圖標(biāo)記的iJL明1容器主體2齒3底軌4增強(qiáng)肋(肋)4A增強(qiáng)肋4a對(duì)置接近部(對(duì)置部)6安裝肋7開(kāi)口正面部(開(kāi)口部)8內(nèi)側(cè)凸緣(開(kāi)口部?jī)?nèi)周)9傾斜凸緣(開(kāi)口部?jī)?nèi)周)10外側(cè)凸緣11密封面lla遠(yuǎn)離部位12卡止肋(肋)13裝配肋14開(kāi)口上表面部(開(kāi)口部)18貫通孔20蓋體22裝配部22A裝配部25卡止片30墊圏30a中央部30b角部31基體34密封片36接觸部37第1突起組37A第2突起組38露出側(cè)突起39通常突起具體實(shí)施例方式以下，參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，如圖1~圖6所示，本實(shí)施方式的基板收納容器包括收納基板的前開(kāi)口盒式的容器主體1、能夠裝卸地嵌入到該容器主體1的開(kāi)口正面部7上的蓋體20、將這些容器主體1和蓋體20之間密封的可壓縮變形的環(huán)狀墊圏30，在容器主體1的開(kāi)口正面部7的內(nèi)周形成墊圈30用的密封面11,并在蓋體20上形成墊圏30用的裝配部22,墊圏30由基體31、密封片34和接觸部36形成，并形成為框形。雖然未圖示，但基板例如由口徑為300mm的薄圓形半導(dǎo)體晶片構(gòu)成，沿容器主體1內(nèi)的上下方向整齊收納多張?jiān)摶?。這樣的半導(dǎo)體晶片被輸送到半導(dǎo)體部件的制造工廠(chǎng)而反復(fù)實(shí)施利用氧化、曝光、蝕刻、光刻、濺鍍實(shí)現(xiàn)的金屬薄膜形成等各種處理、加工，在表面形成電子電路。容器主體l和蓋體20使用既定的成形材料、例如聚碳酸酯、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、環(huán)烯聚合物、聚醚酰亞胺、聚醚砜、聚醚醚酮等熱塑性樹(shù)脂進(jìn)行成形。該熱塑性樹(shù)脂中可根據(jù)需要而添加由導(dǎo)電性碳、碳納米管、導(dǎo)電纖維、金屬纖維、導(dǎo)電性高分子等構(gòu)成的導(dǎo)電構(gòu)件、防帶電劑、紫外線(xiàn)吸收劑等填料、添加劑。如圖1所示，容器主體l使用上述成形材料注射成形為既定壁厚，以可確保一定強(qiáng)度，在容器主體的內(nèi)部?jī)蓚?cè)、換言之在兩側(cè)壁內(nèi)表面上，分別在上下方向上以既定間距并列設(shè)置水平支承基板兩側(cè)部周緣的多個(gè)齒2。在容器主體l的底部底面以既定圖案安裝有定位件，該定位件使V槽與從基板的加工裝置(未圖示)突出的多個(gè)定位銷(xiāo)嵌合，在底部?jī)蓚?cè)如圖1所示那樣分別經(jīng)由厚度為3mm左右的增強(qiáng)肋4而一體形成有沿前后方向延伸且與開(kāi)口正面部7的周緣相連的輸送用的底軌3，在容器主體的頂部中央部一體形成有由未圖示的輸送機(jī)器人把持的可自由裝卸的機(jī)器人凸緣5用的裝配肋6。如圖1、圖5、圖6所示，容器主體l的開(kāi)口正面部7形成在包括內(nèi)側(cè)凸緣8、傾斜凸緣9和外側(cè)凸緣10的框緣部上，該內(nèi)側(cè)凸緣8主視為大致框形，從容器主體1的開(kāi)口周緣部向?qū)挾确较蛲鈧?cè)伸出，該傾斜凸緣9從該內(nèi)側(cè)凸緣8的末端部向前方(圖中右方)外側(cè)緩緩傾斜著延伸，并與蓋體20的周壁接觸，該外側(cè)凸緣10從該傾斜凸緣9的末端部向?qū)挾确较蛲鈧?cè)伸出。內(nèi)側(cè)凸緣8的內(nèi)表面形成與蓋體20的背面對(duì)置的平坦密封面11，該密封面11的平坦度的最大值與最小值之差在用反射式位移傳感器或三維測(cè)定器測(cè)定時(shí)小于0.50mm，優(yōu)選是在0.45mm以?xún)?nèi)，更優(yōu)選是0.20mm以?xún)?nèi)。之所以要使平坦度的最大值與最小值之差小于0.50mm是因?yàn)?，若該差超過(guò)0.50mm，則在長(zhǎng)期保管基板時(shí)密封性變差。