本發(fā)明涉及成膜用油墨、成膜方法、具有膜的裝置以及電子設(shè)備。

背景技術(shù)：

作為成膜方法，例如，已知有使用液滴排出法將使成膜材料溶解于溶劑而得的成膜用油墨供給到基材上，并從該基材上的成膜用油墨中將溶劑去除，由此形成膜的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

提出了使用該成膜方法，形成例如有機(jī)電致發(fā)光(有機(jī)el)元件的有機(jī)層(例如，發(fā)光層以及空穴輸送層等)、濾色器的著色層以及布線基板的導(dǎo)體圖案等。

這種有機(jī)層、導(dǎo)體圖案等膜的圖案化(成膜方法)以如下方式進(jìn)行：在形成具備與應(yīng)形成的膜的形狀對應(yīng)的開口部的隔壁(堤，bank)而確保了成膜區(qū)域之后，將成膜用油墨作為液滴向該開口部內(nèi)進(jìn)行供給，之后，加熱而去除溶劑。

即，在該構(gòu)成的膜的成膜方法中，通常，向表面被實(shí)施了防水化處理的隔壁所具備的開口部內(nèi)供給成膜用油墨(液滴)，之后通過自然干燥以及減壓干燥等進(jìn)行加熱，由此去除溶劑而對膜進(jìn)行成膜。

此時(shí)，膜由于咖啡漬現(xiàn)象，成膜為中央部的膜厚較薄、隔壁邊緣的膜厚較厚的形狀，即，縱剖面形狀為u字形狀。

這里，縱剖面形狀成為u字形狀的膜是在通過加熱被去除溶劑時(shí)，產(chǎn)生成膜材料在隔壁的隔壁面上滲出來的“滲出”而形成的。因此，該“滲出”的產(chǎn)生會引發(fā)難以形成具有均勻的膜厚的膜這一問題。

以消除該問題為目的，例如在專利文獻(xiàn)2中提出了如下方案：以將基板載置于同一個工作臺上的狀態(tài)實(shí)施向開口部內(nèi)供給液滴的涂覆工序和使液滴干燥的干燥工序，由此，迅速地進(jìn)行各工序間的轉(zhuǎn)變，抑制作膜材料的“滲出”，形成均勻的膜。此外，在專利文獻(xiàn)2中，也提出了通過進(jìn)一步重復(fù)進(jìn)行多次這些涂覆工序與干燥工序，由此形成更均勻的膜。

然而，在該方法中，雖然能夠抑制干燥時(shí)間相對較長油墨的自然干燥所導(dǎo)致的“滲出”，但不能有效地抑制干燥時(shí)間較短的減壓干燥中產(chǎn)生的“滲出”，而且，存在制作實(shí)現(xiàn)該方法的裝置需要巨大的成本這一問題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平11-54270號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2006-346647號公報(bào)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明將要解決的課題

本發(fā)明的目的在于，提供一種抑制或者防止作為液滴供給到隔壁所具備的開口部內(nèi)的成膜用油墨向隔壁面的滲出、由此能夠以均勻的膜厚在開口部內(nèi)對膜進(jìn)行成膜的成膜用油墨以及成膜方法，此外，提供一種具有使用該成膜方法形成的膜的具有膜的裝置以及電子設(shè)備。

用于解決課題的手段

通過下述的本發(fā)明實(shí)現(xiàn)這種目的。

本發(fā)明的成膜用油墨的特征在于，具有：成膜材料；液性介質(zhì)，上述成膜材料溶解或者分散于該液性介質(zhì)，上述液性介質(zhì)含有粘度小于20cp的第一成分、以及相對于該第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)具有±30℃以內(nèi)的大氣壓上的沸點(diǎn)且粘度為20cp以上的第二成分，相對于上述第一成分的100重量份，上述第二成分被包含20重量份以上500重量份以下的含量。

通過使用該構(gòu)成的成膜用油墨，能夠抑制或者防止作為液滴供給到隔壁所具備的開口部內(nèi)的成膜用油墨向隔壁面的滲出。因此，能夠?qū)⑿纬傻哪こ赡榫哂芯鶆虻哪ず瘛?/p>

優(yōu)選的是，本發(fā)明的成膜用油墨的粘度小于20cp。

通過設(shè)定于該范圍，能夠使具有適合液滴的排出的重量的液滴有著均勻的重量，并使用噴油墨法來排出。

在本發(fā)明的成膜用油墨中，優(yōu)選的是，上述液性介質(zhì)含有第三成分，相比于上述第一成分以及上述第二成分中在大氣壓上的沸點(diǎn)更高者的沸點(diǎn)，該第三成分在大氣壓上的沸點(diǎn)更低，且粘度小于20cp。

通過像這樣含有粘度較低的第三成分，能夠容易地設(shè)定為，在將成膜用油墨作為液滴向開口部內(nèi)供給時(shí)適合形成液滴的成膜用油墨的粘度的范圍，因此能夠以優(yōu)異的精度使均勻大小的液滴排出。此外，在液滴著落之后，在開口部內(nèi)形成液狀覆膜時(shí)，液滴能夠容易地在開口部內(nèi)潤濕擴(kuò)散。

在本發(fā)明的成膜用油墨中，優(yōu)選的是，上述第三成分在大氣壓上的沸點(diǎn)為200℃以上270℃以下。

由此，在液狀覆膜的加熱·干燥時(shí)，第三成分將會先于第一成分以及第二成分的揮發(fā)而更可靠地?fù)]發(fā)。

在本發(fā)明的成膜用油墨中，優(yōu)選的是，上述第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)為200℃以上300℃以下。

通過具有范圍內(nèi)的沸點(diǎn)，能夠可靠地抑制成膜用油墨(第一成分)在大氣壓(常壓)下不得已地干燥，因此能夠使液滴著落之后的成膜用油墨(液滴)在開口部內(nèi)的潤濕擴(kuò)散順暢地進(jìn)行，并且實(shí)現(xiàn)了成膜用油墨的保存穩(wěn)定性的提高。

在本發(fā)明的成膜用油墨中，優(yōu)選的是，上述第一成分具有能夠?qū)⑵?.5wt％以上的重量的上述成膜材料溶解的溶解度。

通過具有該范圍內(nèi)的溶解度，能夠使成膜材料充分地溶解于第一成分，能夠可靠地抑制或者防止成膜用油墨內(nèi)的成膜材料析出(溶出)。因此，在開口部內(nèi)，能夠以均質(zhì)地溶解于成膜用油墨內(nèi)的狀態(tài)使成膜用油墨均勻地潤濕擴(kuò)散。

在本發(fā)明的成膜用油墨中，優(yōu)選的是，上述第二成分的溶解上述成膜材料的溶解度低于上述第一成分。

由此，在進(jìn)行減壓干燥或加熱干燥時(shí)，揮發(fā)中的第二成分占據(jù)油墨的比例變大的情況下，即使在液狀覆膜的隔壁面上產(chǎn)生了滲出，也會因?yàn)槌赡げ牧舷鄬τ诘诙煞值娜芙庑暂^低而能夠在滲出之前僅使成膜材料在開口部內(nèi)析出。由此，能夠可靠地抑制或者防止成膜材料在隔壁面上滲出，因此，能夠更可靠地形成具有均勻膜厚的膜。而且，在源自于第二成分的析出狀態(tài)不佳的情況下，雖然也有可能在成膜表層面整個區(qū)域具有10nm以上較細(xì)的凹凸，但由于溶解度較高的第一成分也以相當(dāng)?shù)臄?shù)量共存直至干燥結(jié)束期間，因此較細(xì)的凹凸可由第一成分消除。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)成膜表層面的凹凸極其小的成膜。

