專利名稱：板狀體搬運裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有送風(fēng)式支承裝置的板狀體搬運裝置，該送風(fēng)式支承裝置用于向被搬運的板狀體下表面供給清潔空氣，以非接觸狀態(tài)支承所述板狀體。
背景技術(shù)：
例如，在特開2002-321820號公報中記載的板狀體搬運裝置被用于搬運液晶用玻璃基板等板狀體，其裝備了具有驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體的推進力施加裝置，一邊接觸支承所述板狀體兩端部分一邊施加沿搬運方向的推進力。板狀體通過該推進力施加裝置使得兩端部被接觸支承，其中間部分通過送風(fēng)式支承裝置來支承。此外，還設(shè)置有送風(fēng)式支承裝置。其具有沿板狀體搬運路徑以規(guī)定間隔設(shè)置的多個空氣噴出部分以及含有壓縮泵等的供給源。為了向多個空氣噴出部分分配供給來自供給源的壓縮空氣，使用供給管將供給源與空氣噴出部分連接起來。將從空氣噴出部分噴出的壓縮空氣供給到所述板狀體兩端部分之間，從而以非接觸狀態(tài)支承板狀體。
另外，例如在特開2002-308423號公報中所記載的，作為以縱方式或者與其接近的方式搬運板狀體的裝置，施加搬運方向上的推進力的推進力施加裝置的構(gòu)成為，具有一邊接觸支承所述板狀體下端部一邊施加推進力的驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體。通過該推進力施加裝置對兩端部分的一端側(cè)進行接觸支承，通過送風(fēng)式支承裝置以縱方式或者與其接近的方式來支承被搬運的板狀體的中間部分。送風(fēng)式支承裝置配置有沿著板狀體搬運路徑以規(guī)定間隔配置的多個空氣噴出部分和含有吹風(fēng)機的供給源。為了向多個空氣噴出部分分配供給來自供給源的壓縮空氣，使用供給管將供給源與空氣噴出部分連接起來。將從空氣噴出部分噴出的壓縮空氣供給到所述板狀體的中間部分，從而以非接觸狀態(tài)支承板狀體。
對于上述以前技術(shù)的板狀體搬運裝置來說，如果來自供給源的壓縮空氣因其壓縮空氣量時常變化而產(chǎn)生了波動，則向板狀體下表面供給的壓縮空氣也產(chǎn)生波動，從而被供給了空氣的板狀體的中間部分會上下振動，會產(chǎn)生對板狀體施加很大負荷的負面影響。
此外，在以前的板狀體搬運裝置中，如果在送風(fēng)式支承裝置內(nèi)產(chǎn)生某種異常而使清潔空氣的供給量減少，則因為降低了對搬運物的支承力，所以搬運物通過送風(fēng)式支承裝置被支承在比預(yù)定高度低的地方，因此，搬運物與設(shè)置在其下方的送風(fēng)式支承裝置接觸，使搬運物本身或者送風(fēng)式支承裝置破損的可能性增大。
同時，在以前的板狀體搬運裝置中，由于通過推進力施加裝置來接觸支承搬運物的兩端部分，故如果送風(fēng)式支承裝置的支承力降低，則搬運物的中間部分下降而彎曲變形，因為其變形而有可能使搬運物破損。這種情況尤其是在對搬運物為液晶用玻璃基板這種板狀體進行搬運時更加明顯。
本發(fā)明的目的是提供一種板狀體搬運裝置，能夠抑制向板狀體下表面供給的空氣的波動、減輕對板狀體的負荷。
本發(fā)明的另一目的是提供一種搬運裝置，即使當因為送風(fēng)式支承裝置的支承力降低而引起搬運物下降，也能抑制其搬運物的下降量而防止送風(fēng)式支承裝置的破損。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明技術(shù)方案1所述的板狀體搬運裝置，具有送風(fēng)式支承裝置，用于向被搬運的板狀體的下表面供給清潔空氣，以非接觸狀態(tài)來支承所述板狀體，所述板狀體搬運裝置的特征在于所述送風(fēng)式支承裝置具有除去塵埃的除塵過濾器，通過該除塵過濾器向所述板狀體的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)裝置，以及允許通過了所述除塵過濾器的清潔空氣通過、用于阻止異物向所述除塵過濾器一側(cè)落下的遮蔽體；所述遮蔽體在與所述除塵過濾器之間形成有貯存所述清潔空氣的腔室。
即，通過送風(fēng)式支承裝置可以向板狀體的下表面供給清潔空氣，從而以非接觸狀態(tài)支承板狀體。此外，即使異物落下到送風(fēng)式支承裝置上面，也可以通過遮蔽體來阻止異物向除塵過濾器一側(cè)下落，從而可以保護除塵過濾器。
而且，因為遮蔽體設(shè)置成形成有用于貯存清潔空氣的腔室，所以即使通過送風(fēng)裝置而吹送來的空氣產(chǎn)生波動，該波動也會因為允許腔室內(nèi)的清潔空氣壓力變化的緩沖作用而被吸收，從而可以降低向板狀體下表面供給的清潔空氣的波動。因此，可以提供一種板狀體搬運裝置，被供給了清潔空氣的板狀體中間部分的上下振動也會減少，可以減輕對板狀體的負荷。
根據(jù)技術(shù)方案2所述的板狀體搬運裝置的特征所述遮蔽體由多孔體構(gòu)成，其中，所述多孔體允許通過了所述除塵過濾器的清潔空氣通過。
即，通過多孔體可以向板狀體下表面很廣范圍內(nèi)均勻地供給清潔空氣，而且，因為可以阻止很大的異物向除塵過濾器一側(cè)落下，所以可以保護除塵過濾器。
根據(jù)技術(shù)方案3所述的板狀體搬運裝置的特征所述遮蔽體設(shè)置有允許通過了所述除塵過濾器的清潔空氣通過的多孔體和比該多孔體靠所述除塵過濾器一側(cè)的、阻止異物向過濾器一側(cè)落下的副過濾器。
即，通過多孔體可以向板狀體下面很廣范圍內(nèi)均勻地供給清潔空氣，而且還可以阻止很大的異物向除塵過濾器一側(cè)落下，此外，通過副過濾器還可以阻止小的異物向除塵過濾器一側(cè)落下，所以能更加可靠地保護除塵過濾器。
