離。
[0037] 由于乙烯類共聚物膜以及聚烯烴類膜，對(duì)于作為粘合片的特點(diǎn)帶來(lái)不良影響的成 分（例如，在聚氯化乙烯類膜等中，由該膜含有的塑化劑由基材2轉(zhuǎn)移到粘合劑層3,且分布 于粘合劑層3與基材2相對(duì)的面相反側(cè)的面，而有降低相對(duì)于粘合劑層3的被粘著體的粘 合性的情況）含量低，故難以發(fā)生相對(duì)于粘合劑層3的被粘著體的粘合性降低等問(wèn)題。即， 使用乙烯類共聚物膜以及聚烯烴類膜的粘合片在化學(xué)方面的穩(wěn)定性優(yōu)異。
[0038] 基材2在以上述樹脂類材料為主劑的膜內(nèi)，還可以含有顏料、阻燃劑、塑化劑、抗 靜電劑、潤(rùn)滑劑、填充劑等各種添加劑。作為顏料，可列舉二氧化鈦、碳黑等。此外，作為填 充劑，可列舉如三聚氰胺樹脂等有機(jī)類材料、如氣相娃等無(wú)機(jī)類材料以及如鎳粒子等金屬 類材料。這種添加劑的含量沒(méi)有特別限制，但應(yīng)設(shè)定在基材2能夠發(fā)揮所期望的功能且不 失去平滑性或柔軟性的范圍內(nèi)。
[0039] 若是在使用紫外線作為讓粘合劑層3固化而照射的能量線的情況下，基材2優(yōu)選 對(duì)所照射的紫外線具有透過(guò)性。作為這種基材，可列舉乙烯類共聚物膜、聚烯烴類膜以及聚 氯化乙烯類膜。此外，若是在使用電子線作為能量線的情況下，基材2優(yōu)選具有電子線的透 過(guò)性。
[0040] 此外，在基材2的粘合劑層3側(cè)的面（以下也稱"基材被粘合面"）上，優(yōu)選存在 含有由羧基以及其離子與鹽形成的群組中選出的選擇1種或2種以上的成分。在基材2中 的所述成分與粘合劑層3的成分（例舉有組成粘合劑層3的成分以及交聯(lián)劑（C)等在形成 粘合劑層3時(shí)所使用的成分），通過(guò)相互化學(xué)作用，而可以降低在它們之間產(chǎn)生剝離的可能 性。使這種成分存在于基材被粘合面的具體方法則沒(méi)有特別限制。例如，將基材2本身作 為如乙烯-(甲基）丙烯酸共聚物膜、離聚物樹脂膜等，也可以讓作為組成基材2的材料樹 月旨，具有在羧基以及其離子與鹽所構(gòu)成的群組中選出的1種或2種以上。作為使上述成分 存在于基材被粘合面的其他方法，基材2例如為聚烯烴類膜，可以在基材被粘合面?zhèn)葘?shí)施 電暈處理，或者也可以形成中界層。此外，在基材2的基材被粘合面與反面上，可以設(shè)置各 種涂月吳。
[0041] 基材2的厚度只要粘合片1在有關(guān)前述加工的工序等方面能夠發(fā)揮適當(dāng)功能，則 沒(méi)有限制。優(yōu)選為20ym以上、450ym以下，進(jìn)一步優(yōu)選為25ym以上、400ym以下，特別 優(yōu)選為50ym以上、350ym以下的范圍。
[0042] 在本實(shí)施方式中基材2的斷裂伸度是在23 °C、相對(duì)濕度50 %時(shí)所測(cè)定的值， 優(yōu)選為100%以上，特別優(yōu)選為200%以上、1000 %以下。在此，斷裂伸度為依據(jù)JIS K7161:1994(ISO527-11993)，在拉伸試驗(yàn)中試驗(yàn)片破壞時(shí)的試驗(yàn)片的長(zhǎng)度相對(duì)于原本長(zhǎng) 度的增加率。上述斷裂伸度為100%以上的基材2在粘合片1粘貼或剝離時(shí)變得難以斷裂。
[0043] 此外，在本實(shí)施方式中當(dāng)基材2發(fā)生25%變形時(shí)，拉伸應(yīng)力優(yōu)選為5N/10mm以上、 15N/10mm以下，最大拉伸應(yīng)力優(yōu)選為15MPa以上、50MPa以下。在此變形25%時(shí)，拉伸應(yīng)力 以及最大拉伸應(yīng)力，則通過(guò)依據(jù)JISK7161:1994的試驗(yàn)所測(cè)定。若變形25%時(shí)的拉伸應(yīng)力 不足5N/10mm或最大拉伸應(yīng)力不足15MPa，則將設(shè)備相關(guān)部件粘貼在粘合片1之后，固定在 晶圓環(huán)（ringframe)等框體時(shí)，由于基材2柔軟而有發(fā)生松弛的可能，而這種松弛現(xiàn)象有 時(shí)會(huì)成為導(dǎo)致搬送錯(cuò)誤的原因。另一方面，變形25%時(shí)，若拉伸應(yīng)力超過(guò)15N/10mm或最大 拉伸應(yīng)力不足50MPa，則在擴(kuò)張工序時(shí)，有可能容易發(fā)生在晶圓環(huán)（ringframe)出現(xiàn)粘合 片1本身剝落等問(wèn)題。此外，上述斷裂伸度、25%變形時(shí)的拉伸應(yīng)力以及最大拉伸應(yīng)力，是 指對(duì)于在基材2中原材料的長(zhǎng)方向所測(cè)定的值。
[0044] 2.粘合劑層
[0045] (1)組成