在本發(fā)明的成膜用油墨中，優(yōu)選的是，上述第二成分具備羥基。

這里，在隔壁的表面有時(shí)被實(shí)施了賦予防液性的表面處理。在該情況下，由于氟元素從隔壁的表面露出，因此，作為第二成分，通過使用具備表面張力較高的羥基的物質(zhì)，使得隔壁的表面與成膜用油墨之間產(chǎn)生反彈的力。因此，通過該反彈力，能夠更可靠地抑制或者防止成膜材料在隔壁的隔壁面上滲出。此外，由于具有羥基的溶劑具有高粘度化的趨勢，由此可容易地實(shí)現(xiàn)第二成分的高粘度化。

在本發(fā)明的成膜用油墨中，優(yōu)選的是，上述第二成分具備芳香族。

由此，能夠提高與第一成分之間的相容性，因此可防止成膜用油墨中的第一成分與第二成分的分離，因此可實(shí)現(xiàn)成膜用油墨的穩(wěn)定性的提高。

在本發(fā)明的成膜用油墨中，優(yōu)選的是，上述第二成分具備乙酸酯基。

由此，可容易地實(shí)現(xiàn)第二成分的高粘度化。

優(yōu)選的是，本發(fā)明的成膜用油墨在作為液滴供給到基板上的隔壁所具有的開口部之后，通過干燥而成膜。

在進(jìn)行這樣的成膜時(shí)，通過使用本發(fā)明的成膜用油墨，能夠抑制或者防止作為液滴供給到隔壁所具備的開口部內(nèi)的成膜用油墨向隔壁面的滲出。因此，能夠?qū)⑿纬傻哪こ赡榫哂芯鶆虻哪ず瘛?/p>

本發(fā)明的成膜方法的特征在于，具有如下工序：將本發(fā)明的成膜用油墨作為液滴供給到設(shè)于基材上的隔壁所具備的開口部內(nèi)，形成液狀覆膜；以及通過使上述液狀覆膜加熱而干燥，由此在上述開口部內(nèi)對膜進(jìn)行成膜。

根據(jù)該構(gòu)成的成膜方法，能夠以優(yōu)異的成膜精度在上述隔壁所具備的開口部內(nèi)形成以均勻的膜厚成膜的膜。

本發(fā)明的具有膜的裝置的特征在于，具有通過本發(fā)明的成膜方法形成的膜、或者將該膜進(jìn)行處理后而得的膜。

這樣的具有膜的裝置具備以均勻的膜厚成膜的膜，因此可靠性優(yōu)異。

本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，具有本發(fā)明的具有膜的裝置。

這樣的電子設(shè)備具備可靠性優(yōu)異的具有膜的裝置，因此可靠性優(yōu)異。

附圖說明

圖1是用于說明本發(fā)明的成膜方法的圖。

圖2是示出本發(fā)明的成膜方法所使用的液滴排出裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖3是用于說明圖2的液滴排出裝置所具備的液滴排出頭的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。

圖4是示出具備作為本發(fā)明的具有膜的裝置的一個例子的發(fā)光裝置以及濾色器的顯示裝置的剖面圖。

圖5是示出圖4所示的顯示裝置所具備的發(fā)光裝置的發(fā)光元件的一個例子的剖面圖。

圖6是對將本發(fā)明的成膜方法應(yīng)用于顯示裝置所具備的發(fā)光元件的層疊體的制造的情況進(jìn)行說明圖。

圖7是說明將本發(fā)明的成膜方法應(yīng)用于濾色器的制造的情況的圖。

圖8是示出應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動型(或者筆記本型)的個人計(jì)算機(jī)的構(gòu)成的立體圖。

圖9是示出應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動電話機(jī)(也包含phs)的構(gòu)成的立體圖。

圖10是示出應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼相機(jī)的構(gòu)成的立體圖。

圖11是示出對成膜于隔壁的開口部內(nèi)的膜的膜厚進(jìn)行測量的位置的圖(圖表)。

具體實(shí)施方式

以下，詳細(xì)地說明本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式。

(成膜用油墨)

本發(fā)明的成膜用油墨具有成膜材料和該成膜材料所溶解或者分散的液性介質(zhì)。

特別是，本發(fā)明的成膜用油墨的特征在于，上述液性介質(zhì)主要具有第一成分和第二成分，該第一成分的粘度小于20cp，該第二成分相對于該第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)具有±30℃以內(nèi)的大氣壓上的沸點(diǎn)，且粘度為20cp以上。這種成膜用油墨雖然是被作為液滴供給到設(shè)置在基材上的隔壁所具備的開口部(凹部)內(nèi)、且在開口部內(nèi)形成液狀覆膜之后使該液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥來形成膜，但在上述減壓干燥或加熱干燥時(shí)能夠可靠地抑制或者防止產(chǎn)生成膜材料在隔壁的隔壁面上滲出來的“滲出”，之后詳細(xì)敘述。因此，能夠?qū)⑿纬傻哪こ赡榫哂芯鶆虻哪ず瘛?/p>

以下，詳細(xì)地說明本發(fā)明的成膜用油墨的各成分。

(成膜材料)

本發(fā)明的成膜用油墨所包含的成膜材料是出于成膜目的膜的構(gòu)成材料或者其前體。

這種成膜材料是根據(jù)作為成膜目的膜的種類來決定的，不被特別限定，能夠使用各種有機(jī)材料、各種無機(jī)材料以及它們的混合物。例如，作為成膜材料，可列舉后述的有機(jī)電致發(fā)光(有機(jī)el)元件的各層(特別是有機(jī)層)的構(gòu)成材料或者其前體、布線基板的導(dǎo)體圖案的構(gòu)成材料或者其前體、濾色器的著色層的構(gòu)成材料或者其前體等。

這樣，通過使上述成膜材料為有機(jī)電致發(fā)光元件的有機(jī)層的構(gòu)成材料或者其前體，能夠形成有機(jī)電致發(fā)光元件的有機(jī)層(例如空穴輸送層、空穴注入層、發(fā)光層、中間層等)。此外，通過使上述成膜材料為布線基板的導(dǎo)體圖案的構(gòu)成材料或者其前體，能夠形成布線基板的導(dǎo)體圖案。而且，通過使上述成膜材料為濾色器的著色層的構(gòu)成材料或者其前體，能夠形成濾色器的著色層。此外，作為這些材料，之后詳細(xì)敘述。

此外，作為成膜材料，例如可以組合地使用從上述選擇出的兩種以上的成分。

此外，在成膜用油墨中，成膜材料既可以溶解于后述的液性介質(zhì)，也可以分散于后述的液性介質(zhì)，在成膜材料分散于液性介質(zhì)中的情況下，成膜材料的平均粒徑優(yōu)選的是20～100nm，更優(yōu)選的是5～50nm。由此，能夠優(yōu)化成膜用油墨中的成膜材料的分散穩(wěn)定性。

此外，在上述成膜材料以有機(jī)材料作為主材料的情況下，通過適當(dāng)?shù)剡x擇第一成分以及第二成分，能夠使成膜材料溶解于液性介質(zhì)。

另一方面，在上述成膜材料包含無機(jī)材料的情況下、或即使上述成膜材料為有機(jī)材料卻不溶于液性介質(zhì)的情況下，也可以使成膜材料分散于液性介質(zhì)。

成膜用油墨中成膜材料的含有率是根據(jù)成膜用油墨的用途而決定的，不被特別限定，例如，優(yōu)選的是0.01～10wt％，更優(yōu)選的是0.05～5wt％。若成膜材料的含有率為上述范圍內(nèi)的值，則能夠特別地優(yōu)化從成膜用的液滴排出頭(噴油墨頭)進(jìn)行排出的排出性(排出穩(wěn)定性)。

(液性介質(zhì))

本發(fā)明的成膜用油墨所包含的液性介質(zhì)包含第一成分以及第二成分，并且是使上述成膜材料溶解或者分散的成分，即溶劑或者分散介質(zhì)。該液性介質(zhì)在后述的成膜方法(成膜過程)中通過減壓干燥或加熱干燥，使得其幾乎全部(大部分)揮發(fā)而被去除。

