專利名稱：大型光罩保護膜收納容器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及光罩保護膜的收納容器，特別涉及大型光罩保護膜的收
納容器，在制造LSI或液晶面板時，該光罩保護膜用于防止異物附著 在光刻工序中使用的光掩膜或模版上。
背景技術：
以往，在半導體電路圖案等的制造中， 一般使用被稱為光罩保護膜 的防塵單元，來防止異物附著在光掩膜或模版上(例如參照專利文獻
1)。光罩保護膜在具有與光掩膜或模版的形狀一致的形狀的、厚度為 幾毫米左右的框體的上緣面上，張緊地粘接有厚度為IO微米以下的 硝化纖維素、纖維素衍生物、非晶體氟樹脂等透明的高分子膜(以 下稱為光罩保護膜體)，并且在該框體的下緣面上涂敷有粘接材料， 同時在該粘接材料上以預定的粘接力粘貼有保護薄膜。
上述粘接材料用于將光罩保護膜固定在光掩膜或模版上。此外， 保護薄膜用于保護該粘接材料的粘接面，以便直到該粘接材料被使 用為止，維持該粘接材料的粘接力。當將該光罩保護膜從制造者運送 給使用者時，為了防止異物附著在光罩保護膜體等上，或者防止光罩 保護膜受到損傷， 一般將該光罩保護膜收納在由托盤和蓋構成的收納容 器中，進而收納在防塵袋等中進行運送。
以往，如圖7和圖8所示地將光罩保護膜收納到具有上述結構的收 納容器中。即，在圖7和圖8中，光罩保護膜體52在張緊(繃緊)狀態(tài) 下粘接在框體51的一個上緣面上，在框體51的另一個面(下緣面)上 設置有適當厚度的粘接材料53，并且在粘接材料53的下表面粘貼有保護 薄膜(在附圖中未示出)，由此構成光罩保護膜。為了使粘接材料不變形， 該光罩保護膜以保護薄膜(在附圖中未示出)與托盤55的作為平坦面的 設置面55a之上接觸的方式放置。
以往，載置在托盤55的設置面55a上的光罩保護膜通過設置在托盤 55上的突起狀的柱55b約束其左右的運動，另外從上方蓋上蓋56，由夾 子57固定蓋56和托盤55的四角，由此進行收納(專利文獻l)。其結果 為，上述光罩保護膜成為被蓋56的斜面56a、柱55b和設置面55a包圍 約束并被收納的狀態(tài)。此外，也公開了上述托盤的周緣是肋結構的情況 (專利文獻2)。進而，也可以代替夾子57，使用粘接帶來密閉整周。
但是，在收納如本發(fā)明這樣的面積為1000cr^以上的大型光罩保護膜 的情況下，有可能不能獲得充分的保護效果。
此外， 一般的是，收納容器采用樹脂材料，通過注塑成形或真空成 形進行制造。但是，5英寸或6英寸的半導體用光罩保護膜的收納容器大 多通過注塑成形來成形，但面積為1000cm2以上的大型光罩保護膜用的收 納容器大多通過真空成形制造。這是因為，注塑成形能夠以高的尺寸精 度成形，但在注塑成形中很難制造這樣大型的成形品，真空成形能夠容 易地形成薄壁且大型的一體成形品。但是，隨著光罩保護膜變大，收納 容器也變大，因此有可能產(chǎn)生以下的問題。
艮P，收納容器的成形形變會增大，收納容器的翹曲量也變得很大。 當翹曲量很大時，在水平保管(將光罩保護膜放入收納容器中并在水平 狀態(tài)下進行保管)中，其形狀容易轉印到掩膜粘接材料上而發(fā)生變形。
如果粘接材料發(fā)生變形，則在粘貼掩膜時，可能產(chǎn)生掩膜粘接材料 的一部分不粘貼在掩膜上等粘貼不良。
進而，由于收納容器的剛性不足，有可能產(chǎn)生這樣的問題即，在 進行搬運時根據(jù)收納容器的握持方式的不同而使收納容器產(chǎn)生形變，或 者在縱置保管(將光罩保護膜放入收納容器中并將收納容器直立起來保 管)時收納容器產(chǎn)生形變。當收納容器發(fā)生形變時，托盤的形變形狀就 有可能轉印在粘接材料上。當粘接材料變形時，就有可能發(fā)生先前所述 的粘貼不良。