根據(jù)技術(shù)方案4所述的板狀體搬運裝置的特征所述遮蔽體具有多孔支承體，該多孔支承體比所述副過濾器靠所述除塵過濾器一側(cè)，并支承所述副過濾器的。
即，在副過濾器介于多孔體和多孔支承體之間的狀態(tài)下，沒有必要將副過濾器安裝在多孔支承體等上來支承，從而可以容易地進行副過濾器的支承。
根據(jù)技術(shù)方案5所述的板狀體搬運裝置的特征所述送風(fēng)式支承裝置通過沿搬運方向排列送風(fēng)單元而構(gòu)成，其中，所述送風(fēng)單元一體地組裝了所述除塵過濾器和送風(fēng)裝置。
即，因為沿搬運方向設(shè)置有將所述除塵過濾器和送風(fēng)裝置組裝為一體的送風(fēng)單元，從而可以設(shè)置以非接觸狀態(tài)支承板狀體的送風(fēng)式支承裝置，使送風(fēng)式支承裝置的設(shè)置簡單，制作容易。
根據(jù)技術(shù)方案6所述的板狀體搬運裝置的特征對所述板狀體施加沿搬運方向的推進力的推進力施加裝置具有一邊接觸支承呈水平或者大致水平狀態(tài)的所述板狀體的兩端部分一邊施加推進力的驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體；所述送風(fēng)式支承裝置支承所述板狀體的兩端部分之間的部分。
根據(jù)該特征，由驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體，通過接觸支承兩端部分來以穩(wěn)定的狀態(tài)支承板狀體，通過其支承的驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體來施加推進力，因此可以保持著穩(wěn)定狀態(tài)來進行搬運，并且，可以通過送風(fēng)式支承裝置來支承板狀體的中間部分，以抑制板狀體的破損和抑制板狀體的松弛，板狀體在以穩(wěn)定的姿勢被支承的狀態(tài)下被搬運，因此，可以順利地進行板狀體的搬運。
根據(jù)技術(shù)方案7所述的板狀體搬運裝置，設(shè)置有送風(fēng)式支承裝置以及推進力施加裝置，其中，所述送風(fēng)式支承裝置用于向板狀體搬運物的下表面供給清潔空氣，以非接觸狀態(tài)支承所述搬運物，所述推進力施加裝置用于向由該送風(fēng)式支承裝置所支承的所述搬運物施加搬運方向上的推進力；其特征在于設(shè)置有接觸式支承裝置，用于對從由所述送風(fēng)式支承裝置所支承的規(guī)定高度下降的搬運物支承在比所述送風(fēng)式支承裝置的上表面更上方處。
即，即使因送風(fēng)式支承裝置產(chǎn)生某些異常而減少清潔空氣的供給量，對搬運物的支承力降低，使得搬運物從規(guī)定高度下降，該下降的搬運物也會通過接觸式支承裝置被支承在比送風(fēng)式支承裝置的上表面更上方的位置，可以抑制搬運物的下降量，從而可以防止搬運物和位于其下方的送風(fēng)式支承裝置相接觸以及防止因搬運物的變形而引起的搬運物本身的破損或者送風(fēng)式支承裝置的破損。
根據(jù)技術(shù)方案8所述的特征所述送風(fēng)式支承裝置的構(gòu)成為，沿所述搬運方向排列送風(fēng)單元，而且，在該送風(fēng)單元的上面具有對向所述搬運物的下表面供給的清潔空氣進行調(diào)整的多孔體，其中，所述送風(fēng)單元一體地組裝了除去塵埃的除塵過濾器和通過該除塵過濾器向所述搬運物的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)扇。
即，可提供一種搬運裝置，可以僅通過沿搬運物的搬運方向排列一體地組裝了送風(fēng)扇和除塵過濾器的送風(fēng)單元，來設(shè)置向被搬運的搬運物的下表面供給清潔空氣、以非接觸狀態(tài)支承搬運物的送風(fēng)式支承裝置，從而可以簡化送風(fēng)式支承裝置的設(shè)置，而且，還可以實現(xiàn)制作的容易化。
此外，通過具有多孔體，向搬運物下表面所供給的清潔空氣通過多孔體而被調(diào)整，并向搬運物的下表面進行供給。即，可以向搬運物下面很廣的范圍內(nèi)供給均勻化的清潔空氣，尤其是對作為搬運物的液晶用玻璃基板這種板狀物進行搬運時，可以抑制因供給的清潔空氣集中在該板狀搬運物下表面的一部分上而引起的搬運物的彎曲。
根據(jù)技術(shù)方案9所述的特征所述接觸式支承裝置通過沿搬運方向以及橫寬方向分散配置多個支承體而構(gòu)成。
即，接觸式支承裝置由多個支承體構(gòu)成，可以使各支承體較小地構(gòu)成因而容易對各支承裝置進行配置，而且，很容易配置接觸式支承裝置。
根據(jù)技術(shù)方案10所述的特征所述支承體由沿搬運方向自由旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)輥構(gòu)成。
即，當搬運物從規(guī)定高度下降時，即使因為推進力施加裝置施加的推進力或者因慣性而引起搬運物向搬運方向移動，旋轉(zhuǎn)輥也可利用與搬運物的接觸摩擦而向搬運方向旋轉(zhuǎn)，因此可以抑制因搬運物和支承體接觸而損傷搬運物。
根據(jù)技術(shù)方案11所述的特征所述支承體由球狀或者接近球狀的突起部分構(gòu)成。
即，因為支承體作成球狀或者接近球狀的形狀，所以支承體的角部和搬運體接觸的可能性小，因此可以抑制搬運物和支承體接觸時的搬運物的損傷。
根據(jù)技術(shù)方案12所述的特征所述支承體被設(shè)置在所述多孔體上。
即，因為突起部設(shè)置在多孔體上，因此沒有必要準備用于設(shè)置突起部分的專用部件，將多孔體作為設(shè)置突起部分的部件來利用，可以使搬運裝置的結(jié)構(gòu)簡化。