特別是，本發(fā)明的成膜用油墨所包含的液性介質(zhì)主要含有粘度小于20cp的第一成分、以及相對于該第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)具有±30℃以內(nèi)的大氣壓上的沸點(diǎn)且粘度為20cp以上的第二成分。

在這種成膜用油墨中，第二成分是相對于第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)具有±30℃以內(nèi)的大氣壓上的沸點(diǎn)、且粘度為20cp以上的成分。若液性介質(zhì)中含有粘度為20cp以上的那種高粘度的成分，則在使形成于開口部內(nèi)的液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥時(shí)，能夠使液狀覆膜的粘度更高。這種粘度的上升會致使液體自身的流動性降低。因此能夠可靠地抑制或者防止產(chǎn)生成膜材料在隔壁的隔壁面上滲出來的“滲出”。其結(jié)果，形成的膜被成膜為具有均勻的膜厚。

而且，第一成分與第二成分在大氣壓上的沸點(diǎn)之差為±30℃以內(nèi)。由于具有這樣的沸點(diǎn)之差，從而在使形成于開口部內(nèi)的液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥時(shí)，能夠使第一成分與第二成分共沸，能夠防止某一方優(yōu)先地?fù)]發(fā)，并且能夠使液狀覆膜的粘度更高。其結(jié)果，能夠可靠地抑制或者防止隔壁的隔壁面上產(chǎn)生滲出。

這樣的第一成分以及第二成分具有上述那樣的沸點(diǎn)的關(guān)系，關(guān)于成膜用油墨，只要能夠使成膜用材料溶解或者分散即可，不被特別限定，也能夠使用各種溶劑或者各種分散介質(zhì)。此外，以下，將第一成分以及第二成分中的至少第一成分是能夠溶解成膜用材料的溶劑的情況作為一個例子進(jìn)行說明。

此外，在本說明書中，“常壓”指的是與大氣壓相等的壓力，具體而言是10⁵pa(1013mbar)。此外，“常溫”指的是20℃±15℃(即5℃以上35℃以下)的范圍。

此外，關(guān)于液性介質(zhì)，能夠根據(jù)成膜材料的種類、作為成膜的目的膜的用途而選擇使用最佳的液性介質(zhì)。

而且，液性介質(zhì)優(yōu)選的是使用對成膜用油墨所包含的成膜材料或其他成分的攻擊性盡可能小的介質(zhì)。由此，能夠可靠地抑制或者防止成膜用油墨的變質(zhì)·惡化。

此外，液性介質(zhì)具有在成膜后殘留于膜中的可能性時(shí)，優(yōu)選的是使用盡可能不會阻礙到與該膜的用途相應(yīng)的特性的介質(zhì)。例如，在將成膜用油墨使用于有機(jī)el元件的有機(jī)層的成膜的情況下，優(yōu)選的是也考慮電特性地選定液性介質(zhì)的各成分。此外，在將成膜用油墨使用于濾色器的著色層的成膜的情況下，優(yōu)選的是也考慮光學(xué)的特性地選定液性介質(zhì)的各成分。

以下，詳細(xì)敘述第一成分以及第二成分。

[第一成分]

第一成分的粘度小于20cp。此外，在本實(shí)施方式中，該第一成分示出溶解成膜材料的溶解性。

由于包含這樣的第一成分，從而在液滴著落之后，在開口部內(nèi)形成液狀覆膜時(shí)，成膜材料不會不得已地析出，能夠在開口部內(nèi)潤濕擴(kuò)散。

作為這樣的第一成分a，雖然并不特別限定，但例如可列舉a-1)二芐醚(沸點(diǎn)298℃，粘度10.5cp，表面張力37n/m)、a-2)4-異丙基聯(lián)苯(沸點(diǎn)291℃，粘度9.8cp，表面張力37n/m)、a-3)二苯甲醇(沸點(diǎn)288℃，粘度12cp，表面張力37n/m)、a-4)3-苯氧基甲苯(沸點(diǎn)272℃，粘度5.8cp，表面張力37n/m)、a-5)辛基苯(沸點(diǎn)268℃，粘度2.8cp，表面張力30n/m)、a-6)2-異丙基萘(沸點(diǎn)268℃，粘度5.6cp，表面張力36n/m)、a-7)4-甲基聯(lián)苯(沸點(diǎn)268℃，粘度10.2cp，表面張力37n/m)、a-8)二苯基甲烷(沸點(diǎn)265℃，粘度5.5cp，表面張力37n/m)、a-9)二苯基醚(沸點(diǎn)260℃，粘度5.8cp，表面張力37n/m)、a-10)2-甲基聯(lián)苯(沸點(diǎn)256℃，粘度10.0cp，表面張力37n/m)、a-11)1-甲基萘(沸點(diǎn)244℃，粘度6.0cp，表面張力36n/m)、a-12)苯基環(huán)己烷(沸點(diǎn)236℃，粘度2.6cp，表面張力24n/m)、a-13)庚基苯(沸點(diǎn)235℃，粘度2.8cp，表面張力30n/m)、a-14)己基苯(沸點(diǎn)226℃，粘度2.7cp，表面張力29n/m)、a-15)戊基苯(沸點(diǎn)205℃，粘度2.7cp，表面張力29n/m)等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

該第一成分雖然粘度小于20cp，但期望的是1cp以下，更期望的是10cp以下。由此，能夠可靠地抑制成膜用油墨的粘度不得已地上升，因此能夠穩(wěn)定地排出，能夠作為液滴可靠地供給到具備隔壁的開口部內(nèi)，并且能夠更順暢地在開口部內(nèi)潤濕擴(kuò)散。

此外，該第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)優(yōu)選的是200℃以上300℃以下，優(yōu)選的是220℃以上280℃以下。由此，在大氣壓(常壓)下，能夠可靠地抑制成膜用油墨(第一成分)不得已地干燥，因此可順暢地進(jìn)行液滴著落后的成膜用油墨(液滴)在開口部內(nèi)的潤濕擴(kuò)散，并且可實(shí)現(xiàn)成膜用油墨的保存穩(wěn)定性的提高。

此外，第一成分在本實(shí)施方式中是可溶解成膜材料的溶劑，優(yōu)選的是具有可溶解第一成分的0.5wt％以上的重量的成膜材料的溶解度，更優(yōu)選的是具有1.5wt％以上4.5wt％以下的溶解度。通過具有該范圍內(nèi)的溶解度，能夠使成膜材料充分地溶解于第一成分，在成膜用油墨內(nèi)能夠可靠地抑制或者防止成膜材料析出。因此，在開口部內(nèi)，能夠以均質(zhì)地溶解在成膜用油墨內(nèi)的狀態(tài)，使成膜用油墨均勻地潤濕擴(kuò)散。

[第二成分]

第二成分相對于第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)，具有±30℃以內(nèi)的大氣壓上的沸點(diǎn)，且粘度為20cp以上。

若像在這樣液性介質(zhì)中含有高粘度的成分，則在使形成于開口部內(nèi)的液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥時(shí)，能夠更加提高液狀覆膜的粘度。因此，能夠可靠地抑制或者防止產(chǎn)生成膜材料在隔壁的隔壁面上滲出來的“滲出”。其結(jié)果，將形成的膜成膜為具有均勻的膜厚。

而且，第二成分與第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)之差為±30℃以內(nèi)。由于具有這樣的沸點(diǎn)之差，從而在使形成于開口部內(nèi)的液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥時(shí)，能夠使第一成分與第二成分共沸，能夠防止某一方優(yōu)先地?fù)]發(fā)，并且能夠更加提高液狀覆膜的粘度。其結(jié)果，可靠地抑制或者防止了隔壁的隔壁面上產(chǎn)生滲出。

此外，該第二成分與第一成分在它們共存下是常溫常壓下呈液狀的物質(zhì)。由此，能夠作為成膜用油墨的液滴而排出，而且，在該排出之后，能夠使開口部內(nèi)潤濕擴(kuò)散。即，能夠發(fā)揮成膜用油墨的功能。而且，第二成分與第一成分被要求即使在長期保存成膜用油墨時(shí)也整體均質(zhì)，因此分別選擇了具備相容性的物質(zhì)。

