專利名稱：用于傳送面板的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于傳送面板的裝置，更具體地，涉及在有效地傳送面板的同時(shí)可以防止面板受到污染的裝置。
背景技術(shù)：
通常，諸如平板顯示器、半導(dǎo)體晶片、液晶顯示器和光掩模玻璃等面板在經(jīng)過(guò)諸如沉積、蝕刻、剝離、清潔和漂洗等一系列處理線時(shí)進(jìn)行處理。
為了在這些處理線之間傳送面板，面板傳送裝置實(shí)質(zhì)上是必不可少的。
板傳送裝置可以設(shè)計(jì)成多種結(jié)構(gòu)，但是，通常使用水平傳送面板的結(jié)構(gòu)。也就是說(shuō)，為了處理面板，面板傳送裝置水平傳送面板，以將面板移交到布置在處理線入口的裝載機(jī)，或者從裝載機(jī)中接過(guò)已處理的面板，并將該已處理的面板移交到其它的處理線。
但是，隨著面板尺寸的增大和由于附著在面板表面上的雜質(zhì)保留在容器中，面板在容器中水平地傳送，面板可能被污染或者有污點(diǎn)。
為了解決上述問(wèn)題，已經(jīng)提出了一種傳送處于傾斜狀態(tài)的面板的傳送方法。申請(qǐng)?zhí)枮?95-315675，95-344610和96-38472的日本專利申請(qǐng)披露了該方法。在這些專利中，處理裝置布置成直進(jìn)式排列，并且以傾斜狀態(tài)傳送面板。
但是，由于處理裝置都布置成直進(jìn)式排列，用于裝置的安裝面積便會(huì)增加。
另外，為了傳送處于傾斜狀態(tài)的面板，安裝用于傳送面板的滾筒組件由面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元從水平狀態(tài)轉(zhuǎn)換到傾斜狀態(tài)，因此用于驅(qū)動(dòng)滾筒的驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。特別是這種結(jié)構(gòu)并不適于傳送和處理大尺寸的面板。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明致力于解決上述問(wèn)題。
本發(fā)明的目的是提供一種面板傳送裝置，通過(guò)在多層結(jié)構(gòu)中安裝面板供給線和面板處理線，該面板傳送裝置可以有效地傳送和處理面板。
本發(fā)明的另一目的是提供一種具有轉(zhuǎn)換單元的面板傳送裝置，該轉(zhuǎn)換單元將面板從水平位置轉(zhuǎn)換到傾斜位置，該面板傳送裝置具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種面板傳送裝置，包括框架；提供在該框架上以傳送面板的第一面板傳送單元；倒換單元，用于從該第一面板傳送單元接收該面板，以倒換面板傳送方向；具有滾筒的第二面板傳送單元，該滾筒用于從該倒換單元接收該面板，并將該面板傳送到面板處理單元。


包括在本申請(qǐng)中和構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖提供了對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，這些附圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例，并且與說(shuō)明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。在附圖中圖1為根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的面板傳送裝置的示意圖；圖2為圖1中示出的支撐部分、傾斜調(diào)整單元和升降單元的放大圖；圖3為圖1中示出的傾斜調(diào)整單元的放大透視圖；圖4為當(dāng)傾斜調(diào)整單元和升降單元上升時(shí)面板接收狀態(tài)的側(cè)視圖；圖5為示出了傾斜調(diào)整單元和升降單元上升時(shí)的面板移交狀態(tài)的側(cè)視圖；圖6為示出了面板被裝載到面板裝載底部的狀態(tài)；圖7為根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的面板傳送裝置的透視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在詳細(xì)參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，附圖中示出了它們的示例。盡可能地在所有附圖中使用相同的參考標(biāo)號(hào)來(lái)表示相同或類似的部分。
