專利名稱：隔板及使用該隔板的板狀物的輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在搬運(yùn)并保管精密器件用基板及精密裝置用部件等板狀物時(shí)，為保護(hù)板狀物表面不受到損傷、塵埃附著及有機(jī)物污染而使用的隔板及使用該隔板的板狀物的輸送方法。
背景技術(shù)：
伴隨半導(dǎo)體及液晶顯示器等電子設(shè)備的高性能化，制造它們所使用的硅、玻璃、塑料等基板及裝置用部件所使用的陶瓷、金屬材料等板狀物在搬運(yùn)、保管時(shí)產(chǎn)生不良狀況而問(wèn)題化。
作為在搬運(yùn)、保管時(shí)在板狀物上產(chǎn)生的不良狀況，公知有物理?yè)p傷、塵埃附著、及有機(jī)物污染、靜電等，對(duì)使用該板狀物制造產(chǎn)品時(shí)的成品率造成很大影響。
例如，半導(dǎo)體器件所使用的硅晶片及液晶基板所使用的玻璃基板由于在搬運(yùn)·保管時(shí)受到的污染使在這些基板上制作的MOSFET及TFT等器件的性能大幅降低，故在接收后，需要徹底地清洗，再進(jìn)行使用。
但是，伴隨器件的高性能化、微細(xì)化，需要對(duì)基板進(jìn)行更精密的清洗，使清洗工序復(fù)雜化，成為生產(chǎn)性降低的主要原因。
其中，發(fā)明了將清洗工序簡(jiǎn)化的各種清洗技術(shù)，但當(dāng)有機(jī)物及灰塵的吸附量大時(shí)，產(chǎn)生清洗時(shí)間長(zhǎng)時(shí)間化，或清洗不足等問(wèn)題。
另外，對(duì)將搬運(yùn)容器密封化，不在搬運(yùn)、保管時(shí)產(chǎn)生污染進(jìn)行了研究，但從基板接觸造成的損傷的問(wèn)題出發(fā)，而在使用箱盒等的非接觸搬運(yùn)下進(jìn)行搬運(yùn)、保管，因此，容器內(nèi)產(chǎn)生大量空隙，容器的容積增大，成為使搬運(yùn)、保管成本增加的原因。
特別是，在使用液晶用玻璃基板的情況下，探索將基板面積擴(kuò)大這一方法，伴隨與此，搬運(yùn)液晶用玻璃基板的搬運(yùn)容器的大小也有增大的傾向。
為解決這樣的問(wèn)題，考慮有使用隔板將多個(gè)板狀物相互重疊進(jìn)行搬運(yùn)的方法。這種搬運(yùn)方法例如記載于日本專利公開(kāi)公報(bào)2002-121835號(hào)(下面記作文獻(xiàn)1)及日本專利公開(kāi)公報(bào)平6-316432號(hào)(下面記作文獻(xiàn)2)中。
在文獻(xiàn)1中公開(kāi)有如下的隔板，即，為了確保板狀物間良好的通氣性，在一面上形成有高度0.5～2.5mm的凹凸形狀，其特征在于，將突起密度大的區(qū)域和小的區(qū)域混合。
另外，在專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)有含有0.1重量％以上的三聚磷酸鈉的玻璃用合成紙。
根據(jù)使用這些隔板或玻璃用合成紙的搬運(yùn)方法，可使板狀物重疊來(lái)進(jìn)行搬運(yùn)，可大幅節(jié)約容積，因此，搬運(yùn)、保管效率大幅提高，成本大幅降低。
但是，在文獻(xiàn)1的情況中，不考慮隔板中含有的有機(jī)物成分向板狀物的轉(zhuǎn)印，尤其產(chǎn)生不能用作有機(jī)物的轉(zhuǎn)印影響板狀物的性能的問(wèn)題。特別是，本申請(qǐng)發(fā)明者發(fā)現(xiàn)難以將文獻(xiàn)1中公開(kāi)的隔板應(yīng)用于半導(dǎo)體用途、顯示裝置用途、光學(xué)相關(guān)產(chǎn)品用途、半導(dǎo)體·顯示裝置制造裝置用途等。
另外，在文獻(xiàn)2的情況中，主原料使用紙，產(chǎn)生了從紙轉(zhuǎn)印的有機(jī)物及產(chǎn)生的紙粉等塵埃附著在板狀物上的問(wèn)題，必須仔細(xì)地清洗搬運(yùn)對(duì)象物。
另外，由于在合成紙中含有三聚磷酸鈉等堿金屬成分，故產(chǎn)生如下的問(wèn)題，即，不能在吸附于表面的堿金屬成分成為問(wèn)題的無(wú)堿玻璃及半導(dǎo)體基板等、由于堿金屬成分而使性能顯著惡化的用途中使用。
在使用上述的紙制隔板(玻璃用合成紙)的情況下，由于將隔板貼緊在對(duì)象物表面上而使用，故在使用時(shí)產(chǎn)生如下的問(wèn)題，即，在剝離隔板時(shí)產(chǎn)生大量靜電。這樣，當(dāng)產(chǎn)生靜電時(shí)，也產(chǎn)生在對(duì)象物表面吸附周邊環(huán)境中的灰塵及塵埃等，難以進(jìn)行清洗的問(wèn)題。