如圖1所示，在開(kāi)口正面部7的傾斜凸緣9和外側(cè)凸緣10中的至少外側(cè)凸緣10的兩側(cè)部分別鼓出形成有厚度為3mm左右的蓋體20用的卡止肋12。在容器主體1的背面壁的內(nèi)部?jī)蓚?cè)沿上下方向以既定間Jf巨并列詔:置有水平支承基板后部周緣的多個(gè)后保持器，在容器主體1的兩側(cè)壁外表面分別一體形成可自由裝卸的手動(dòng)操作把手用的裝配肋13。如圖1、圖5、圖6所示，蓋體20使用上述成形材料注射形成為與容器主體1的開(kāi)口正面部7對(duì)應(yīng)的、正視為大致矩形的板，在蓋體兩側(cè)部分別可擺動(dòng)地軸支承有裝卸自如地與容器主體1的卡止肋12卡止的卡止片25。該蓋體20的背面兩側(cè)并列設(shè)置有彈斥性地水平支承基板前部周緣的多個(gè)前保持器21，在作為周緣部的背面周緣沿周向突出地設(shè)置有與內(nèi)側(cè)凸緣8的密封面ll相對(duì)置的框形的裝配部22，在該裝配部22的外周面上，在基板收納容器的前后方向(圖5、圖6的左右方向)上局部地切除而形成墊圈30用的防脫槽23。在蓋體20的各側(cè)部隔開(kāi)間隔地突出形成有相互對(duì)置的上下一對(duì)支承部24，該一對(duì)支承部24之間通過(guò)支承軸而可沿基板收納容器的前后方向擺動(dòng)地軸支承自動(dòng)操作或手動(dòng)操作的卡止片25?？ㄖ蛊?5形成為大致板形，通過(guò)在中央部切缺出大致U字形的缺口而形成撓性的彈性片26，該彈性片26的末端部彎曲變形而與容器主體1的卡止肋12嵌合，從而將嵌合到容器主體1的開(kāi)口正面部7的蓋體20固定。如圖2~圖6所示，墊圈30包括與蓋體20的裝配部22嵌合的基體31、從該基體31伸長(zhǎng)的撓性的密封片34、形成在該密封片34上而與容器主體1的密封面11壓接的柔軟的接觸部36，墊圏30發(fā)揮作用，使得蓋體20嵌入容器主體1的開(kāi)口正面部7時(shí)墊圏30的壓縮變形所必需的壓縮力為35~100N、優(yōu)選是38-80N、更優(yōu)選是40~60N的范圍。基體31使用例如由聚乙烯、聚酯、聚烯烴等構(gòu)成的熱塑性樹(shù)脂而成形為框形，在內(nèi)周面形成有密封片34用的裝配凸部32，在外周面隔開(kāi)間隔地沿長(zhǎng)度方向(圓周方向)并列設(shè)置有多個(gè)增強(qiáng)肋33。密封片34使用例如聚酯系、聚烯烴系的熱塑性彈性體、氟系熱塑性彈性體、氟橡膠等而成形為具有既定的表面硬度、彎曲彈性率、壓縮永久變形，通過(guò)裝配凸部32而與基體31的內(nèi)周面一體化，且朝密封面11方向逐漸變細(xì)地伸長(zhǎng)，在密封片34的周面上突出形成有與裝配部22的防脫槽23卡合的防脫爪35。在按照J(rèn)IS-K6301來(lái)測(cè)定的情況下，密封片34的表面硬度在60°~80。的范圍內(nèi)，在按照J(rèn)IS-K7203來(lái)測(cè)定的情況下，密封片34的彎曲彈性率在1070MPa的范圍內(nèi)，在按照J(rèn)IS-K6301來(lái)測(cè)定的情況下，密封片34的壓縮永久變形小于45%。之所以使密封片34的彎曲彈性率在10~70MPa的范圍內(nèi)是因?yàn)?，若彎曲彈性率小于lOMPa，則容易產(chǎn)生粘結(jié)等問(wèn)題，相反，若彎曲彈性率超過(guò)70MPa，則在將蓋體20嵌入容器主體1的開(kāi)口正面部7時(shí)產(chǎn)生的反彈力變大，設(shè)備負(fù)荷增大。此外，之所以使壓縮永久變形小于45%是因?yàn)?，若超過(guò)45%，則墊圈30的變形量變大，反復(fù)使用下會(huì)有損密封性。接觸部36是通過(guò)使密封片34的末端部向與伸長(zhǎng)方向大致正交的方向彎曲而形成為逐漸變細(xì)的爪狀。從密封片34的根部到接觸部36的最末端的寬度W(參照?qǐng)D4)在510mm的范圍內(nèi)，優(yōu)選為6mm。之所以使寬度W在5~10mm的范圍內(nèi)是因?yàn)椋魧挾萕小于5mm，則撓曲量變小，無(wú)法形成均一的密封。