專利名稱：基板搬運系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將FPD(Flat Panel Display)基板、例如玻璃基板從基板輸出裝置供給到流程(process)裝置的基板搬運系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
FPD的制造流程，由于要以片為單位進行加工，故加工流水線內(nèi)將基板(比如玻璃基板)1片片地以片為單位進行搬運，另一方面，在流水線之間以盒單位進行搬運。因此，在各流水線的頭部和尾部設(shè)有FPD基板裝載、卸載裝置，從盒供給基板及將基板回收至盒。
近年來，出于提高生產(chǎn)性，基板面臨大型化、薄壁化，另外，存放于盒的片數(shù)也在增加。對此，一般使用專利文獻1(日本專利特開平11-79389號公報(0010段落，圖4))所記載的、使基板輸出傳送器從盒的底板開口進入盒內(nèi)進行基板的輸出和存放的基板輸出裝置。
傳統(tǒng)的FPD基板裝載、卸載裝置，為了避免伴隨盒更換所帶來的基板搬運的停止，設(shè)置2臺以上的上述基板輸出裝置，成為由移動式基板搬運傳送器將各輸出裝置與制造流程連接起來的結(jié)構(gòu)。
另外，如專利文獻2(日本專利特開平11-199007號公報(0016段落，

圖1及圖2))記載的、將FPD基板裝載、卸載裝置設(shè)置在儲存器內(nèi)，由堆積起重機直接對裝載、卸載裝置進行盒的供給，或與儲存器相鄰設(shè)置、借助盒傳送器進行。
根據(jù)傳統(tǒng)的FPD基板裝載、卸載裝置的結(jié)構(gòu)，因為借助移動式基板搬運傳送器進行基板搬運，故存在著因伴隨移動的往復(fù)動作所產(chǎn)生的時間，而拉開了先行基板與后續(xù)基板的供給間隔的缺點。因此，流程裝置的基板搬運條件是低速，且在由生產(chǎn)能力決定的流水線的循環(huán)時間短、需要以將基板搬運間隔非常接近基板長度的條件進行連續(xù)搬運的場合，存在無法滿足裝置的處理能力的問題。
另外，為了滿足裝置的處理能力，需要使移動速度是高速，或?qū)⒘鞒虃?cè)基板搬運傳送器配置成多臺串聯(lián)，通過傳送器的轉(zhuǎn)換部處的搬運速度的切換，將搬運間隔少量縮短或擴大。因此，存在如下問題隨著搬運速度的上升，基板振動所引起的產(chǎn)品質(zhì)量下降，不僅增加設(shè)備費用，還在凈化室內(nèi)占有大的面積，從而凈化室的大型化，導(dǎo)致建設(shè)費用的增加和維持清潔度的耗能的增加。
這些問題，不局限于移動式基板搬運傳送器，是在借助升降式基板搬運傳送器等進行往復(fù)動作的搬運裝置時的共同問題。
此外，在與自動倉庫直接連接對FPD基板裝載機、卸載裝置進行盒的供給、輸出的場合，存在無法確保作業(yè)者橫跨流水線的移動線路的問題。
發(fā)明的概要本發(fā)明是為了解決上述課題而進行的，其目的在于提供一種在滿足流程裝置的基板搬運條件的同時，滿足所需的處理能力，并消除產(chǎn)品質(zhì)量下降的原因，降低初期成本及運行成本，且可構(gòu)筑作業(yè)性良好的流水線的基板搬運系統(tǒng)。
本發(fā)明是，利用將平板狀的基板搬出的基板輸出裝置，將從該基板輸出裝置搬出的基板向水平方向搬運，以片為單位供給到對所述基板進行規(guī)定處理的流程裝置的基板搬運系統(tǒng)，具有根據(jù)對所述流程裝置的所述基板的供給速度而交替地移動至第1位置和第2位置、分別在不同的位置承接從基板輸出裝置搬出的基板的設(shè)有第1及第2層的雙層結(jié)構(gòu)的可動式基板搬運傳送器，在所述第1位置，在所述第1層承接從所述基板輸出裝置搬出的基板，并從所述第2層將基板供給到所述流程裝置，在所述第2位置，在所述第2層承接從所述基板輸出裝置搬出的基板，并從所述第1層將基板供給到所述流程裝置。
附圖的簡單說明圖1是表示本發(fā)明的實施形態(tài)1的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示實施形態(tài)1中使用的存放基板的盒的模式圖。
圖3是表示實施形態(tài)1中使用的基板輸出裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖4是表示實施形態(tài)1中使用的升降式基板搬運傳送器的結(jié)構(gòu)圖。
圖5是表示實施形態(tài)1中使用的雙層升降式基板搬運傳送器的結(jié)構(gòu)圖。
圖6是表示實施形態(tài)1的動作說明圖。