特別是在半導(dǎo)體基板、玻璃基板或使用它們的產(chǎn)品等為了維持器件性能而不得不在干燥環(huán)境下處理的對(duì)象物的情況下，靜電的問(wèn)題尤其顯著。本申請(qǐng)發(fā)明者發(fā)現(xiàn)文獻(xiàn)2中公開(kāi)的技術(shù)中存在有這樣的問(wèn)題點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而構(gòu)成的，其目的在于提供隔板及使用該隔板的板狀物的搬運(yùn)方法，為抑制成為板狀物污染原因的有機(jī)物轉(zhuǎn)印及灰塵的附著、靜電的產(chǎn)生等，而著眼于隔板和板狀物的接觸面積，通過(guò)對(duì)形狀進(jìn)行研究，抑制污染。
本發(fā)明的其它目的在于提供單個(gè)或多個(gè)板狀物的輸送或保管的方法，使用成為污染原因的有機(jī)物轉(zhuǎn)印極少的隔板，將單個(gè)的板狀物或多個(gè)板狀物相互貼緊，進(jìn)行輸送、保管，由此可大幅縮小輸送、保管時(shí)的空間。
在此，隔板是指片狀物，其配置于板狀物的單面或兩面，具有保護(hù)該板狀物的功能。隔板被配置于單個(gè)板狀物的單面或兩面、或多個(gè)板狀物的單面或兩面及/或它們之間。隔板形是將片狀物形成為適合保護(hù)板狀物的形狀。
本發(fā)明的隔板，其配置于單個(gè)板狀物表面或多個(gè)板狀物之間，其特征在于，在將該板狀物和該隔板接觸的接觸面積設(shè)為S1，將該隔板的接觸面?zhèn)鹊拿娣e設(shè)為S2時(shí)，滿足S1＜S2的關(guān)系，具有防止向所述板狀物附著有機(jī)物的結(jié)構(gòu)。
另外，防止有機(jī)物附著的結(jié)構(gòu)是指在隔板表面和板狀物之間產(chǎn)生非接觸的部分的所有結(jié)構(gòu)。
另外，最好在所述隔板表面形成有圖案形狀。
形成于隔板表面的圖案形狀只要為可保證隔板的強(qiáng)度且可降低與基板的接觸面積的結(jié)構(gòu)即可，但從也包括制造成本的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為周期圖案，更加理想的是從與隔板表面垂直的方向看到的所述圖案為以平行四邊形為基本圖案的周期圖案，最好是所述平行四邊形為菱形。
另外，本發(fā)明的隔板在將隔板的剝離方向上的向隔板表面投影的投影成分與所述菱形的邊構(gòu)成的角度設(shè)為θ的情況下，優(yōu)選θ≠0°。
形成所述基本圖案的平行四邊形及菱形形狀的長(zhǎng)對(duì)角線最好與隔板的長(zhǎng)邊大致平行。
而且，形成所述基本圖案的平行四邊形及菱形形狀的長(zhǎng)對(duì)角線最好與隔板剝離方向上的向隔板投影的投影成分大致平行。
另外，剝離方向上的向隔板投影的投影成分最好是隔板的長(zhǎng)邊方向。
而且，隔板的剝離方向與隔板面構(gòu)成的角度最好小于90°。
另外，本發(fā)明的隔板中理想的是，所述基本圖案的邊部形成凸部，由所述基本圖案的邊部包圍的面形成凹部，所述凸部與所述板狀物接觸。
本發(fā)明的隔板也可以為網(wǎng)狀，此時(shí)，可將構(gòu)成網(wǎng)的結(jié)構(gòu)部定義為凸部，將網(wǎng)的開(kāi)口部定義為凹部。
另外，在配置于多個(gè)板狀物間的隔板中，該隔板的構(gòu)成材料最好少向該板狀物附著有機(jī)物。
另外，本發(fā)明的隔板最好配置于多個(gè)板狀物之間。
另外，本發(fā)明的隔板從可容易地形成表面圖案觀點(diǎn)考慮，該隔板的構(gòu)成材料優(yōu)選至少含有有機(jī)物，最好為樹(shù)脂。
本發(fā)明的隔板從容易地清洗成為捆包對(duì)象的板狀物的觀點(diǎn)考慮，有機(jī)物向該板狀物的轉(zhuǎn)印量?jī)?yōu)選小于或等于100ng/cm2。另外，向該板狀物轉(zhuǎn)印的有機(jī)物的分子量最好小于或等于10000。
在此，所述板狀物只要是使用本發(fā)明的隔板進(jìn)行搬運(yùn)的部件即可，列舉有玻璃基板(包括液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器及等離子顯示器等平面板制造用的部件)、半導(dǎo)體制造用硅基板、半導(dǎo)體基板、樹(shù)脂基板、印刷基板等電路基板、印刷線路板、平板等陶瓷基板、平板等金屬基板、塑料基板、電路基板、磁記錄基板、光學(xué)記錄基板及光磁記錄基板等基板類；透鏡片、棱鏡片、相位差薄膜、亮度提高片、視野放大片、電磁波屏蔽片、擴(kuò)散片、雙凸透鏡片及反射片等光學(xué)片類；液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