相反，若寬度W超過(guò)10mm，則成形時(shí)的變形量變大，在容器主體1的內(nèi)外存在壓力差時(shí)，容易過(guò)渡緊貼而粘結(jié)。之所以使墊圏30的壓縮變形所必需的壓縮力在35~100N的范圍是因?yàn)椋趬嚎s力小于35N時(shí)，不能得到充分的密封性，相反，若壓縮力大于100N,則在將蓋體20嵌入容器主體1的開(kāi)口正面部7時(shí)的設(shè)備負(fù)荷增大。在上述說(shuō)明中，將蓋體20壓入并嵌入容器主體1的開(kāi)口正面部7，蓋體20的卡止片25卡止于開(kāi)口正面部7的卡止肋12時(shí)，墊圈30的接觸部36與容器主體1的密封面ll壓接而密封片34發(fā)生撓曲(參照?qǐng)D5)，容器主體l的開(kāi)口正面部7和蓋體20之間被變形了的密封片34密封，可以抑制和防止空氣等從外部進(jìn)入容器主體1內(nèi)而污染基板的問(wèn)題(參照?qǐng)D6)。此時(shí)，設(shè)墊圏30的接觸部36與容器主體1的密封面11開(kāi)始接觸時(shí)的密封片34的長(zhǎng)度為L(zhǎng)l(參照?qǐng)D5),并且設(shè)墊圈30的接觸部36與容器主體1的密封面11壓接而撓曲時(shí)的密封片34的長(zhǎng)度為L(zhǎng)2(參照?qǐng)D6)，將L1與L2之差設(shè)為墊圍30將容器主體1和蓋體20之間密封時(shí)的密封片34的撓曲長(zhǎng)度FL，此時(shí)，從密封片34的根部到接觸部36最末端的寬度W(mm)與墊圏30將容器主體1和蓋體20之間密封時(shí)的密封片34的撓曲長(zhǎng)度FL(mm)之比(W/FL)在1.5~4的范圍，優(yōu)選是1.7~4的范圍。這是由于，在寬度W與撓曲長(zhǎng)度FL之比(W/FL)小于1.5時(shí)，墊圏30的壓縮強(qiáng)度增大，墊圍30緊貼于密封面11而難以從容器主體1取下蓋體20。相反，若寬度W與撓曲長(zhǎng)度FL之比(W/FL)大于4,則由尺寸誤差、變形、外部環(huán)境的變化等而引起密封性變差。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，對(duì)墊圈30賦予上述結(jié)構(gòu)和物性值，因此，即使因14容器主體1的壁厚不均引起的尺寸偏差、隨著墊圍30的形狀穩(wěn)定性變差而導(dǎo)致的尺寸偏差累積，也可由墊圈30適當(dāng)吸收尺寸偏差、變形。因此，可將容器主體1和蓋體20之間的整周牢固密封，可極其有效地抑制和防止空氣等從外部進(jìn)入容器主體l內(nèi)而污染基板的問(wèn)題。在將蓋體20嵌入滿(mǎn)滿(mǎn)地整齊收納了基板的容器主體1的開(kāi)口正面部7時(shí)，由于前保持器21的反彈力，有時(shí)蓋體20的中央部向外方(表面方向)膨脹，但即使在此時(shí)，也可防止密封性降低。此外，即使在基板收納容器的外部環(huán)境、例如溫度、濕度發(fā)生了變化時(shí)，也可使墊圍30容易地追隨容器主體1、蓋體20的變形而防止密封性的降低。此外，墊團(tuán)30的基體31使用聚酯、聚烯烴、聚碳酸酯等熱塑性樹(shù)脂成形，因此可期待尺寸精度的顯著提高。而且，由于可利用聚酯系、聚烯爛系的熱塑性彈性體等成形墊圏30的密封片34來(lái)降低硬度，因此可顯著提高密封性。接著，圖7表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式，此時(shí)，包括收納基板的頂部開(kāi)口盒式的容器主體1、裝卸自如地嵌入該容器主體1的開(kāi)口上表面部14上的蓋體20、將這些容器主體l和蓋體20之間密封的可壓縮變形的墊圏30，在容器主體1的開(kāi)口上表面部14內(nèi)周形成墊圏30用的密封面ll，并在蓋體20上形成墊圈30用的裝配部22，由基體31、密封片34和接觸部36形成墊圏30。關(guān)于其他部分，與上述實(shí)施方式相同，因此省略i兌明。在本實(shí)施方式中，也可期待與上述實(shí)施方式相同的作用效果，無(wú)論基板、基板收納容器的種類(lèi)、朝向如何，可都廣泛利用墊圍30，這一點(diǎn)是毋庸置疑的。