作為這樣的第二成分，不被特別限定，但可列舉例如，b-1)二乙二醇單苯基醚(沸點(diǎn)298℃，粘度47cp，表面張力45n/m)、b-2)甘油(沸點(diǎn)290℃，粘度1412cp，表面張力63n/m)、b-3)三乙二醇(沸點(diǎn)288℃，粘度39.5cp，表面張力45n/m)、b-4)2-(芐氧基)乙醇(沸點(diǎn)256℃，粘度20cp，表面張力40n/m)、b-5)亞氨基二乙酸二乙酯(沸點(diǎn)248℃，粘度104cp)，b-6)二乙二醇(沸點(diǎn)245℃，粘度28.5cp，表面張力49n/m)、b-7)丙二醇單苯基醚(沸點(diǎn)243℃，粘度23.2cp，表面張力38n/m)、b-8)乙二醇單苯基醚(沸點(diǎn)237℃，粘度37cp，表面張力42n/m)、b-9)1,3-丙二醇(沸點(diǎn)214℃，粘度39.2cp，表面張力47n/m)等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

此外，在它們之中，第二成分優(yōu)選的是具備有著較高的表面張力的羥基。這里，有時(shí)對隔壁的表面實(shí)施賦予防液性的表面處理。在該情況下，由于氟元素從隔壁的表面露出，因此通過使用具備有著較高的表面張力的羥基的物質(zhì)作為第二成分，使得在隔壁的表面與成膜用油墨之間產(chǎn)生反彈的力。因此，利用該反彈力，能夠更可靠地抑制或者防止隔壁的隔壁面上的成膜材料滲出。而且，雖然從隔壁的開口部露出的基材的表面由ito那種金屬氧化物構(gòu)成，由此使得羥基從基材的表面露出，但是在該情況下，由于基材的表面與第二成分具有優(yōu)異的親和性，因此能夠使作為液滴供給到開口部內(nèi)的成膜用油墨更順暢地潤濕擴(kuò)散。

具有該羥基的第二成分優(yōu)選的是還具備芳香族。由此，能夠提高與第一成分之間的相容性，因此可防止成膜用油墨中的第一成分與第二成分的分離，所以可實(shí)現(xiàn)成膜用油墨的穩(wěn)定性的提高。

此外，第二成分優(yōu)選的是具備乙酸酯基。由此，可容易地實(shí)現(xiàn)第二成分的高粘度化。

該第二成分的粘度為20cp以上，但優(yōu)選的是30cp以上1500cp以下。由此，在使形成于開口部內(nèi)液狀覆膜加熱而干燥時(shí)，能夠更加提高液狀覆膜的粘度，能夠更可靠地抑制或者防止隔壁的隔壁面上產(chǎn)生滲出。

而且，第一成分的粘度與第二成分的粘度之差期望在10cp以上。通過如此使差增大，從而在第一成分以及第二成分揮發(fā)時(shí)，能夠利用開口部內(nèi)的成膜用油墨自身的粘度增大，來抑制或者防止向隔壁的隔壁面的滲出。

此外，該第二成分雖然相對于第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)具有±30℃以內(nèi)的大氣壓上的沸點(diǎn)，但是優(yōu)選為具有±15℃以內(nèi)的大氣壓上的沸點(diǎn)。由此，在使形成于開口部內(nèi)的液狀覆膜加熱而干燥時(shí)，能夠使第一成分與第二成分更可靠地共沸，能夠防止某一方優(yōu)先地?fù)]發(fā)，并且能夠進(jìn)一步可靠地提高液狀覆膜的粘度。其結(jié)果，更可靠地抑制或者防止了隔壁的隔壁面上產(chǎn)生滲出。

而且，第二成分的表面張力優(yōu)選的是35mn/m以上，優(yōu)選的是40mn/m以上75mn/m以下。由此，可使成膜用油墨的表面張力較高，因此能夠可靠地抑制或者防止隔壁的隔壁面上產(chǎn)生成膜材料的滲出。

此外，關(guān)于第二成分，在本實(shí)施方式中，第一成分是可溶解成膜材料的溶劑，但第二成分的溶解成膜材料的溶解度優(yōu)選的是比第一成分低。由此，在使液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥時(shí)，揮發(fā)中第二成分占據(jù)油墨的比例變大的情況下，即使在液狀覆膜的隔壁面上產(chǎn)生了滲出，由于成膜材料相對于第二成分的溶解性較低，因此能夠在滲出之前僅使成膜材料在開口部內(nèi)析出。由此，能夠可靠地抑制或者防止成膜材料在隔壁面上滲出，因此能夠更可靠地形成具有均勻的膜厚的膜。而且，在源自于第二成分的析出狀態(tài)不佳的情況下，雖然也有可能在成膜表層面整個區(qū)域具有10nm以上較細(xì)的凹凸，但由于溶解度較高的第一成分也以相當(dāng)?shù)臄?shù)量共存直至干燥結(jié)束期間，因此較細(xì)的凹凸可由第一成分消除。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)成膜表層面的凹凸極其小的成膜。此外，第二成分具體而言優(yōu)選的是具有可溶解其0.1wt％以上的重量的成膜材料的溶解度，更優(yōu)選的是具有0.5wt％以上1.0wt％以下的溶解度。由此，能夠可靠地得上述效果。

而且，第二成分的含量相對于上述第一成分100重量份為20重量份以上500重量份以下，但優(yōu)選的是40重量份以上500重量份以下，更優(yōu)選的是60重量份以上500重量份以下。通過設(shè)定在20重量份以上500重量份以下的范圍內(nèi)，能夠在液狀覆膜的減壓干燥或加熱干燥時(shí)，可靠地抑制或者防止在隔壁面上產(chǎn)生成膜材料的滲出。此外，通過設(shè)定在優(yōu)選的范圍、更優(yōu)選的范圍，能夠容易地將成膜用油墨的粘度設(shè)定為具有適合作為液滴向開口部內(nèi)排出的范圍。

此外，以上那種液性介質(zhì)在成膜用油墨中示出相容性，如果相比于第一成分以及第二成分中在大氣壓上的沸點(diǎn)更高者的沸點(diǎn)、大氣壓上的沸點(diǎn)低的話，則也可以包含除上述第二成分以及第一成分以外的其他成分，例如，也可以包含以下所示的那種第三成分。

[第三成分]

第三成分相比于第一成分以及第二成分中在大氣壓上的沸點(diǎn)更高者的沸點(diǎn)、大氣壓上的沸點(diǎn)較低，且粘度小于20cp。

由于像這樣包含粘度較低的第三成分，從而在將成膜用油墨作為液滴向開口部內(nèi)供給時(shí)，能夠容易地設(shè)定于適合形成液滴的成膜用油墨的粘度的范圍，因此能夠以優(yōu)異的精度排出均勻大小的液滴。此外，在液滴著落之后，在開口部內(nèi)形成液狀覆膜時(shí)，液滴能夠容易地在開口部內(nèi)潤濕擴(kuò)散。

而且，第三成分由于揮發(fā)性高于第一成分以及第二成分，因此在進(jìn)行液狀覆膜的減壓干燥或加熱干燥時(shí)，能夠先于第一成分以及第二成分的揮發(fā)(去除)地?fù)]發(fā)(去除)。因此，即使在去除該第三成分時(shí)，在隔壁的隔壁面上產(chǎn)生了成膜用油墨的滲出，也會在成膜用油墨中殘存第一成分以及第二成分，這些第一成分以及第二成分的去除發(fā)生于第三成分的去除結(jié)束之后。因此，第一成分以及第二成分的去除的實(shí)施是以消除了該滲出的狀態(tài)開始的。由此，即使對成膜用油墨采用包含第三成分的構(gòu)成，也同樣能夠獲得對上述成膜用油墨采用包含第一成分以及第二成分而得的效果。

