技術(shù)編號：4177396
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在搬運并保管精密器件用基板及精密裝置用部件等板狀物時，為保護板狀物表面不受到損傷、塵埃附著及有機物污染而使用的。背景技術(shù) 伴隨半導(dǎo)體及液晶顯示器等電子設(shè)備的高性能化，制造它們所使用的硅、玻璃、塑料等基板及裝置用部件所使用的陶瓷、金屬材料等板狀物在搬運、保管時產(chǎn)生不良狀況而問題化。作為在搬運、保管時在板狀物上產(chǎn)生的不良狀況，公知有物理損傷、塵埃附著、及有機物污染、靜電等，對使用該板狀物制造產(chǎn)品時的成品率造成很大影響。例如，半導(dǎo)體器件所使用的硅晶片及...
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