專利名稱：外層體的剝離方法及剝離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及外層體的剝離方法以及剝離裝置，該外層體的剝離方法將 粘貼于基板上的多層薄膜的外層體從所述基板剝離。
背景技術(shù)：
例如，在液晶面板用基板、印刷配線用基板、PDP面板用基板中，在 基板表面上粘貼有具有感光材料(感光性樹脂)層的感光性片材(感光性 織物)。感光性片材(感光性〉一 卜體)在柔韌性塑料支承體上層疊有感光 材料層和保護(hù)薄膜。
該種感光性片材在局部或全面剝離保護(hù)薄膜后，在玻璃基板或樹脂基 板等基板上粘貼感光材料層。接著，從基板剝離支承體，由此得到粘貼有 感光材料層的粘貼基板。
例如，特開2002—234667號(hào)公報(bào)公開的薄膜的剝離方法及剝離裝置， 如圖15所示，具備基板吸附手2，其吸附并移動(dòng)玻璃基板l;第一箝位 器(clamper) 3，其夾持并剝離粘貼于所述玻璃基板1上的薄膜F (外層 體)；氣缸4，其使所述第一箝位器3在圖15中左右移動(dòng)；水平導(dǎo)軌5a， 其使該氣缸4沿前后方向移動(dòng)；垂直導(dǎo)軌5b，其使該氣缸4沿上下方向移 動(dòng)；第二箝位器6，其夾持剝離后的所述薄膜F;薄膜推動(dòng)器7，其將所述 剝離后的所述薄膜F向水平方向推廣。
于是，首先將基板吸附手2配置成圖15中雙點(diǎn)劃線所示的水平姿勢(shì)， 放置玻璃基板1時(shí)，該基板吸附手2吸附所述玻璃基板1而立起。
接著，第一箝位器3把持從玻璃基板1向外部突出的薄膜F的一部分， 所述第一箝位器3經(jīng)由氣缸4向任意方向移動(dòng)。因此，薄膜F從玻璃基板 1的角部剝離。
另外，第一箝位器3在水平導(dǎo)軌5a及垂直導(dǎo)軌5b的引導(dǎo)作用下，沿 箭頭方向移動(dòng)，在從玻璃基板l剝離薄膜F后，該薄膜F被轉(zhuǎn)移到第二箝位器6。此時(shí)，被剝離后的薄膜F經(jīng)由薄膜推動(dòng)器7，向水平方向推廣，
而疊加收容各薄膜F。
如圖16所示，在所述的目前技術(shù)中，在從剝離開始到時(shí)間T1的期間， 玻璃基板l以速度V1上升，另一方面，第一箝位器3以速度(V2—V1) 下降。由此，薄膜F實(shí)質(zhì)上以速度V2的剝離速度被剝離。
另外，在從時(shí)間Tl到時(shí)間T3的期間，第一箝位器3停止，另一方面， 玻璃基板l以速度V2上升。因此，剝離中維持相對(duì)速度V2。
但是，在所述的目前技術(shù)中，在薄膜剝離開始時(shí)(時(shí)間零附近)，由 于玻璃基板1的上升和第一箝位器3的下降而對(duì)薄膜F施加有急劇的剝離 開始動(dòng)作。因此，當(dāng)對(duì)薄膜F尤其是感光性樹脂層施加急劇的力時(shí)，在該 感光性樹脂層上容易發(fā)生凝集破壞。而且，有可能感光性樹脂層的破損了 的部分變成塵埃附著在基板等上。
另外，對(duì)薄膜F，按照具有彎曲部的直線狀的剝離速度模式施加有剝 離動(dòng)作。因此，在薄膜F的剝離作業(yè)中，與彎曲部相對(duì)應(yīng)存在有速度急劇 變化的變化點(diǎn)P1、 P2及P3。從而，在這些變化點(diǎn)P1、 P2及P3，薄膜F 的剝離狀態(tài)急劇發(fā)生變化，在感光性樹脂層的表面發(fā)生條紋。該問(wèn)題在保 持加速度或減速度為一定而剝離薄膜F時(shí)，也同樣發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決這種問(wèn)題的發(fā)明，其目的在于，提供一種外層體的剝離 方法及剝離裝置，該外層體的剝離方法能夠以簡(jiǎn)單的工序及構(gòu)成，將外層 體從基板良好地分離，并且可靠地得到高品質(zhì)的剝離面。
本發(fā)明涉及外層體的剝離方法及剝離裝置，該外層體的剝離方法將粘 貼于基板的多層薄膜的外層體從所述基板剝離。
該剝離方法具有剝離開始工序，通過(guò)把持機(jī)構(gòu)把持外層體，使所述 把持機(jī)構(gòu)按照S字曲線的速度模式或加速度模式移動(dòng)；剝離工序，在所述 剝離開始工序后、到從基板剝離所述外層體整體之前的期間，設(shè)定速度、 加速度或減速度變化的變化區(qū)域，在所述變化區(qū)域內(nèi)，使所述把持機(jī)構(gòu)按 照彎曲的速度模式、加速度模式或減速度模式移動(dòng)。
在此，所謂"彎曲的速度模式"是指沒(méi)有速度的急劇變化點(diǎn)，即沒(méi)有彎曲部的速度模式。另外，彎曲的加速度模式及彎曲的減速度模式也同樣。 另外，剝離裝置具備基板保持機(jī)構(gòu)，其將所述基板保持為水平姿勢(shì); 把持機(jī)構(gòu)，其把持外層體，并將所述外層體從所述基板剝離；移動(dòng)控制機(jī)
構(gòu)，其在剝離開始時(shí)，使所述把持機(jī)構(gòu)按照s字曲線的速度模式或加速度
模式移動(dòng)，另一方面，在所述剝離開始工序后、到從所述基板剝離所述外 層體整體之前的期間，設(shè)定速度、加速度或減速度變化的變化區(qū)域，在所 述變化區(qū)域內(nèi)，使所述把持機(jī)構(gòu)按照彎曲的速度模式、加速度模式或減速 度模式移動(dòng)。
本發(fā)明中，在外層體的剝離開始時(shí)，使把持機(jī)構(gòu)按照s字曲線的速度
模式或加速度模式移動(dòng)。因此，不會(huì)一開始就急劇剝離外層體，例如能夠 良好地阻止感光性樹脂層的凝集破壞，且盡可能地阻止破損引起的塵埃發(fā)
生。另一方面，在開始剝離外層體后，速度或加速度沿s字曲線急速上升，
除完成良好的剝離作業(yè)外，還實(shí)現(xiàn)該剝離作業(yè)的效率化。因此，通過(guò)簡(jiǎn)單 的工序及構(gòu)成，不會(huì)使感光性樹脂層發(fā)生凝集破壞，而能夠在有效剝離外 層體的并且，容易實(shí)現(xiàn)剝離作業(yè)的效率化。
另外，在剝離開始工序后、到從基板剝離外層體整體之前的期間，設(shè) 定速度、加速度或減速度變化的變化區(qū)域，在所述變化區(qū)域內(nèi)，使所述把 持機(jī)構(gòu)按照彎曲的速度模式、加速度模式或減速度模式移動(dòng)。由此，在外 層體的剝離動(dòng)作中，剝離狀態(tài)不會(huì)急劇地發(fā)生變化，例如能夠良好地防止 在感光性樹脂層的表面發(fā)生條紋等，且能夠可靠地得到高品質(zhì)的剝離面 (感光性樹脂層)。