此外，第三成分優(yōu)選的是在常溫常壓下呈液狀。由此，在成膜用油墨作為液滴在開口部內(nèi)潤濕擴(kuò)散之后，能夠使第三成分從成膜用油墨中更順暢地?fù)]發(fā)。

此外，該第三成分與第一成分以及第二成分與被要求即使在長期保存成膜用油墨時(shí)也整體均質(zhì)，因此分別選擇了具備相容性的物質(zhì)。

作為這樣的第三成分c，不被特別限定，但可列舉例如c-1)三乙二醇丁基甲基醚(沸點(diǎn)261℃，粘度2.9cp，表面張力28n/m)、c-2)二甘醇丁醚(沸點(diǎn)256℃，粘度2.4cp，表面張力25n/m)、c-3)苯基環(huán)己烷(沸點(diǎn)236℃，粘度2.6cp，表面張力24n/m)、c-4)庚基苯(沸點(diǎn)235℃，粘度2.8cp，表面張力30n/m)、c-5)己基苯(沸點(diǎn)226℃，粘度2.7cp，表面張力29n/m)、c-6)三乙二醇乙基甲醚(沸點(diǎn)225℃，粘度2.4cp，表面張力29n/m)、c-7)三丙二醇二甲醚(沸點(diǎn)215℃，粘度2.3cp，表面張力26n/m)、c-8)二乙二醇丁基甲基醚(沸點(diǎn)212℃，粘度1.6cp，表面張力24n/m)、c-9)1,4-二異丙基苯(沸點(diǎn)210℃，粘度1.6cp，表面張力28n/m)、c-10)戊基苯(沸點(diǎn)205℃，粘度2.7cp，表面張力29n/m)、c-11)1,3-二異丙基苯(沸點(diǎn)203℃，粘度2.7cp，表面張力29n/m)、c-12)乙二醇二丁醚(沸點(diǎn)203℃，粘度2.4cp，表面張力24n/m)等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

該第三成分的粘度小于20cp，但優(yōu)選的是1cp以上5cp以下。由此，能夠容易地將成膜用油墨的粘度設(shè)定為在將成膜用油墨作為液滴向開口部內(nèi)供給時(shí)適合的范圍內(nèi)，并且能夠使成膜用油墨在開口部內(nèi)更順暢地潤濕擴(kuò)散。

該第三成分相比于第一成分以及第二成分中在大氣壓上的沸點(diǎn)更高者的沸點(diǎn)、大氣壓上的沸點(diǎn)較低，但優(yōu)選的是相對于第一成分以及上述第二成分這兩者的沸點(diǎn)、大氣壓上的沸點(diǎn)更低。由此，能夠更顯著發(fā)揮上述效果。

此外，該第三成分在大氣壓上的沸點(diǎn)優(yōu)選的是200℃以上270℃以下，更優(yōu)選的是210℃以上240℃以下。由此，第三成分在液狀覆膜的減壓干燥或加熱干燥時(shí)，能夠先于第一成分以及第二成分的揮發(fā)(去除)而更可靠地?fù)]發(fā)(去除)。

而且，第一成分以及第二成分中在大氣壓上的沸點(diǎn)更高者的沸點(diǎn)與第三成分的沸點(diǎn)之差優(yōu)選的是超過30℃，更優(yōu)選的是60℃以上。由此，在第三成分從成膜用油墨中揮發(fā)而被去除時(shí)，能夠可靠地抑制或者防止第一成分以及第二成分與該第三成分一起不得已地?fù)]發(fā)而去除。

此外，第三成分的表面張力優(yōu)選的是20mn/m以上30mn/m以下。由此，在液滴著落之后，在開口部內(nèi)形成液狀覆膜時(shí)，能夠使液滴在開口部內(nèi)更可靠地潤濕擴(kuò)散。

而且，第三成分的含量相對于上述第一成分100重量份優(yōu)選的是20重量份以上500重量份以下，更優(yōu)選的是40重量份以上500重量份以下。通過將第三成分的含量設(shè)定在該范圍內(nèi)，能夠容易地將成膜用油墨的粘度設(shè)定在將成膜用油墨作為液滴向開口部內(nèi)供給時(shí)適合的范圍內(nèi)，并且能夠使成膜用油墨在開口部內(nèi)更順暢地潤濕擴(kuò)散。

此外，除了上述第三成分之外，液性介質(zhì)也可以包含作為其他成分示出相容性，且相對于第一成分以及第二成分中在大氣壓上的沸點(diǎn)更高者的沸點(diǎn)、或者相對于第一成分以及上述第二成分這兩者的沸點(diǎn)，大氣壓上的沸點(diǎn)更低的第4成分以及第5成分等。

以上說明的那種成膜用油墨在使用了后述那種噴油墨法(液滴排出法)的成膜方法中被使用的。根據(jù)噴油墨法，能夠相對較簡單并且可靠地以均勻的液滴數(shù)(液滴量)向形成在基板上的開口部內(nèi)供給均勻大小的液滴。

以下，對使用了該成膜用油墨的噴油墨法的成膜方法進(jìn)行說明。

(成膜方法)

接下來，對使用了上述成膜用油墨的成膜方法、即本發(fā)明的成膜方法進(jìn)行說明。

圖1是用于說明本發(fā)明的成膜方法的圖，圖2是表示本發(fā)明的成膜方法所使用的液滴排出裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖，圖3是用于說明圖2的液滴排出裝置所具備的液滴排出頭的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。

本發(fā)明的成膜方法(膜的制造方法)具有[1]將上述成膜用油墨作為液滴供給到設(shè)于基材上的隔壁所具備的開口部內(nèi)并形成液狀覆膜的工序(油墨賦予工序)、[2]使上述液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥而使液狀覆膜干燥、從而形成以上述成膜材料為主要成分的膜的工序(干燥工序)。

根據(jù)該構(gòu)成的成膜方法，能夠在上述隔壁所具備的開口部內(nèi)以優(yōu)異的成膜精度形成均質(zhì)且具有均勻的膜厚的膜。

以下，依次詳細(xì)地說明本發(fā)明的成膜方法的各工序。

[1]油墨賦予工序

1-1

首先，如圖1(a)所示，準(zhǔn)備在上表面設(shè)有隔壁16的基材15。

該基材15是供作為成膜目的膜形成的對象物，不被特別限定，例如能夠使用各種基板、或?qū)Ω鞣N基板實(shí)施了處理或加工等的基材等。

此外，隔壁16在基材15的上表面的大致整個面上形成利用各種材料構(gòu)成的層，之后，將該層圖案化而形成開口部17來獲得。

1-2

接著，如圖1(b)所示，向設(shè)置在基材15上的隔壁16所具備的開口部17內(nèi)，供給上述成膜用油墨1。由此，在開口部17內(nèi)形成由成膜用油墨1構(gòu)成的液狀覆膜1a。

在本實(shí)施方式中，通過液滴排出法向開口部17內(nèi)供給成膜用油墨1。即，使用排出成膜用油墨的液滴排出裝置，將成膜用油墨1作為液滴排出，向開口部17內(nèi)供給成膜用油墨1。

這里，對該液滴排出裝置的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行說明。

圖2是表示本發(fā)明的成膜方法所使用的液滴排出裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖，圖3是用于說明圖2的液滴排出裝置所具備的液滴排出頭的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。

如圖2所示，液滴排出裝置100具有液滴排出頭(噴油墨頭。以下，簡稱為頭)110、基座130、工作臺140、油墨儲存部(圖中沒有示出)、工作臺定位機(jī)構(gòu)170、頭定位機(jī)構(gòu)180、以及控制裝置190。

基座130是對工作臺140、工作臺定位機(jī)構(gòu)170、以及頭定位機(jī)構(gòu)180等液滴排出裝置100的各構(gòu)成部件進(jìn)行支承的臺。