根據(jù)技術(shù)方案13所述的特征具有檢測所述風(fēng)扇旋轉(zhuǎn)速度變成設(shè)定速度以下的檢測裝置；以及基于所述檢測裝置的檢測信息停止所述推進力施加裝置的動作的控制裝置。
即，若降低送風(fēng)式支承裝置的旋轉(zhuǎn)速度，則減少向搬運物下表面供給的清潔空氣的量，降低送風(fēng)式支承裝置的支承力，從而難以將搬運物支承在預(yù)定高度上，所以，如果在送風(fēng)式支承裝置的旋轉(zhuǎn)速度降低的狀態(tài)下通過推進力施加裝置繼續(xù)對搬運物施加推進力，則從規(guī)定高度下降的搬運物通過接觸式支承裝置以接觸支承的狀態(tài)被搬運的可能性提高，搬運物和接觸式支承裝置進行滑動接觸，可能會對搬運物產(chǎn)生很大損傷。
因此，作為設(shè)定速度被設(shè)定為這樣的速度，即使以該速度使送風(fēng)扇旋轉(zhuǎn)，因?qū)Π徇\物的支承力減弱，搬運物也可能被支承在接觸式支承裝置上，如果送風(fēng)式支承裝置的旋轉(zhuǎn)速度為上述規(guī)定速度以下，則使推進力施加裝置的動作停止，由于這樣構(gòu)成搬運物不再以由接觸式支承裝置接觸支承的狀態(tài)被搬運，從而可以抑制因搬運物與接觸式支承裝置滑動接觸而引起的搬運物的損傷。


圖1是板狀體搬運裝置的立體圖。
圖2是板狀體搬運裝置的正視截面圖。
圖3是板狀體搬運裝置的正視截面的局部放大圖。
圖4是板狀體搬運裝置的側(cè)視截面圖。
圖5是遮蔽體的局部放大截面圖。
圖6是推進力施加裝置的側(cè)視圖。
圖7是推進力施加裝置的正視圖。
圖8是推進力施加裝置的側(cè)視局部放大圖。
圖9是搬運裝置的控制框圖。
圖10是其他實施方式的板狀體搬運裝置的立體圖。
圖11是其他實施方式的板狀體搬運裝置的側(cè)視圖。
圖12是其他實施方式的遮蔽體的局部放大截面圖。
圖13(A)是其他實施方式的遮蔽體的局部放大截面圖，(B)表示的是其他實施方式的過濾片的立體圖。
圖14(A)是其他實施方式的遮蔽體的局部放大截面圖，(B)(C)表示的是其他實施方式的帶有突起的過濾片的立體圖。
圖15(A)是其他實施方式的遮蔽體的局部放大截面圖，(B)表示的是其他實施方式的嵌合過濾器的立體圖。
圖16是其他實施方式的遮蔽體的局部放大截面圖。
圖17是搬運裝置的立體圖。
圖18是搬運單元的局部放大正視圖。
圖19是搬運單元的側(cè)視圖。
圖20是搬運單元的俯視圖。
圖21是表示支承體以及電離器的支承狀態(tài)的多孔體的側(cè)視圖。
圖22(A)表示的是玻璃基板被支承在預(yù)定高度上的狀態(tài)之圖，(B)表示的是玻璃基板從預(yù)定高度下降的狀態(tài)之圖。
圖23是其他實施方式的推進力施加裝置的側(cè)視圖。
圖24是其他實施方式的推進力施加裝置的正視圖。
圖25表示的是其他實施方式的支承體的支承狀態(tài)的側(cè)視圖。
圖26表示的是其他實施方式的支承體的支承狀態(tài)的側(cè)視圖和立體圖。
圖27表示的是其他實施方式的多孔體的截面圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖對本發(fā)明的板狀體搬運裝置進行說明。雖然使用液晶用玻璃基板作為板狀體的例子，但是板狀體并不僅限于此。
如圖1所示，板狀體搬運裝置H具有沿玻璃基板2的搬運方向排列的多個板狀體搬運單元1。移載到位于搬運上游一側(cè)的板狀體搬運單元1上的玻璃基板2，由送風(fēng)式支承裝置3和推進力施加裝置4所支承，通過推進力施加裝置4從位于上游側(cè)的板狀體搬運單元1被搬運到位于下游側(cè)的板狀體搬運單元1上。此外，玻璃基板向位于上游側(cè)的板狀體搬運單元1的移載或者從位于下游側(cè)的板狀體搬運單元1向其他部位的移載通過圖未示出的傳遞機構(gòu)進行。
如圖2、圖3所示，各個板狀體搬運單元1向以水平或者大致水平狀態(tài)被搬運的玻璃基板2的下表面2a供給清潔空氣，其具有以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的送風(fēng)式支承裝置3、向玻璃基板2施加沿搬運方向的推進力的推進力施加裝置4以及以大致密閉狀態(tài)覆蓋后述的搬運空間A和存放空間B的箱體7。
如圖3及圖4所示，所述送風(fēng)式支承裝置3是沿搬運方向排列多個送風(fēng)單元而構(gòu)成的。作為該送風(fēng)單元的各個風(fēng)扇過濾單元14配置有由除去塵埃的ULPA過濾器構(gòu)成的除塵過濾器12，通過該除塵過濾器12向玻璃基板2的下表面2a供給清潔空氣的、作為送風(fēng)裝置的送風(fēng)扇13，以及電動式風(fēng)扇馬達。此外，在送風(fēng)扇13的附近還具有作為檢測送風(fēng)扇13的旋轉(zhuǎn)速度的檢測裝置的旋轉(zhuǎn)速度傳感器RS。
即，風(fēng)扇過濾單元14是通過將沿著與玻璃基板2的搬運方向垂直的橫寬方向排列的兩個送風(fēng)扇13與覆蓋該兩個送風(fēng)扇13上方的一個除塵過濾器12支承在機架上而形成的一體單元化裝置。送風(fēng)式支承裝置3由沿搬運方向排列的三個風(fēng)扇過濾單元14構(gòu)成。此外，在送風(fēng)式支承裝置3內(nèi)，遮蔽體6通過支承在所述機架上、來以覆蓋三個風(fēng)扇過濾單元14上方的狀態(tài)進行配置，遮蔽體6用于允許通過了所述除塵過濾器12的清潔空氣通過并阻止異物向除塵過濾器12一側(cè)落下。此外，在該遮蔽體6和除塵過濾器12之間還形成有貯存清潔空氣的腔室C。腔室C的高度即遮蔽體6和除塵過濾器12之間的距離，最好對減輕波動是足夠的，期望在1cm以上，作為這些風(fēng)扇過濾單元14和遮蔽體6的組合，可以使用安裝在凈化間所使用的存放倉庫的背面上的裝置。