[0046] 本實(shí)施方式的粘合片1的粘合劑層3,可由現(xiàn)有公知的各種粘合劑組合物形成。作 為這種粘合劑組合物沒(méi)有任何限制可使用橡膠類、丙烯類、硅氧烷類、聚乙烯醚等粘合劑組 合物。
[0047] 本實(shí)施方式的粘合片1所具有的粘合劑層3,含有具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物 (A)以及光聚合引發(fā)劑（B)，且根據(jù)需要，由含有交聯(lián)劑（C)等的粘合劑組合物所組成。
[0048] (1-1)具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)
[0049] 在本說(shuō)明書中，"具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A) "是指將含有具有聚合性的官 能基團(tuán)的聚合性官能基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，存在于主鏈末端以及/或側(cè)鏈的聚合物?？赏ㄟ^(guò)后 述的光聚合引發(fā)劑（B)開(kāi)始進(jìn)行聚合反應(yīng)，若該聚合反應(yīng)能夠連鎖進(jìn)行，則聚合性官能基 團(tuán)的具體種類則不受到特別限制。例如，作為具體例子，可列舉具有乙烯性不飽和鍵的基 團(tuán)，其中如（甲基）丙稀醜基、乙烯基等。
[0050] 具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)的重量平均分子量（Mw)，由形成上述粘合劑層 3的粘合劑組合物以及根據(jù)需要進(jìn)一步涂布含有溶劑的涂布用組合物時(shí)的造膜性的觀點(diǎn) 來(lái)看，優(yōu)選為1萬(wàn)以上、200萬(wàn)以下，進(jìn)一步優(yōu)選為10萬(wàn)以上、150萬(wàn)以下。此外，具有聚合 性官能基團(tuán)的聚合物（A)的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度Tg優(yōu)選為-70°C以上、30°C以下，進(jìn)一步優(yōu)選 為-60°C以上、20°C以下的范圍。玻璃化轉(zhuǎn)變溫度可由Fox式進(jìn)行計(jì)算。此外，若通過(guò)將加 成化合物加成在后述未加成丙烯類共聚物，得出作為具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)的 丙烯類聚合物的情況下，具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)的Tg，指的是未加成丙烯類共 聚物的Tg。
[0051] 以下，將具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)為丙烯類聚合物的情況作為具體例， 說(shuō)明其組成以及制造方法。
[0052] 在具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)為丙烯類聚合物的情況下，具有聚合性官能 基團(tuán)的聚合物（A)，例如可根據(jù)以下方法來(lái)制造。首先，調(diào)制未加成丙烯類共聚物，該未加成 丙烯類共聚物由以下結(jié)構(gòu)單元形成：根據(jù)含有羥基、羧基、胺基、取代胺基、環(huán)氧基等反應(yīng)性 官能基團(tuán)的丙烯類化合物的結(jié)構(gòu)單元，以及根據(jù)不具有這些反應(yīng)性官能基的丙烯類化合物 的結(jié)構(gòu)單元。接著，通過(guò)使該未加成丙烯類共聚物、以及在1分子內(nèi)具有可以與上述反應(yīng)性 官能基團(tuán)進(jìn)行反應(yīng)的官能基團(tuán)的加成官能基團(tuán)及聚合性官能基（例如，具有乙烯性雙鍵的 基團(tuán)）的化合物（本說(shuō)明書中也稱"加成化合物"）進(jìn)行反應(yīng)，由此將聚合性官能基團(tuán)加成 在上述未加成丙烯類共聚物。由此可以得到作為具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)的丙烯 類聚合物。
[0053] 作為上述具有反應(yīng)性官能基團(tuán)的丙烯類化合物，可列舉（甲基）丙烯酸、衣康酸、 (甲基）丙烯腈、具有反應(yīng)性官能基團(tuán)的（甲基）丙烯酸酯等。作為所述（甲基）丙烯酸酯 的具體例，可列舉2-羥乙基（甲基）丙烯酸酯、2-羥丙基（甲基）丙烯酸酯等具有羥基的 (甲基）丙烯酸酯；（甲基）丙烯酸縮水甘油酯、N-甲基胺基乙基（甲基）丙烯酸酯等具有 羥基以外官能基團(tuán)的（甲基）丙烯酸酯等。