此外，當收納容器形變時，因收納容器的設計使光罩保護膜與收納 容器的蓋發(fā)生摩擦，所以產(chǎn)生灰塵，從而有可能產(chǎn)生異物附著在光罩保
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設置面55a之上接觸的方式放置。200580047404.5
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設置面55a之上接觸的方式放置。
以往，載置在托盤55的設置面55a上的光罩保護膜通過設置在托盤 55上的突起狀的柱55b約束其左右的運動，另外從上方蓋上蓋56，由夾 子57固定蓋56和托盤55的四角，由此進行收納(專利文獻l)。其結果 為，上述光罩保護膜成為被蓋56的斜面56a、柱55b和設置面55a包圍 約束并被收納的狀態(tài)。此外，也公開了上述托盤的周緣是肋結構的情況 (專利文獻2)。進而，也可以代替夾子57，使用粘接帶來密閉整周。
但是，在收納如本發(fā)明這樣的面積為1000cr^以上的大型光罩保護膜 的情況下，有可能不能獲得充分的保護效果。
此外， 一般的是，收納容器采用樹脂材料，通過注塑成形或真空成 形進行制造。但是，5英寸或6英寸的半導體用光罩保護膜的收納容器大 多通過注塑成形來成形，但面積為1000cm2以上的大型光罩保護膜用的收 納容器大多通過真空成形制造。這是因為，注塑成形能夠以高的尺寸精 度成形，但在注塑成形中很難制造這樣大型的成形品，真空成形能夠容 易地形成薄壁且大型的一體成形品。但是，隨著光罩保護膜變大，收納 容器也變大，因此有可能產(chǎn)生以下的問題。
艮P，收納容器的成形形變會增大，收納容器的翹曲量也變得很大。 當翹曲200580047404.5
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設置面55a之上接觸的方式放置。
以往，載置在托盤55的設置面55a上的光罩保護膜通過設置在托盤 55上的突起狀的柱55b約束其左右的運動，另外從上方蓋上蓋56，由夾 子57固定蓋56和托盤55的四角，由此進行收納(專利文獻l)。其結果 為，上述光罩保護膜成為被蓋56的斜面56a、柱55b和設置面55a包圍 約束并被收納的狀態(tài)。此外，也公開了上述托盤的周緣是肋結構的情況 (專利文獻2)。進而，也可以代替夾子57，使用粘接帶來密閉整周。
但是，在收納如本發(fā)明這樣的面積為1000cr^以上的大型光罩保護膜 的情況下，有可能不能獲得充分的保護效果。
此外， 一般的是，收納容器采用樹脂材料，通過注塑成形或真空成 形進行制造。但是，5英寸或6英寸的半導體用光罩保護膜的收納容器大 多通過注塑成形來成形，但面積為1000cm2以上的大型光罩保護膜用的收 納容器大多通過真空成形制造。這是因為，注塑成形能夠以高的尺寸精 度成形，但在注塑成形中很難制造這樣大型的成形品，真空成形能夠容 易地形成薄壁且大型的一體成形品。但是，隨著光罩保護膜變大，收納 容器也變大，因此有可能產(chǎn)生以下的問題。
艮P，收納容器的成形形變會增大，收納容器的翹曲量也變得很大。 當翹曲
護膜上的問題。
因此，為了使收納容器具有剛性，也考慮加厚容器的厚度，但那樣 重量就會增加，可以推測操作性就會變得非常差。
此外，即使為了使收納容器具有剛性而設置肋，在面積為lOOOcm2