如圖1和圖2所示，本發(fā)明的面板傳送裝置包括框架1；提供在該框架1上以傳送面板G的第一面板傳送單元3；倒換單元(inversion unit)6，用于從該第一面板傳送單元3接收面板G，以倒換面板傳送方向；具有滾筒R的第二面板傳送單元，該滾筒用于從倒換單元6接收面板G，并且將該面板G傳送到用于剝離、漂凈和洗滌面板G的面板處理單元10。
第一面板傳送單元3包括安裝在框架1上的直線運(yùn)動(dòng)組件8和具有可滑動(dòng)地安置在直線運(yùn)動(dòng)組件8上的滑塊的傳送器4。該傳送器4具有托盤2，面板G可以布置在該托盤2上。托盤2被提供在兩側(cè)端，并且?guī)в猩叩牟糠諴，以便當(dāng)面板G布置在托盤2上時(shí)在面板G和托盤2之間提供間隙。
從傳送器4接收面板G的倒換單元6包括一對(duì)用于接收面板G的對(duì)向支撐部分(hand portion)H。該支撐部分H位于與直線運(yùn)動(dòng)組件8相同的方向上，以前進(jìn)到在傳送面板G和托盤2之間界定的空間中。
當(dāng)面板G由機(jī)器人裝載時(shí)，直線運(yùn)動(dòng)組件8工作，以開始傳送面板G。
支撐部分H包括多個(gè)桿構(gòu)件L，面板G被支撐在這些桿構(gòu)件L上。
倒換單元6具有提升和降低支撐部分H的結(jié)構(gòu)，以垂直地傳送在水平方向進(jìn)給的面板G。
支撐部分H互相移開，以改變其中的間隙。
也就是說(shuō)，支撐部分H的下端安裝在導(dǎo)向軌21上，以便可以在水平方向上移動(dòng)。導(dǎo)向軌21可移動(dòng)地安裝在沿著多個(gè)固定在框架1中的擋板12上的導(dǎo)向構(gòu)件14的垂直方向上。具有以彼此相對(duì)方向形成的對(duì)應(yīng)螺紋的第一絲杠15被螺旋連接到支撐部分H的下端19。
第一電機(jī)組件23的旋轉(zhuǎn)力使得第一絲杠15旋轉(zhuǎn)。通過(guò)多種結(jié)構(gòu)將旋轉(zhuǎn)力從第一電機(jī)組件23傳遞到第一絲杠15。
在此處的實(shí)施例中，為了提高和降低倒換單元6，導(dǎo)向構(gòu)件14安裝在擋板12上，并且第二絲杠11被螺旋連接到沿著導(dǎo)向構(gòu)件14可移動(dòng)地安裝的導(dǎo)向軌21的后表面。第二絲杠11連接到第二電機(jī)組件13，以可以傳遞旋轉(zhuǎn)力。
通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，第一和第二電機(jī)組件23和13使得支撐部分H在垂直和水平方向上移動(dòng)，從而互相接近或者離開。
同時(shí)，在倒換單元6下面，提供用于轉(zhuǎn)換面板G狀態(tài)的面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元5。
如圖3和圖4所示，該面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元5包括多個(gè)位于框架1下面的垂直導(dǎo)向構(gòu)件S；第一固定板f1，導(dǎo)向構(gòu)件S固定地穿過(guò)第一固定板f1；第二固定板f2，導(dǎo)向構(gòu)件S固定地穿過(guò)第二固定板f2，并且該第二固定板f2與第一固定板f1相間隔；位于第二固定板f2上面的可移動(dòng)板m，可移動(dòng)板m可以垂直地移動(dòng)。
包括位于驅(qū)動(dòng)部分殼體51的第三電機(jī)組件52中的升降單元將可移動(dòng)板m向上和向下移動(dòng)。
第三電機(jī)組件52設(shè)計(jì)為通過(guò)齒輪或者皮帶向絲杠62傳遞旋轉(zhuǎn)力。絲杠62被螺旋連接到可移動(dòng)板m，延伸穿過(guò)第一和第二固定板f1和f2。