圖7是表示實施形態(tài)2的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
圖8是表示實施形態(tài)3的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
圖9是表示實施形態(tài)4的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
圖10是表示實施形態(tài)5的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
圖11是表示實施形態(tài)6的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。
圖12是表示實施形態(tài)6中使用的基板正交搬運傳送器的結(jié)構(gòu)圖。
圖13是實施形態(tài)6的動作說明圖。
發(fā)明的最佳實施形態(tài)實施形態(tài)1以下參照圖1～圖6對本發(fā)明的實施形態(tài)作說明。
圖1是表示本發(fā)明的實施形態(tài)1的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
在該基板搬運系統(tǒng)中，配置有2臺從盒11內(nèi)將基板10搬出的基板輸出裝置1(圖中為1A、1B)，并配置有移動式基板搬運傳送器2，以承接來自各輸出裝置1A、1B輸出的基板10，并將基板位置滑動至流程裝置40的中心為止。另外，基板輸出裝置1也可是2臺以上的多臺。
并且，在流程裝置40的前面配置有升降式搬運傳送器4和雙層結(jié)構(gòu)的帶有升降功能的雙層升降式基板搬運傳送器5，上述升降式搬運傳送器4用于由移動式基板搬運傳送器2承接基板10，并對搬運高度進行升降，而上述雙層升降式基板搬運傳送器5用于由升降式基板搬運傳送器4承接基板10，并向流程裝置40提供基板10。
圖2是表示存放基板10的盒的模式圖，盒11是由底板12、頂板13和柱子15構(gòu)成的箱形，在各個柱子15上按一定間距在垂直方向設(shè)置有朝著盒11內(nèi)面的水平橫架板16。在底板12上設(shè)有開口14，使圖3所示的基板輸出傳送器17可朝鉛垂方向進入。
圖3是表示基板輸出裝置1的結(jié)構(gòu)，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖，(c)是主視圖。
如圖3所示的基板輸出裝置1，具有將盒11在鉛垂方向進行升降的盒升降機構(gòu)18、將盒11中的基板朝水平方向搬運的基板輸出傳送器17。
圖4是表示升降式基板搬運傳送器4的結(jié)構(gòu)，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖，(c)是主視圖。
升降式基板搬運傳送器4，包括圖4所示的基板搬運傳送器19、將其進行升降的傳送器升降裝置20。
圖5是表示雙層升降式基板搬運傳送器5的結(jié)構(gòu)，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖，(c)是主視圖。
雙層升降式基板搬運傳送器5，如圖5所示，將上層基板搬運傳送器21A和下層基板搬運傳送器21B平行設(shè)置成雙層結(jié)構(gòu)，具有將其進行升降的雙層傳送器升降裝置22。
下面利用圖1～圖6對實施形態(tài)1的動作進行說明。
向基板輸出裝置1A、1B供給盒11A、12A，是通過未圖示的AGV(AutomatieGuided Vehicle)等自動搬運臺車、手推臺車或自動倉庫的堆積起重機等的盒供給裝置進行的。
基板輸出裝置1A，以盒的基板存放間距單位使盒11下降，從存放在盒11A的最下層的基板10A開始依次載放在基板輸出傳送器17上后，朝水平方向輸出，然后移載至移動式基板搬運傳送器2上。
移動式基板搬運傳送器2，從基板輸出裝置1A的承接位置朝升降式基板搬運傳送器4的前面移動，將基板10A移載至升降式基板搬運傳送器4上。
到此為止的動作，對存放在盒11A內(nèi)的多個基板(比如60片)重復(fù)進行。一旦所有的基板輸出結(jié)束，則切換至從基板輸出裝置1B供給基板?；遢敵鲅b置1A將盒升降機構(gòu)18上升至上升端，相對于盒供給裝置要求更換盒11A。盒的更換是，若在另一方的盒內(nèi)存放的所有的基板搬出結(jié)束之前完成的話，則向流程裝置供給基板就不會中斷。
另外，這些供給動作，由于是根據(jù)制造流水線的循環(huán)時間進行的，故受到移動式基板搬運傳送器2的往復(fù)移動動作的限制，基板的搬運速度為高速(比如，15m/min)。