置及等離子顯示裝置等顯示裝置；導(dǎo)光板、反射板、偏光板、相位差板、擴(kuò)散板、透鏡、棱鏡等光學(xué)成形部件；半導(dǎo)體裝置；CD、DVD、MO及硬盤等記錄介質(zhì)用玻璃；半導(dǎo)體及平板顯示器等設(shè)備裝置級(jí)；成形陶瓷板等陶瓷應(yīng)用品，其中，優(yōu)選使用玻璃基板、半導(dǎo)體基板、樹(shù)脂基板、印刷線路板、陶瓷基板、顯示裝置、半導(dǎo)體裝置、導(dǎo)光板、反射板、透鏡片、棱鏡片、相位差板、偏光板、電路基板、磁記錄基板、光學(xué)記錄基板、光磁記錄基板及成形陶瓷板中使用，特別優(yōu)選玻璃基板。通過(guò)使用本發(fā)明的隔板搬運(yùn)所述板狀物，可謀求可靠性的提高及后工序中的清洗的減輕等。
本發(fā)明的隔板和板狀物的接觸面根據(jù)隔板的結(jié)構(gòu)而不同，但可大致分成沒(méi)有開(kāi)設(shè)將表面和背面貫通的開(kāi)口的單純的片形狀和網(wǎng)狀片形狀兩大類。
前者中，接觸面如下定義。
首先，在將隔板的短邊方向的長(zhǎng)度設(shè)為W時(shí)，以測(cè)定曲線的基準(zhǔn)長(zhǎng)度為W，得到隔板單側(cè)表面的由JIS B0601-1994定義的振幅分布曲線。
在以劃分?jǐn)?shù)設(shè)為n，將測(cè)定曲線的最高端和最低端的距離為D時(shí)，n＝D/Ra。
Ra為由JIS B0601-1994定義的算術(shù)平均粗度。
如圖1的下部所示，在具有突起部的隔板10的情況中，如放大圖1的上部所示，隔板單側(cè)表面的振幅分布曲線在各突起部10的頂部和底部得到兩個(gè)峰值，在該兩個(gè)峰值中，以板狀物側(cè)為第一峰值11，以隔板側(cè)為第二峰值12。
此時(shí)，將存在于第一峰值11側(cè)的隔板表面定義為接觸面Sc。
另一方面，如圖2所示，在將線材縱橫交織而形成的網(wǎng)狀片15的情況中，接觸面被如下定義。
測(cè)定隔板結(jié)構(gòu)部的Ra及隔板結(jié)構(gòu)部的厚度T。
設(shè)在基準(zhǔn)平板16上載置有隔板15時(shí)的基準(zhǔn)平板表面為0，以從隔板表面到Ra的內(nèi)部側(cè)的高度、即T-Ra的位置為計(jì)測(cè)線，將該計(jì)測(cè)線與隔板結(jié)構(gòu)部交叉而形成的區(qū)域作為接觸面。
此時(shí)，超過(guò)由JIS B0601-1994規(guī)定的局部頂端的平均間隔的10倍的非交叉部不看作為接觸面。
在兩者中，隔板的面積是指包括凹部或開(kāi)口部的整個(gè)片的面積。
圖案即可以不規(guī)則，也可以規(guī)則，但從制造成本方面考慮，優(yōu)選規(guī)則的周期圖案，更加理想的是從與隔板表面垂直的方向看到的形狀為以平行四邊形為基本圖案的周期圖案，最好是所述平行四邊形為菱形。
由此，可在確保機(jī)械強(qiáng)度的同時(shí)，使剝離時(shí)產(chǎn)生的靜電量最小。
作為本發(fā)明的隔板所使用的樹(shù)脂，不論其熱固化性、熱塑性如何，理想的是轉(zhuǎn)印有機(jī)物量少的樹(shù)脂，最好是有機(jī)物轉(zhuǎn)印量小于或等于100ng/cm2的樹(shù)脂。另外，理想的是轉(zhuǎn)印有機(jī)物的分子量小于或等于10000，更加理想的是小于或等于1000，最好小于或等于100。
另外，考慮成本及生產(chǎn)性，則最好使用熱塑性樹(shù)脂。
作為熱塑性樹(shù)脂的具體例，列舉聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴；聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚氨脂、聚脂、聚碳酸脂、聚酰胺、聚環(huán)狀烯烴(ポリシクロォレフィン)等。
在上述熱塑性樹(shù)脂中，特別是從有機(jī)物轉(zhuǎn)印量少且作為薄膜的特性優(yōu)良考慮，優(yōu)選聚烯烴、聚氨脂、聚脂、聚碳酸脂及聚環(huán)狀烯烴，更加理想的是聚烯烴、聚脂、聚碳酸脂及聚環(huán)狀烯烴，最好為聚烯烴及聚環(huán)狀烯烴。
另外，作為聚脂，優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二脂。
作為聚烯烴，優(yōu)選聚乙烯。
在本發(fā)明中，板狀物是指板狀的結(jié)構(gòu)。板狀是指薄的形狀，是物體的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度及與其垂直的方向的長(zhǎng)度比寬度方向的長(zhǎng)度(厚度)長(zhǎng)許多的形狀。包含長(zhǎng)度方向及與其垂直的方向的面既可以為平面，也可以為曲面，還可以具有臺(tái)階高差。