以上的大型光罩保護膜的收納容器中，由于在收納容器上凹凸增加，清 洗性和確認有無異物附著的作業(yè)性有可能變差，因此也不理想。
專利文獻1:日本特開2000-173887號公報 專利文獻2:日本特開平8-62828號公報

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明以提供在搬送和保管之后仍能夠維持大型光 罩保護膜的本來功能的收納容器作為課題。
因此，本發(fā)明的發(fā)明者經(jīng)過認真研究完成了本發(fā)明，本發(fā)明是具有 以下結構的收納容器，其在搬送和保管之后仍能夠維持大型光罩保護膜 的本來功能。
艮P，本發(fā)明為-
1. 一種大型光罩保護膜用收納容器，其由收納光罩保護膜的托盤和 覆蓋托盤的蓋構成，所述光罩保護膜的面積為1000cm2以上，該蓋和/或 托盤構成為包含具有蜂窩結構的材料。
2. 在上述1所述的收納容器中，上述收納容器具有從以下結構中選 擇的至少一種結構
在上述蓋和/或托盤的表面上的至少一部分上配置具有上述蜂窩結 構的板狀材料的結構；和
在上述蓋和/或托盤的至少一部分中埋入具有上述蜂窩結構的板狀 材料的結構。
3. 在上述1或2所述的收納容器中，上述收納容器具有以下結構 在上述蓋和/或托盤的外表面?zhèn)扰渲镁哂蟹涓C結構的板狀材料。
4. 在上述1至3中的任一項所述的收納容器中，上述收納容器具有
以下結構
上述托盤采取使載置大型光罩保護膜的部分與該托盤的其它部分處 于同一平面上的形態(tài)，或者采取使載置大型光罩保護膜的部分相對于該 托盤的其它部分隆起的形態(tài)，并且具有上述蜂窩結構的材料被配置在該 載置的部分上或者埋入該載置的部分中。
5. 在上述1至4中的任一項所述的收納容器中，上述收納容器具有 以下結構
在上述蓋和/或托盤的整個表面上和/或內(nèi)部配置有上述蜂窩結構 的材料。
6. 在上述1至5中的任一項所述的收納容器中，上述托盤自身由具 有蜂窩結構的材料構成。
7. —種大型光罩保護膜收納結構體，其構成為包含上述1至6中的
任一項所述的收納容器、和收納在該收納容器中的光罩保護膜。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種剛性高、平坦性和清洗性優(yōu)異的大型光 罩保護膜用的收納容器。因此，光罩保護膜的粘接材料不會變形，從而 能夠防止光罩保護膜相對于掩膜或模版的粘貼不良。此外，能夠防止 因搬運收納容器時的握持方法，或者在縱置保管時由于光罩保護膜與大 型光罩保護膜收納容器發(fā)生摩擦而產(chǎn)生的細小的灰塵附著在光罩保護膜 上。因此，在從制造者搬送到使用者期間，不會損害光罩保護膜的功能， 使用者總是能夠使用具有穩(wěn)定質量的光罩保護膜，本發(fā)明特別有助于質 量的穩(wěn)定。


圖1是例示各種蜂窩板的截面圖。
圖2A是表示蓋、光罩保護膜以及托盤的截面圖。
圖2B是從側面觀察到的、在由蓋和托盤構成的大型光罩保護膜收納 容器的內(nèi)部收納有光罩保護膜的收納結構體的截面圖。
圖3是從上方觀察到的將加強板粘貼到收納容器上的狀態(tài)的圖。
圖4A是從側面觀察到的、以蜂窩板作為加強板載置在托盤的整個表 面上的狀態(tài)的截面圖。
圖4B是從側面觀察到的、以蜂窩板作為加強板載置在托盤的外周部 上的狀態(tài)的截面圖。
圖5A是從側面觀察到的以蜂窩板自身作為托盤使用的情況下的狀態(tài)
的截面圖，是托盤的整個表面成為蜂窩板的情況的圖。
圖5B是從側面觀察到的以蜂窩板自身作為托盤使用的情況下的狀態(tài)
的截面圖，是在托盤的外周部使用峰窩板的情況的圖。