另一方面，升降式基板搬運傳送器4是下降至雙層升降式基板搬運傳送器5的下降位置上的下層基板搬運傳送器21B的位置，將基板10A搬出。此時的基板搬運速度，以與移動式基板搬運傳送器2相同的高速(比如，15m/min)進行(圖6(a))。
在下層基板搬運傳送器21B承接了基板10A的雙層升降式基板搬運傳送器5上升至上升位置后，開始將下層基板搬運傳送器21B的基板10A向流程裝置40進行供給。此時的基板搬運速度是對應(yīng)于流程裝置40的速度條件進行的。比如，在向洗凈裝置進行供給的場合，出于UV(Ultra Violet)照射流程的限制，為低速(比如，4m/min)(圖6(b))。
裝載后續(xù)的基板10B的升降式基板搬運傳送器4上升至雙層升降式傳送器5的上升位置上的上層基板搬運傳送器21A的位置，將基板10B進行搬出(圖6(c))。
此時，向上層基板搬運傳送器21A供給基板10B的動作是根據(jù)制造流水線的循環(huán)時間為高速，而從下層基板搬運傳送器21B的基板10A的搬出動作是根據(jù)流程裝置的速度條件為低速，故供給到雙層升降式傳送器5的基板10B供給動作與供給到流程裝置的基板10A供給動作是以獨立的速度進行重疊，基板10B的供給動作先完成(圖6(d))。
一旦基板10A向流程裝置40的移載結(jié)束，雙層升降式基板搬運傳送器5下降至下降位置，開始將上層基板搬運傳送器21A上的基板10B供給到流程裝置40供給(圖6(e))。
以后，重復(fù)進行供給到雙層升降式基板搬運傳送器5的基板供給和供給到流程裝置40的基板供給。
根據(jù)上述實施形態(tài)1，利用將平板狀的基板10進行送出的基板輸出裝置1，將由該基板輸出裝置1搬出的基板朝水平方向搬運，以片單位供給到對基板進行規(guī)定處理的流程裝置40的基板搬運系統(tǒng)，在流程裝置40側(cè)，配置有具有根據(jù)基板供給到流程裝置40的供給速度而交替地向鉛垂方向的第1位置和第2位置移動、分別在不同的位置承接從基板輸出裝置1搬出的基板的第1及第2層21A、21B的雙層結(jié)構(gòu)的升降式基板搬運傳送器5，同時，在該雙層升降式基板搬運傳送器5與基板輸出裝置1之間，配置有承接從基板輸出裝置1搬出的基板，根據(jù)對雙層結(jié)構(gòu)的升降式基板搬運傳送器5的第1及第2位置21A、21B的升降動作進行升降的升降式基板搬運傳送器4，在第1位置，在第1層21A承接從升降式基板搬運傳送器4搬出的基板，同時，從第2層21B將基板供給到流程裝置40，在第2位置，在第2層21B承接從升降式基板搬運傳送器4搬出的基板，同時從第1層21A將基板供給打破流程裝置40，故先前基板的供給結(jié)束后至后續(xù)基板的供給開始為止的時間，只是雙層結(jié)構(gòu)的升降式基板搬運傳送器5的上下層的切換動作，可非常短，可將基板搬運間距無限制地接近基板全長。因此，可滿足流程裝置的搬運條件和流水線的生產(chǎn)能力。
另外，可將占有空間抑制在與傳統(tǒng)的方式同等以下，故可削減凈化室的占有面積，使凈化室小型化，降低建筑費用，并可削減維持清潔度的耗能。
另外，升降式基板搬運傳送器4與雙層升降式基板搬運傳送器5的基板移載、雙層升降式基板搬運傳送器5與流程裝置40的基板移載，是以獨立的速度并行進行的，故將對要求低速搬運的流程裝置40的基板供給與對需要高速搬運的后續(xù)基板的承接，是在不同高度的同一位置同時進行的。
另外，先行基板的供給結(jié)束后至后續(xù)基板的供給開始為止的時間，只是雙層結(jié)構(gòu)的升降式基板搬運傳送器5的上下層的切換動作，可非常短，可將基板搬運間距無限制地接近基板全長。因此，可滿足流程裝置40的搬運條件和流水線的生產(chǎn)能力。
此外，配置多臺基板輸出裝置1，在這些基板輸出裝置1A、1B與升降式基板搬運傳送器4之間，配置有按序承接從各基板輸出裝置1A、1B輸出的基板10、移動至與升降式基板搬運傳送器4相對的規(guī)定位置、并搬運至升降式基板搬運傳送器4上的移動式基板搬運傳送器2，故可使移動式基板搬運傳送器2的移動速度為滿足流水線的循環(huán)時間的最低速度，可將對基板10的振動、沖擊抑制在最小，能維持產(chǎn)品的質(zhì)量。
實施形態(tài)2圖7是表示實施形態(tài)2的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
該實施形態(tài)2是，在上述實施形態(tài)1的結(jié)構(gòu)中，進一步在上方設(shè)置基板輸出裝置1及移動式基板搬運傳送器2，擴大升降式基板搬運傳送器的升降行程。