通過(guò)附圖和協(xié)同的下面的最佳的實(shí)施例的說(shuō)明，將會(huì)進(jìn)一步明確所述 目的及其它目的、特征及優(yōu)點(diǎn)。


圖1是組裝有本發(fā)明的第一實(shí)施方式的支承體剝離裝置的制造裝置的
概略構(gòu)成圖2是所述制造裝置中使用的長(zhǎng)條狀感光性織物(感光性々工:/)的剖
面圖3是在所述長(zhǎng)條狀感光性織物上粘接了粘接標(biāo)記的狀態(tài)的說(shuō)明圖；圖4是所述支承體剝離裝置的概略立體說(shuō)明圖； 圖5是所述支承體剝離裝置的主要部分立體說(shuō)明圖； 圖6是所述支承體剝離裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖； 圖7是在橡膠輥之間配置玻璃基板時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖； 圖8是所述玻璃基板的后端從所述橡膠輥之間離開時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖； 圖9是第一實(shí)施方式的剝離速度模式的說(shuō)明圖； 圖IO是目前方法和第一實(shí)施方式的品質(zhì)評(píng)價(jià)說(shuō)明圖； 圖11是適用于本發(fā)明的第二實(shí)施方式的外層體的剝離方法的剝離速 度模式的說(shuō)明圖12是適用于本發(fā)明的第三實(shí)施方式的外層體的剝離方法的剝離速 度模式的說(shuō)明圖13是本發(fā)明的第四實(shí)施方式的支承體剝離裝置的概略立體說(shuō)明圖； 圖14是本發(fā)明的第五實(shí)施方式的支承體剝離裝置的概略立體說(shuō)明圖； 圖15是目前技術(shù)中公開的薄膜的剝離方法及剝離裝置的說(shuō)明圖； 圖16是所述目前技術(shù)的速度模式的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
圖1是組裝有本發(fā)明第一實(shí)施方式的外層體的剝離裝置的制造裝置 20的概略構(gòu)成圖。該制造裝置20在液晶或有機(jī)EL用彩色濾光器等制作 工序中，進(jìn)行將長(zhǎng)條狀感光性織物(長(zhǎng)條狀織物)22的感光性樹脂層(后 述)熱轉(zhuǎn)印在玻璃基板24上的作業(yè)。
圖2是制造裝置20中使用的感光性織物22的剖面圖。該感光性織物 22，由柔韌性基體薄膜(外層體)26、緩沖層(熱可塑性樹脂層)27、中 間層(隔氧膜)28、感光性樹脂層29以及保護(hù)薄膜30層疊而構(gòu)成。另外， 感光性織物22也可以由基體薄膜26、感光性樹脂層29以及保護(hù)薄膜30 構(gòu)成。
基體薄膜26由聚苯二甲酸乙二醇酯(PET)形成，緩沖層27由乙烯 和氧化乙烯共聚合物形成，中間層由聚乙烯醇形成，感光性樹脂層29由 含有堿可溶性粘合劑、單體、光聚合開始材、著色劑的著色感光性樹脂組 成物形成，保護(hù)薄膜30由聚乙烯或聚丙烯等形成。如圖1所示，制造裝置20具備織物輸送機(jī)構(gòu)32，其收容將感光性
織物22巻繞成輥狀的感光性織物輥22a，并從該感光性織物輥22a輸出上述感光性織物22;半切斷機(jī)構(gòu)36，其在所輸出的上述感光性織物22的保護(hù)薄膜30上形成可沿寬度方向切斷的半切斷部位34;標(biāo)記粘接機(jī)構(gòu)40，其使局部具有非粘接部38a的粘接標(biāo)記38 (參照?qǐng)D3)與保護(hù)薄膜30粘接。另外，半切斷機(jī)構(gòu)36也可以在箭頭A方向上離開規(guī)定的間隔配設(shè)兩套，并且在兩個(gè)地方形成半切斷部位34。
在標(biāo)記粘接機(jī)構(gòu)40的下游配設(shè)有用于將感光性織物22從間歇運(yùn)送變更為大致連續(xù)運(yùn)送的儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42、使保護(hù)薄膜30以規(guī)定的長(zhǎng)度間隔從上述感光性織物22剝離的保護(hù)薄膜剝離機(jī)構(gòu)44、在將玻璃基板24加熱到至規(guī)定溫度的狀態(tài)下而搬運(yùn)到粘貼位置的加熱機(jī)構(gòu)45、將因上述保護(hù)薄膜30的剝離而露出來(lái)的感光性樹脂層29粘貼于上述玻璃基板24的粘貼機(jī)構(gòu)46。另外，以下將通過(guò)粘貼機(jī)構(gòu)46將感光性織物22粘貼在基板24上形成的層疊體，稱之為"粘貼基板24a"。
在粘貼機(jī)構(gòu)46的粘貼位置的上游附近，配設(shè)直接檢測(cè)感光性織物22的交界位置即半切斷部位34的檢測(cè)機(jī)構(gòu)47，并且在上述粘貼機(jī)構(gòu)46的下游，配置有切斷各玻璃基板24之間的上述感光性織物22的基板間織物切斷機(jī)構(gòu)48。在該基板間織物切斷機(jī)構(gòu)48的上游設(shè)置有運(yùn)轉(zhuǎn)開始時(shí)以及運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束時(shí)使用的織物切斷機(jī)構(gòu)48a。
在織物輸送機(jī)構(gòu)32的下游附近，配設(shè)有使大致使用完的感光性織物22的后端和新使用的感光性織物22的前端接合的接合臺(tái)49。在該接合臺(tái)49的下游配設(shè)有薄膜端位置檢測(cè)器51，以便控制因感光性織物輥22a的巻繞偏離而引起的寬度方向的偏離。
半切斷機(jī)構(gòu)36配設(shè)在用于計(jì)算被織物輸送機(jī)構(gòu)32收容巻繞的感光性織物輥22a的輥徑的一對(duì)輥50的下游。半切斷機(jī)構(gòu)36具備沿與感光性織物22的搬運(yùn)方向(箭頭A方向)正交的方向進(jìn)退自如的滑動(dòng)臺(tái)52。在該滑動(dòng)臺(tái)52上固接有旋轉(zhuǎn)圓刀(切斷器)54，并且在與上述旋轉(zhuǎn)圓刀54對(duì)置的位置以?shī)A住感光性織物22而配設(shè)有切斷接受臺(tái)56。