接著，對所述遮蔽體6進行詳細說明。如圖5所示，遮蔽體6配置有對通過除塵過濾器12的清潔空氣進行調(diào)整的板狀多孔體11，比該多孔體11靠除塵過濾器12一側(cè)的副過濾器43，以及比該副過濾器43靠除塵過濾器12一側(cè)的、支承所述副過濾器43的多孔支承體44。然后，通過沖切而在整個多孔體11上形成了通氣孔11a，同樣地，也通過打孔工序而在多孔支承體上形成了通風(fēng)孔44a。
即，如圖5所示，送風(fēng)式支承裝置3的機架的側(cè)壁3a從除塵過濾器12的上表面向上方延伸。多孔體11被安裝在側(cè)壁3a的上端部分上，多孔支承體44在比安裝多孔體11的部位靠除塵過濾器12一側(cè)、以與除塵過濾器12隔開間隔的狀態(tài)被安裝在側(cè)壁3a上。然后，副過濾器43被夾持在多孔體11和多孔支承體44之間。
然后，通過將多孔支承體4 4安裝在與除塵過濾器12隔開了間隔的位置上而形成了由送風(fēng)式支承裝置3的側(cè)壁3a、除塵過濾器12和多孔支承體44所圍成的一個腔室C。
所述送風(fēng)式支承裝置3通過送風(fēng)扇13的吹風(fēng)作用來吸入送風(fēng)扇13下方的空氣并將該空氣向除塵過濾器12所在位置的上方供給。向該上方所供給的空氣，通過除塵過濾器12和遮蔽體6而作為清潔空氣被供給到玻璃基板2的下表面2a的中間部分2c(即兩端部分2b之間的區(qū)域)上，通過該清潔空氣來支承玻璃基板2的中間部分2c。即，由送風(fēng)扇13向上方供給的空氣在通過除塵過濾器12時被除去塵埃，從而形成了清潔空氣。即使通過該除塵過濾器12的清潔空氣中產(chǎn)生波動，也會因腔室C的作用而抑制該波動。此外，通過多孔支承體44和多孔體11，使清潔空氣在板狀體下面的很大范圍內(nèi)被均勻化，然后，被供給到玻璃基板2的下表面2a的中間部分2c上。
如圖2和圖3所示，所述箱體7設(shè)置有用于裝載支承風(fēng)扇過濾單元14的俯視圖為大致呈長方形的單元用框體15、沿搬運方向在各個單元用框體15的兩端部分上設(shè)置的左右一對存放框架8、以及從右側(cè)存放框架8的上端部分到左側(cè)存放框架8的上端部設(shè)置的搬運蓋20。所述每個搬運框架8具有上壁8c、下壁8b以及搬運空間A側(cè)的內(nèi)壁8a，從其搬運方向看大致呈“コ”字型，與搬運空間A側(cè)相反的一側(cè)設(shè)置有存放蓋8d。此外，所述單元用框體15由組裝了框架部件的支承框體部分15a以及板狀的板狀框部分15b所構(gòu)成，其中，所述板狀的板狀框部分15b位于支承框體部分的下方、具有用于將外部空氣導(dǎo)入到搬運空間A內(nèi)的空氣導(dǎo)入口18。
所述搬運空間A以及所述存儲空間B通過沿搬運方向排列設(shè)置的上游側(cè)的板狀體搬運單元1和下游側(cè)的板狀體搬運單元1而互相連通。對于設(shè)置在板狀體搬運裝置H最上游一側(cè)的板狀體搬運單元1來說，搬運空間A以及存放空間B的上游側(cè)的端部由圖未示出的閉塞部件所閉塞。對于設(shè)置在最下游一側(cè)的板狀體搬運單元1來說，搬運空間A以及存放空間B的下游側(cè)的端部由閉塞部件所閉塞。因此，搬運空間A由單元用框體15、存放框架8的內(nèi)壁8a、搬運蓋20以及閉塞部件形成為大致密閉狀態(tài)。存放空間B由存放框架8和閉塞部件而形成為大致密閉狀態(tài)。
此外，通過取下搬運蓋20可以使搬運空間A的上方打開，通過取下存放蓋8d可以使存放空間B的側(cè)面打開。并且，在搬運空間A中存放有送風(fēng)式支承裝置3、推進力施加裝置4的驅(qū)動輥9以及玻璃基板2的搬運路徑。如后所述，在存放空間B中存放有對驅(qū)動輥9進行驅(qū)動的電動馬達10。此外，在存放框架8的下壁8b上還設(shè)置有用于將存放空間B內(nèi)的空氣排出到外部的外部排出口24。另外，還裝備有具有吹風(fēng)功能和除塵功能的作為外部排出裝置的子送風(fēng)單元23，從而使該外部排出口24閉塞。
因此，在搬運空間A內(nèi)，通過所述風(fēng)扇過濾單元14來吸引搬運空間A內(nèi)的空氣，該吸引的空氣通過除塵過濾器12和遮蔽體6作為清潔空氣而向玻璃基板2的下表面2a供給，搬運空間A內(nèi)的空氣以此形式進行循環(huán)。此外，通過風(fēng)扇過濾單元14，外部空氣從空氣導(dǎo)入口18被導(dǎo)入到搬運空間A內(nèi)，通過對搬運空間A內(nèi)施加壓力，在搬運空間A內(nèi)，將一部分循環(huán)空氣從存放框架8和搬運蓋20的縫隙間等排出到外部，對搬運空間A內(nèi)的一部分循環(huán)空氣進行交換。然后，在存放空間B內(nèi)，通過子送風(fēng)單元23，將存放空間B內(nèi)的空氣從外部排出口24排出到外部，通過對存放空間B內(nèi)進行減壓，將外部空氣從上壁8c和存放蓋8d的縫隙間等導(dǎo)入到存放空間B內(nèi)，對存放空間B內(nèi)的一部分空氣進行交換。因此，在搬運空間A內(nèi)，由于是加壓的狀態(tài)，因此可以防止來自存放框架8和搬運蓋20的縫隙間等的外部空氣的進入；在存放空間B內(nèi)，由于是減壓的狀態(tài)，因此可以防止來自上壁8c和存放蓋8d的縫隙間等的存放空間B內(nèi)的空氣的進出。