基板輸出裝置1A、1B設(shè)置在保管盒11的自動倉庫23內(nèi)，盒11向基板輸出裝置1A、1B的供給，由自動倉庫23內(nèi)的盒供給裝置即堆裝起重機24進行。
采用該實施形態(tài)2，由于將移動式基板搬運傳送器2配置于在其下部形成作業(yè)者可橫向穿過的空間2A的位置，并將升降式基板搬運傳送器4的升降行程設(shè)定為可在移動式基板搬運傳送器2與雙層升降式基板搬運傳送器5之間進行升降的大小，故不必增加新的裝置就可在移動式基板搬運傳送器2的下部橫向穿越，可確保作業(yè)者的移動線路，大幅改善作業(yè)性。
實施形態(tài)3圖8是表示實施形態(tài)3的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
該實施形態(tài)3是，在上述實施形態(tài)1的結(jié)構(gòu)中，基板輸出裝置1僅為1臺(圖中為1A)，廢除了移動式基板搬運系統(tǒng)2。
在該實施形態(tài)3中，通過將到雙層升降式基板搬運傳送器5為止的基板供給能力設(shè)定得比朝向流程裝置40的基板供給能力稍高，在1個盒(比如60片)的基板供給結(jié)束之前使基板10在升降式基板搬運傳送器4及雙層升降式基板搬運傳送器5的所有基板搬運傳送器上排隊等待，則等待基板起到儲備功能，在這些儲備消失之前更換盒11A。
采用該實施形態(tài)3，由于基板輸出裝置僅為1臺，將基板10直接從該基板輸出裝置1A搬運至升降式基板搬運傳送器4上，并將到雙層升降式基板搬運傳送器5為止的基板搬運速度設(shè)定得比朝向流程裝置40的基板供給速度稍高，故可大幅削減基板搬運系統(tǒng)的組成設(shè)備，可削減設(shè)備費用。
另外，因為不使用移動量大的移動式基板搬運傳送器2，故沒有伴隨移動而產(chǎn)生的振動，同時可降低基板10的搬運速度，因而能將對基板10的振動、沖擊抑制在最小，可維持產(chǎn)品的質(zhì)量。
另外，可大幅度減小設(shè)置面積，故可削減凈化室的占有面積，使凈化室小型化，降低建筑費用，并可削減維持清潔度的消費能源。
實施形態(tài)4圖9是表示實施形態(tài)4的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
該實施形態(tài)4是，在上述實施形態(tài)3的結(jié)構(gòu)中，在基板輸出裝置1A與升降式基板搬運傳送器4之間增加基板等待傳送器25。在圖9中基板等待傳送器25為1臺，但也可是2臺以上。
在該實施形態(tài)4中，通過將到雙層升降式基板搬運傳送器5為止的基板供給能力設(shè)定得比朝向流程裝置40的基板供給能力稍高，在1個盒(比如60片)的基板供給結(jié)束之前使基板在基板等待傳送器25、基板升降傳送器4及雙層升降式基板搬運傳送器5的所有基板搬運傳送器上排隊等待，則等待基板起到儲備功能，在這些儲備消失之前更換盒11A。
采用該實施形態(tài)4，由于在基板輸出裝置與升降式基板搬運傳送器4之間配置基板等待傳送器25，將到雙層升降式基板搬運傳送器5為止的基板搬運速度設(shè)定得比朝向流程裝置40的基板供給速度稍高，故與實施形態(tài)3相比，儲備基板數(shù)量增加，相應(yīng)可延長盒的更換周期。
另外，圖9中，將基板等待傳送器25配置于在其下部形成作業(yè)者可橫向穿越的空間25A的位置，同時，將升降式基板搬運傳送器4的升降行程設(shè)定為可在基板等待傳送器25與雙層升降式基板搬運傳送器5之間進行升降的大小，故不必增加新的裝置就可在基板等待傳送器25的下部橫向穿越，可確保作業(yè)者的移動線路，大幅改善作業(yè)性。
實施形態(tài)5圖10是實施形態(tài)5的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
該實施形態(tài)5，是為了即使不使用上述實施形態(tài)1那樣的雙層升降式基板搬運傳送器5也能發(fā)揮相同的效果而作成的，其結(jié)構(gòu)為廢除了升降式基板搬運傳送器4、雙層移動式基板搬運傳送器5，僅有流程側(cè)基板搬運傳送器3，將2臺基板輸出裝置1A、1B作成載放在基板輸出裝置移動機構(gòu)26上的結(jié)構(gòu)。
2臺基板輸出裝置1A、1B，在基板輸出裝置移動機構(gòu)26上與其一體結(jié)合，通過基板輸出裝置移動機構(gòu)26的移動功能，可在與基板供給方向垂直的水平軸上自由地動作。