如圖2所示，在半切斷部位34至少需要切斷保護(hù)薄膜30，實(shí)際上為了可靠地切斷該保護(hù)薄膜30以便切入到感光性樹脂層29 中間層28，要設(shè)定旋轉(zhuǎn)圓刀54的切入深度。半切斷部位34也可以采用通過(guò)代替旋轉(zhuǎn)圓刀54的例如除使用固定圓刀或超聲波的切斷方式之外的刮刀、后述的帶狀擠壓刀(湯姆遜刀)等形成的方式。另外，擠壓刀除了垂直方向的擠壓構(gòu)成外，還包含斜方向的擠壓構(gòu)成。
半切斷部位34為設(shè)定玻璃基板24間隔的部位，例如在兩側(cè)的上述玻璃基板24上分別設(shè)定在各進(jìn)入10mm的位置。由玻璃基板24之間的半切斷部位34夾著的部分，在后述的粘貼機(jī)構(gòu)46上具有作為在將感光性樹脂層29框架狀粘貼于上述玻璃基板24上時(shí)的掩模的功能。
對(duì)標(biāo)記粘接機(jī)構(gòu)40來(lái)說(shuō)，由于與玻璃基板24之間相對(duì)應(yīng)而殘留保護(hù)薄膜30的殘存部分30b，所以供給連結(jié)剝離側(cè)前方的剝離部分30aa和剝離側(cè)后方的剝離部分30ab的粘接標(biāo)記38。如圖2所示，保護(hù)薄膜30夾著殘存部分30b，設(shè)定先被剝離的部分為前方的剝離部分30aa，另一方面，設(shè)定后被剝離的部分為后方的剝離部分30ab。
如圖3所示，粘接標(biāo)記38呈長(zhǎng)方形狀構(gòu)成，例如由與保護(hù)薄膜30相同的樹脂材料形成。粘接標(biāo)記38在中央部具有沒(méi)有涂敷粘接劑的非粘接部(包含微粘接)38a，并且在該非粘接部38a的兩側(cè)，即上述粘接標(biāo)記38的長(zhǎng)度方向兩端部具有與前方的剝離部分30aa粘接的第一粘接部38b、和與后方的剝離部分30ab粘接的第二粘接部38c。
如圖1所示，標(biāo)記粘接機(jī)構(gòu)40具備能夠?qū)⒆畲笪鍌€(gè)粘接標(biāo)記38隔開規(guī)定間隔粘貼的吸附墊58a 58e，并且在上述吸附墊58a 58e的上述粘接標(biāo)記38的粘貼裝置上升降自如地配置有用于從下方保持感光性織物22的接受臺(tái)59。
儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42吸收上游側(cè)的感光性織物22的間歇搬運(yùn)和下游側(cè)的上述感光性織物22的連續(xù)搬運(yùn)的速度差，而且，為了防止張力變動(dòng)，最好具備由搖動(dòng)自如的兩個(gè)輥60構(gòu)成的儲(chǔ)線器(dancer) 61。另外，輥60也可以根據(jù)預(yù)定量為一套或三套以上。
保護(hù)薄膜剝離機(jī)構(gòu)44配置在儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42的下游，并且具備吸入筒62和夾住感光性織物22與該吸入筒62接觸的剝離輥64。經(jīng)由剝離輥64從感光性織物22以銳角的剝離角被剝離的保護(hù)薄膜30除殘存部分30夕卜，均被巻取到保護(hù)薄膜巻取軸66上。保護(hù)薄膜巻取軸66為了給保護(hù)薄膜30施加規(guī)定的張力，例如與轉(zhuǎn)矩電動(dòng)機(jī)68連結(jié)。
在保護(hù)薄膜剝離機(jī)構(gòu)44的下游側(cè)配設(shè)有可對(duì)感光性織物22施加張力的張力控制機(jī)構(gòu)76。張力控制機(jī)構(gòu)76具備氣缸78，在該氣缸78的驅(qū)動(dòng)作用下，張力撿拾輥(tension pick-up roller) 80搖動(dòng)變位，由此能夠調(diào)整該張力撿拾輥80滑接的感光性織物22的張力。另外，張力控制機(jī)構(gòu)76根據(jù)需要可使用，也可去掉。
檢測(cè)機(jī)構(gòu)47具備激光傳感器或光敏器件等光電傳感器82，上述光電傳感器82直接檢測(cè)半切斷部位34的楔狀的槽形狀部或保護(hù)薄膜30的厚度產(chǎn)生的臺(tái)階、或它們的組合的變化，設(shè)定該檢測(cè)信號(hào)為交界位置信號(hào)。光電傳感器82與支撐輥(backup roller) 83對(duì)置配置。另外，也可以替代光電傳感器82而使用非接觸變位計(jì)或CCD相機(jī)等圖像檢查機(jī)構(gòu)等。
加熱機(jī)構(gòu)45具備用于將玻璃基板24沿箭頭C方向搬運(yùn)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)84，該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)84具有沿箭頭C方向排列的多個(gè)樹脂制圓板狀搬運(yùn)輥86。在搬運(yùn)機(jī)構(gòu)84的沿箭頭C方向的上游側(cè)設(shè)置有接受玻璃基板24的接受部88。在接受部88的下游側(cè)排列有多個(gè)加熱爐90。
在加熱機(jī)構(gòu)45的上游設(shè)置有收容多個(gè)玻璃基板24的基板儲(chǔ)料器100。在儲(chǔ)料器100的投入及取出口以外的三個(gè)側(cè)面上付設(shè)除塵用風(fēng)扇組件(或通道組件)102。風(fēng)扇組件102向儲(chǔ)料器100內(nèi)吹出除電凈化空氣。收容于基板儲(chǔ)料器100的各玻璃基板24被吸附在設(shè)于機(jī)器人104的手部104a的吸附墊106而取出，并被搬入到接受部88。
粘貼機(jī)構(gòu)46具備上下配設(shè)且加熱到規(guī)定溫度的層壓用橡膠輥110a、110b。支撐輥112a、 112b與橡膠輥110a、 110b滑接，并且上述支撐輥112b經(jīng)由輥夾緊部114向橡膠輥110b側(cè)擠壓。
在橡膠輥110a的附近配設(shè)有用于防止感光性織物22與上述橡膠輥110a接觸的接觸防止輥116。該接觸防止輥116經(jīng)由未圖示的驅(qū)動(dòng)器可以移動(dòng)。