另外，板狀物也可以為如下的結(jié)構(gòu)，即，將本發(fā)明的隔板作為要保護(hù)對(duì)象面的一部分，整體上不是板狀。
作為板狀物，優(yōu)選(板狀物長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度及與其垂直的方向的長(zhǎng)度的平均值)/(板狀物的厚度最大處的厚度)大于或等于3，理想的是大于或等于10，更加理想的是大于或等于100，最好大于或等于1000。
基板等板狀物夾著本發(fā)明的隔板貼緊捆包，在將其運(yùn)輸并搬運(yùn)后，在將捆包開(kāi)封時(shí)，進(jìn)行去除隔板的操作。在本申請(qǐng)中將其稱作剝離。關(guān)于剝離的方向，由于相對(duì)隔板面完全垂直地剝離、即將片整體提起而進(jìn)行剝離的方式并不實(shí)際，因此，通過(guò)將隔板從端部向一方向拉伸進(jìn)行剝離是有效的。在本發(fā)明中，將該方向稱作剝離方向。剝離方向與隔板面構(gòu)成的角度最好小于90°。另外，由于其方向相對(duì)隔板面不平行，故最好將剝離方向的向隔板投影的投影成分設(shè)為隔板的長(zhǎng)邊方向。例如，在操作者握住一點(diǎn)進(jìn)行剝離時(shí)，優(yōu)選從片的角部向?qū)蔷€方向剝離，在使用機(jī)械手等進(jìn)行剝離時(shí)，最好保持相鄰的角部?jī)牲c(diǎn)而沿片的邊部方向進(jìn)行剝離。從除去靜電的觀點(diǎn)考慮，當(dāng)相對(duì)剝離方向垂直地具有長(zhǎng)的接觸面時(shí)，由于在將其線剝離的瞬間，瞬間產(chǎn)生大量的靜電，故理想的是剝離方向與線的方向不平行。
另外，在隔板在表面具有以平行四邊形為基本圖案的周期圖案的情況下，從防靜電的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選剝離方向的向隔板投影的投影成分與該平行四邊形的長(zhǎng)對(duì)角線大致平行。
另外，大致平行是指，投影成分與長(zhǎng)對(duì)角線構(gòu)成的角度小于或等于30°，優(yōu)選小于或等于10°，最好小于或等于3°。
根據(jù)本發(fā)明的隔板，在將其配置于單個(gè)板狀物表面或多個(gè)板狀物之間時(shí)，隔板與該板狀物的接觸面積S1比隔板的接觸面?zhèn)鹊拿娣eS2小。因此，可高密度地層積或捆包板狀物，并且保護(hù)表面，降低剝離時(shí)產(chǎn)生的靜電量。即，由于可縮小捆包體積并且減少灰塵的附著量，故可不降低可靠性等地降低輸送成本。
另外，作為本發(fā)明的隔板的優(yōu)選形態(tài)，在表面形成有圖案的情況下，可確保機(jī)械強(qiáng)度并且縮小其與板狀物的接觸面積。
另外，在配置于多個(gè)板狀物間的隔板中，由于該隔板的構(gòu)成材料向該板狀物的有機(jī)物附著少，故不會(huì)在板狀物上產(chǎn)生有機(jī)物造成的污染，可有助于該板狀物的可靠性的提高及后工序中的清洗成本的降低等。另外，本發(fā)明的隔板在作為優(yōu)選的樣態(tài)由樹(shù)脂等有機(jī)物構(gòu)成的情況下，可以以低的成本形成表面圖案。
根據(jù)本發(fā)明的隔板，可將玻璃基板、半導(dǎo)體基板、樹(shù)脂基板、印刷線路板、陶瓷板及陶瓷應(yīng)用制品、金屬基板、液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置、等離子地址裝置、半導(dǎo)體裝置、導(dǎo)光板、反射板、透鏡片、棱鏡片、偏光板、電路基板、磁記錄基板、光學(xué)記錄基板、光磁記錄基板、成形陶瓷板、相位差薄膜、亮度提高片、視野擴(kuò)大片、電磁波屏蔽片、擴(kuò)散板、擴(kuò)散片、雙凸透鏡片、反射片等光學(xué)片類、透鏡、棱鏡這樣的光學(xué)成形部件等廉價(jià)地高度集成，并且難以產(chǎn)生有機(jī)物及灰塵的附著造成的污染，故可謀求可靠性的提高及后工序的清洗的減輕等。
根據(jù)本發(fā)明，可提供可控制成為污染原因的靜電及有機(jī)物轉(zhuǎn)印的板狀物的搬運(yùn)方法。
另外，可提供使用利用本發(fā)明的隔板輸送的各種基板制造的產(chǎn)品，例如半導(dǎo)體裝置、電路基板、磁記錄裝置、光學(xué)記錄裝置、光磁記錄裝置、導(dǎo)光板、透鏡片、棱鏡片、反射板、偏光板、成形陶瓷板等產(chǎn)品。