接著，對所述推進力施加裝置4進行詳細說明。如圖6、圖7、圖8所示，在所述一對箱體8的各存放空間B內(nèi)設(shè)置有傳動軸27以及電動馬達10，其中，所述傳動軸27沿搬運方向配置有多根、且通過聯(lián)軸節(jié)31而連動連接，所述電動馬達10的輸出齒輪與該傳動軸27之中的一個上所具有的正齒輪28嚙合。此外，在一對存放框架8的各自的內(nèi)壁8a上，沿搬運方向旋轉(zhuǎn)自在地支承有多根輸出軸26，其中，所述輸出軸26分別向存放空間B一側(cè)以及搬運空間A一側(cè)突出。在輸出軸26的搬運空間A側(cè)的突出部分上安裝有設(shè)置了大徑部分9a的驅(qū)動輥9。在輸出軸26的存放空間B側(cè)的突出部分上設(shè)置有輸入齒輪部分30，其中，所述輸入齒輪部分30與由螺旋齒輪構(gòu)成的且設(shè)在傳動軸上的輸出齒輪部分29嚙合。
從而，如圖3所示，對于玻璃基板2來說，通過推進力施加裝置3的驅(qū)動輥9以接觸狀態(tài)來支承兩端部分2b，通過送風(fēng)式支承裝置4的清潔空氣以非接觸狀態(tài)支承中間部分2c，并且，通過由電動馬達10所旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的驅(qū)動輥9來施加推進力，從而使其沿搬運方向被搬運。玻璃基板2向與搬運方向交叉的方向的位置偏移，由驅(qū)動輥9的大徑部分9a來限制。
如圖2所示，板狀體搬運裝置H設(shè)置有用于搬運玻璃基板2的上下兩段的搬運部分M，其上下兩段搬運部分M中的上側(cè)的搬運部分M的構(gòu)成為，可以以一端為支點，向上方一側(cè)進行搖動操作，以使下側(cè)的搬運部M的上方敞開。即，在各個板狀體搬運單元1內(nèi)，搬運箱體5被設(shè)置為上下兩段，在該各個搬運箱體5內(nèi)存放有由送風(fēng)式支承裝置4和推進力施加裝置4等構(gòu)成的搬運部分M。然后，通過圍繞軸芯P向上方一側(cè)搖動上側(cè)搬運箱體5，使該上側(cè)搬運箱體5和上側(cè)搬運部分M一起向上方搖動，從而下側(cè)搬運箱體5的上方被敞開，通過取下下側(cè)搬運箱體5的蓋20，可以從上方對搬運空間A進行維護。此外，對于作為上下兩段搬運部分M的使用形態(tài)，也可以采用下面的方式將上側(cè)搬運部分M和下側(cè)搬運部分M的搬運方向設(shè)置為相反方向，通過上段搬運部分M將玻璃基板2從搬運起點搬運到搬運目的地，通過下段搬運部分M將進行相同工序的玻璃基板2或者劣質(zhì)的玻璃基板2等從搬運目的地搬運到搬運起點。而且，還可以采用下面的方式將上側(cè)搬運部分M和下側(cè)搬運部分M的搬運方向設(shè)置為相同方向，通過上側(cè)搬運部分M以及下側(cè)搬運部分M將板狀體從搬運起點搬運到搬運目的地。此外，在板狀體搬運單元1內(nèi)還可以設(shè)置自由升降的1段搬運部分M來代替上下兩段搬運部分M，可以在下述情況下使用將從鄰接的板狀體搬運單元1的上段搬運部分M接收的玻璃基板2接受傳遞到鄰接的板狀體搬運單元1的下側(cè)搬運部分M內(nèi)等、使用上側(cè)搬運部分M和下側(cè)搬運部分M接受傳遞玻璃基板2時。
下面對所述控制裝置E進行說明。
如圖9所示，控制裝置E基于來自運轉(zhuǎn)切換開關(guān)S的指令，對板狀體搬運裝置H的運轉(zhuǎn)開始、運轉(zhuǎn)停止以及搬運停止進行控制。即，如果控制裝置E接收到來自運轉(zhuǎn)切換開關(guān)S的運轉(zhuǎn)開始指令，則在各個板狀體搬運單元1中，使各個送風(fēng)式支承裝置3、子送風(fēng)單元23以及推進力施加裝置4動作，從而板狀體搬運裝置H開始運轉(zhuǎn)。此外，如果控制裝置E接收到來自運轉(zhuǎn)切換開關(guān)S的運轉(zhuǎn)停止指令，則在各個板狀體搬運單元1中，使各個送風(fēng)式支承裝置3、子送風(fēng)單元23以及推進力施加裝置4停止動作，從而使搬運系統(tǒng)H停止運轉(zhuǎn)。此外，如果控制裝置E接收到來自運轉(zhuǎn)切換開關(guān)S的搬運停止指令，則在各個板狀體搬運單元1內(nèi)，保持送風(fēng)式支承裝置3的動作并且使推進力施加裝置4的動作停止，從而使搬運系統(tǒng)H停止對玻璃基板2的搬運。
第二實施方式在上述實施方式中，雖然將板狀體搬運裝置設(shè)置成以水平或者大致水平的狀態(tài)搬運板狀體，但是也可以設(shè)置成以接近于縱狀態(tài)的狀態(tài)來搬運板狀體。此外，雖然驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體由多個驅(qū)動輥構(gòu)成，從動旋轉(zhuǎn)體由多個從動輥構(gòu)成，但是驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體或者從動旋轉(zhuǎn)體也可以由牙輪帶等環(huán)狀帶狀體構(gòu)成。下面對這種板狀體搬運裝置進行說明。同時，對于與上述實施方式相同的結(jié)構(gòu)，標注與實施方式相同的標記并省略其說明。
如圖10、圖11所示，板狀體搬運裝置H是沿玻璃基板2的搬運方向排列板狀體縱搬運單元33來使用的。此外，各個板狀體縱搬運單元33向以接近于縱形態(tài)的形態(tài)被搬運的玻璃基板2的下表面2a供給清潔空氣，設(shè)置有送風(fēng)式支承裝置3以及牙輪帶34，其中，所述送風(fēng)式支承裝置3設(shè)置成與以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的縱方式相近的方式，所述牙輪帶34作為驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體，用于一邊接觸支承玻璃基板2的兩端部分2b的一端一邊施加推進力。此外，板狀體搬運裝置H還具有縱形態(tài)用推進力施加裝置35，用于對玻璃基板2施加搬運方向的推進力。