在可移動(dòng)板m上提供傾斜裝置17。該傾斜裝置17包括鉸合連接到可移動(dòng)板m的底部36；多個(gè)互相隔開并固定在底部36上的第一支撐構(gòu)件18；多個(gè)垂直固定在第一支撐構(gòu)件18上的支撐銷38。
底部36通過(guò)托架/鉸鏈銷組件22鉸合連接到可移動(dòng)板m。氣缸組件24安裝在遠(yuǎn)離鉸合連接部分的位置處，以向上和向下移動(dòng)底部36。
氣缸組件24的活塞端被球窩接頭安裝到底部36。因此，當(dāng)氣缸組件24向上和向下移動(dòng)時(shí)，鉸鏈銷組件22使底部36傾斜。
支撐銷38包括第一銷38a和38b和第二銷39a和39b，第一銷38a和38b位于第一支撐構(gòu)件18的外端部分，第二銷39a和39b位于第一支撐構(gòu)件18的內(nèi)端部分，如圖6所示，其中第一銷38a和38b的長(zhǎng)度大于第二銷39a和39b的長(zhǎng)度。
固定支架20安裝在第一支撐構(gòu)件18上，第二支撐構(gòu)件26安裝在固定支架20上。固定銷28安裝在第二支撐構(gòu)件26的兩對(duì)端。
固定銷28可以設(shè)計(jì)為沿著第二支撐構(gòu)件26的縱向方向互相接近和離開。為了移動(dòng)固定銷28，可以利用諸如活塞移動(dòng)結(jié)構(gòu)等多種結(jié)構(gòu)，此處省略了對(duì)該結(jié)構(gòu)的詳細(xì)說(shuō)明。
當(dāng)傾斜裝置17位于上升位置時(shí)，用于將面板傳送到面板處理單元的第二面板傳送單元的面板傳送滾筒R安裝在第一和第二支撐構(gòu)件18和26之間。
第二面板傳送單元的滾筒R是傾斜的，或者改變到傾斜位置。
在圖1中，雖然傾斜裝置17只是安裝在面板處理單元10的入口側(cè)，傾斜裝置17也可以被安裝在面板處理單元10的出口側(cè)。
如圖6所示，通過(guò)形成不同高度L1和L2的支撐銷38a，38b和39a，39b，可以提高面板裝載的穩(wěn)定性。
也就是說(shuō)，位于出口部分的第一支撐銷38a和38b的高度L1大于位于入口部分的第二支撐銷39a和39b的高度L2。雖然裝載到支撐銷38的面板G看起來(lái)是水平布置的，由于出口支撐銷38a和38b的支撐點(diǎn)P1和P4要高于入口支撐銷39a和39b的支撐點(diǎn)P2和P3，所以其實(shí)它是彎曲的。
因此，由于面板G布置在具有不同高度的支撐銷上，所以可以更加穩(wěn)固地傳送面板G。
在這個(gè)實(shí)施例中，支撐銷之間的高度差非常小。
圖7示出了本發(fā)明的另一優(yōu)選實(shí)施例。
在這個(gè)實(shí)施例中，面板傳送單元布置在處理線之間，以在處理線之間接收和移交處于傾斜狀態(tài)的面板。
也就是說(shuō)，如圖7所示，在提供有臺(tái)階的處理線71和79之間布置圖2所示的面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元5，因此允許將從處理線71傳送來(lái)的面板G以傾斜狀態(tài)傳送到處理線79。
下面參照

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的面板傳送裝置的操作。
如圖1至圖6所示，當(dāng)期望傳送面板G時(shí)，利用諸如機(jī)器人等工具將面板G裝載到第一面板傳送單元3的傳送器4上。那么在圖1中，操作直線運(yùn)動(dòng)組件8，使傳送器4向左移動(dòng)。
在這一點(diǎn)處，支撐部分H位于傳送器4的托盤2和面板G之間，并且控制單元(沒(méi)有示出)終止傳送器4的移動(dòng)。
接著，通過(guò)操作第二電機(jī)組件13，支撐部分H稍微上升，以從傳送器4移開面板G。結(jié)果，傳送器4被直線運(yùn)動(dòng)組件8返回到其開始位置，并且同時(shí)，操作第二電機(jī)組件13以降低支撐部分H。
也就是說(shuō)，當(dāng)操作第二電機(jī)組件13來(lái)降低支撐部分H時(shí)，螺旋連接到第二絲杠11的導(dǎo)向軌21降低。結(jié)果，連接到軌21的支撐部分H向下移動(dòng)。
正如上面描述的，當(dāng)面板G的傳送方向被倒換單元6倒換為垂直方向時(shí)，面板G移交到安裝在支撐部分H下面的面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元5。