接著，圖1、圖8~圖IO表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式，此時(shí)，將蓋體20的裝配部22A形成為截面大致U字形，將墊團(tuán)30形成為框形，使墊圏30四邊中的相對(duì)兩邊的中央部30a處的密封片34的長(zhǎng)度和角部30b處的密封片34的長(zhǎng)度不同，將中央部30a處的密封片34延長(zhǎng)得大于角部30b處的密封片34的長(zhǎng)度，使中央部30a處的密封片34位于密封面11中平坦度為最大值、最小值的部位，或位于距離卡止肋12、蓋體20的卡止片25最遠(yuǎn)的密封面11的遠(yuǎn)離部位lla(參照?qǐng)D1)，換言之，使中央部30a處的密封片34位于容器主體1的開(kāi)口正面部7處的上下中央的密封面11。15如圖9所示，墊圏30包括嵌入蓋體20的裝配部22A的截面大致矩形的基體31、形成在從裝配部22A露出的基體31的周面露出部并向密封面11方向傾斜伸長(zhǎng)的撓性密封片34、形成在該密封片34末端部而與密封面11壓接的截面大致半圓形的接觸部36、從與裝配部22A的內(nèi)表面對(duì)置的基體31的周面一側(cè)部突出而與裝配部22A的內(nèi)表面壓接的第1突起組37、從與裝配部22A的上述內(nèi)表面相反一側(cè)的相反側(cè)內(nèi)表面對(duì)置的基體31的周面另一側(cè)部突出而與裝配部22A的相反側(cè)內(nèi)表面壓接的第2突起組37A。密封片34—體形成在基體31的周面露出部而呈大致框形，兩邊的一部分、即中央部30a處的長(zhǎng)度比作為剩余部分的角部30b處的長(zhǎng)度長(zhǎng)1-1.5mm左右。此時(shí)，可以使密封片34從兩邊的角部30b到中央部30a連續(xù)地逐漸變長(zhǎng)，形成為中央部30a的外側(cè)最長(zhǎng)的大致半橢圓形，也可以將中央部30a的外側(cè)如圖8所示那樣形成為大致半橢圓形。第1、第2突起組37、37A包括位于靠近基體31周面露出部的逐漸變細(xì)的露出側(cè)突起38、比該露出側(cè)突起38更接近裝配部22A內(nèi)底部的位于基體31的周面內(nèi)底部附近的逐漸變細(xì)的通常突起39，第1、第2突起組37、37A從基體31的周面露出部向周面內(nèi)底部方向逐漸變短，露出側(cè)突起38的基部隔著基體31而形成在大致相同的位置，露出側(cè)突起38形成得比通常突起39粗。第1、第2突起組37、37A的露出側(cè)突起38從基體31的周面內(nèi)底部側(cè)向周面露出部方向彎曲形成。第1、第2突起組37、37A的通常突起39也從基體31的周面內(nèi)底部側(cè)向周面露出部方向彎曲形成。關(guān)于其他部分，與上述實(shí)施方式相同，因此省略其說(shuō)明。在本實(shí)施方式中也可期待與上述實(shí)施方式相同的作用效果，而且，由于使延長(zhǎng)了的中央部30a處的密封片34位于容器主體1的開(kāi)口正面部7處的上下中央的密封面11，換言之與卡止片25離得最遠(yuǎn)，因此，可使其位于考慮到隨著蓋體20的彎曲等而密封性最為降低的部位，因此，可適當(dāng)彌補(bǔ)容易不充分的密封性。因此，可擴(kuò)大密封形成的余量，獲得在容器主體1的開(kāi)口正面部7的整周范圍內(nèi)具有良好密封性的基板收納容器，這點(diǎn)是毋庸置疑的。接著，圖11~圖16表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式，此時(shí)，將透明的容器主體l的開(kāi)口正面部7、即向外側(cè)伸出的4匡緣部的內(nèi)側(cè)凸緣8的內(nèi)表面形成為墊團(tuán)用的平坦密封面11，在容器主體1的底部形成指向框緣部方向而賦予剛性的多個(gè)增強(qiáng)肋4、4A，實(shí)質(zhì)上減少各增強(qiáng)肋4、4A中與容器主體1的框緣部接近的對(duì)置接近部4a的壁厚，從而抑制在容器主體l的注射成形時(shí)在框緣部的密封面11上產(chǎn)生凹陷的問(wèn)題。