如圖10所示，縱形態(tài)用推進力施加裝置35由驅(qū)動輪36、從動輪37、所述牙輪帶34、內(nèi)支承輪38以及外支承輪39構(gòu)成，其中，所述驅(qū)動輪36位于下游一側(cè)并通過電動馬達40旋轉(zhuǎn)，所述從動輪37位于上流一側(cè)并自由旋轉(zhuǎn)，所述牙輪帶34卷繞在這些驅(qū)動輪36和從動輪37上，所述內(nèi)支承輪38從內(nèi)周表面一側(cè)支承牙輪帶34的傳送路徑部分，所述外支承輪39從外周表面一側(cè)支承牙輪帶34的返回路徑部分。
因此，對于玻璃基板2來說，一端部分2d通過縱搬運用推進力施加裝置35的牙輪帶35的外周表面以接觸狀態(tài)被支承，中間部分2c通過送風(fēng)式支承裝置4的清潔空氣以非接觸狀態(tài)被支承，然后，沿搬運方向通過施加基于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的牙輪帶35的推進力而被搬運。
在該第二實施方式中，與第一實施方式相同，也可以具有箱體，用于以大致密閉狀態(tài)將存放送風(fēng)式支承裝置3和玻璃基板2的搬運路徑的搬運空間覆蓋。
第三實施方式下面，對本發(fā)明的其他實施方式進行說明。在該說明中，關(guān)于與上述實施方式相同的部分使用相同的標號，同時，不對其進行重復(fù)說明。
如圖17、圖20所示，在板狀體搬運裝置H中設(shè)置有接觸式支承裝置，將從通過所述送風(fēng)式支承裝置3所支承的規(guī)定高度下降的玻璃基板2支承在送風(fēng)式支承裝置2的上表面、即多孔體11的上表面的上方。另外，接觸式支承裝置由多個支承體17構(gòu)成，其中，所述多個支承體17沿搬運方向以及沿橫寬方向被分散配置。補充說明一點，在各多孔體11上，由樹脂材料構(gòu)成的許多支承體17在多孔體11上沿搬運方向以及橫方向分散配置，該支承體17如圖21所示，通過將其基部17b嵌合到通氣孔11a內(nèi)來支承多孔體11，支承體17的半球狀前端部17a從多孔體11的上表面突出。
因此，如圖22(A)所示的玻璃基板2即使從由送風(fēng)式支承裝置3支承在規(guī)定高度上的狀態(tài)下降時，如圖22(B)所示，該下降的玻璃基板2也可以由多個支承體17支承在比送風(fēng)式支承裝置3的上面更靠上的位置。
此外，如圖20、圖21所示，在設(shè)置在兩個風(fēng)扇過濾單元14的各個多孔體11上形成了沿著橫方向的凹入部分11b，其中，所述兩個風(fēng)扇過濾單元14在沿搬運方向配置的風(fēng)扇過濾單元14中位于中央，在其凹入部分11b上設(shè)置有用于除去玻璃基板2的靜電的電離器19。
此外，控制裝置E在從運轉(zhuǎn)切換開關(guān)S接收到運轉(zhuǎn)開始指令的狀態(tài)下，基于所述旋轉(zhuǎn)速度傳感器RS的檢測信息，若送風(fēng)扇13的旋轉(zhuǎn)速度在規(guī)定速度以下，則使推進力施加裝置4停止動作。
即，所述設(shè)定速度設(shè)定成這樣的速度，即使以低于該速度的速度使送風(fēng)扇13旋轉(zhuǎn)也不能向玻璃基板2的下表面供給充足的清潔空氣，對玻璃基板2的支承力減弱，玻璃基板2有可能被接觸式支承裝置17支承，若送風(fēng)扇13的旋轉(zhuǎn)速度為上述規(guī)定速度以下，則通過使推進力施加裝置的動作停止，在玻璃基板2由接觸式支承裝置所支承的狀態(tài)下，玻璃基板2不被搬運。
在從運轉(zhuǎn)切換開關(guān)S接收到運轉(zhuǎn)開始或者搬運停止指令的狀態(tài)下，基于旋轉(zhuǎn)速度傳感器RS的檢測信息，若送風(fēng)扇13的旋轉(zhuǎn)速度在規(guī)定速度以下，則點亮警報燈K(圖9)，通知周圍的工作人員玻璃基板2因送風(fēng)扇13的旋轉(zhuǎn)速度降低而停止搬運。
其他實施方式
(1)在上述第一實施方式中，雖然遮蔽體由多孔體、副過濾器和多孔支承體構(gòu)成，但是，遮蔽體也可以只由多孔體和副過濾器構(gòu)成，副過濾器也可以通過使用粘接劑粘貼在多孔體上等而被支承。此外，如圖12所示，遮蔽體6也可以只由多孔體11構(gòu)成，用來防止比較大的異物的下落。
(2)在上述實施方式中，雖然副過濾器介于多孔體和多孔支承體之間的整個部分上而構(gòu)成遮蔽體，但是，也可以使副過濾器與通氣孔或通風(fēng)孔相對應(yīng)地而局部地介于多孔體和多孔支承體之間而構(gòu)成遮蔽體，通過局部地介有副過濾器來減少副過濾器的數(shù)量，從而廉價地制造遮蔽體。即，副過濾器可以如下述(a)、(b)、(c)那樣構(gòu)成。
(a)如圖13的(A)(B)所示，可以由多個過濾片46構(gòu)成副過濾器，該過濾片是以閉塞多孔體11的通氣孔11a之一和多孔支承體44的通風(fēng)孔44a之一的方式設(shè)置的。
(b)如圖14的(A)(B)(C)所示，可以由多個帶有突起的過濾片47構(gòu)成副過濾器，該帶有突起的過濾片47是以閉塞多孔體11的通氣孔11a之一和多孔支承體44的通風(fēng)孔44a之一的方式設(shè)置的，通過將在帶有突起的過濾片47上形成的突起部分47a嵌合到多孔體11的通氣孔11a中，可以對副過濾器43在橫方向上的位置偏移進行限制。
(c)如圖15的(A)(B)所示，將多孔體11的通氣孔11a形成為在多孔支承體44一側(cè)較寬的形狀，可以通過在該各個通氣孔11a上所配置的多個嵌合過濾片48構(gòu)成副過濾器，也可以將多孔體11按密封狀態(tài)設(shè)置在多孔支持體44上，薄型地構(gòu)成遮蔽部分。
并且，通過使如(b)、(c)那樣的帶有突起的過濾片47或嵌合過濾片48的上表面和多孔體11的上表面位于同一平面，可以防止在通氣孔11a中堆積塵埃。