圖6是在將蜂窩板自身用作托盤的情況下的從上方觀察的示意圖。 圖7是從上方觀察到的將光罩保護膜體收納在本發(fā)明的收納容器中 的狀態(tài)的立體圖。
圖8是從側面觀察到的將光罩保護膜體收納在本發(fā)明的收納容器中 的狀態(tài)的截面圖。
具體實施例方式
以下，對本發(fā)明進行詳細說明。
本發(fā)明的一個實施方式是面積為1000cm2以上的大型光罩保護膜用 收納容器，其中，通過在蓋和/或托盤的表面上的至少一部分上設置加
強板，使收納容器的形變仿效加強板，從而使其具有平坦性。由此，由 于能夠使該收納容器具有剛性，所以能夠防止在搬運時和縱置保管時殼 體發(fā)生形變。進而，通過將加強板配置在蓋和/或托盤的外表面?zhèn)?不 面向載置光罩保護膜側的一側)，與對收納容器的蓋或托盤的內(nèi)表面?zhèn)?(光罩保護膜的載置側)進行加強的情況相比，由于不會產(chǎn)生凹凸，因 此不會損害清洗性以及確認有無異物附著的作業(yè)的容易程度，可以起到 更理想的效果。
此外，在本發(fā)明的另一個方式中，通過將加強板埋入蓋和/或托盤 內(nèi)，也可以得到與上述同樣的效果。在埋入加強板的情況下，加強板的 一個面既可以露出到蓋和/或托盤的表面，也可以將加強板整體包埋。 這樣，通過將加強板埋入蓋和/或托盤內(nèi)，不會產(chǎn)生凹凸，能夠維持平 坦性并提高剛性。
在本發(fā)明的又一個方式中，通過在收納容器的整個表面上配置加強
板，能夠防止光罩保護膜的粘接材料部的變形，并且也能夠進一步提高 殼體的剛性。
另外，在本發(fā)明中，在托盤采取使載置光罩保護膜的部分與該托盤 的其它部分處于同一平面上的形態(tài)，或者采取使載置光罩保護膜的部分 相對于該托盤的其它部分隆起的形態(tài)的情況下，通過將加強板配置于載 置光罩保護膜的部分，或者埋入載置光罩保護膜的部分中，能夠保持收 納容器的平坦性，并提高剛性。由此能夠實現(xiàn)本發(fā)明的效果。
作為在本發(fā)明中使用的加強板，可以使用碳鋼或不銹鋼、鋁合金、 鈦合金等金屬板，或聚碳酸酯、聚縮醛、聚丁烯對酞酸鹽、變性聚苯醚、 玻璃纖維增強聚對苯二甲酸乙二酯、聚苯硫醚、聚醚酰亞胺、聚酰胺酰 亞胺、聚酰亞胺等工程塑料板。作為形狀，可以使用如沖孔金屬那樣的 局部中空的形狀或蜂窩結構的板。特別優(yōu)選的是蜂窩結構的板。這是因 為，通過使用蜂窩結構的板，既能夠盡可能地抑制因使用加強板而導致 的重量增加，又能夠維持收納容器的平坦性并提高剛性。
蜂窩的小室尺寸等只要從剛性、平坦性和重量的觀點進行選擇即可，
例如，可以從0. lram到100mm等中選擇。優(yōu)選的是0. 3mm到50咖。此夕卜， 小室的高度并沒有特別限定，例如可以從lmm到20(km中進行選擇。優(yōu) 選的是3mm到100mm。此外，頂板、底板的厚度也沒有特別限定，例如可 以從O. lmm到300mm的范圍中選擇。優(yōu)選的是0. 2mm到20mm。
此外，小室的形狀并沒有特別指定，可以列舉出六角形、OX形、彎 曲形、交叉形狀和羽狀等，優(yōu)選的是六角形。
此外，在本發(fā)明的一個實施方式中，收納容器的蓋和/或托盤本身 也可以由具有上述蜂窩結構的材料自身構成。由此，除了能夠提高剛性 并維持平坦性之外，同時還能夠實現(xiàn)進一步的輕量化。
所謂的本發(fā)明中可以使用的具有蜂窩結構的板狀材料， 一般只要具 有蜂窩結構，可以是任何材料。根據(jù)使用方式的不同，可以是頂板和底 板隔著蜂窩結構的部分對置的材料(圖1中的(l))、也可以是僅有蜂窩 結構的部分和頂板的結構(圖1中的(2))、或者僅有蜂窩結構的部分和 底板的結構(圖l中的(3))。此外，也可以是僅由蜂窩結構構成的材料