另外，可提供板狀物的輸送方法，其特征在于，在多個(gè)板狀物之間夾著本發(fā)明的隔板，使該板狀物和隔板貼緊，進(jìn)行輸送。


圖1是使用振幅分布曲線說(shuō)明本發(fā)明的單一片形狀的隔板的接觸表面的定義的圖；圖2是使用振幅分布曲線說(shuō)明本發(fā)明的網(wǎng)狀片形狀的隔板的接觸表面的定義的圖；圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的隔板表面的模式圖；圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的隔板表面的概略圖；圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施例3的隔板表面的概略圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明者在為抑制成為污染原因的靜電及有機(jī)物轉(zhuǎn)印而探討各種隔板的形狀及材質(zhì)的過(guò)程中發(fā)現(xiàn)，為了減少靜電的產(chǎn)生及有機(jī)物轉(zhuǎn)印，只要減小隔板與板狀物的接觸面積即可，通過(guò)對(duì)最適合的形狀進(jìn)行研究，選定材料，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)難以將保護(hù)的各種板狀物表面污染。下面，具體地說(shuō)明本發(fā)明。
圖3～圖5是表示本發(fā)明實(shí)施例1～3的隔板的形狀的部分概略剖面圖。
如圖3～圖5所示，在本發(fā)明的隔板表面形成有微小的凸部(或結(jié)構(gòu)部)及凹部(或開(kāi)口部)。
凹凸的高度通常小于或等于1mm，優(yōu)選小于或等于0.5mm，最好小于或等于0.1mm。
凸部及凹部的高度不必特別均勻，但最好使其盡可能地均勻。
接觸面積S1和隔板的接觸面?zhèn)鹊拿娣eS2只要滿足S1＜S2即可，但優(yōu)選S2大于或等于S1的2倍，更加理想的是大于或等于5倍，最好大于或等于10倍。
接觸面的配置(圖案)最好其至少一部分是周期性的，既可以是連續(xù)的也可以是不連續(xù)的。
接觸面最好盡可能地均勻分散配置在整個(gè)隔板上，隔板的周邊部最好形成凸部。
隔板的形狀形成方法沒(méi)有特別限制，但通常使用采用轉(zhuǎn)印輥的轉(zhuǎn)印法、使用模型的沖壓法、壓氣(圧空)或真空沖壓法等。另外，也可以使用采用溶劑及光分解等的蝕刻法、及用于形成凸部的傾斜形成法。另外，也可以使用采用噴墨等印刷技術(shù)的印刷法形成凸部的傾斜。
本發(fā)明的隔板的使用方法最好是，在使用于玻璃基板及硅基板等單一的板狀物時(shí)，夾在捆包容器或捆包袋與板狀物之間使用。
在將多個(gè)板狀物重疊時(shí)，最好將隔板夾在板狀物之間使用。
捆包容器及捆包袋沒(méi)有特別限制，但優(yōu)選密封性優(yōu)良，且容器及袋本身無(wú)污染的金屬、陶瓷或塑料制容器或袋。另外，這些容器或袋最好為聚環(huán)狀烯烴制或精制的樹(shù)脂制。
下面表示實(shí)施例。
實(shí)施例1參照?qǐng)D3對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例1的隔板的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
圖3是表示本實(shí)施例1的隔板的結(jié)構(gòu)的模式圖。在圖示的隔板中，在其兩面利用軋紋法形成臺(tái)狀的凸部21及22。
在本實(shí)施例中，使用聚環(huán)狀烯烴作為片材料。
隔板的厚度可根據(jù)作為對(duì)象的板狀物的形狀或大小適當(dāng)選擇，但在本實(shí)施例中，從加工性的觀點(diǎn)考慮，將片基材部的厚度設(shè)為75μm，凸部21的高度設(shè)為50μm。另外，將凸部21及22的上面形成為一邊為10μm的正方形。
此時(shí)，通過(guò)上述的方法測(cè)定一個(gè)凸部21、22與板狀物接觸的接觸面積，測(cè)定結(jié)果為100μm2。
在使用厚度0.7mm、寬度1100mm、長(zhǎng)度1300mm的玻璃基板作為板狀物的情況下，接觸面積為794cm2。此時(shí)，由于片的面積為14300cm2，故接觸面積比率為5.6％，剝離造成的靜電產(chǎn)生量與全面接觸的情況相比，約為1/20。
為評(píng)價(jià)本實(shí)施例的隔板對(duì)玻璃基板的影響，對(duì)分別形成于與紙制隔板接觸的玻璃基板和與本實(shí)施例的隔板接觸的玻璃基板上的電氣元件的特性進(jìn)行比較。