也就是說(shuō)，當(dāng)位于支撐部分H上的面板G下降時(shí)，如圖4所示，面板G將位于面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元5的支撐銷38上。
在這一點(diǎn)，面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元5保持它的水平狀態(tài)。當(dāng)處于水平位置的面板G移交到面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元5時(shí)，傾斜裝置17開始工作。
也就是說(shuō)，當(dāng)氣缸組件24啟動(dòng)時(shí)，底部36的一側(cè)將下降。結(jié)果，如圖5所示，底部36被托架/鉸鏈銷組件22向右下傾斜。在這一點(diǎn)，安裝在第二支撐組件26一端的固定銷28防止面板G移動(dòng)到側(cè)部。
在此狀態(tài)中，通過(guò)由第三電機(jī)組件52轉(zhuǎn)動(dòng)的絲杠62，螺旋連接到絲杠62的可移動(dòng)板m被降低。結(jié)果，安裝在可移動(dòng)板m上的傾斜裝置17隨著一起降低。
接著，面板G被移交到位于第二支撐構(gòu)件26和底部36之間的第二面板傳送單元的滾筒R。
在這一點(diǎn)，面板G的位置被傾斜裝置17改變。更準(zhǔn)確地，面板G的傾斜角被傾斜裝置17控制為與滾筒R的傾斜角相同，從而提供與水平傳送面板相同的效果。
驅(qū)動(dòng)第三電機(jī)組件52，直到支撐銷38的上端變得低于滾筒R的高度。
結(jié)果，通過(guò)慣用方法，傾斜的滾筒R將面板G傳送到面板處理單元10，從而經(jīng)過(guò)一系列的處理線，在此期間，附著在面板G的雜質(zhì)向下流過(guò)傾斜的面板G。
在此之后，以與上述驅(qū)動(dòng)方向相反的方向來(lái)驅(qū)動(dòng)倒換單元、面板狀態(tài)單元和傾斜裝置6，5和17，以重復(fù)上述操作過(guò)程。
根據(jù)本發(fā)明，由于面板傳送裝置設(shè)計(jì)為傳送處于傾斜狀態(tài)的面板，所以可以獲得可靠的處理效果。
由于可以通過(guò)單個(gè)裝置來(lái)垂直地移動(dòng)和傾斜面板，可以節(jié)省裝置安裝空間。
由于利用傾斜裝置使得面板的傾斜角度與面板傳送單元的滾筒傾斜角度相同，因此移交到滾筒的面板處于傾斜狀態(tài)，并且通過(guò)滾筒的旋轉(zhuǎn)將面板傳送到面板處理單元，所以可以穩(wěn)定地傳送面板，而不會(huì)被推動(dòng)或者振動(dòng)。
本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該意識(shí)到，可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種修改和改變。因此，只要這些修改和改變?cè)诟綄俚臋?quán)利要求及其等同范圍之內(nèi)，本發(fā)明就應(yīng)當(dāng)包括這些修改和改變。
權(quán)利要求
1.一種面板傳送裝置，包括框架；提供在該框架上以傳送面板的第一面板傳送單元；倒換單元，其從該第一面板傳送單元接收該面板，以倒換面板傳送方向；提供在該倒換單元下面、用于轉(zhuǎn)換面板狀態(tài)的面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元；和具有滾筒的第二面板傳送單元，該滾筒用于從該倒換單元接收該面板，并將該面板傳送到面板處理單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的面板傳送裝置，其中該第一面板傳送單元包括安裝在該框架上的直線運(yùn)動(dòng)組件和其上布置有該面板的傳送器，該傳送器由該組件移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的面板傳送裝置，其中該倒換單元包括一對(duì)從該傳送器接收面板的支撐部分；其上安裝有所述支撐部分的導(dǎo)向軌，用于使所述支撐部分水平可動(dòng)；螺旋連接到該支撐部分、并由第一電機(jī)組件驅(qū)動(dòng)的第一絲杠；和螺旋連接到該導(dǎo)向軌、并由第二電機(jī)組件驅(qū)動(dòng)的第二絲杠。