如圖11~圖13所示，容器主體l基本上與上述實(shí)施方式相同，但在底部底面安裝有以既定圖案排列的多個(gè)定位件15、和相對(duì)于基板加工裝置固定用的卡止件16,在兩側(cè)壁外表面分別通過(guò)多個(gè)裝配肋13裝卸自如地安裝有傾斜彎曲的棒狀的手動(dòng)操作把手17。該容器主體1的開(kāi)口正面部7的內(nèi)周緣上隔開(kāi)間隔地凹陷形成有多個(gè)凹部，具有一對(duì)門(mén)閂機(jī)構(gòu)的蓋體20裝卸自如地嵌入該容器主體1的開(kāi)口正面部7。蓋體20的左右橫向方向上隔開(kāi)間隔地內(nèi)置有可從外部操作的一對(duì)門(mén)閂機(jī)構(gòu)。通過(guò)從外部操作各門(mén)閂機(jī)構(gòu)，使位于末端的卡止部裝卸自如地從蓋體20周壁的貫通孔嵌入并卡止于容器主體1的開(kāi)口正面部7內(nèi)的凹部。此外，如圖11所示，蓋體20的背面中央安裝有彈斥性地水平支承基板前部周緣的前保持器21。多個(gè)增強(qiáng)肋4、4A包括例如突出形成于容器主體1底部?jī)蓚?cè)而支承輸送用的底軌3的多個(gè)增強(qiáng)肋4、并列設(shè)置在容器主體1的底部底面而隔著底面中央的卡止件16并指向容器主體1前后方向的多個(gè)增強(qiáng)肋4A。如圖11~圖16所示，各增強(qiáng)肋4例如由沿容器主體1的前后方向延伸的細(xì)長(zhǎng)板片構(gòu)成，前端部作為對(duì)置接近部4a，并且該對(duì)置接近部4a從后方與容器主體l的框緣部連結(jié)而連續(xù)，在該對(duì)置接近部4a處從側(cè)方穿孔而形成減重用的貫通孔18，通過(guò)該貫通孔18的穿孔，與未穿孔形成貫通孔18的情況相比，減少了對(duì)置接近部4a的壁厚。如圖13所示，各增強(qiáng)肋4A例如由前后端部逐漸變細(xì)的細(xì)長(zhǎng)板片構(gòu)成，前端部作為對(duì)置接近部4a,該對(duì)置接近部4a從后方不與容器主體1的框緣部連結(jié)而形成非連續(xù)的形式，由于該非連續(xù)化，與同框緣部連結(jié)而連續(xù)的情況相比，減少了對(duì)置接近部4a的壁厚。關(guān)于其他部分，與上述實(shí)施方式相同，因此省略i兌明。在本實(shí)施方式中，也可期待與上述實(shí)施方式相同的作用效果，而且，通過(guò)在各增強(qiáng)肋4的對(duì)置接近部4a穿孔出貫通孔18，可防止增強(qiáng)肋4的壁厚的對(duì)置接近部4a直接與容器主體1的框緣部、換言之與密封面11的背面連結(jié)，能使對(duì)置接近部4a的壁厚變薄或形成為與其他部分同樣的大致均勻壁厚。因此，可以有效排除隨著壁厚的增加而在注射成形時(shí)在容器主體1的開(kāi)口正面部7產(chǎn)生縮坑、在開(kāi)口正面部7的密封面11出現(xiàn)凹坑的可能，可以大幅度提高密封性能。此外，通過(guò)將各增強(qiáng)肋4A的對(duì)置接近部4a縮短而做成非連續(xù)結(jié)構(gòu)，從而可防止增強(qiáng)肋4A的對(duì)置接近部4a直接與容器主體1的框緣部、換言之與密封面11的背面連結(jié)，能使對(duì)置接近部4a的壁厚變薄或形成為大致均勻的壁厚。因此，可以有效排除隨著壁厚的增加而在注射成形時(shí)在容器主體1的開(kāi)口正面部7產(chǎn)生縮坑、在開(kāi)口正面部7的密封面11出現(xiàn)凹坑的可能，可以大幅度提高密封性能。另外，由于在各增強(qiáng)肋4的對(duì)置接近部4a穿孔出貫通孔18，因此可以4吏液體、氣體在多個(gè)增強(qiáng)肋4所包圍的部分中順利流通。因此，提高了清洗時(shí)的清洗水的循環(huán)性、干燥時(shí)的通氣性，從而可期待清洗性、干燥效率的顯著提高。另外，在上述實(shí)施方式中，在容器主體1的底部以既定的排列圖案安裝了多個(gè)定位件，但不限于此。例如，也可以在容器主體1的底部裝卸自如地安裝多個(gè)定位件和板形的底板，也可以在底板上以既定的排列圖案安裝多個(gè)定位件。此外，也可以在底板上可自由開(kāi)閉或自由裝卸地設(shè)置用于掌握精密基板的種類(lèi)、張數(shù)的識(shí)別體。