向基板輸出裝置1A、1B供給及搬出盒11A、12A，是通過未圖示的AGV等自動搬運臺車、手推臺車或自動倉庫的堆裝起重機等的盒供給裝置進行的。
盒11A的供給、搬出，是在基板輸出裝置移動機構(gòu)26位于圖10(a)的上側(cè)、即基板輸出機構(gòu)11B位于流程側(cè)基板搬運傳送器3之前時進行，盒11B的供給、搬出，是在基板輸出裝置移動機構(gòu)26位于圖10(a)的下側(cè)、即基板輸出機構(gòu)11A位于流程側(cè)基板搬運傳送器3之前時進行。
現(xiàn)在，假設(shè)基板輸出裝置移動機構(gòu)26移動至圖10(a)的下側(cè)、基板輸出裝置11A位于流程側(cè)基板搬運傳送器3之前。
基板輸出裝置1A以盒的基板存放間距單位使盒11A下降，將存放在盒11A的最下層的基板10載放在基板輸出傳送器17上并朝水平方向輸出，移載至流程側(cè)基板搬運傳送器3上。此時的基板搬運速度根據(jù)流程裝置40的速度條件決定。
在對流程側(cè)基板搬運傳送器3的基板移載結(jié)束的同時，基板輸出裝置1A使盒11A以基板存放間距而下降，將下一個基板載放在基板輸出傳送器17上?；?0的搬出定時與流水線的循環(huán)時間對應(yīng)。
以下，按存放在盒11A內(nèi)的基板片數(shù)進行重復(fù)搬出。
并且，一旦結(jié)束存放在盒11A內(nèi)的所有基板10的搬出，基板輸出裝置移動機構(gòu)26就移動至圖10(a)中的上側(cè)，使基板輸出裝置11B位于流程側(cè)基板搬運傳送器之前。緊隨盒11A的最后基板，利用基板輸出裝置1B而從盒11B的最下層基板開始繼續(xù)進行搬出。這些盒的切換動作與流水線的循環(huán)時間對應(yīng)。
另外，基板輸出裝置1A使盒升降機構(gòu)18上升至上升端，相對于盒供給裝置要求更換盒11A。盒的更換若是在另一方的盒內(nèi)存放的所有的基板搬出結(jié)束之前完成的話，則對流程裝置40的基板供給就不會中斷。
采用該實施形態(tài)5，在利用將平板狀的基板10進行輸出的基板輸出裝置1而將搬出的基板從該基板輸出裝置1向水平方向搬運、以片單位供給到對基板進行規(guī)定處理的流程裝置40的基板搬運系統(tǒng)中，由于基板輸出裝置1由可沿與基板搬運方向正交的水平軸、保持規(guī)定的位置關(guān)系地一體移動的2臺基板輸出裝置1A、1B構(gòu)成，從這些基板輸出裝置1A、1B依次搬出的基板僅由設(shè)置在流程裝置40側(cè)的流程側(cè)移動式基板搬運傳送器3供給到流程裝置40，故可使各個基板搬運中心與流水線的基板搬運中心對應(yīng)，由此，不用在基板搬運途中對搬運中心和搬運高度進行切換，消除了基板10的往復(fù)搬運工序。因此，可滿足流程裝置40的搬運條件和流水線的生產(chǎn)能力。
另外，基板10的搬運線路朝著流程裝置40而僅僅直線搬運，故基板10的搬運條件成為整個工序的流程裝置40的要求搬運速度。因此，可使基板搬運速度為所需的最小值，將對于基板10的振動、沖擊抑制在最小，可維持產(chǎn)品的質(zhì)量。
而且，不需要頻繁地將基板以片為單位進行移動、升降，可提高設(shè)備的可靠性，增強安全性，同時可抑制消費能源。
另外，可使基板搬運系統(tǒng)在基板供給方向的全長縮短，故可縮短流水線的長度。因此，可縮減凈化室的占有面積，實現(xiàn)凈化室的小型化，在削減建筑費用的同時，可降低用于維持清潔度所消耗的能源。
實施形態(tài)6下面參照圖11～13對本發(fā)明的實施形態(tài)6作說明。
圖11是表示實施形態(tài)6的基板搬運系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖。
該實施形態(tài)6，是為了即使不使用上述實施形態(tài)1那樣的雙層升降式基板搬運傳送器5也能發(fā)揮相同的效果而作成的，其結(jié)構(gòu)為廢除了升降式基板搬運傳送器4、雙層移動式基板搬運傳送器5，僅設(shè)有流程側(cè)基板搬運傳送器3，設(shè)有基板正交搬運傳送器27A、27B及基板等待傳送器28以替換移動式基板搬運傳送器2。
圖12是表示基板正交搬運傳送器27的結(jié)構(gòu)，(a)是俯視圖，(b)是側(cè)視圖，(c)是主視圖。
基板正交搬運傳送器27的結(jié)構(gòu)如圖12所示，其包括主基板搬運傳送器29；具有從主基板搬運傳送器29的搬運滾筒的間隙相對于主基板搬運傳送器29的搬運面而垂直上浮、下沉的搬運面的副基板搬運傳送器30；以及使副基板搬運傳送器上浮、下沉的上浮機構(gòu)31。
