本發(fā)明涉及精細化工的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅晶片拋光液。
背景技術(shù)：
硅晶片拋光液主要用于硅晶片的拋光，需求量巨大。因此，本行業(yè)內(nèi)需要開發(fā)一款拋光效果好的化學(xué)拋光劑。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是提供一種硅晶片拋光液，解決上述現(xiàn)有技術(shù)問題中的一個或者多個。
本發(fā)明提供一種硅晶片拋光液，按質(zhì)量份數(shù)計包括以下組分：20份的硅溶膠磨料、0.1份的六羥丙基丙二胺、2份的四羥乙基乙二胺、0.1份的烷基醇酰胺、80份的去離子水。
具體實施方式
下面的實施案例，對本發(fā)明進行進一步詳細的說明。
實施案例：
一種硅晶片拋光液，按質(zhì)量份數(shù)計包括以下組分：20份的硅溶膠磨料、0.1份的六羥丙基丙二胺、2份的四羥乙基乙二胺、0.1份的烷基醇酰胺、80份的去離子水。
本發(fā)明實施案例的硅晶片拋光液，不腐蝕污染設(shè)備，容易清洗，且拋光速率快，平整性好，表面質(zhì)量好。
以上表述僅為本發(fā)明的優(yōu)選方式，應(yīng)當指出，對本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些也應(yīng)視為發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。