[0054] 作為不具有上述反應(yīng)性官能基團(tuán)的丙烯類化合物，可例舉（甲基）丙烯酸酯。若 對(duì)所述（甲基）丙烯酸酯進(jìn)一步舉出具體例，可列舉（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸 乙酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己酯等具有鏈狀 骨架的（甲基）丙烯酸酯；（甲基）丙烯酸環(huán)己酯、（甲基）丙烯酸異冰片酯等具有環(huán)狀骨 架的（甲基）丙烯酸酯等。此外，在（甲基）丙烯酸酯為（甲基）丙烯酸烷基酯的情況下， 其烷基的碳數(shù)優(yōu)選在1到18的范圍。
[0055] 此外，上述未加成丙烯類共聚物可以具有基于丙烯類化合物以外的化合物的結(jié)構(gòu) 單元。作為這種化合物，可例舉乙稀、降冰片稀等稀經(jīng)、醋酸乙稀、苯乙稀等。
[0056] 加成化合物所具有的加成官能基團(tuán)的種類，可根據(jù)反應(yīng)性官能基團(tuán)以及聚合性 官能基團(tuán)的關(guān)系進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定，作為加成官能基團(tuán)的具體例，可例舉異氰酸酯基。作為包 含作為加成官能基團(tuán)的異氰酸酯基以及具有作為聚合性官能基團(tuán)的乙烯性不飽和鍵的基 團(tuán)的加成化合物的具體例，可舉出2-甲基丙烯酰氧異氰酸乙酯、2-丙烯酰氧異氰酸乙酯、 1，1_(二丙烯酰氧甲基）異氰酸乙酯等。特別是由于1，1_(二丙烯酰氧甲基）異氰酸乙酯 在一分子中含有2個(gè)丙烯酰基，即使通過(guò)放射熱量少的照射對(duì)粘合劑層進(jìn)行固化，也可充 分降低對(duì)于加工后設(shè)備相關(guān)部件的粘合性，從而讓本發(fā)明效果更加顯著。
[0057] 具有反應(yīng)性官能基團(tuán)的單體，在構(gòu)成未加成丙烯類共聚物的單體全體所占的比 例，優(yōu)選為5質(zhì)量％以上、50質(zhì)量％以下，亦優(yōu)選為10質(zhì)量％以上、40質(zhì)量％以下。此外， 當(dāng)未加成丙烯類共聚物所具有的反應(yīng)性官能基的數(shù)為l〇〇mol%時(shí)，加成于此的加成化合物 的分子數(shù)優(yōu)選為40mol%以上、lOOmol%以下，亦優(yōu)選為60mol%以上、90mol%以下。具有 反應(yīng)性官能基團(tuán)的單體比例，或加成化合物的分子數(shù)在此范圍時(shí)，即使通過(guò)放射熱量低的 照射對(duì)粘合劑層進(jìn)行固化，也可充分降低對(duì)于加工后設(shè)備相關(guān)部件的粘合性，可從而提高 本發(fā)明效果。
[0058] (1-2)光聚合引發(fā)劑（B)
[0059] 為了形成本實(shí)施方式的粘合片1所具有的粘合劑層3的粘合劑組合物，含有光聚 合引發(fā)劑（B)。所述光聚合引發(fā)劑（B)可由1種光聚合性化合物組成，也可以是多個(gè)光聚合 性化合物的混合物，而光聚合引發(fā)劑（B)的特點(diǎn)在于其3質(zhì)量％甲醇溶液的波長(zhǎng)365nm的 質(zhì)量吸光系數(shù)（單位：ml/g?cm)在200以上、1000以下。通過(guò)具有這種特點(diǎn)，即使相對(duì)于 1〇〇質(zhì)量份具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)，將粘合劑組合物中光聚合引發(fā)劑（B)的含量 設(shè)定在的2質(zhì)量份以下，當(dāng)對(duì)于由這種粘合劑組合物形成的粘合劑層3照射包含紫外線的 能量線時(shí)，也可以有效進(jìn)行具有聚合性官能基團(tuán)的聚合物（A)的聚合反應(yīng)。由此，在照射能 量線后，可以穩(wěn)定降低粘合劑層3對(duì)于設(shè)備相關(guān)部件的粘合性。
[0060] 作為具有上述特點(diǎn)的光聚合引發(fā)劑（B)的具體例，可舉出烷基苯酮類化合物、酰 基氧化膦化合物、二茂鈦化合物、噻噸酮化合物、過(guò)氧化氫化合物等的光引發(fā)劑、胺類化合 物或醌類化合物等的光增感劑等，具體可例舉2, 2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、 2, 4, 6-三甲基苯甲?；交?氧化膦、1-羥環(huán)己基苯酮、安息香、安息香甲醚、安息香乙 醚、安息香異丙醚、苯甲基二苯基硫化物、四甲基秋蘭姆一硫化物、偶氮二異丁腈、0 _氯蒽 醌等，且亦可使用它們的混合物。
[0061] 在這之中，由反應(yīng)性高低程度的觀點(diǎn)來(lái)看，優(yōu)選為2, 2-二甲氧基-1，2-二苯基乙 烷-1-酮以及2, 4, 6-三甲基苯甲?；交?氧化膦。此外，如苯酮這樣揮發(fā)性高的化合 物，由于具有使來(lái)自粘合片1的釋氣量增加的可