此外，可以將底板的至少一部分形成為截面大致L字形，并使其立起片與容器主體l的背面壁相對(duì)置，在該底板的立起片上安裝RFID系統(tǒng)的RF標(biāo)簽、條形碼。此外，容器主體l可以是箱形，也可以是有底圓筒形等。此外，只要不會(huì)特別造成障礙，也可以不是將內(nèi)側(cè)凸緣8的內(nèi)表面形成為平坦密封面11，而是將傾斜凸緣9的內(nèi)表面形成平坦密封面11。此外，沿圓周設(shè)置在蓋體20的背面周緣上的裝配部22可以形成為截面大致C字形、大致L字形、大致V字形。此外，可以將密封片34中與密封面11的平坦度凸出的部位接觸的接觸部分縮短。而且，也可以由從基體31的周面?zhèn)炔客怀龆鴫航釉谘b配部22A內(nèi)的多個(gè)通常突起39形成第1、第2突起組37、37A。而且，如圖17所示，可以在容器主體1的框緣部上從后方連結(jié)增強(qiáng)肋4的對(duì)置接近部4a并穿孔出貫通孔18,但通過(guò)將相連結(jié)的對(duì)置接近部4a的壁厚形成得較薄較細(xì)而為根部壁厚的2/3以下、優(yōu)選為1/2以下，18則可以減少增強(qiáng)肋4、4A的對(duì)置接近部4a的壁厚。實(shí)施例以下，說(shuō)明本發(fā)明的基板收納容器的實(shí)施例和比較例。實(shí)施例1將第1實(shí)施方式的基板收納容器相對(duì)于外部減壓-0.3Pa進(jìn)行密封，試驗(yàn)該基板收納容器的密封性能并將其結(jié)果歸總于表1。在試驗(yàn)時(shí)，求出容器主體的密封面處的平坦度之差、以及墊圈的壓縮變形所必需的壓縮力。平坦度之差(mm)是由沿密封面的整周測(cè)定時(shí)的最大值與最小值之差求出的。墊圏的壓縮變形所必需的壓縮力(N)是在將蓋體壓入未收納基板的空容器主體的開(kāi)口正面部時(shí)測(cè)定的。關(guān)于基板收納容器的墊圏，由聚碳酸酯將基體形成為框形，在該基體上設(shè)置由聚酯系熱塑性彈性體成形的彈性率為16MPa的密封片，從而做成圖4的截面形狀。從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度W(mm)與墊圏將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL(mm)之比(W/FL)為1.5。實(shí)施例2基本上與實(shí)施例1相同，但從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度W與墊圏將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL之比(W/FL)為4。實(shí)施例3使第3實(shí)施方式的基板收納容器成形時(shí)的模具溫度比通常條件(70x:-8ox:)高5x:而在容易生成縮坑的條件下進(jìn)行成形，相對(duì)于外部減壓-0.3Pa進(jìn)行密封，試驗(yàn)該基板收納容器的密封性能并將其結(jié)果歸總于表l?；迨占{容器的墊圏是由彈性率為16MPa的聚酯系熱塑性彈性體制造基體、第l、笫2突起組和密封片，而形成為圖9的截面形狀。墊圈的相對(duì)兩邊的中央部處的密封片長(zhǎng)度比角部處的密封片長(zhǎng)出lmm。此外，從密封片的根部到接觸部最末端的寬度W與墊團(tuán)將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL之比(W/FL)為1.5。其他部分與實(shí)施例1相同。實(shí)施例419基本上與實(shí)施例3相同，但從密封片的根部到接觸部最末端的寬度W與墊圈將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL之比(W/FL)為4。實(shí)施例5如第4實(shí)施方式所示，使用在容器主體的框緣部和與該框緣部相連結(jié)的增強(qiáng)肋之間的交叉部穿孔出減重用貫通孔的容器主體。作為墊圈，使用由聚酯系熱塑性彈性體形成的圖9截面形狀的類(lèi)型并安裝到蓋體上。