在粘貼機(jī)構(gòu)46和基板間織物切斷機(jī)構(gòu)48之間配設(shè)有薄膜搬運(yùn)輥118a和基板搬運(yùn)輥118b。在基板間織物切斷機(jī)構(gòu)48的下游側(cè)，沿排列多個(gè)輥119a的搬運(yùn)系統(tǒng)119配置冷卻機(jī)構(gòu)120，并且在該冷卻機(jī)構(gòu)120的下游側(cè)配置第一實(shí)施方式的支承體剝離裝置122。冷卻機(jī)構(gòu)120在經(jīng)由基板間織物切斷機(jī)構(gòu)48切斷粘貼基板24a間的感光性織物22后，對(duì)該切斷粘貼基板24a供給冷風(fēng)實(shí)施冷卻處理。具體地說(shuō)，在冷風(fēng)溫度為l(TC下，設(shè)定風(fēng)速為1.0 2.0m/min。另外，也可以不使用冷卻機(jī)構(gòu)120，而通過(guò)后述的感光性層疊體儲(chǔ)料器156進(jìn)行自然冷卻。
如圖4所示，支承體剝離裝置122具備框構(gòu)件124，在該框構(gòu)件124上，沿與粘貼基板24a的搬運(yùn)方向(箭頭C方向)正交的箭頭D方向延伸的上部導(dǎo)軌126a 126b彼此離開規(guī)定的間隔而平行延伸。在上部導(dǎo)軌126a、 126b的下方，比其短的下部導(dǎo)軌128a、 128b同樣沿箭頭D方向延伸且彼此平行設(shè)置。在上部導(dǎo)軌126a、 126b上，經(jīng)由電動(dòng)機(jī)130a、 130b支承有沿箭頭D方向可進(jìn)退的自動(dòng)式可動(dòng)構(gòu)件132a、 132b。
如圖4 圖6所示，可動(dòng)構(gòu)件132a、 132b沿垂直方向(箭頭E方向)延伸，在彼此對(duì)置的側(cè)面上設(shè)置有沿垂直方向延伸的導(dǎo)軌134a、 134b。在導(dǎo)軌134a、 134b上支承有升降臺(tái)136a、 136b，并且上述升降臺(tái)136a、 136b經(jīng)由電動(dòng)機(jī)138a、 138b可以升降。
在升降臺(tái)136a、 136b上朝向水平方向地安裝有電動(dòng)機(jī)140a、 140b，在上述電動(dòng)機(jī)140a、 140b的旋轉(zhuǎn)軸(未圖示)上固接有卡盤(把持機(jī)構(gòu))142a、 142b?？ūP142a、 142b旋轉(zhuǎn)自如地構(gòu)成，并且在粘貼基板24a的基體薄膜剝離位置，可以將從構(gòu)成上述粘貼基板24a的玻璃基板24的搬運(yùn)方向兩端向外部突出的基體薄膜26的兩側(cè)部調(diào)整位置為把持自由的位置。
電動(dòng)機(jī)130a、 130b、 138a、 138b、 140a及140b使用可控制速度或加速度的各種旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源。例如，除伺服電動(dòng)機(jī)或直動(dòng)線性電動(dòng)機(jī)之外，還可以采用直動(dòng)機(jī)器人等。
如圖4所示，在下部導(dǎo)軌128a、 128b支承有滑動(dòng)基體144a、 144b，并且在上述滑動(dòng)基體144a、 144b上可升降地支承有仿形輥146的兩端。滑動(dòng)基體144a、 144b與可動(dòng)構(gòu)件132a、 132b在箭頭D方向的規(guī)定位置之間可進(jìn)退地一體構(gòu)成。另外，仿形輥146可根據(jù)需要設(shè)置，也可以不需要。
如圖1所示，支承體剝離裝置122具備基板保持機(jī)構(gòu)149，該基板保持機(jī)構(gòu)149設(shè)有在從粘貼基板24a剝離基體薄膜26時(shí)，以水平姿勢(shì)吸附保持上述粘貼基板24a的多個(gè)吸附墊148。在該支承體剝離裝置122的附近，配設(shè)有用于把持從玻璃基板24剝離后的基體薄膜26并向規(guī)定的排出
口等(未圖示)排出的機(jī)器人手(未圖示)。
在支承體剝離裝置122的下游，設(shè)置有收容多個(gè)層疊體基板150的感 光性層疊體儲(chǔ)料器156。通過(guò)支承體剝離裝置122從粘貼基板24a剝離了 基體薄膜26及殘存部分36b的層疊體基板150被吸附在設(shè)于機(jī)器人152 手部152a的吸附墊154而取出，并被收容于感光性層疊體儲(chǔ)料器156。
在感光性層疊體儲(chǔ)料器156的投入及取出口之外的三個(gè)側(cè)面上付設(shè)除 塵用風(fēng)扇組件(或通道組件)102。風(fēng)扇組件102向感光性層疊體儲(chǔ)料器 156內(nèi)吹出除電凈化空氣。
制造裝置20中，在粘貼機(jī)構(gòu)46的上方配置有織物輸送機(jī)構(gòu)32、半切 斷機(jī)構(gòu)36、標(biāo)記粘接機(jī)構(gòu)40、儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42、保護(hù)薄膜剝離機(jī)構(gòu)44、張力 控制機(jī)構(gòu)76及檢測(cè)機(jī)構(gòu)47。與此相反，也可以在上述粘貼機(jī)構(gòu)46的下方 配置從上述織物輸送機(jī)構(gòu)32到上述檢測(cè)機(jī)構(gòu)47，且感光性織物22上下倒 置，感光性樹脂層29粘貼于玻璃基板24的下側(cè)，此外，也可以在直線上 構(gòu)成上述制造裝置20。
制造裝置20經(jīng)由層壓工序控制部160而被整體控制，在該制造裝置 20的每個(gè)功能部，設(shè)有例如層壓控制部162、基板加熱控制部164及基體 剝離控制部166等，這些機(jī)構(gòu)通過(guò)工序內(nèi)網(wǎng)絡(luò)而相連。
層壓工序控制部160與工廠網(wǎng)絡(luò)相連，根據(jù)來(lái)自未圖示的工廠CPU 的指示信息(條件設(shè)定或生產(chǎn)信息)的生產(chǎn)管理或運(yùn)轉(zhuǎn)管理等，進(jìn)行用于 生產(chǎn)的信息處理。
層壓控制部162作為工序整體的總控制對(duì)各功能部進(jìn)行控制，基于通 過(guò)檢測(cè)機(jī)構(gòu)47檢測(cè)出的感光性織物22的半切斷部位34的位置信息，例 如構(gòu)成控制加熱機(jī)構(gòu)45的控制機(jī)構(gòu)。
基體剝離控制部166對(duì)從由粘貼機(jī)構(gòu)46供給的粘貼基板24a剝離基 體薄膜26以及在下游工序中排出層疊體基板150的動(dòng)作進(jìn)行控制，并且 處理控制上述粘貼基板24a及上述層疊體基板150的信息。
