技術特征：

技術總結
本發(fā)明提供一種藍寶石化學機械拋光液，此拋光液包含膠體二氧化硅納米磨料以及拋光速率促進劑，其中，所述的拋光速率促進劑為異氰酸硅烷類化合物；通過“拋光墊-納米磨料-藍寶石表面”三體接觸實現(xiàn)對藍寶石表面分子級別的去除；其中，所述的拋光墊主要成分為聚氨酯，而納米磨料表面主要為Si-OH結構；拋光過程中，拋光速率促進劑：異氰酸硅烷類化合物中的異氰酸基與拋光墊表面的聚氨酯基團形成有效氫鍵作用，也可與納米磨料表面的Si-OH結構形成有效氫鍵作用。本發(fā)明通過向拋光液中加入優(yōu)選的拋光速率促進劑，可有效促進藍寶石拋光中三體的有效接觸，顯著提高藍寶石拋光速率、表面質量以及拋后藍寶石中心和邊緣厚度均勻性。

技術研發(fā)人員：徐志國
受保護的技術使用者：浙江晶圣美納米科技有限公司
技術研發(fā)日：2016.01.28
技術公布日：2017.08.04