該墊圈的密封片的長(zhǎng)度沿整周均一。實(shí)施例6如第4實(shí)施方式所示，使用容器主體中的、與容器主體的框緣部相連結(jié)的增強(qiáng)肋的壁厚比根部壁厚薄2/3的形式的容器主體。作為墊團(tuán)，使用實(shí)施例5的形式的墊團(tuán)。比較例1基本上與實(shí)施例1相同，但在墊圏的基體上設(shè)置了由聚烯烴系熱塑性彈性體成形的彈性率為16MPa的密封片來(lái)做成圖4的截面形狀。從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度W與墊圏將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL之比(W/FL)為1。另外，關(guān)于容器主體，使用如圖18那樣、增強(qiáng)肋以不變的粗細(xì)與開(kāi)口正面部連結(jié)的形式的容器主體，使成形時(shí)的模具溫度比通常條件(70TC8or;)高io"C而在容易生成縮坑的條件下進(jìn)行成形。比較例2基本上與實(shí)施例1相同，但在墊團(tuán)的基體上設(shè)置了由聚烯烴系熱塑性彈性體成形的彈性率為16MPa的密封片來(lái)做成圖4的截面形狀。從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度W與墊圈將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度FL之比(W/FL)為5。另外，關(guān)于容器主體，使用如圖18那樣、增強(qiáng)肋以不變的粗細(xì)與開(kāi)口正面部連結(jié)的形式的容器主體，使成形時(shí)的模具溫度比通常條件(70"C~80。C)高IOTC而在容易生成縮坑的條件下進(jìn)行成形。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>權(quán)利要求1.一種基板收納容器，包括收納基板的容器主體、嵌入該容器主體的開(kāi)口部的蓋體、將這些容器主體和蓋體之間密封的能壓縮變形的墊圈，其特征在于，在容器主體的開(kāi)口部?jī)?nèi)周和蓋體的某一方形成墊圈用的裝配部，并在另一方形成墊圈用的密封面，密封面的平坦度的最大值與最小值之差小于0.50mm，墊圈包括裝配于裝配部上的基體、沿密封面方向從該基體伸長(zhǎng)的撓性密封片、形成在該密封片上且與密封面接觸的接觸部。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板收納容器，其特征在于，將蓋體嵌入容器主體的開(kāi)口部時(shí)墊團(tuán)的壓縮變形所必需的壓縮力為35~100N的范圍。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板收納容器，其特征在于，基板為直徑300mm以上的半導(dǎo)體晶片，容器主體形成為收納直徑300mm以上的半導(dǎo)體晶片的前開(kāi)口盒，容器主體的正面為開(kāi)口部，在該開(kāi)口部的周緣附近形成有多個(gè)肋。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板收納容器，其特征在于，在容器主體的開(kāi)口部的周緣兩側(cè)分別形成有卡止肋，在蓋體的兩側(cè)部分別可旋轉(zhuǎn)地支承有卡止片，所述卡止片卡掛于容器主體的卡止肋。5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，密封片的末端部為接觸部，從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度(W)在5~10mm的范圍。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板收納容器，其特征在于，從密封片的根部到接觸部的最末端的寬度(W(mm))與墊圏將容器主體和蓋體之間密封時(shí)的密封片的撓曲長(zhǎng)度(FL(mm))之比(W/FL)為1.5—4的范圍。