如后所述，基體剝離控制部166構(gòu)成移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)控制機(jī)構(gòu) 在基體薄膜26剝離開始時(shí)，使夾盤142a、 142b按照S字曲線的速度模式 或加速度模式移動(dòng)，另一方面，在上述剝離開始工序后、到將上述基體薄膜26整體從粘貼基板24a剝離之前的期間，設(shè)定速度、加速度或減速度 變化的變化區(qū)域，并在上述變化區(qū)域內(nèi)，使上述夾盤142a、 142b按照彎 曲的速度模式、加速度模式或減速度模式移動(dòng)。
另外，以下所謂基體薄膜26的剝離速度、剝離加速度及剝離減速度 實(shí)質(zhì)上，是指夾盤142a、 142b移動(dòng)的速度、加速度及減速度。
在制造裝置20內(nèi)，通過(guò)隔壁170隔開成第一潔凈室172a和第二潔凈 室172b。在第一潔凈室172a內(nèi)收容從織物輸送機(jī)構(gòu)32到張力控制機(jī)構(gòu) 76，并且在第二潔凈室172b內(nèi)收容檢測(cè)機(jī)構(gòu)47之后的機(jī)構(gòu)。第一潔凈室 172a和第二潔凈室172b經(jīng)由貫通部174而連通。
有關(guān)該制造裝置20的動(dòng)作，因與第一實(shí)施方式的剝離方法有關(guān)，所 以以下進(jìn)行說(shuō)明。
首先，如圖1所示，從安裝于織物輸送機(jī)構(gòu)32的感光性織物輥22a 抽出感光性織物22，感光性織物22該被送到半切斷機(jī)構(gòu)36。
在半切斷機(jī)構(gòu)36上，滑動(dòng)臺(tái)52沿感光性織物22的寬度方向(與搬 運(yùn)方向正交的方向)移動(dòng)。因此，旋轉(zhuǎn)圓刀54在對(duì)感光性織物22的半切 斷部位34切入到所希望的深度的狀態(tài)下， 一邊移動(dòng)一邊旋轉(zhuǎn)。由此，在 感光性織物22上形成有從保護(hù)薄膜30切入到所希望深度的半切斷部位34 (參照?qǐng)D2)。
如圖1所示，經(jīng)過(guò)半切斷處理后的感光性織物22在根據(jù)保護(hù)薄膜30 的殘存部分30b的尺寸沿箭頭A方向被搬運(yùn)后，暫時(shí)停下來(lái)，在旋轉(zhuǎn)圓刀 54的行走作用下，形成下一個(gè)的半切斷部位34。因此，在感光性織物22 上夾著殘存部分30b設(shè)有前方剝離部分30aa和后方剝離部分30ab (參照 圖2)。
進(jìn)而，感光性織物22被搬運(yùn)到標(biāo)記粘接機(jī)構(gòu)40，保護(hù)薄膜30的規(guī)定 的粘貼部位配置在接受臺(tái)59上。標(biāo)記粘接機(jī)構(gòu)40中，通過(guò)吸附墊58a 58e而吸附保持規(guī)定數(shù)量的粘接標(biāo)記38，各粘接標(biāo)記38跨過(guò)保護(hù)薄膜30 的殘存部分30b，與前方剝離部分30aa和后方剝離部分30ab —體粘接(參 照?qǐng)D3)。
例如，粘接了五個(gè)粘接標(biāo)記38的感光性織物22，如圖1所示，經(jīng)由 儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)42防止輸出側(cè)的張力變動(dòng)后，被連續(xù)地搬運(yùn)到保護(hù)薄膜剝離機(jī)構(gòu)44。
在保護(hù)薄膜剝離機(jī)構(gòu)44中，感光性織物22被吸入筒62和剝離輥64 夾持，上述感光性織物22的基體薄膜26被吸附保持于上述吸入筒62。在 該狀態(tài)下，在旋轉(zhuǎn)吸入筒62的同時(shí)，經(jīng)由轉(zhuǎn)矩電動(dòng)機(jī)68對(duì)保護(hù)薄膜30 施加規(guī)定的轉(zhuǎn)矩。
因此，保護(hù)薄膜30殘留殘存部分30b，被從感光性織物22剝離，經(jīng) 由剝離輥64而巻繞在保護(hù)薄膜巻繞軸66上。另外，優(yōu)選向剝離部位吹附 除電空氣。
在保護(hù)薄膜剝離機(jī)構(gòu)44的作用下，保護(hù)薄膜30殘留殘存部分30b而 被從基體薄膜26剝離后，感光性織物22借助張力控制機(jī)構(gòu)76對(duì)張力進(jìn) 行調(diào)整，進(jìn)而檢測(cè)機(jī)構(gòu)47通過(guò)光電傳感器82檢測(cè)半切斷部位34。
感光性織物22基于半切斷部位34的檢測(cè)信息，運(yùn)轉(zhuǎn)開始時(shí)，在薄膜 搬運(yùn)輥118a的旋轉(zhuǎn)作用下，其后在夾持粘貼基板24a的基板搬運(yùn)輥118b 的旋轉(zhuǎn)作用下，被定量搬運(yùn)到粘貼機(jī)構(gòu)46。此時(shí)，接觸防止輥116在上方 待機(jī)，并且橡膠輥110b被配置在下方。
另一方面，加熱機(jī)構(gòu)45中，根據(jù)粘貼機(jī)構(gòu)46的層壓溫度而設(shè)定各加 熱爐90內(nèi)的加熱溫度。于是，機(jī)器人104把持被收容于基板儲(chǔ)料器100 的玻璃基板24，并將該玻璃基板24搬入到接受部88。玻璃基板24在構(gòu) 成搬運(yùn)機(jī)構(gòu)84的搬運(yùn)輥86的旋轉(zhuǎn)作用下，依次間歇地從接受部88搬運(yùn) 到各加熱爐90。
在箭頭C方向后段配置的加熱爐90中，玻璃基板24準(zhǔn)確地停止于規(guī) 定的停止位置，并且該玻璃基板24與感光性織物22的感光性樹脂層29 的粘貼部分相對(duì)應(yīng)，暫時(shí)配置于橡膠輥110a、 110b之間(參照?qǐng)D7)。
在該狀態(tài)下，經(jīng)由輥夾緊部114使支撐輥112b及橡膠輥110b上升， 由此在輥110a、 110b間以規(guī)定的擠壓壓力夾住玻璃基板24。進(jìn)而，在輥 110a的旋轉(zhuǎn)作用下，在該玻璃基板24上加熱熔融轉(zhuǎn)寫(層壓)感光性樹 脂層29。