準(zhǔn)備分別與紙制隔板和本實(shí)施例的隔板接觸的玻璃基板，將通過(guò)硬掩模法對(duì)在它們之上構(gòu)圖的A1噴濺成膜，構(gòu)成下部電極。
在下部電極之上利用等離子CVD法以400℃的溫度形成Si3N4膜而作為絕緣膜。
通過(guò)在成膜了的Si3N4膜表面噴濺成膜A1并進(jìn)行構(gòu)圖，形成上部電極。
在下部電極和上部電極之間施加電壓，計(jì)測(cè)絕緣膜絕緣破壞時(shí)的電場(chǎng)，作為絕緣耐壓。
與紙制隔板接觸的玻璃基板上的Si3N4膜的絕緣耐壓為1MV/cm，與本實(shí)施例的隔板接觸的玻璃基板上的Si3N4膜的絕緣耐壓為8.2MV/cm。
為將絕緣耐壓的不同明確化，而分別對(duì)這些Si3N4膜的剖面進(jìn)行EDX分析，其結(jié)果是，在與紙制隔板接觸的玻璃基板上的Si3N4膜(絕緣膜)中觀測(cè)到碳C及氧O等元素分別為3.6atom％、22atom％，可推測(cè)為它們是使絕緣耐壓劣化的主要原因。
另一方面，在與本發(fā)明的隔板接觸的玻璃基板上的Si3N4膜中沒(méi)有觀測(cè)到碳C及氧O等元素。
即，本發(fā)明的隔板由于對(duì)作為板狀物的玻璃基板不給予有機(jī)物的轉(zhuǎn)印污染，故在玻璃基板上的絕緣膜上沒(méi)有看到絕緣耐壓的劣化。
根據(jù)本實(shí)施例1的隔板，可抑制由有機(jī)物的吸附造成的向板狀物表面的污染，并且減小剝離時(shí)的靜電產(chǎn)生量。另外，圖3中對(duì)在片的兩面設(shè)有凸部21及22的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以僅在片的一面設(shè)置凸部。此時(shí)，不僅可以將凸部的上面形成為平坦面，也可以將凸部前端裁斷而使凸部包圍凹部(開(kāi)口部)。即，也可以采用由包圍凹部的凸部形成閉曲線(或多角形)的結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)具有可將接觸面積降低，同時(shí)也可以維持機(jī)械強(qiáng)度的效果。
實(shí)施例2參照?qǐng)D4對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例2的隔板進(jìn)行說(shuō)明。
圖4是表示本實(shí)施例2的隔板的結(jié)構(gòu)的模式圖。在圖示的隔板上，由輥轉(zhuǎn)印法在其表面形成菱形形狀的圖案。
菱形的邊部形成凸部31，由邊包圍的面部分形成凹部32。凸部的高度為50μm，成為基材的片部的厚度為100μm。
在菱形的對(duì)角線中，長(zhǎng)的長(zhǎng)對(duì)角線的長(zhǎng)度為8mm，短的短對(duì)角線的長(zhǎng)度為4.6mm。隔板的剝離方向上的向隔板表面投影的投影成分是圖中的空心箭頭方向D(圖的右方向)，其被設(shè)定在隔板的長(zhǎng)邊方向上。
由此，可確保隔板的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，并且在以一定速度進(jìn)行剝離時(shí)使單位時(shí)間內(nèi)剝離的面積最小。
即，可使單位時(shí)間內(nèi)剝離造成的靜電的產(chǎn)生最小。
在使用厚度0.7mm、寬度1100mm、長(zhǎng)度1300mm的玻璃基板作為板狀物的情況下，接觸面積為715cm2。此時(shí)，由于片的面積為14300cm2，故接觸面積比率為5％，剝離造成的靜電產(chǎn)生量與全面接觸的情況相比，約為1/20。
與實(shí)施例1同樣，使用與本實(shí)施例的隔板接觸的玻璃基板進(jìn)行Si3N4膜的絕緣耐壓的評(píng)價(jià)，得到與實(shí)施例1相同的結(jié)果。
即，根據(jù)本實(shí)施例2的隔板，可抑制由有機(jī)物的吸附造成的向板狀物表面的污染，并且減小剝離時(shí)的靜電產(chǎn)生量。
另外，本實(shí)施例的隔板在表面具有菱形形狀，由于剝離方向上的向隔板投影的投影成分方向與菱形的長(zhǎng)對(duì)角線平行，故可保持機(jī)械強(qiáng)度，并且抑制由于在局部產(chǎn)生大面積的剝離而引起的靜電的產(chǎn)生。
實(shí)施例3參照?qǐng)D5對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例3的隔板進(jìn)行說(shuō)明。
圖5是表示本實(shí)施例3的隔板的結(jié)構(gòu)的模式圖。圖示的隔板為如下結(jié)構(gòu)，將一定寬度的帶狀樹(shù)脂41及42組合成網(wǎng)狀，將交叉部融著構(gòu)成。此時(shí)，帶寬為5mm，帶間距為20mm。