工作臺140經(jīng)由工作臺定位機(jī)構(gòu)170設(shè)置于基座130。此外，工作臺140對基材15進(jìn)行載置。

此外，在工作臺140的背面配設(shè)有橡膠加熱器(圖中沒有示出)。載置在工作臺140上的基材15的上表面整體可被橡膠加熱器加熱到規(guī)定的溫度。

工作臺定位機(jī)構(gòu)170具有第1移動機(jī)構(gòu)171和馬達(dá)172。工作臺定位機(jī)構(gòu)170對基座130中的工作臺140的位置進(jìn)行確定，由此確定基座130中的基材15的位置。

第1移動機(jī)構(gòu)171具有與y方向大致平行地設(shè)置的兩根導(dǎo)軌、以及在該導(dǎo)軌上移動的支承臺。第1移動機(jī)構(gòu)171的支承臺經(jīng)由馬達(dá)172支承工作臺140。而且，通過支承臺在導(dǎo)軌上移動，使得載置基材15的工作臺140在y方向上移動以及被定位。

馬達(dá)172支承工作臺140，在θz方向上將工作臺140擺動以及定位。

頭定位機(jī)構(gòu)180具有第2移動機(jī)構(gòu)181、線性馬達(dá)182、以及馬達(dá)183、184、185。頭定位機(jī)構(gòu)180確定頭110的位置。

第2移動機(jī)構(gòu)181具有從基座130立設(shè)的兩根支承柱、想該支承柱彼此之間支承而設(shè)于該支承柱并具有兩根導(dǎo)軌的導(dǎo)軌臺、以及能夠沿導(dǎo)軌移動且支承頭110的支承部件(圖中沒有示出)。而且，支承部件沿導(dǎo)軌移動，使得頭110在x方向上移動以及被定位。

線性馬達(dá)182設(shè)于支承部件附近，能夠進(jìn)行頭110在z方向上的移動以及定位。

馬達(dá)183、184、185將頭110分別在α、β、γ方向上擺動以及定位。

利用以上那種工作臺定位機(jī)構(gòu)170以及頭定位機(jī)構(gòu)180，液滴排出裝置100能夠準(zhǔn)確地控制頭110的油墨排出面115p、以及工作臺140上的與基材15的相對位置以及姿勢。

如圖3所示，頭110通過噴油墨方式(液滴排出方式)從噴嘴(突出部)118排出成膜用油墨1。在本實(shí)施方式中，頭110使用了利用作為壓電體元件的壓電元件113排出油墨的壓電方式。壓電方式由于不對成膜用油墨1施加熱量，因此具有不會給材料的組成帶來影響等的優(yōu)點(diǎn)。

頭110具有頭主體111、振動板112、以及壓電元件113與。

頭主體111具有主體114和其下端面的噴嘴板115。而且，通過用板狀的噴嘴板115與振動板112夾住主體114，由此形成有作為空間的儲液箱116以及從儲液箱116分支的多個油墨室117。

儲液箱116被后述的油墨儲存部供給成膜用油墨1。儲液箱116形成了用于向各油墨室117供給成膜用油墨1的流路。

此外，噴嘴板115安裝于主體114的下端面，構(gòu)成了油墨排出面115p。在該噴嘴板115，與各油墨室117對應(yīng)地開設(shè)有排出成膜用油墨1的多個噴嘴118。而且，從各油墨室117朝向?qū)?yīng)的噴嘴(排出部)118形成有油墨流路。

振動板112安裝于頭主體111的上端面，構(gòu)成了各油墨室117的隔壁面。振動板112能夠根據(jù)壓電元件113的振動振動。

壓電元件113與各油墨室117對應(yīng)地設(shè)于其振動板112的與頭主體111相反的一側(cè)。壓電元件113利用一對電極(圖中沒有示出)夾持水晶等壓電材料。該一對電極連接于驅(qū)動電路191。

而且，若從驅(qū)動電路191向壓電元件113輸入電信號，則壓電元件113膨脹變形或者收縮變形。若壓電元件113收縮變形，則油墨室117的壓力降低，成膜用油墨1從儲液箱116流入油墨室117。此外，若壓電元件113膨脹變形，則油墨室117的壓力增加，成膜用油墨1從噴嘴118排出。此外，通過使施加電壓變化，能夠控制壓電元件113的變形量。此外，通過使施加電壓的頻率變化，能夠控制壓電元件113的變形速度。即，通過控制向壓電元件113施加的施加電壓，能夠控制成膜用油墨1的排出條件。

控制裝置190控制液滴排出裝置100的各部位。例如，調(diào)節(jié)由驅(qū)動電路191生成的施加電壓的波形而控制成膜用油墨1的排出條件，或控制頭定位機(jī)構(gòu)180以及工作臺定位機(jī)構(gòu)170，由此對成膜用油墨1向基材15的排出位置進(jìn)行控制。

油墨儲存部(圖中沒有示出)儲存成膜用油墨1。

油墨儲存部(圖中沒有示出)經(jīng)由輸送路(圖中沒有示出)連接于頭110(儲液箱116)。

使用以上說明的那種液滴排出裝置100，成膜用油墨1作為液滴從頭110而排出，并著落于隔壁16所具備的開口部17，由此向開口部17內(nèi)供給成膜用油墨1。

該液滴優(yōu)選的是在其排出時(shí)具有2ng以上12ng以下的重量，更優(yōu)選的是具有7ng以上10ng以下的重量。由此，能夠從液滴排出頭排出具有均勻的重量的液滴。

此外，成膜用油墨的粘度優(yōu)選的是設(shè)定為例如小于20cp，更優(yōu)選的是設(shè)定為3cp以上15cp以下。由此，能夠使具有上述范圍的重量的液滴作為具有均勻重量的液滴而可靠地從頭110排出。

然后，若液滴著落到開口部17內(nèi)，即，若供給成膜用油墨1，則該成膜用油墨1在開口部17潤濕擴(kuò)散，其結(jié)果，在開口部17內(nèi)形成由成膜用油墨1構(gòu)成的液狀覆膜1a(參照圖1(b)。)。

該油墨賦予工序[1]中的環(huán)境氣體的溫度以及壓力是分別根據(jù)成膜用油墨1的組成、第一成分以及第二成分的沸點(diǎn)以及熔點(diǎn)而決定的，只要能夠向開口部17內(nèi)賦予成膜用油墨1即可，不被特別限定，但優(yōu)選的是常溫常壓。因此，在常溫常壓下，優(yōu)選的是使用能夠向開口部17內(nèi)賦予成膜用油墨1的成膜用油墨1。由此，可更簡單地進(jìn)行油墨賦予工序[1]。

[2]干燥工序

接下來，使形成于開口部17內(nèi)的液狀覆膜1a(成膜用油墨1)減壓干燥或加熱干燥。

由此，從液狀覆膜中去除液性介質(zhì)，使液狀覆膜干燥，由此如圖1(c)所示，形成以成膜材料為主要成分的膜1b。

此時(shí)，在成膜用油墨中，第二成分是相對于第一成分在大氣壓上的沸點(diǎn)具有±30℃以內(nèi)的大氣壓上的沸點(diǎn)、且粘度為20cp以上的成分。若在液性介質(zhì)中含有粘度為20cp以上的那種高粘度的成分，則在使形成于開口部內(nèi)的液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥時(shí)，能夠更加提高液狀覆膜的粘度。因此，能夠可靠地抑制或者防止產(chǎn)生成膜材料在隔壁的隔壁面上滲出來的“滲出”。

而且，第一成分與第二成分在大氣壓上的沸點(diǎn)之差為±30℃以內(nèi)。通過具有這樣的沸點(diǎn)之差，由此在使形成于開口部內(nèi)的液狀覆膜減壓干燥或加熱干燥時(shí)，能夠使第一成分與第二成分共沸，能夠防止某一方優(yōu)先地?fù)]發(fā)，并且能夠更加提高液狀覆膜的粘度。其結(jié)果，能夠可靠地抑制或者防止隔壁的隔壁面上產(chǎn)生滲出。