(圖1中的(4))。
例如，在托盤的表面上配置具有蜂窩結構的板狀材料(以下稱為蜂 窩板)的情況下，在載置光罩保護膜的一側配置蜂窩板時，通過配置由 頂板和蜂窩結構的部分構成的材料，并使托盤的配置面起到底板的作用， 能夠以不使用底板的量，抑制重量的增加和凹凸的大小。
反之，在未載置光罩保護膜的一側使用蜂窩板的情況下，通過配置 由底板和蜂窩結構的部分構成的材料，并使托盤的配置面起到頂板的作 用，能夠以不使用頂板的量，抑制重量的增加和凹凸的大小。
并且，在本發(fā)明中，并不限定蜂窩結構的部分的材質，如上所述， 可以使用碳鋼或不銹鋼、鋁合金、鈦合金等金屬板，或聚碳酸酯、聚縮 醛、聚丁烯對酞酸鹽、變性聚苯醚、玻璃纖維增強聚對苯二甲酸乙二酯、 聚苯硫醚、聚醚酰亞胺、聚酰胺酰亞胺、聚酰亞胺等工程塑料等，優(yōu)選 的是金屬，更為優(yōu)選的是鋁合金。此外，從使用前確認有無異物附著的
作業(yè)性的觀點出發(fā)，也可以進行黑色氧化鋁膜處理或噴丸(blast)處理，
以及兩者都進行。
以下，利用附圖，更具體地說明作為本發(fā)明的一個方式的使用蜂窩 板構成的大型光罩保護膜用收納容器。
首先，圖2表示本發(fā)明的大型光罩保護膜收納容器的整體圖。 如圖2A所示，大型光罩保護膜收納容器用于在內(nèi)部收納光罩保護膜 1,其由托盤2和蓋3構成。光罩保護膜l由光罩保護膜體ll、粘貼有光 罩保護膜體11的框體12、以及用于將框體粘貼在掩膜或模版上的粘接材 料13等構成。此處，在本實施方式中，光罩保護膜1是光罩保護膜體11 的面積超過1000cm2的大型光罩保護膜。
在托盤2中沿周邊形成有載置光罩保護膜1的隆起部21，隆起部21 的內(nèi)側(中央側)成為平面部22。托盤2通過真空成形制造，在隆起部 21的外表面?zhèn)刃纬捎胁鄄?3。此外，在隆起部21的上部立起地突出設 置有多個肋24，該肋24與光罩保護膜1的保護薄膜的外形部接觸，從而 約束橫向的移動。由于所收納的光罩保護膜的面積超過1000cm2，因此， 平面部22的面積也以此為準。
蓋3與托盤2相同，也通過真空成形制造。如圖2B所示，通過蓋住
托盤2來收納光罩保護膜1。在將托盤2與蓋3合上之后，通過使未圖示
的粘接帶的周邊圍繞端邊來進行密封。
作為托盤2和蓋3的材質，沒有特別指定，可以使用丙烯酸樹脂、 聚對苯二甲酸乙二酯樹脂、丙烯腈一丁二烯一苯乙烯樹脂等。進而，除 上述樹脂以外，也可以使用聚對苯二甲酸乙二酯以外的聚酯樹脂、聚乙 烯或聚丙烯等烯烴類樹脂、聚苯乙烯或丙烯腈一苯乙烯樹脂等聚苯乙烯 類樹脂等。
在上述結構中， 一般由于托盤2和蓋3的外周附近彎曲，因此在周 邊部具有某種程度的剛性。但是，平面部22的強度弱，此外，當其面積 成為1000cm2以上時，容器整體的剛性就變得不足，很容易產(chǎn)生翹曲或撓 曲。因此，在本發(fā)明的一個實施方式中，在托盤2的外表面?zhèn)劝惭b蜂窩 板4。由此能夠大幅度提高容器整體的剛性。
圖3是從上方觀察將蜂窩板配置在收納容器的蓋和/或托盤的表面， 或者埋入其中的情況(蜂窩板的面顯現(xiàn)在表面上的情況)的蜂窩板的配 置方式時的示意圖。外周部對應于載置光罩保護膜的框體的形狀，從圖 中可清楚地得知，在沿著框體形狀的部分以外也配置有蜂窩板。并且， 優(yōu)選在沿著框體形狀的部分配置蜂窩板，但即使不這樣也可以達到效果。