在此，作為層壓條件，速度為1.0m/min 10.0m/min，橡膠輥HOa、 110b的溫度為80。C 140。C，上述橡膠輥110a、110b的橡膠硬度為40度 90度，該橡膠輥110a、 110b的擠壓壓力(線壓)為50N/cm 400N/cm。如圖8所示，當(dāng)經(jīng)由橡膠輥110a、 110b在玻璃基板24上層壓一張感 光性織物22結(jié)束時(shí)，上述橡膠輥110a的旋轉(zhuǎn)停止。另一方面，在玻璃基 板24上層壓了感光性織物22的粘貼基板24a由基板搬運(yùn)輥118b夾緊。 而且，橡膠輥110b向從橡膠輥110a離開的方向退避而解除夾緊。
由此，在一張的層壓處理結(jié)束，到開始下一次的層壓處理之前的時(shí)間 當(dāng)中，通過(guò)加熱機(jī)構(gòu)45加熱到規(guī)定溫度了的玻璃基板24被搬運(yùn)到橡膠輥 110a、 110b間地配置，并且，微動(dòng)運(yùn)送與上述橡膠輥110a滑接的感光性 織物22。
如圖1所示，在玻璃基板24上粘貼了感光性織物22的粘貼基板24a 沿箭頭C方向定量搬運(yùn)。而且，經(jīng)由基板間織物切斷機(jī)構(gòu)48切斷各玻璃 基板24間的感光性織物22后的粘貼基板24a，在通過(guò)冷卻機(jī)構(gòu)20冷卻后， 被移送到支承體剝離裝置122。
通過(guò)支承體剝離裝置122，粘貼基板24a的玻璃基板24側(cè)在吸附墊 148的吸引作用下被保持，另一方面，各夾盤142a、 142b配置在從玻璃基 板24的搬運(yùn)方向兩端向內(nèi)方突出的基體薄膜26的箭頭D方向的一端側(cè) (參照?qǐng)D6)。
于是，可動(dòng)構(gòu)件132a、 132b在電動(dòng)機(jī)130a、 130b的作用下移動(dòng)到粘 貼基板24a側(cè)，并且各夾盤142a、 142b開閉而把持基體薄膜26的搬運(yùn)方 向兩端部。進(jìn)而，夾盤142a、 142b在電動(dòng)機(jī)140a、 140b的作用下旋轉(zhuǎn)， 另一方面，升降臺(tái)136a、 136b及可動(dòng)構(gòu)件132a、 132b沿規(guī)定方向被驅(qū)動(dòng)控制。
因此，如圖5及圖6所示，夾盤142a、 142b沿規(guī)定的剝離軌跡移動(dòng)， 被上述夾盤142a、 142b把持的基體薄膜26從緩沖層27分離，而從粘貼 基板24a剝離。此時(shí)，仿形輥146與可動(dòng)構(gòu)件132a、 132b—體地沿箭頭D 方向移動(dòng)到規(guī)定的位置，從而使基體薄膜26圓滑且良好地剝離。通過(guò)從 粘貼基板24a剝離基體薄膜26，而得到層疊體基板150。
該情況下，在第一實(shí)施方式中，通過(guò)夾盤142a、 142b把持住基體薄 膜26后，從粘貼基板24a剝離該基體薄膜26時(shí)的剝離速度按照?qǐng)D9所示 的速度模式，按照如下所述進(jìn)行控制。
首先，在基體薄膜26的剝離開始時(shí)，夾盤142a、 142b在從時(shí)間0到時(shí)間T1之間，按照S字曲線180a的速度模式移動(dòng)。接著，在該剝離開始 工序結(jié)束后，從時(shí)間Tl到時(shí)間T2期間，設(shè)定向速度連續(xù)上升的方向變更 的變化區(qū)域，在該變化區(qū)域內(nèi)，夾盤142a、 142b按照彎曲的速度模式(以 下，稱作彎曲速度模式)180b移動(dòng)。
另外，在從時(shí)間T2到時(shí)間T3之間，設(shè)定向速度連續(xù)減少的方向變更 的變化區(qū)域，在該變化區(qū)域內(nèi)，夾盤142a、 142b按照彎曲速度模式180c 被移動(dòng)控制。另外，在彎曲速度模式180c的移動(dòng)途中的時(shí)間T3，基體薄 板26整體從粘貼基板24a剝離。另外，在從時(shí)間T4到時(shí)間T5之間，即 在剝離動(dòng)作結(jié)束工序中，夾盤142a、 142b按照S字曲線180d的速度模式 移動(dòng)、之后停止。
于是，進(jìn)行了如下實(shí)驗(yàn)對(duì)進(jìn)行圖9所示的速度控制的情況(第一實(shí) 施方式)、和進(jìn)行特開2002 234667號(hào)公報(bào)(目前)的速度控制的情況的 品質(zhì)進(jìn)行評(píng)價(jià)，得到了圖10所示的結(jié)果。
艮P，在第一實(shí)施方式中，在基體薄膜26的剝離開始時(shí)，按照S字曲 線180a控制剝離速度即夾盤142a、 142b的移動(dòng)速度。因此，不會(huì)一開始 就從粘貼基板24a上急劇剝離基體薄膜26，而且也不會(huì)對(duì)感光性樹脂層 29急劇地施加力。因此，能夠盡可能地阻止感光性樹脂層29尤其從設(shè)有 半切斷部位34的端面部脆弱的地方發(fā)生凝集破壞。
與此相反，目前方法中，在基體薄膜26的剝離開始時(shí)，設(shè)定成急劇 的剝離速度模式。所以，感光性樹脂層29從設(shè)有半切斷部位34的端面部 發(fā)生了凝集破壞。而且，因感光性樹脂層29的破壞而發(fā)生塵埃，該塵埃 例如附著在粘貼基板24a上。
進(jìn)而，在第一實(shí)施方式中，在S字曲線180a的剝離開始工序后，夾 盤142a、 142b可按照連續(xù)變更的彎曲速度模式180b、 180c移動(dòng)，由此將 基體薄膜26從粘貼基板24a上完全剝離。
因此，在基體薄膜26的剝離作業(yè)當(dāng)中，剝離速度不會(huì)發(fā)生急劇的變 化，從而能夠統(tǒng)一維持上述基體薄膜26的剝離狀態(tài)。由此，例如不會(huì)在 感光性樹脂層29的表面發(fā)生條紋等，而能夠高品質(zhì)地維持該感光性樹脂 層29的表面。
另一方面，目前方法中，由于夾盤142a、 142b按照具有彎曲部的直線狀速度模式移動(dòng)，所以在基體薄膜26的剝離途中，產(chǎn)生了與上述彎曲
部對(duì)應(yīng)的急劇的速度變化點(diǎn)(參照?qǐng)D16中的變化點(diǎn)P1、 P2及P3)，從而 在感光性樹脂層29的表面發(fā)生了條紋。
另外，在第一實(shí)施方式中，粘貼基板24a經(jīng)由基板保持機(jī)構(gòu)149保持 成水平姿勢(shì)。因此，在使用比較大型的，例如1100mmX 1350mm (厚度 0.7mm)的玻璃基板24時(shí)，能夠維持平面性且準(zhǔn)確可靠地保持上述玻璃基 板24。