根據(jù)以上，使該液狀覆膜1a減壓干燥或加熱干燥而形成的膜1b形成為均質(zhì)且具有均勻的膜厚。

干燥工序[2]中的環(huán)境氣體的溫度以及壓力分別是根據(jù)成膜用油墨1的組成、第一成分以及第二成分的沸點(diǎn)以及熔點(diǎn)而決定的，只要能夠從基材15上的液狀覆膜1a去除第一成分以及第二成分即可，不被特別限定，但其加熱干燥的溫度優(yōu)選的是高于第一成分以及第二成分中在大氣壓上的沸點(diǎn)更高者的沸點(diǎn)，更優(yōu)選的是比上述點(diǎn)更高者的沸點(diǎn)高出約5～30℃。此外，減壓干燥的到達(dá)真空壓力更優(yōu)選的是10pa以下、或約10^-3pa以下左右。

此外，減壓干燥或加熱干燥的時(shí)間不被特別限定，但被設(shè)定為約1分鐘以上、30分鐘以下。

而且，加熱液狀覆膜1a的方法不被特別限定，但能夠通過加熱板、紅外線等來進(jìn)行，而且，也可以利用上述設(shè)于液滴排出裝置100的工作臺140的橡膠加熱器來進(jìn)行。

此外，通過以上方式獲得的膜1b由作為成膜目的膜的構(gòu)成材料或者其前體構(gòu)成。

而且，在使用前體作為成膜材料的情況下，根據(jù)需要對膜1b實(shí)施規(guī)定的處理。例如，在成膜材料是低分子量化合物的情況下，通過進(jìn)行使該低分子量化合物產(chǎn)生聚合反應(yīng)的處理，能夠獲得包含高分子量化合物而構(gòu)成的膜。此外，在成膜材料是樹脂材料的情況下，通過進(jìn)行使該樹脂材料產(chǎn)生交聯(lián)反應(yīng)的處理，能夠獲得包含高分子量化合物而構(gòu)成的膜。此外，在成膜材料包含金屬粒子以及粘合劑(樹脂材料)的情況下，通過對膜1b進(jìn)行燒結(jié)處理，能夠獲得由金屬構(gòu)成的膜。

經(jīng)由以上那種工序，能夠在開口部17內(nèi)以優(yōu)異的成膜精度形成均質(zhì)且具有均勻的膜厚的膜1b。

(顯示裝置)

接下來，對本發(fā)明的具有膜的裝置進(jìn)行說明。

圖4是表示具備作為本發(fā)明的具有膜的裝置的一個例子的發(fā)光裝置以及濾色器的顯示裝置的剖面圖，圖5是表示圖4所示的顯示裝置所具備的發(fā)光裝置的發(fā)光元件的一個例子的剖面圖。此外，以下，為了方便說明，將圖4中以及圖5中的上側(cè)設(shè)為“上”、將下側(cè)設(shè)為“下”來進(jìn)行說明。

圖4所示的顯示裝置300具有：具備多個發(fā)光元件200r、200g、200b的發(fā)光裝置101、以及具備與各發(fā)光元件200r、200g、200b對應(yīng)地設(shè)置的透射層19的濾波器102。

這樣的顯示裝置300的多個發(fā)光元件200r、200g、200b以及多個透射層19與子像素300r、300g、300b對應(yīng)地設(shè)置，構(gòu)成了頂部發(fā)光構(gòu)造的顯示器面板。

此外，在本實(shí)施方式中，以采用有源矩陣方式作為顯示裝置的驅(qū)動方式為例進(jìn)行了說明，但也可以采用無源矩陣方式。

發(fā)光裝置101具有基板21、多個發(fā)光元件200r、200g、200b、以及多個開關(guān)元件24。

基板21對多個發(fā)光元件200r、200g、200b以及多個開關(guān)元件24進(jìn)行支承。本實(shí)施方式的各發(fā)光元件200r、200g、200b是從與基板21相反的一側(cè)出射光的構(gòu)成(頂部發(fā)光型)。因此，能夠在基板21中使用透明基板以及不透明基板中的任一者。此外，在各發(fā)光元件200r、200g、200b是從基板21側(cè)出射光的構(gòu)成(底部發(fā)射型)的情況下，基板21實(shí)際上成為透明(無色透明、著色透明或者半透明)。

作為基板21的構(gòu)成材料，例如可列舉聚對苯二酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、環(huán)烯烴聚合物、聚酰胺、聚醚砜、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、多芳基化合物那樣的樹脂材料、石英玻璃、鈉玻璃那樣的玻璃材料等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

作為不透明基板，例如可列舉由氧化鋁那種陶瓷材料構(gòu)成的基板、在不銹鋼那種金屬基板的表面形成有氧化膜(絕緣膜)的基板、由樹脂材料構(gòu)成的基板等。

這樣的基板21的平均厚度并不特別限定，優(yōu)選的是約0.1～30mm，更優(yōu)選的是約0.1～10mm。

在這樣的基板21上呈矩陣狀排列有多個開關(guān)元件24。

各開關(guān)元件24是與各發(fā)光元件200r、200g、200b對應(yīng)地設(shè)置、并用于驅(qū)動各發(fā)光元件200r、200g、200b的驅(qū)動用晶體管。

這樣的各開關(guān)元件24具有由硅構(gòu)成的半導(dǎo)體層241、形成在半導(dǎo)體層241上的柵極絕緣層242、形成在柵極絕緣層242上的柵極電極243、源極電極244、以及漏極電極245。

以覆蓋這樣的多個開關(guān)元件24的方式，形成有由絕緣材料構(gòu)成的平坦化層22。

在平坦化層22上，與各開關(guān)元件24對應(yīng)地設(shè)有發(fā)光元件200r、200g、200b。

發(fā)光元件200r在平坦化層22上依次層疊有反射膜32、防腐蝕膜33、陽極3、層疊體(有機(jī)el發(fā)光部)14(14r)、陰極12、陰極罩34。在本實(shí)施方式中，各發(fā)光元件200r、200g、200b的陽極3構(gòu)成像素電極，并通過導(dǎo)電部(布線)27電連接于各開關(guān)元件24的漏極電極245。此外，各發(fā)光元件200r、200g、200b的陰極12成為共用電極。

這樣的發(fā)光元件200r、200g、200b分別具備的層疊體14r、14g、14b，能夠分別通過上述成膜方法形成。在該情況下，作為成膜用油墨的成膜材料，含有后述的層疊體14r、14g、14b所具備的各層中包含的構(gòu)成材料。此外，之后詳細(xì)敘述層疊體14r、14g、14b的制造方法。

此外，關(guān)于發(fā)光元件200g、200b的構(gòu)成，除了發(fā)光層6的構(gòu)成(即，發(fā)光色不同)以外，能夠分別與發(fā)光元件200r相同地構(gòu)成。此外，發(fā)光元件200r、200g、200b可以是除了發(fā)光層6的構(gòu)成以外彼此相同的構(gòu)成，也可以是互不相同的構(gòu)成。例如，發(fā)光元件200r、200g、200b的層疊體14r、14g、14b可以是除了發(fā)光層6的構(gòu)成以外彼此相同的構(gòu)成，也可以是互不相同的構(gòu)成。但是，在層疊體14r、14g、14b是互不相同的構(gòu)成的情況下，應(yīng)用本發(fā)明的成膜用油墨以及成膜方法所帶來的效果變得顯著。

在鄰接的發(fā)光元件200r、200g、200b彼此之間設(shè)有隔壁31。

該隔壁31具有防止鄰接的發(fā)光元件200r、200g、200b彼此的發(fā)光相互干擾的功能。此外，如之后詳細(xì)敘述，在通過液滴排出法制造層疊體14r、14g、14b時(shí)，隔壁31具有攔截油墨的功能。