并且，在蓋和/或托盤的表面上配置蜂窩板的情況下，雖然配置在 內(nèi)表面?zhèn)纫材軌蛱岣邉傂?，但如果配置在外表面?zhèn)?，除了能夠提高剛?之外，也能夠提高平坦性，因此是優(yōu)選的。
圖4A和圖4B是在托盤的載置光罩保護膜一側的相反側(外表面?zhèn)? 使用蜂窩板加強的情況下的截面的示意圖。圖4A是表示以蜂窩板作為加 強板載置在托盤的整個表面上的圖。圖4B是表示以蜂窩板作為加強板載 置在托盤的外周部上的圖。
圖5A和圖5B是在托盤使用蜂窩板本身的情況下的截面的示意圖。 圖5A是表示以蜂窩板本身作為托盤使用的情況下的截面的示意圖，是托 盤的整個表面成為蜂窩板的情況的圖。圖5B是表示以蜂窩板本身作為托 盤使用的情況下的截面的示意圖，是在托盤的外周部使用蜂窩板的情況的圖。
圖6是在將蜂窩板本身用作托盤的情況下的從上方觀察的示意圖。 當托盤使用蜂窩板本身時，蜂窩板既可以僅由頂板和蜂窩結構的部分構 成，也可以由頂板、蜂窩結構的部分以及底板構成。此外，當在框體的 外周部使用蜂窩板時，既可以在包含沒有蜂窩板的中央部在內(nèi)的托盤的 整個表面上使用頂板，也可以只在外周部設置蜂窩部和頂板。
在本發(fā)明中，在加強板或托盤使用蜂窩板的收納容器中，優(yōu)選設置 罩以防止從蜂窩部側面產(chǎn)生灰塵。
本發(fā)明的大型光罩保護膜用收納容器，能夠以穩(wěn)定的狀態(tài)收納面積
為1000cm2以上的大型光罩保護膜，不會損傷大型光罩保護膜地安全進行
搬送和保管。
權利要求
1.一種大型光罩保護膜用收納容器，其由收納光罩保護膜的托盤和覆蓋托盤的蓋構成，所述光罩保護膜的面積為1000cm2以上，該蓋和/或托盤構成為包含具有蜂窩結構的材料。
2. 如權利要求1所述的收納容器，其特征在于， 上述收納容器具有從以下結構中選擇的至少一種結構 在上述蓋和/或托盤的表面上的至少一部分上配置具有上述蜂窩結構的板狀材料的結構；和在上述蓋和/或托盤的至少一部分中埋入具有上述蜂窩結構的板狀 材料的結構。
3. 如權利要求1或2所述的收納容器，其特征在于， 上述收納容器具有以下結構在上述蓋和/或托盤的外表面?zhèn)扰渲镁哂蟹涓C結構的板狀材料。
4. 如權利要求1至3中的任一項所述的收納容器，其特征在于， 上述收納容器具有以下結構上述托盤采取使載置大型光罩保護膜的部分與該托盤的其它部分處 于同一平面上的形態(tài)，或者采取使載置大型光罩保護膜的部分相對于該 托盤的其它部分隆起的形態(tài)，并且具有上述蜂窩結構的材料被配置在該 載置的部分上或者埋入該載置的部分中。
5. 如權利要求1至4中的任一項所述的收納容器，其特征在于，上述收納容器具有以下結構在上述蓋和/或托盤的整個表面上和/或內(nèi)部配置有上述蜂窩結構 的材料。
6. 如權利要求1至5中的任一項所述的收納容器，其特征在于， 上述托盤自身由具有蜂窩結構的材料構成。
7. —種大型光罩保護膜收納結構體，其構成為包含權利要求1至6 中的任一項所述的收納容器、和收納在該收納容器中的光罩保護膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種大型光罩保護膜用收納容器，其由收納光罩保護膜的托盤和覆蓋托盤的蓋構成，所述光罩保護膜的面積為1000cm²以上，該蓋和/或托盤構成為包含具有蜂窩結構的材料。
文檔編號B65D85/38GK101111802SQ20058004740
公開日2008年1月23日 申請日期2005年1月27日 優(yōu)先權日2005年1月27日
發(fā)明者栗山芳真, 脇元一郎, 船渡彰 申請人:旭化成電子材料元件株式會社