另外，在第一實(shí)施方式中，對(duì)夾盤142a、 142b的基體薄膜26的剝離 速度進(jìn)行了說(shuō)明，但能夠同樣設(shè)定上述基體薄膜26的剝離加速度或剝離 減速度。
圖11是適用于本發(fā)明的第二實(shí)施方式的外層體的剝離方法的速度模 式(或加速度模式、或減速度模式)的說(shuō)明圖。
在該第二實(shí)施方式中，在基體薄膜26的剝離開始時(shí)，在使夾盤142a、 142b按照S字曲線182a移動(dòng)到時(shí)間Tl后，按照向速度連續(xù)上升的方向 變更的彎曲速度模式182b，而移動(dòng)到時(shí)間T2。
另外，從時(shí)間T2到剝離動(dòng)作結(jié)束時(shí)的時(shí)間T3，夾盤142a、 142b按 照向速度連續(xù)下降的方向變更的彎曲速度模式182c移動(dòng)。
另外，圖12是適用于本發(fā)明的第三實(shí)施方式的外層體的剝離方法的 剝離速度模式(或加速度模式、或減速度模式)的說(shuō)明圖。
在該第三實(shí)施方式中，在基體薄膜26的剝離開始時(shí)，在使夾盤142a、 142b按照S字曲線184a的速度模式移動(dòng)后，在從時(shí)間Tl到時(shí)間T2之間 設(shè)定的速度變化區(qū)域內(nèi)，夾盤142a、 142b按照彎曲速度模式184b移動(dòng)。
接著，在從時(shí)間T2到時(shí)間T3之間，剝離速度按照恒速度模式184c 維持成一定速度V2后，在從時(shí)間T3到時(shí)間T4之間設(shè)定的速度變化區(qū)域 內(nèi)，夾盤142a、 142b按照彎曲速度模式184d移動(dòng)。即，在從時(shí)間T2到 時(shí)間T4期間，剝離速度被設(shè)定成具有彎曲部的直線狀速度模式。而且， 夾盤142a、 142b按照S字曲線184e，從時(shí)間T4移動(dòng)到時(shí)間T5而停止。
這樣，在第二及第三實(shí)施方式中，按照S字曲線182a、 184a開始剝 離基體薄膜26，并且在到全部剝離該基體薄膜26之前的期間，速度(或 加速度、或減速度)不會(huì)發(fā)生急劇的變化。由此，盡可能地阻止感光性樹脂層29的凝集破壞或塵埃的發(fā)生、以及上述感光性樹脂層29表面的條紋
等不良，而得到與上述第一實(shí)施方式同樣的效果。
另外，在第三實(shí)施方式中，在基體薄膜26的剝離結(jié)束時(shí)，設(shè)定有S 字曲線184e，但也可以不利用該S字曲線184e，而以彎曲速度模式184d 使夾盤142a、 142b的移動(dòng)停止。
另外，支承體剝離裝置22構(gòu)成為沿與粘貼基板24a粘貼的粘貼方向 即搬運(yùn)方向(箭頭C方向)交叉的箭頭D方向剝離基體薄膜26，但也可 以將上述基體薄膜26的剝離方向設(shè)定為與上述粘貼基板24a的搬運(yùn)方向 平行的箭頭C方向。
圖13是本發(fā)明的第四實(shí)施方式的支承體剝離裝置190的概略立體說(shuō) 明圖。另外，對(duì)與第一實(shí)施方式的支承體剝離裝置122相同的構(gòu)成要素使 用相同的參照符號(hào)，并省略其詳細(xì)的說(shuō)明。另外，以下說(shuō)明的第五實(shí)施方 式也同樣，其詳細(xì)的說(shuō)明省略。
支承體剝離裝置190具備張力施加結(jié)構(gòu)192，該張力施加結(jié)構(gòu)192在 將基體薄膜26從粘貼基板24a剝離時(shí)，沿與玻璃基板24粘貼的粘貼方向 (箭頭C方向)對(duì)上述基體薄膜26施加張力。
張力施加結(jié)構(gòu)192具備自如把持從粘貼基板24a的搬運(yùn)方向前端側(cè) 向外部突出的基體薄膜26的前端部26a的可動(dòng)夾盤構(gòu)件194a、 196a、 198a 及200a;自如把持向上述粘貼基板24a的搬運(yùn)方向后方側(cè)突出的上述基體 薄膜26的后端部26b的可動(dòng)夾盤構(gòu)件194b、 196b、 198b及200b。
夾盤構(gòu)件194a、194b彼此在箭頭C方向上對(duì)置，其它的夾盤構(gòu)件196a、 196b、 198a、 198b及200a、 200b各自彼此在箭頭C方向上對(duì)置配置。夾 盤構(gòu)件194a 200a及196b 200b各自開閉自如且相對(duì)基體薄膜26可進(jìn) 退地構(gòu)成。另外，在第四實(shí)施方式中也可以不使用仿形輥146。
在該第四實(shí)施方式中，當(dāng)粘貼基板24a配置在基體剝離位置時(shí)，構(gòu)成 張力施加結(jié)構(gòu)192的夾盤構(gòu)件194a 200a，把持基體薄膜26的前端部26a， 并且，夾盤構(gòu)件196b 200b把持上述基體薄膜26的后端部26b。在該狀 態(tài)下，向彼此離開的方向轉(zhuǎn)矩控制夾盤構(gòu)件194a 200a和夾盤構(gòu)件196b 200b，由此對(duì)基體薄膜26沿箭頭C方向施加規(guī)定的張力。
于是，夾盤142a、 142b把持基體薄膜26的前端部26a及后端部26b的端部，沿規(guī)定的剝離軌跡而向箭頭D1方向移動(dòng)。此時(shí)，對(duì)基體薄膜26
沿箭頭C方向施加有規(guī)定的張力，從而能夠?qū)⒒w薄膜26圓滑且可靠地 從玻璃基板24剝離。
圖14是構(gòu)成本發(fā)明的第五實(shí)施方式的制造裝置的支承體剝離裝置 210的概略立體說(shuō)明圖。
支承體剝離裝置210具備張力施加結(jié)構(gòu)212，該張力施加結(jié)構(gòu)212在 從粘貼基板24a剝離基體薄膜26時(shí)，沿與上述粘貼基板24a粘貼的粘貼 方向?qū)ι鲜龌w薄膜26施加張力。
張力施加結(jié)構(gòu)212具備可把持向粘貼基板24a的搬運(yùn)方向前端側(cè)突 出的基體薄膜26的前端部26a的前端夾盤214;可把持向上述粘貼基板 24a的搬運(yùn)方向后方突出的上述基體薄膜26的后端部26b的后端夾盤216。 前端夾盤214及后端夾盤216沿箭頭D方向?qū)挿鶚?gòu)成，而可在大致寬度方 向全面上分別把持基體薄膜26的前端部26a和后端部26b。
