技術(shù)編號：4389537
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光罩保護膜的收納容器，特別涉及大型光罩保護膜的收納容器，在制造LSI或液晶面板時，該光罩保護膜用于防止異物附著 在光刻工序中使用的光掩膜或模版上。背景技術(shù)以往，在半導體電路圖案等的制造中， 一般使用被稱為光罩保護膜 的防塵單元，來防止異物附著在光掩膜或模版上(例如參照專利文獻1)。光罩保護膜在具有與光掩膜或模版的形狀一致的形狀的、厚度為 幾毫米左右的框體的上緣面上，張緊地粘接有厚度為IO微米以下的 硝化纖維素、纖維素衍生物、非晶體氟樹脂等透明的高...
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