本發(fā)明涉及拋光液，特別涉及一種硅溶膠拋光液及其制備方法。
背景技術：
：拋光劑的作用是將被拋光工件表層凸起處去除，提高工件表面的平整度。例如，對半導體晶片進行拋光時，借助于外力，磨料將晶片表面經(jīng)過化學反應生成的鈍物質去除，加工出所需的平整性。目前常用拋光劑有二氧化硅膠體、氧化鋁、氧化鈰和納米金剛石等懸浮拋光劑。目前國際上對鋁合金拋光使用的懸浮拋光劑通常為納米氧化鋁液體，其硬度大，機械作用大，能保證較高的拋光速率，但是納米氧化鋁硬度大，很容易對鋁或鋁合金表面形成嚴重劃傷，用其拋光后表面不易清洗，難以確保平整度。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種硅溶膠拋光液及其制備方法，解決了傳統(tǒng)的鋁合金拋光使用的懸浮拋光劑通常為納米氧化鋁液體，其硬度大，容易對鋁或鋁合金表面形成嚴重劃傷，用其拋光后表面不易清洗，難以確保平整度的問題。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供以下的技術方案：一種硅溶膠拋光液的制備方法，其中，所述制備方法包括：將硅溶膠、表面活性劑、鈍化劑、緩蝕劑、磷酸、檸檬酸、草酸和氨水混合，并加熱攪拌形成所述硅溶膠拋光液，其中，相對于100重量份的硅溶膠，所述表面活性劑的用量為10-15重量份，所述鈍化劑的用量為1-4重量份，所述緩蝕劑的用量為2-8重量份，所述磷酸的用量為10-20重量份，所述檸檬酸的用量為2-10重量份，所述草酸的用量為1-5重量份，所述氨水的用量為5-8重量份。優(yōu)選的，所述表面活性劑為辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚和脂肪酸聚氧乙烯酯中的一種或多種。優(yōu)選的，所述緩蝕劑為鉻酸鈉、亞硝酸鈉和硅酸鈉中的一種或多種。優(yōu)選的，所述加熱溫度為30-45℃，加熱時間為10-20min。優(yōu)選的，所述攪拌速度為800-1000r/min，攪拌時間為5-10min。優(yōu)選的，所述鈍化劑的原料包括有磷鉬酸銨、硬脂酸鋅和過氧化氫。本發(fā)明還提供了一種硅溶膠拋光液，所述硅溶膠拋光液由上述的制備方法制得。有益效果：本發(fā)明提供了一種硅溶膠拋光液及其制備方法，其中，所述制備方法包括：將硅溶膠、表面活性劑、鈍化劑、緩蝕劑、磷酸、檸檬酸、草酸和氨水混合，并加熱攪拌形成所述硅溶膠拋光液，通過各原料之間的協(xié)同作用，使得制得的硅溶膠拋光液不會對鋁或鋁合金表面形成嚴重劃傷，且容易清洗，同時用于制備該硅溶膠拋光液的方法簡單、原料易得。具體實施方式下面詳細說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。實施例1一種硅溶膠拋光液的制備方法，所述制備方法包括：將100g硅溶膠、10g表面活性劑、1g鈍化劑、2g緩蝕劑、10g磷酸、2g檸檬酸、1g草酸和5g氨水混合，并加熱（加熱溫度為30℃，加熱時間為10min）攪拌（攪拌速度為800r/min，攪拌時間為5min）形成所述硅溶膠拋光液a1。實施例2一種硅溶膠拋光液的制備方法，所述制備方法包括：將100g硅溶膠、15g表面活性劑、4g鈍化劑、8g緩蝕劑、20g磷酸、10g檸檬酸、5g草酸和8g氨水混合，并加熱（加熱溫度為45℃，加熱時間為20min）攪拌（攪拌速度為1000r/min，攪拌時間為10min）形成所述硅溶膠拋光液a2。實施例3一種硅溶膠拋光液的制備方法，所述制備方法包括：將100g硅溶膠、12g表面活性劑、2g鈍化劑、5g緩蝕劑、15g磷酸、5g檸檬酸、2g草酸和6g氨水混合，并加熱（加熱溫度為35℃，加熱時間為15min）攪拌（攪拌速度為900r/min，攪拌時間為8min）形成所述硅溶膠拋光液a3。對比例1一種硅溶膠拋光液的制備方法，所述制備方法包括：將100g硅溶膠、5g表面活性劑、0.5g鈍化劑、1g緩蝕劑、5g磷酸、1g檸檬酸、0.5g草酸和2g氨水混合，并加熱（加熱溫度為30℃，加熱時間為10min）攪拌（攪拌速度為800r/min，攪拌時間為5min）形成所述硅溶膠拋光液d1。對比例2一種硅溶膠拋光液的制備方法，所述制備方法包括：將100g硅溶膠、20g表面活性劑、6g鈍化劑、10g緩蝕劑、25g磷酸、15g檸檬酸、10g草酸和10g氨水混合，并加熱（加熱溫度為45℃，加熱時間為20min）攪拌（攪拌速度為1000r/min，攪拌時間為10min）形成所述硅溶膠拋光液d2。表1實施例編號測試金屬表面粗糙度（μm）a10.159a20.185a30.175d10.325d20.384通過表1可以看出，在本發(fā)明范圍內制得的拋光液a1-a3對測試金屬表面的拋光效果較好，在本發(fā)明范圍外制得的拋光液d1和d2對測試金屬表面的拋光效果較差。以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。技術特征：技術總結本發(fā)明公開了一種硅溶膠拋光液及其制備方法，其中，所述制備方法包括：將硅溶膠、表面活性劑、鈍化劑、緩蝕劑、磷酸、檸檬酸、草酸和氨水混合，并加熱攪拌形成所述硅溶膠拋光液，解決了傳統(tǒng)的鋁合金拋光使用的懸浮拋光劑通常為納米氧化鋁液體，其硬度大，容易對鋁或鋁合金表面形成嚴重劃傷，用其拋光后表面不易清洗，難以確保平整度的問題。技術研發(fā)人員：王飛受保護的技術使用者：合肥博之泰電子科技有限公司技術研發(fā)日：2017.06.28技術公布日：2017.08.18