本發(fā)明涉及拋光的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅溶膠拋光液。

背景技術(shù)：

硅溶膠拋光液主要是針對(duì)大規(guī)模集成電路、發(fā)光二極管(LED)藍(lán)寶石襯底以及手機(jī)、手表等藍(lán)寶石蓋板的拋光，其市場(chǎng)需求量龐大?，F(xiàn)有的硅溶膠拋光液的拋光速率低、拋光表面質(zhì)量不穩(wěn)定，無(wú)法完全滿足市場(chǎng)的要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種硅溶膠拋光液，解決上述現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題中的一個(gè)或者多個(gè)。

本發(fā)明提供一種硅溶膠拋光液包括磨料、絡(luò)合劑、鹽類、pH調(diào)節(jié)劑、助磨劑、緩蝕劑和懸浮分散劑。

在一些實(shí)施方式中，絡(luò)合劑包括EDTA二鈉鹽、檸檬酸、酒石酸、磷酸二甲叉、乙酸鹽。

在一些實(shí)施方式中，表面活性劑包括OP-10、PEG系列、烷基苯磺酸鹽。

在一些實(shí)施方式中，鹽類包括堿金屬和過(guò)渡金屬鹽類、碳酸鹽、碳酸氫鹽、過(guò)硫酸鹽。其中，鹽類對(duì)藍(lán)寶石拋光速率和表面質(zhì)量的影響并不鮮見(jiàn)，研究表明某些鹽類的加入?yún)s是可以提高拋光速率和降低表面粗造度，但也面臨一些問(wèn)題，首先鹽類大多為強(qiáng)電解質(zhì)，鹽類的加入會(huì)導(dǎo)致拋光液穩(wěn)定性下降，甚至引起拋光液的結(jié)塊、凝膠等，其次引入了雜質(zhì)金屬離子，如果雜質(zhì)離子不能有效的除去很可能會(huì)影響后續(xù)生產(chǎn)電子器件質(zhì)量。研究表明KCl(0.4mol/L)的加入能提高藍(lán)寶石的拋光速率，但過(guò)量的KCl的加入會(huì)導(dǎo)致表面質(zhì)量的下降。其他鹽類如鉀鹽、鈉鹽、碳酸鹽和銨鹽等也進(jìn)入研究者的研究范圍。提速的機(jī)理有可能是離子對(duì)硅溶膠表面進(jìn)行吸附和修飾提高表面活性，從而達(dá)到提速的目的。

在一些實(shí)施方式中，pH調(diào)節(jié)劑包括無(wú)機(jī)堿、有機(jī)堿。pH調(diào)節(jié)劑主要作用是保證拋光液在拋光過(guò)程中體系酸堿度的穩(wěn)定從而保證拋光液的性能一定程度上保持穩(wěn)定。有效防止硅溶膠沉淀，還可以增強(qiáng)拋光中的化學(xué)作用，提高去除速率，優(yōu)選拋光液pH為9.0-11.5。藍(lán)寶石的拋光速率一般會(huì)隨著pH值增加而增加，pH的增加使化學(xué)作用加強(qiáng)，令拋光速率增加，但在過(guò)高的堿性漿料中(pH>12)拋光速率呈下降趨勢(shì)，這可能是由于氧化硅溶膠在高pH環(huán)境中發(fā)生自溶解現(xiàn)象，使?jié){料中有效磨料減少所致，過(guò)高的pH亦會(huì)導(dǎo)致材料表面的過(guò)腐蝕現(xiàn)象產(chǎn)生腐蝕坑，表面質(zhì)量下降。pH過(guò)低時(shí)CMP過(guò)程中，機(jī)械作用強(qiáng)于化學(xué)作用，以機(jī)械磨削為主表面粗糙度升高。pH調(diào)節(jié)劑主要從化學(xué)反應(yīng)的角度出發(fā)，使化學(xué)作用和機(jī)械作用達(dá)到協(xié)調(diào)的狀態(tài)。

在一些實(shí)施方式中，助磨劑包括甘油、聚合多元醇、聚合醇胺。

在一些實(shí)施方式中，緩蝕劑包括雜環(huán)、BTA、咪唑。

在一些實(shí)施方式中，懸浮分散劑包括磷酸鹽。

具體實(shí)施方式

下面的實(shí)施案例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

一種硅溶膠拋光液包括磨料、絡(luò)合劑、鹽類、pH調(diào)節(jié)劑、助磨劑、緩蝕劑和懸浮分散劑。

其中，絡(luò)合劑包括EDTA二鈉鹽、檸檬酸、酒石酸、磷酸二甲叉、乙酸鹽。

其中，表面活性劑包括OP-10、PEG系列、烷基苯磺酸鹽。

其中，鹽類包括堿金屬和過(guò)渡金屬鹽類、碳酸鹽、碳酸氫鹽、過(guò)硫酸鹽。

其中，pH調(diào)節(jié)劑包括無(wú)機(jī)堿、有機(jī)堿。

其中，助磨劑包括甘油、聚合多元醇、聚合醇胺。

其中，緩蝕劑包括雜環(huán)、BTA、咪唑。

其中，懸浮分散劑包括磷酸鹽。

優(yōu)選實(shí)施案例：

在硅溶膠溶液中，加入一次加入按重量百分比為0.1％的EDTA二鈉鹽，按重量百分比為0.02％的表面活性劑OP-10，按重量百分比為0.2％的氫氧化鉀，按重量百分比為0.08％的氯化鉀，按重量百分比為0.002％的甘油，按重量百分比為0.025％的的BTA和按重量百分比為0.0008％的磷酸鈉。

本發(fā)明提供的實(shí)施方案，該硅溶膠拋光液的配方，C向或A向藍(lán)寶石以及金屬件的拋光速率快，且拋完后得到的藍(lán)寶石及金屬件表面質(zhì)量高。。

以上表述僅為本發(fā)明的優(yōu)選方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。