下面利用圖11及圖13對實施形態(tài)6的動作進行說明。
對基板輸出裝置1A、1B的盒11A、11B的供給及輸出，是通過未圖示的AGV等自動搬運臺車、手推臺車或自動倉庫的堆裝起重機等的盒供給裝置進行的。
現(xiàn)在，假設(shè)正從基板輸出裝置1B向流程裝置供給基板，對基板輸出裝置1A供給存放有基板的盒。另外，將基板10C作為盒11B的最后基板。
基板輸出裝置1B，對應(yīng)于流程裝置40的基板搬運速度條件而進行基板的輸出。比如，在向洗凈裝置進行供給的場合，受UV照射流程的限制而為低速(比如，4m/min)，并且滿足流水線的循環(huán)時間，故為連續(xù)搬運。
從基板輸出裝置1B搬出的基板10B到達基板正交搬運傳送器27B，且基板輸出裝置1B以基板存放間距而使盒11B下降，將最后基板10C裝載在基板輸出傳送器17上。最后基板10C的搬出定時與流水線的循環(huán)時間對應(yīng)。另外，基板輸出裝置1A在從基板輸出裝置1B搬出基板中，將基板10D、10E搬出至基板等待傳送器28、基板正交搬運傳送器27A進行等待(圖13(a))。
一旦基板10C向基板正交搬運傳送器27B搬出結(jié)束，則基板輸出裝置1B將盒升降機構(gòu)18上升至上升端，相對于盒供給裝置要求更換盒11B。盒的更換若是在另一方的盒內(nèi)存放的所有的基板搬出結(jié)束之前完成的話，則向流程裝置40供給基板就不會中斷。
基板10C向流程側(cè)基板搬運傳送器3移載結(jié)束的同時，使基板正交移載傳送器27B的上浮裝置31上升，并使副基板搬運傳送器30上浮，高速地將基板等待傳送器28上的基板10D承接至副基板搬運傳送器30上。承接結(jié)束的同時，使基板正交移載傳送器27B的上浮裝置31下降，將基板10D移載至主基板搬運傳送器29上。由基板等待傳送器25對于基板正交搬運傳送器27B的基板搬運動作，與流水線的循環(huán)時間對應(yīng)(圖13(b))。
使基板正交搬運傳送器27A的上浮裝置上升，并使副基板搬運傳送器30上浮，將主基板搬運傳送器29上的基板10E移載至副基板搬運傳送器30。將基板10E搬運至空的基板等待傳送器28上。移載結(jié)束后，使基板正交搬運傳送器27A的上浮裝置31下降，并使副基板搬運傳送器30下降(圖13(c))。
基板10B～10D的朝向流程裝置40的供給，是根據(jù)流程裝置40的速度條件進行連續(xù)搬運?；?0E由基板正交搬運傳送器27A朝向基板等待傳送器28的搬運，比基板10D到達流程側(cè)基板搬運傳送器3早(圖13(d))。
從基板輸出裝置1A向基板正交搬運傳送器27A搬出下一基板10F(圖13(e))。
一旦基板10D向流程側(cè)基板搬運傳送器移載結(jié)束，使基板正交移載傳送器27B的上浮裝置31上升，并使副基板搬運傳送器30上浮，將基板等待傳送器28上的基板10E承接至副基板搬運傳送器30上。承接結(jié)束的同時，使基板正交移載傳送器27B的上浮裝置31下降，將基板10E移載至主基板搬運傳送器29上(圖13(f))。
以下，按存放在盒11A內(nèi)的基板片數(shù)重復(fù)進行搬出。
一旦存放在盒11A內(nèi)的所有的基板的搬出結(jié)束，則使基板輸出裝置1A的盒升降機構(gòu)18上升至上升端，相對于盒供給裝置要求盒的更換。
另外，盒11A的最后基板到達基板正交搬運傳送器27B之前，基板輸出裝置1B的盒更換結(jié)束，最下層的基板被載放在基板輸出裝置1B的基板輸出傳送器17上。
因此，在盒11A的最后基板到達基板正交搬運傳送器27B、開始朝流程側(cè)基板搬運傳送器3搬出的同時，繼續(xù)從基板輸出裝置1B供給基板。
采用上述實施形態(tài)6，在利用將平板狀的基板10進行輸出的基板輸出裝置1而將從該基板輸出裝置1搬出的基板朝水平方向搬運、以片單位供給到對基板進行規(guī)定處理的流程裝置40的基板搬運系統(tǒng)中，由于基板輸出裝置1由多臺基板輸出裝置1A、1B構(gòu)成，且在這些基板輸出裝置1A、1B與流程裝置40之間配置有與基板輸出裝置相同數(shù)量的基板正交基板搬運傳送器27A、27B；將這些基板正交基板搬運傳送器27A、27B之間進行連接的基板等待傳送器28；以及向流程裝置40供給基板的流程側(cè)基板搬運傳送器3，并作成在多臺基板輸出裝置1A、1B中與流程裝置40以直線的搬運線路進行連接的基板輸出裝置1B的搬運線路相鄰、使基板等待，故從基板輸出裝置1A側(cè)進行基板供給時，可將次基板在與要求低速搬運的流程裝置側(cè)基板搬運傳送器3相鄰的基板等待傳送器28上等待，可縮短供給基板10所需的時間。因此，可滿足流程裝置40的搬運條件和流水線的生產(chǎn)能力。
