技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種用于KDP晶體的油包酸性離子液體拋光液，所述拋光液由油相、分散相溶劑、酸性離子液體（AIL）、表面活性劑以及助表面活性劑組成。在表面活性劑和助表面活性劑的作用下，AIL溶液作為分散相被包覆在油相中，形成油包酸性離子液體微乳液（AIL/O）。在化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)，AIL/O微乳液受到擠壓和摩擦作用，AIL分子突破界面膜達(dá)到晶體表面，并與表面凸起部位發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)表面的選擇性去除。本發(fā)明的用于KDP晶體的AIL/O拋光液，制備簡單、性質(zhì)穩(wěn)定，綜合考慮了KDP晶體的反應(yīng)特性和化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的特點(diǎn)，既具備了微乳液潮解拋光的高選擇性，又兼容了有機(jī)酸/堿腐蝕拋光的優(yōu)點(diǎn)，能夠有效的削弱飛切刀紋，降低表面粗糙度，并且表面無殘留。

技術(shù)研發(fā)人員：董會(huì);潘金龍;王利利;王超;李曉媛;高偉;黃姝珂;吉方;王寶瑞
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所
文檔號(hào)碼：201710017150
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.11
技術(shù)公布日：2017.06.09