7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，墊圏形成為大致框形，墊圏的至少一邊的一部分處的密封片長(zhǎng)度與剩余部分處的密封片長(zhǎng)度不同，一部分處的密封片長(zhǎng)度長(zhǎng)于剩余部分處的密封片的長(zhǎng)度。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板收納容器，其特征在于，一部分處的密封片位于密封面的平坦度為最大值或最小值的部位，或位于密封面中距離蓋體的卡止片最遠(yuǎn)的遠(yuǎn)離部位。9.一種基板收納容器，包括由成形材料成形并收納基板的前開(kāi)口盒式的容器主體、嵌入該容器主體的正面的開(kāi)口部的蓋體、將容器主體的開(kāi)口部和蓋體之間密封的能壓縮變形的墊圏，其特征在于，使容器主體的開(kāi)口部向其寬度方向外側(cè)伸出而形成框緣部，將該框緣部的內(nèi)表面形成為墊圏用的密封面，在容器主體上形成指向框緣部方向的增強(qiáng)肋，減小增強(qiáng)肋中與容器主體框緣部對(duì)置的對(duì)置部的壁厚來(lái)抑制容器主體成形時(shí)在框緣部的密封面上產(chǎn)生凹陷。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板收納容器，其特征在于，通過(guò)使增強(qiáng)肋的對(duì)置部相對(duì)于容器主體的框緣部不連續(xù)，來(lái)減小增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板收納容器，其特征在于，將增強(qiáng)肋的對(duì)置部連結(jié)于容器主體的框緣部，在該增強(qiáng)肋的對(duì)置部設(shè)置貫通孔，從而來(lái)減小增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚。12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板收納容器，其特征在于，將增強(qiáng)肋的對(duì)置部連結(jié)于容器主體的框緣部，使該增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚為根部壁厚的2/3以下，從而來(lái)減小增強(qiáng)肋的對(duì)置部的壁厚。13.根據(jù)權(quán)利要求912中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，在容器主體的底部底面形成指向容器主體前后方向的多個(gè)增強(qiáng)肋，將各增強(qiáng)肋的前部作為對(duì)置部。14.根據(jù)權(quán)利要求9-12中任一項(xiàng)所述的基板收納容器，其特征在于，在容器主體的底部?jī)蓚?cè)隔著增強(qiáng)肋分別形成有輸送用的底軌，將各增強(qiáng)肋的前部作為對(duì)置部。全文摘要本發(fā)明提供一種可以將容器主體和蓋體之間適當(dāng)密封、抑制氣體等進(jìn)入容器主體內(nèi)而污染基板的基板收納容器。包括收納由半導(dǎo)體晶片構(gòu)成的基板的容器主體(1)、裝卸自如地嵌入容器主體(1)的開(kāi)口正面部(7)的蓋體(20)、將容器主體(1)和蓋體(20)之間密封的可壓縮變形的墊圈(30)，在容器主體(1)的開(kāi)口正面部(7)內(nèi)周形成墊圈(30)用的密封面(11)，使密封面的平坦度的最大值與最小值之差小于0.50mm，并在蓋體(20)上形成框形的墊圈(30)用裝配部(22)。此外，墊圈(30)由安裝于裝配部(22)上的基體(31)、沿密封面(11)方向從基體(31)伸長(zhǎng)的撓性密封片(34)、彎曲形成在密封片(34)的末端部而與密封面(11)壓接的接觸部(36)形成。文檔編號(hào)B65D85/86GK101460378SQ20078002019公開(kāi)日2009年6月17日申請(qǐng)日期2007年5月21日優(yōu)先權(quán)日2006年5月29日發(fā)明者佐佐木茂伸,大堀伸一,山岸裕樹(shù)申請(qǐng)人:信越聚合物株式會(huì)社