另外，在次基板的供給中不使用移動式基板搬運傳送器2那樣的伴隨往復(fù)動作的基板搬運裝置，故可降低基板10的搬運速度。因此，可將對于基板10的振動、沖擊抑制在最小，維持產(chǎn)品的質(zhì)量。
而且，沒有必要以片單位頻繁地時基板10移動、升降，可提高設(shè)備的可靠性，增加安全性，并可抑制消耗的能源。
另外，可將占有空間抑制在傳統(tǒng)的方式以下，故可削減凈化室的占有面積，使凈化室小型化，降低建筑費用，并可削減維持清潔度的消費能源。
另外，在上述各實施形態(tài)中，是對FPD基板的裝載進行了說明，但對FPD基板的卸載，僅是搬運方向相反，其結(jié)構(gòu)、配置、效果不變。
另外，在所有的實施形態(tài)中，作為基板搬運裝置，以滾筒傳送器為代表進行了描述，但并不對搬運裝置進行限定，也可是其他搬運裝置。
此外，作為基板的搬運姿式，是以水平搬運為代表進行了描述，但并沒有限定搬運姿式，也可是其他姿式(比如傾斜、垂直)，雙層升降式基板搬運傳送器的升降方向，以鉛垂方向為代表進行了表示，但并沒有限定升降方向，根據(jù)基板的搬運姿式也可是傾斜或水平。
比如，如上所述，在將平板狀的基板朝鉛垂或圍繞搬運方向的軸傾斜，其角度接近鉛垂的姿勢朝水平方向搬運的場合，也可構(gòu)成包括具有移動機構(gòu)的移動式基板搬運傳送器、具有移動功能的雙層結(jié)構(gòu)的雙層移動式基板搬運傳送器，雙層移動式基板搬運傳送器，作成以雙層結(jié)構(gòu)的左右基板搬運傳送器之間的水平距離、沿與基板搬運方向正交的水平軸移動自如，移動式基板搬運傳送器，作成在雙層移動式基板搬運傳送器的左端位置處的左側(cè)基板搬運傳送器與右端位置的右側(cè)基板搬運傳送器以及移動式基板搬運傳送器與基板接送位置之間沿水平方向移動自如，移動式基板搬運傳送器與雙層移動式基板搬運傳送器的基板移載、雙層移動式傳送器與流程裝置的基板移載，以獨立的速度并行進行。
如上所述，本發(fā)明是，在利用將平板狀的基板進行輸出的基板輸出裝置而將從該基板輸出裝置搬出的基板朝水平方向搬運、以片單位供給到對基板進行規(guī)定處理的流程裝置的基板搬運系統(tǒng)中，具有根據(jù)基板供給到流程裝置的供給速度而交替地移動至第1位置和第2位置、分別在不同的位置承接從基板輸出裝置搬出的基板的具備第1及第2層雙層結(jié)構(gòu)的可動式基板搬運傳送器，在第1位置，在第1層承接從基板輸出裝置搬出的基板，并將基板從第2層供給到流程裝置，在第2位置，在第2層承接從基板輸出裝置搬出的基板，并從第1層將基板供給到流程裝置，由此，在滿足流程裝置的基板搬運條件的同時，能滿足作為搬運系統(tǒng)的處理能力，并消除產(chǎn)品質(zhì)量下降的原因，降低初期成本及運行成本，可構(gòu)筑作業(yè)性良好的流水線。
權(quán)利要求
1.一種基板搬運系統(tǒng)，利用將平板狀的基板進行輸出的基板輸出裝置而將從該基板輸出裝置搬出的基板朝水平方向搬運、并以片單位供給到對基板進行規(guī)定處理的流程裝置，其特征在于，具有根據(jù)基板供給到流程裝置的供給速度而交替地移動至和第2位置、分別在不同的位置承接從基板輸出裝置搬出的基板的具備第1及第2層雙層結(jié)構(gòu)的可動式基板搬運傳送器，在第1位置，在第1層承接從基板輸出裝置搬出的基板，并將基板從第2層向流程裝置供給，在第2位置，在第2層承接從基板輸出裝置搬出的基板，并從第1層將基板向流程裝置供給。
2.如權(quán)利要求1所述的基板搬運系統(tǒng)，其特征在于，在所述基板輸出裝置與所述雙層結(jié)構(gòu)的基板搬運傳送器之間，配置有根據(jù)所述雙層結(jié)構(gòu)的基板搬運傳送器的移動動作而移動的可動式基板搬運傳送器，將從所述基板輸出裝置搬出的基板交替地搬運至第1層及第2層。
3.一種基板搬運系統(tǒng)，利用將平板狀的基板進行輸出的基板輸出裝置而將從該基板輸出裝置搬出的基板朝水平方向搬運、并以片單位供給到對基板進行規(guī)定處理的流程裝置，其特征在于，在流程裝置側(cè)，配置有根據(jù)所述基板供給到所述流程裝置的供給速度而交替地向鉛垂方向的第1位置和第2位置移動、分別在不同的位置承接從所述基板輸出裝置搬出的基板的具備第1及第2層雙層結(jié)構(gòu)的升降式基板搬運傳送器，并且，在該雙層升降式基板搬運傳送器與基板輸出裝置之間，配置有承接從所述基板輸出裝置搬出的基板、根據(jù)所述雙層升降式基板搬運傳送器的朝向所述第1及第2位置的升降動作而升降的升降式基板搬運傳送器，在所述第1位置，在所述第1層承接從所述升降式基板搬運傳送器搬出的基板，并從所述第2層將基板供給到流程裝置，在所述第2位置，在第2層承接從所述升降式基板搬運傳送器搬出的基板，并從第1層將基板供給到流程裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的基板搬運系統(tǒng)，其特征在于，所述升降式基板搬運傳送器與所述雙層升降式基板搬運傳送器的基板移載、所述雙層升降式基板搬運傳送器與所述流程裝置的基板移載，以獨立的速度并行進行。