在圖示的隔板的情況中，在交叉的帶樹(shù)脂41及42的交點(diǎn)位置形成與板狀結(jié)構(gòu)物接觸的接觸面。在使用厚度0.7mm、寬度1100mm、長(zhǎng)度1300mm的玻璃基板作為板狀物的情況下，接觸面積為894cm2。
此時(shí)，由于隔板的面積為14300cm2，故接觸面積比率為6.3％，剝離造成的靜電產(chǎn)生量與全面接觸的情況相比，約為1/20。
實(shí)施例4為了進(jìn)一步確認(rèn)實(shí)施例1～3的各隔板的效果，進(jìn)行有以下的試驗(yàn)。
首先，準(zhǔn)備與實(shí)施例1～3相同的結(jié)構(gòu)的聚環(huán)狀烯烴制隔板及聚對(duì)苯酸二甲酸乙二脂制隔板、和多個(gè)無(wú)堿玻璃基板。無(wú)堿玻璃基板利用向超純水中添加2～3ppm的臭氧并由CO2將pH調(diào)整到5左右的添加CO2的臭氧水和向超純水中添加2～3ppm的氫并由NH3將pH調(diào)整到9左右的添加NH3氫水進(jìn)行清洗。將各隔板夾在兩片無(wú)堿玻璃基板中而重疊，并置于地面上放置1周時(shí)間。然后，調(diào)查各無(wú)堿玻璃基板的與隔板的接觸面的塵埃量、有機(jī)物吸附量及附著有機(jī)物的分子量。
作為比較，在作為隔板使用紙時(shí)、及使用表面無(wú)圖案形狀的平坦的聚對(duì)苯酸二甲酸乙二脂時(shí)，對(duì)各基板表面也同樣地調(diào)查附著塵埃量、有機(jī)物吸附量及附著有機(jī)物的分子量。
上述的試驗(yàn)在10000級(jí)的凈室內(nèi)，在化學(xué)薄膜之下實(shí)施。
作為無(wú)堿玻璃基板，厚度有所不同，但都是長(zhǎng)為10cm、寬為20cm的長(zhǎng)方形基板。
吸附塵埃量的測(cè)定如下進(jìn)行，使光從橫向與接觸了隔板的無(wú)堿玻璃基板表面接觸，目視調(diào)查其表面上的異物的數(shù)量。
有機(jī)物的吸附量如下定量，在高純度氮?dú)庵袑o(wú)堿玻璃基板加熱到500℃，由捕集管捕集揮發(fā)成分，由氣相色譜質(zhì)量分析器(GC-MS)對(duì)捕集的有機(jī)物進(jìn)行定量。
吸附有機(jī)物的分子量如下測(cè)定，代替用于有機(jī)物吸附測(cè)定的捕集管而通過(guò)在氯仿溶液中發(fā)泡來(lái)捕集有機(jī)物，將捕集到的有機(jī)物濃縮后，使用裝備有分子量小于或等于10000測(cè)定用柱(カラム)的凝膠滲透色譜法(GPC)進(jìn)行測(cè)定。
表1表示結(jié)果。
表1

在與聚環(huán)狀烯烴制隔板及聚對(duì)苯二甲酸乙二脂制隔板接觸的無(wú)堿玻璃基板的表面，沒(méi)有觀測(cè)到附著塵埃，另外，有機(jī)物的吸附量也少。
在與作為比較而使用的紙隔板接觸的無(wú)堿玻璃基板的表面，觀測(cè)到大量塵埃和吸附有機(jī)物。
在使無(wú)表面形狀的平坦的聚對(duì)苯二甲酸乙二脂制隔板接觸的無(wú)堿玻璃基板的表面，觀測(cè)到大量附著塵埃量、有機(jī)物吸附量比紙的情況少。
將具有本發(fā)明的形狀的聚環(huán)狀烯烴制隔板和沒(méi)有本實(shí)施例的形狀的平坦的聚環(huán)狀烯烴制隔板分別粘貼到玻璃基板上，快速剝離時(shí)的玻璃基板上的帶電電位，前者為小于或等于500V，后者為大于或等于10000V。
實(shí)施例5使用記載于實(shí)施例1～3的隔板作為液晶顯示裝置的顯示面板的隔板，其結(jié)果是，灰塵向面板表面的附著、有機(jī)物造成的污染的附著極少，容易生產(chǎn)制造工序結(jié)束而清洗困難的顯示面板。
另外，在實(shí)施例1～3中說(shuō)明了板狀結(jié)構(gòu)體與隔板的接觸面積的比率為5.0％～6.3％的情況，但根據(jù)本發(fā)明者的試驗(yàn)，其比率只要小于或等于50％即可，理想的是小于或等于20％，最好小于或等于10％。