前端夾盤214安裝在電動(dòng)機(jī)140a、 140b上，前端夾盤214的移動(dòng)方 向設(shè)定為與夾盤142a、 142b的移動(dòng)方向(箭頭D方向)正交的箭頭C方 向。另外，在第五實(shí)施方式中使用仿形輥146。
在該第五實(shí)施方式中，當(dāng)粘貼基板24a搬運(yùn)到基體剝離位置時(shí)，向該 粘貼基板24a的前端側(cè)突出的基體薄膜26的前端部26a被前端夾盤214 把持。另一方面，向粘貼基板24a的后端側(cè)突出的基體薄膜26的后端部 26b被后端夾盤216把持。
接著，轉(zhuǎn)矩控制后端夾盤216、或上述后端夾盤216及前端夾盤214， 對(duì)被這些夾持的基體薄膜26沿箭頭C方向施加張力。在該狀態(tài)下，前端 夾盤214沿規(guī)定的剝離軌跡移動(dòng)，由此，施加有規(guī)定的張力的基體薄膜26 被從玻璃基板24上圓滑且可靠地剝離。
權(quán)利要求
1、一種外層體的剝離方法，將粘貼于基板(24)的多層薄膜的外層體(26)從所述基板(24)剝離，所述外層體的剝離方法的特征在于，具有剝離開始工序，通過(guò)把持機(jī)構(gòu)(142a)把持所述外層體(26)，使所述把持機(jī)構(gòu)(142a)按照S字曲線的速度模式或加速度模式移動(dòng)；剝離工序，在所述剝離開始工序后、到從所述基板(24)剝離所述外層體(26)整體之前的期間，設(shè)定速度、加速度或減速度變化的變化區(qū)域，并在所述變化區(qū)域內(nèi)，使所述把持機(jī)構(gòu)按照彎曲的速度模式、加速度模式或減速度模式移動(dòng)。
2、 如權(quán)利要求1所述的外層體的剝離方法，其特征在于， 在所述剝離開始工序后、到從所述基板(24)剝離所述外層體(26)整體之前的期間，使所述把持機(jī)構(gòu)(142a)的速度、加速度或減速度連續(xù) 地變更。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的外層體的剝離方法，其特征在于， 在所述基板(24)被保持成水平姿勢(shì)的狀態(tài)下，將所述外層體(26)從所述基板(24)剝離。
4、 如權(quán)利要求1所述的外層體的剝離方法，其特征在于， 在對(duì)所述外層體(26)沿與所述基板(24)粘貼的粘貼方向施加了張力的狀態(tài)下，將所述外層體(26)沿與所述粘貼方向交叉的方向剝離。
5、 如權(quán)利要求1所述的外層體的剝離方法，其特征在于， 在對(duì)所述外層體(26)沿與所述基板(24)粘貼的粘貼方向施加了張力的狀態(tài)下，將所述外層體(26)沿所述粘貼方向剝離。
6、 如權(quán)利要求1所述的外層體的剝離方法，其特征在于， 所述多層薄膜至少具有粘貼于所述基板的感光性樹脂層(29)及作為所述外層體(26)的基體薄膜(26)，從所述基板(24)剝離所述基體薄膜(26)。
7、 一種外層體的剝離裝置，其將粘貼于基板(24)的多層薄膜的外 層體(26)從所述基板(24)剝離，所述外層體的剝離裝置的特征在于，具備基板保持機(jī)構(gòu)(149)，其將所述基板(24)保持為水平姿勢(shì)；把持機(jī)構(gòu)(142a)，其把持所述外層體(26)，并將所述外層體(26) 從所述基板(24)剝離；移動(dòng)控制機(jī)構(gòu)(166)，其在剝離開始時(shí)，使所述把持機(jī)構(gòu)(142a)按 照S字曲線的速度模式或加速度模式移動(dòng)，另一方面，在所述剝離開始工 序后、到從所述基板(24)剝離所述外層體(26)整體之前的期間，設(shè)定 速度、加速度或減速度變化的變化區(qū)域，并在所述變化區(qū)域內(nèi)，使所述把 持機(jī)構(gòu)(142a)按照彎曲的速度模式、加速度模式或減速度模式移動(dòng)。
8、 如權(quán)利要求7所述的外層體的剝離裝置，其特征在于， 所述外層體的剝離裝置具備張力施加結(jié)構(gòu)(192)，該張力施加結(jié)構(gòu)(192)沿與所述外層體(26)的剝離方向交叉的與所述基板(24)粘貼 的粘貼方向，對(duì)所述外層體(26)施加張力，所述張力施加結(jié)構(gòu)(192)具備分別把持從所述基板(24)的搬運(yùn)方 向前端側(cè)及搬運(yùn)方向后端側(cè)向外側(cè)突出的所述外層體(26)的前端部及后 端部的多個(gè)可動(dòng)夾盤構(gòu)件U94a、 194b)。
9、 如權(quán)利要求7所述的外層體的剝離裝置，其特征在于， 所述外層體的剝離裝置具備張力施加結(jié)構(gòu)(212)，該張力施加結(jié)構(gòu)(212)沿所述外層體(26)的剝離方向即與所述基板(24)粘貼的粘貼 方向，對(duì)所述外層體(26)施加張力，所述張力施加結(jié)構(gòu)(212)具備把持從所述基板(24)的搬運(yùn)方向前 端側(cè)及搬運(yùn)方向后端側(cè)向外側(cè)突出的所述外層體(26)的前端部及后端部 的前端夾盤(214)及后端夾盤(216)。
10、 如權(quán)利要求7所述的外層體的剝離裝置，其特征在于， 所述多層薄膜至少具有粘貼于所述基板的感光性樹脂層(29)及作為所述外層體(26)的基體薄膜，從所述基板(24)剝離所述基體薄膜(26)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種外層體的剝離方法以及剝離裝置。在支承體剝離裝置(122)中，夾盤(142a、142b)把持基體薄膜(26)，首先所述夾盤(142a、142b)按照S字曲線的速度模式移動(dòng)，由此開始從粘貼基板(24a)剝離基體薄膜(26)。接著，在直到從粘貼基板(24a)剝離基體薄膜(26)整體之前的期間，夾盤(142a、142b)按照彎曲的速度模式移動(dòng)，由此結(jié)束所述基體薄膜(26)的剝離作業(yè)。
文檔編號(hào)B65H41/00GK101460382SQ200780020110
公開日2009年6月17日 申請(qǐng)日期2007年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月30日
發(fā)明者伊本賢一, 末原和芳 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社