此外，即使在如上述(a)、(b)、(c)那樣使副過濾器與通氣孔或者通風(fēng)孔相對應(yīng)地局部地介于多孔體和多孔支承體之間時，也可以構(gòu)成為，如上所述，通過將各個過濾片、帶有突起的過濾片或者嵌合過濾片使用粘接劑粘貼在多孔體上而被支承，由多孔體和副過濾器構(gòu)成遮蔽體，省略多孔支承體。即，以上述(b)為例進行說明，如圖16所示，通過使用粘接劑將帶有突起的過濾片47粘貼在多孔體11上而被支承，遮蔽體6由多孔體1 1和多個帶有突起的過濾片47(副過濾器)構(gòu)成，從而可以省略多孔支承體。并且，因為帶有突起的過濾片或者嵌合過濾片是嵌合在多孔體的通氣孔內(nèi)的形態(tài)，所以在嵌合處通過粘貼而更牢固地結(jié)合。
(3)上述第一和第三實施方式的推進力施加裝置4如圖23、圖24所示，可以構(gòu)成為，設(shè)置有電動馬達55、通過該電動馬達55來驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動輪56、通過所述驅(qū)動輥和旋轉(zhuǎn)軸57進行連動連接的從動輪58、將來自驅(qū)動輪56的動力傳遞給從動輪58的驅(qū)動傳遞帶59、以及與該驅(qū)動傳遞帶59的內(nèi)周及外周接觸的游轉(zhuǎn)輪60。另外，可以在所述搬運空間B內(nèi)配置有電動馬達55、驅(qū)動輪56、從動輪58、驅(qū)動傳遞帶59以及游轉(zhuǎn)輪60，所述旋轉(zhuǎn)軸57以分別向存放空間B一側(cè)以及搬運空間A一側(cè)突出的狀態(tài)而自由旋轉(zhuǎn)地支承在所述內(nèi)壁8a上，可以在旋轉(zhuǎn)軸57的向存放空間B突出的部分上設(shè)置從動輪58、在旋轉(zhuǎn)軸57的向搬運空間A突出的部分上設(shè)置所述驅(qū)動輥9。
(4)在上述第3實施方式中，雖然各支承體17和多孔體11是分體構(gòu)成，但是也可以如圖25所示，沿著搬運方向及橫寬方向分散配置與多孔體11形成一體的多個球狀或者與其接近形狀的突起部分41，由該多個突起部分41構(gòu)成所述接觸式支承裝置17。此外，還可以將如圖26(A)和(B)所示的沿搬運方向的多個自由旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)輥42，沿著搬運方向及橫方向分散配置，由該數(shù)個旋轉(zhuǎn)輥42構(gòu)成所述接觸式支承裝置17。
此外，還可以如圖27(A)所示那樣構(gòu)成，設(shè)置有多孔體11和多孔支承體44以及多個過濾器60，其中，所述多孔體11和多孔支承體44使通過了所述除塵過濾器12的清潔空氣在多孔體11中流動，所述過濾器60被多孔體11和多孔支承體44所夾持，堵塞在多孔體11上形成的通氣孔11a和在多孔支承體44上形成的通風(fēng)孔44a，過濾器60從多孔體11的上端突出，由從多孔體11的上端突出的多個過濾器60的前端部分60a構(gòu)成所述接觸式支承裝置17。
即，如圖27(A)、(B)所示，過濾器60的結(jié)構(gòu)為，具有嵌合在所述多孔體11的通氣孔11a中的突起部分，該突起部分上的從多孔體11上表面突出的前端部分60a形成為凸彎狀，可以通過該前端部60a將下降的玻璃基板2支承在比送風(fēng)式支承裝置3的上表面更靠上方的位置。
此外，作為過濾器60，也可以如圖27(C)所示那樣，是平坦地形成有前端部分60a的過濾器，或者如圖27(D)所示那樣，是使突起部分局部突出而形成有前端部分60a的過濾器。另外，如果是如圖27(C)所示的情況，則例如也可以如圖27(E)所示，通過成形板狀的過濾器材料來形成上述圖27(A)、(C)、(D)的各過濾器60。
(5)多孔體11也可以構(gòu)成為覆蓋例如六個風(fēng)扇過濾單元14。
(6)在上述第三實施方式中，雖然設(shè)置了作為警報裝置的警報燈K，使該警報燈K點亮，但是，也可以裝備警報蜂鳴器，使該警報蜂鳴器動作并發(fā)出警報音，此外，也可以同時設(shè)置警報燈K和警報蜂鳴器。
(7)此外，也可以這樣構(gòu)成，送風(fēng)式支承裝置和送風(fēng)單元沿著所述搬運方向和所述橫寬方向排列而成，使沿橫寬方向設(shè)置的送風(fēng)單元彼此分離，或使沿搬運方向排列的送風(fēng)單元彼此分離，形成向下方排出清潔空氣的通氣路徑，該清潔空氣供給到上述板狀體的下表面。而且，也可以在上述實施方式中沿著搬運方向劃分形成了三個腔室以劃分形成送風(fēng)單元，在上述實施方式中也沿橫寬方向劃分形成兩個以劃分形成送風(fēng)裝置單位，總計劃分形成了六個。并且，如上述那樣形成了通氣路徑時，也可以不使多孔體、副過濾器、多孔支承體的任何一個位于該通氣路徑上地分割構(gòu)成遮蔽體，或者僅使多孔體位于通氣路徑上、使副過濾器、多孔支承體不位于通氣路徑上地構(gòu)成遮蔽體。
(8)在上述實施方式中，例示了將除塵過濾器和送風(fēng)裝置一體組裝的風(fēng)扇，但是不一定必須一體形成除塵過濾器和送風(fēng)裝置，例如還可以設(shè)置將通過送風(fēng)裝置送來的空氣導(dǎo)入到除塵過濾器中的導(dǎo)入路徑等，分開地構(gòu)成除塵過濾器和送風(fēng)裝置。
(9)在上述實施方式中，雖然以液晶用的玻璃基板作為板狀體，但是也可以是半導(dǎo)體晶片等，被支承體的形狀或者大小并不限定于實施方式。
權(quán)利要求