另外，在上面說(shuō)明的實(shí)施例中，對(duì)通過(guò)在表面進(jìn)行軋紋而形成突起，或可通過(guò)使用形成網(wǎng)狀的隔板減少與板狀結(jié)構(gòu)物表面的接觸面積來(lái)顯著減輕有機(jī)物等的污染及粘附的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限與此，例如，也可以在將由聚環(huán)狀烯烴類樹(shù)脂構(gòu)成的平坦的隔板與板狀結(jié)構(gòu)物貼緊的狀態(tài)下進(jìn)行輸送，在剝離隔板時(shí)，進(jìn)行除電。作為除去此時(shí)的剝離隔板時(shí)的靜電的方法，優(yōu)選照射軟X線。在使用由厚度0.5mm的聚環(huán)狀烯烴類樹(shù)脂構(gòu)成的隔板來(lái)為輸送、保管100片厚度0.7mm的玻璃基板而進(jìn)行捆包時(shí)，可使整體的厚度為12cm，但其在為避免玻璃基板相互接觸而保持約2cm的空間的情況下的整體厚度約為210cm的二十分之一，可無(wú)灰塵、水分、有機(jī)物污染，省空間地輸送、保管玻璃基板。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性將本發(fā)明用于有機(jī)EL顯示面板、等離子顯示面板、半導(dǎo)體基板、陶瓷基板、金屬基板、電路基板、CD、DVD、MO、硬盤基板、棱鏡片、透鏡片、相位差薄膜、亮度提高片、視野擴(kuò)大片、電磁波屏蔽片、導(dǎo)光板、擴(kuò)散板、擴(kuò)散片、雙凸透鏡片、反射片、透鏡、棱菱鏡中，進(jìn)行試驗(yàn)，其結(jié)果可知，向表面附著的灰塵、有機(jī)物造成的污染的附著極少，產(chǎn)品的可靠性提高。
權(quán)利要求
1.一種隔板，配置于單獨(dú)的板狀物表面或多個(gè)板狀物之間，其特征在于，在將該板狀物與該隔板進(jìn)行接觸的接觸面積設(shè)為S1，將該隔板的接觸面?zhèn)鹊拿娣e設(shè)為S2時(shí)，滿足S1＜S2的關(guān)系，并且具有防止向所述板狀物附著有機(jī)物的結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的隔板，其特征在于，在所述隔板表面形成有圖案。
3.如權(quán)利要求2所述的隔板，其特征在于，從與隔板表面垂直的方向看到的所述圖案是以平行四邊形為基本圖案的周期圖案。
4.如權(quán)利要求3所述的隔板，其特征在于，所述平行四邊形是菱形。
5.如權(quán)利要求1所述的隔板，其特征在于，所述隔板的剝離方向與隔板的面構(gòu)成的角度小于90°。
6.如權(quán)利要求3所述的隔板，其特征在于，所述基本圖案的長(zhǎng)對(duì)角線與隔板剝離方向上的向隔板投影的投影成分大致平行。
7.如權(quán)利要求3所述的隔板，其特征在于，所述基本圖案的邊部形成凸部，由所述基本圖案的邊部包圍的面形成凹部，所述凸部與所述板狀物接觸。
8.如權(quán)利要求1所述的隔板，其特征在于，其配置于多個(gè)板狀物間。
9.如權(quán)利要求1所述的隔板，其特征在于，該隔板的構(gòu)成材料至少含有有機(jī)物。
10.如權(quán)利要求9所述的隔板，其特征在于，所述有機(jī)物是樹(shù)脂。
11.如權(quán)利要求1所述的隔板，其特征在于，有機(jī)物向所述板狀物的轉(zhuǎn)印量小于或等于100ng/cm2。
12.如權(quán)利要求1所述的隔板，其特征在于，向所述板狀物轉(zhuǎn)印的有機(jī)物的分子量小于或等于10000。
13.如權(quán)利要求1所述的隔板，其特征在于，所述板狀物是玻璃基板、半導(dǎo)體基板、樹(shù)脂基板、印刷線路板、陶瓷基板、顯示裝置、半導(dǎo)體裝置、導(dǎo)光板、反射板、透鏡片、棱鏡片、相位差板、偏光板、電路基板、磁記錄基板、光學(xué)記錄基板、光磁記錄基板、成形陶瓷板中的任一個(gè)。
14.一種產(chǎn)品，其特征在于，使用利用權(quán)利要求1所記載的隔板進(jìn)行輸送的基板制造而成。
15.一種板狀物的輸送方法，其特征在于，在多個(gè)板狀物之間夾著權(quán)利要求8所述的隔板，將該板狀物與隔板貼緊并進(jìn)行輸送。
全文摘要
一種隔板及使用該隔板的板狀物的輸送方法，該隔板配置于一片板狀物表面或多個(gè)板狀物之間，以比隔板的面積小的接觸面積與板狀結(jié)構(gòu)物接觸。隔板相對(duì)板狀物的接觸面積比率優(yōu)選小于或等于50％，更加理想的是小于或等于20％，最好小于或等于10％。另外，通過(guò)適當(dāng)選擇凹凸的圖案形狀及形成方向，防止有機(jī)物向隔板接觸的玻璃基板等板狀體的表面的轉(zhuǎn)印、或產(chǎn)生塵埃附著，同時(shí)，也防止剝離時(shí)的靜電產(chǎn)生。
文檔編號(hào)B65D85/38GK1845857SQ20048002564
公開(kāi)日2006年10月11日 申請(qǐng)日期2004年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月11日
發(fā)明者大見(jiàn)忠弘, 森本明大, 上野光保 申請(qǐng)人:日本瑞翁株式會(huì)社, 大見(jiàn)忠弘