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的面板傳送裝置，其中面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元包括多個(gè)高度互不相同的支撐銷，多個(gè)支撐所述銷的第一支撐構(gòu)件；和其上固定有所述第一支撐構(gòu)件的底部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的面板傳送裝置，其中該面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元進(jìn)一步包括用于調(diào)整該面板傾斜度的傾斜裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的面板傳送裝置，其中該面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元進(jìn)一步包括用于移交處于傾斜狀態(tài)的面板的升降單元。
7.一種面板傳送裝置，包括框架；提供在框架上的傾斜裝置，其利用鉸鏈方式將裝載的面板傾斜到預(yù)先設(shè)定的角度；和通過(guò)提升和降低該傾斜裝置使該面板被支持或接收的升降單元。
8.一種面板傳送裝置，包括框架；可滑動(dòng)地布置在提供在該框架上的軌上以傳送面板的傳送器；提供在該框架上的傾斜裝置，其利用鉸鏈方式將裝載的面板傾斜預(yù)先設(shè)定的角度；通過(guò)提升和降低該傾斜裝置使該面板被支持或接收的升降單元；和從該傾斜裝置接收該面板并將該面板移交到面板處理單元的傳送單元。
9.根據(jù)權(quán)利要求7和8中任一項(xiàng)的面板傳送裝置，其中該升降單元包括固定在該框架上、并與底部隔開的第一固定板；安裝在該第一固定板的可移動(dòng)板，其在垂直方向上可動(dòng)；和安裝在該可移動(dòng)板上的傾斜裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的面板傳送裝置，其中該傾斜裝置包括安裝在該底部和可移動(dòng)板之間的氣缸組件；安裝在該底部、該可移動(dòng)板和該氣缸組件之間的托架鉸鏈組件。
11.根據(jù)權(quán)利要求7和8中任一項(xiàng)的面板傳送裝置，其中該傾斜裝置包括多個(gè)安裝在底部上的第一支撐構(gòu)件；多個(gè)安裝在所述支撐構(gòu)件上的支撐銷；和安裝在所述第一支撐構(gòu)件上以控制布置在所述支撐銷上的面板移動(dòng)的固定銷。
12.根據(jù)權(quán)利要求10的面板傳送裝置，其中該可移動(dòng)板提供有防止該可移動(dòng)板向下移動(dòng)超過(guò)預(yù)先設(shè)定水平的制動(dòng)器。
13.根據(jù)權(quán)利要求11的面板傳送裝置，其中該支撐銷包括安裝在第一支撐構(gòu)件端部的第一銷和安裝在內(nèi)部的第二銷，所述第一銷的高度大于所述第二銷的高度。
14.根據(jù)權(quán)利要求11的面板傳送裝置，其中該固定銷被設(shè)計(jì)為在沿著該第一支撐構(gòu)件的適當(dāng)位置處是可調(diào)節(jié)的。
15.根據(jù)權(quán)利要求8的面板傳送裝置，進(jìn)一步包括用于倒換面板傳送方向的倒換單元。
16.根據(jù)權(quán)利要求8的面板傳送裝置，進(jìn)一步包括安裝在該面板處理單元的出口側(cè)的面板狀態(tài)轉(zhuǎn)換單元。
全文摘要
一種面板傳送裝置，包括框架；提供在該框架上以傳送面板的第一面板傳送單元；倒換單元，用于從該第一面板傳送單元接收該面板以倒換面板傳送方向；具有滾筒的第二面板傳送單元，該滾筒用于從該倒換單元接收該面板，并將該面板傳送到面板處理單元。
文檔編號(hào)B65G49/05GK1699126SQ200510069398
公開日2005年11月23日 申請(qǐng)日期2005年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月19日
發(fā)明者樸庸碩, 樸鎬胤 申請(qǐng)人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社