1.一種板狀體搬運裝置，具有送風(fēng)式支承裝置，該送風(fēng)式支承裝置向被搬運的板狀體下表面供給清潔空氣，以非接觸狀態(tài)來支承所述板狀體，所述板狀體搬運裝置的特征在于所述送風(fēng)式支承裝置具有用于除去塵埃的除塵過濾器，通過該除塵過濾器向所述板狀體的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)裝置，以及以允許通過了所述除塵過濾器的清潔空氣通過、阻止異物向所述除塵過濾器一側(cè)落下的方式進行遮蔽的遮蔽體；所述遮蔽體在與所述除塵過濾器之間形成貯存所述清潔空氣的腔室。
2.如權(quán)利要求1所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述遮蔽體由多孔體構(gòu)成，該多孔體允許通過了所述除塵過濾器的清潔空氣通過。
3.如權(quán)利要求1所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述遮蔽體具有允許通過了所述除塵過濾器的清潔空氣通過的多孔體和比該多孔體靠所述除塵過濾器一側(cè)的副過濾器。
4.如權(quán)利要求3所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述遮蔽體具有多孔支承體而構(gòu)成，該多孔支承體比所述副過濾器靠所述除塵過濾器一側(cè)，并支承所述副過濾器。
5.如權(quán)利要求1所述的板狀體搬運裝置，其特征在于送風(fēng)式支承裝置通過沿搬運方向排列送風(fēng)單元而構(gòu)成，該送風(fēng)單元一體地組裝了所述除塵過濾器和送風(fēng)裝置。
6.如權(quán)利要求1所述的板狀體搬運裝置，其特征在于向所述板狀體施加沿搬運方向的推進力的推進力施加裝置具有驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體而構(gòu)成，所述驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體一邊接觸支承呈水平或者大致水平狀態(tài)的所述板狀體的兩端部分一邊施加推進力；所述送風(fēng)式支承裝置構(gòu)成為，支承所述板狀體兩端部分之間的部分。
7.一種板狀體搬運裝置，具有送風(fēng)式支承裝置以及推進力施加裝置而構(gòu)成，其中，所述送風(fēng)式支承裝置向板狀體搬運物的下表面供給清潔空氣，并以非接觸狀態(tài)支承所述搬運物，所述推進力施加裝置向由該送風(fēng)式支承裝置所支承的所述搬運物施加搬運方向上的推進力，其特征在于設(shè)置有接觸式支承裝置，該接觸式支承裝置將從由所述送風(fēng)式支承裝置所支承的規(guī)定高度下降的搬運物支承在比所述送風(fēng)式支承裝置的上表面更上方的位置。
8.如權(quán)利要求7所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述送風(fēng)式支承裝置的構(gòu)成為，沿前述搬運方向排列送風(fēng)單元，而且，在該送風(fēng)單元之上設(shè)置有對向所述搬運物的下表面所供給的清潔空氣進行調(diào)整的多孔體，其中，所述送風(fēng)單元一體地配置了除去塵埃的除塵過濾器和通過該除塵過濾器而向所述搬運物的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)扇。
9.如權(quán)利要求7所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述接觸式支承裝置通過沿搬運方向以及橫寬方向分散配置多個支承體而構(gòu)成。
10.如權(quán)利要求9所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述支承體由在搬運方向上自由旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)輥構(gòu)成。
11.如權(quán)利要求9所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述支承體由球狀或者接近球狀的突起部分構(gòu)成。
12.如權(quán)利要求9所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述支承體設(shè)置在所述多孔體上。
13.如權(quán)利要求8所述的板狀體搬運裝置，其特征在于包括檢測所述送風(fēng)扇旋轉(zhuǎn)速度的檢測裝置；以及基于所述檢測裝置的檢測信息，當所述送風(fēng)扇的旋轉(zhuǎn)速度在規(guī)定速度以下時停止所述推進力施加裝置動作的控制裝置。
14.如權(quán)利要求1所述的板狀體搬運裝置，其特征在于所述遮蔽體和所述除塵過濾器之間的間隔、即所述腔室的高度為1cm以上。
全文摘要
提供一種板狀體搬運裝置，其可以抑制向板狀體下表面供給的清潔空氣的波動、減輕對板狀體的負荷、抑制板狀體的破損。送風(fēng)式支承裝置(3)的構(gòu)成為，備有用于除去塵埃的除塵過濾器(12)，通過該除塵過濾器(12)向板狀體(2)的下表面供給清潔空氣的送風(fēng)裝置(13)以及以使通過了除塵過濾器(12)的清潔空氣流動且用于阻止異物向除塵過濾器(12)一側(cè)落下的方式進行遮蔽的遮蔽體(6)，遮蔽體(6)設(shè)置成與除塵過濾器(12)之間形成儲存清潔空氣的腔室(C)。
文檔編號B65G51/03GK1576201SQ20041006350
公開日2005年2月9日 申請日期2004年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月8日
發(fā)明者森屋進, 村山繁人, 森本雄一, 池畑淑照, 大野隆佳 申請人:株式會社大福