5.如權(quán)利要求3或4所述的基板搬運系統(tǒng)，其特征在于，配置多臺所述基板輸出裝置，在這些基板輸出裝置與所述升降式基板搬運傳送器之間，配置有按序承接從各基板輸出裝置輸出的所述基板、并移動至與所述升降式基板搬運傳送器相對的規(guī)定位置、再搬運至所述升降式基板搬運傳送器上的移動式基板搬運傳送器。
6.如權(quán)利要求5所述的基板搬運系統(tǒng)，其特征在于，將所述移動式基板搬運傳送器配置于在其下部形成作業(yè)者可橫向穿越的空間的位置，并將所述升降式基板搬運傳送器的升降行程設(shè)定成可在所述移動式基板搬運傳送器與所述雙層升降式基板搬運傳送器之間進行升降的大小。
7.如權(quán)利要求3所述的基板搬運系統(tǒng)，其特征在于，所述基板輸出裝置僅為1臺，將基板直接從該基板輸出裝置搬運至所述升降式基板搬運傳送器，并將到所述雙層升降式基板搬運傳送器為止的基板搬運速度設(shè)定得比供給流程裝置的基板供給速度稍高。
8.如權(quán)利要求3所述的基板搬運系統(tǒng)，其特征在于，在所述基板輸出裝置與所述升降式基板搬運傳送器之間配置基板等待傳送器，將到所述雙層升降式基板搬運傳送器為止的基板搬運速度設(shè)定得比基板供給到所述流程裝置的供給速度稍高。
9.一種基板搬運系統(tǒng)，利用將平板狀的基板進行輸出的基板輸出裝置而將從該基板輸出裝置搬出的基板朝水平方向搬運、并以片單位供給到對基板進行規(guī)定處理的流程裝置，其特征在于，所述基板輸出裝置，由可沿與基板搬運方向正交的水平軸、保持規(guī)定的位置關(guān)系地一體移動的2臺基板輸出裝置構(gòu)成，從這些基板輸出裝置依次搬出的基板僅由設(shè)置在所述流程裝置側(cè)的流程側(cè)移動式基板搬運傳送器供給到所述流程裝置。
10.如權(quán)利要求3所述的基板搬運系統(tǒng)，其特征在于，所述基板輸出裝置與基板供給到所述流程裝置的供給速度對應(yīng)而進行基板的搬運。
11.一種基板搬運系統(tǒng)，利用將平板狀的基板進行輸出的基板輸出裝置而將從該基板輸出裝置搬出的基板朝水平方向搬運、并以片單位供給到對基板進行規(guī)定處理的流程裝置，其特征在于，所述基板輸出裝置由多臺基板輸出裝置構(gòu)成，在這些基板輸出裝置與所述流程裝置之間，配置有與所述基板輸出裝置相同數(shù)量的基板正交基板搬運傳送器；將這些基板正交基板搬運傳送器之間進行連接的基板等待傳送器；以及向所述流程裝置供給所述基板的流程側(cè)基板搬運傳送器，在所述多臺基板輸出裝置中，與所述流程裝置以直線的搬運線路進行連接的基板輸出裝置的搬運線路相鄰，以使基板等待。
12.如權(quán)利要求11所述的基板搬運系統(tǒng)，其特征在于，在所述基板正交搬運傳送器、基板等待傳送器及流程側(cè)基板搬運傳送器上各使1片基板等待。
全文摘要
一種基板搬運系統(tǒng)，配置2臺(圖中為(1A、1B))從盒(11)將基板(10)搬出的基板輸出裝置(1)，并配置有承接從各輸出裝置(1A、1B)輸出的基板(10)并將基板位置滑移至流程裝置(40)的中心的移動式基板搬運傳送器(2)。而且，由移動式基板搬運傳送器(2)承接基板(10)，并在流程裝置(40)的前面配置對搬運高度進行升降的升降式基板搬運傳送器(4)以及從升降式基板搬運傳送器(4)承接基板(10)并向流程裝置(40)供給基板(10)的雙層結(jié)構(gòu)的帶升降功能的雙層升降式基板搬運傳送器(5)。本發(fā)明可滿足流程裝置的基板搬運條件，滿足所需的處理能力，并能消除產(chǎn)品質(zhì)量下降的原因，降低初期成本及運行成本，可構(gòu)筑作業(yè)性良好的流水線。
文檔編號B65G49/05GK1532128SQ0315931
公開日2004年9月29日 申請日期2003年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月24日
發(fā)明者堀卓司 申請人:三菱電機株式會社