在這樣構(gòu)成的發(fā)光裝置101中，經(jīng)由由環(huán)氧樹脂等熱固化性樹脂構(gòu)成的樹脂層35接合有濾波器102。

濾波器102具有基板20、多個透射層19、以及遮光層(隔壁)36。

基板(密封基板)20對各透射層19以及隔壁36進(jìn)行支承。如上述那樣，由于本實(shí)施方式的各發(fā)光元件200r、200g、200b是頂部發(fā)光型，因此在基板20中使用透明基板。

作為這樣的基板20的構(gòu)成材料，只要使基板20具有透光性即可，不被特別限定，但是能夠使用與上述基板20的構(gòu)成材料相同的材料。

多個透射層19分別與發(fā)光元件200r、200g、200b對應(yīng)地設(shè)置。

各透射層19分別是使來自發(fā)光元件200r的紅色的光r、來自發(fā)光元件200g的紅色的光g、以及來自發(fā)光元件200g的紅色的光b透射的濾光部。通過用透射層19使從這樣的發(fā)光元件200r、200g、200b發(fā)出的光r、g、b透射，能夠顯示全彩圖像。

該透射層19由具有透光性的樹脂材料構(gòu)成。作為該樹脂材料，從以基板21的構(gòu)成材料列舉的材料之中，使用具有透光性的材料。

在鄰接的透射層19彼此之間形成有隔壁36。

該隔壁36具有防止子像素300r、300g、300b意外地發(fā)光的功能。此外，如之后詳細(xì)敘述那樣，在通過液滴排出法制造濾波器102時(shí)，隔壁36也具有攔截油墨的功能。

(發(fā)光元件)

這里，基于圖5，詳細(xì)說明發(fā)光元件200r、200g、200b。此外，以下，以發(fā)光元件200r為代表進(jìn)行說明，關(guān)于發(fā)光元件200g、200b，以與發(fā)光元件200r的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，并對于與發(fā)光元件200r相同的事項(xiàng)省略其說明。

圖5所示的發(fā)光元件(電致發(fā)光元件)200r具備發(fā)出發(fā)光光譜為r(紅色)的光的紅色發(fā)光層6。

在這樣的發(fā)光元件200r中，如上述那樣在兩個電極間(陽極3與陰極12之間)夾插有層疊體14，該層疊體14如圖5所示那樣從陽極3側(cè)向陰極12側(cè)依次層疊有空穴注入層4、空穴輸送層5、紅色發(fā)光層6、電子輸送層10、以及電子注入層11。

換言之，發(fā)光元件200r由陽極3、空穴注入層4、空穴輸送層5、紅色發(fā)光層6、電子輸送層10、電子注入層11以及陰極12依次層疊而成。

此外，在本實(shí)施方式中，在陽極3與平坦化層22之間設(shè)有反射膜32以及防腐蝕膜33，此外，在陰極12的與層疊體14相反的一側(cè)設(shè)有陰極罩(密封層)34。

在這樣的發(fā)光元件200r中，從陰極12側(cè)對紅色發(fā)光層6供給(注入)電子，并且從陽極3側(cè)供給(注入)空穴。然后，在紅色發(fā)光層6中，將空穴與電子再次結(jié)合，利用在該再次結(jié)合時(shí)釋放出的能量生成激子(激發(fā)子)，在激子返回到基底狀態(tài)時(shí)釋放(發(fā)光)能量(紅色的熒光或磷光)。由此，發(fā)光元件200r以紅色發(fā)光。然后，這樣的發(fā)光在從濾波器102側(cè)出射時(shí)，在反射膜32與陰極12之間通過反射的共振效果而增強(qiáng)，但在該出射時(shí)，層疊體14r如后述那樣應(yīng)用本發(fā)明的成膜方法而形成為均勻的厚度。因此，光路長度被均勻化，不會在隔壁31的邊緣部產(chǎn)生增強(qiáng)不均，能夠使發(fā)光光增強(qiáng)。

構(gòu)成這樣的發(fā)光元件200r的各層能夠通過上述成膜方法形成。特別是，優(yōu)選為通過上述成膜方法形成由有機(jī)材料構(gòu)成的層，更優(yōu)選的是發(fā)光層。在該情況下，在成膜用油墨中包含構(gòu)成后述的發(fā)光層的材料或者其前體。

以下，依次說明構(gòu)成發(fā)光元件200r的各部分。

(陽極)

陽極3是經(jīng)由后述的空穴注入層4向空穴輸送層5注入空穴的電極。作為該陽極3的構(gòu)成材料，優(yōu)選的是使用功函數(shù)較大、且導(dǎo)電性優(yōu)異的材料。

作為陽極3的構(gòu)成材料，例如可列舉ito(indiumtinoxide，氧化銦錫)、izo(indiumzincoxide，氧化銦鋅)、in3o3、sno2、含sb的sno2、含al的zno等的氧化物、au、pt、ag、cu或者包含它們的合金等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

這樣的陽極3的平均厚度不被特別限定，但優(yōu)選的是約10～200nm，更優(yōu)選的是約50～150nm。

(陰極)

另一方面，陰極12是經(jīng)由后述的電子注入層11向電子輸送層10注入電子的電極。作為該陰極12的構(gòu)成材料，優(yōu)選的是使用功函數(shù)較小的材料。

作為陰極12的構(gòu)成材料，例如可列舉li、mg、ca、sr、la、ce、er、eu、sc、y、yb、ag、cu、al、cs、rb或者包含它們的合金等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上(例如，多層的層疊體等)使用。

特別是，在使用合金作為陰極12的構(gòu)成材料的情況下，優(yōu)選的是使用包含ag、al、cu等穩(wěn)定的金屬元素的合金，具體而言是mgag、alli、culi等合金。通過將該合金用作陰極12的構(gòu)成材料，能夠?qū)崿F(xiàn)陰極12的電子注入效率以及穩(wěn)定性的提高。

這樣的陰極12的平均厚度不被特別限定，但優(yōu)選的是約80～10000nm，更優(yōu)選的是約100～500nm。

(空穴注入層)

空穴注入層4具有使來自陽極3的空穴注入效率提高是功能。

作為該空穴注入層4的構(gòu)成材料(空穴注入材料)，不被特別限定，但可列舉例如聚(3,4-亞乙二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)(pedot/pss)、pedot/pss/nafion(注冊商標(biāo))、聚噻吩以及其衍生物、聚苯胺以及其衍生物、聚吡咯以及其衍生物、n,n,n’,n’-四苯基對苯二胺以及其衍生物等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

這樣的空穴注入層4的平均厚度不被特別限定，但優(yōu)選的是約5～150nm，更優(yōu)選的是約10～100nm。

此外，能夠省略該空穴注入層4。

(空穴輸送層)

空穴輸送層5具有將從陽極3經(jīng)由空穴注入層4注入的空穴輸送至紅色發(fā)光層6的功能。

作為該空穴輸送層5的構(gòu)成材料((空穴輸送材料))，不被特別限定，但能夠單獨(dú)或者組合地使用各種p型的高分子材料或各種p型的低分子材料。

作為p型的高分子材料(有機(jī)聚合物)，可列舉例如聚(2,7-(9,9-二-正-辛基芴)-(1,4-亞苯基-((4-仲丁基苯基)亞氨基)-1,4-亞苯基(tfb)等聚芳基胺那種具有芳基胺骨架的物質(zhì)、芴-雙噻吩共聚物那種具有芴骨架的物質(zhì)、芴-芳基胺共聚物那種具有芳基胺骨架以及芴骨架這兩者的物質(zhì)、聚(n-乙烯基咔唑)、聚芘、聚乙烯蒽、聚噻吩、聚烷基噻吩、聚已基噻吩、聚(對亞苯基亞乙烯基)、聚亞噻吩基亞乙烯基、芘甲醛樹脂、乙基咔唑甲醛樹脂或者其衍生物等。

這種p型的高分子材料也能夠用作與其他化合物的混合物。作為一個例子，作為含有聚噻吩的混合物，可列舉聚(3,4-亞乙二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)(pedot/pss)等。

另一方面，作為p型的低分子材料，可列舉例如1,1-雙(4-二-對三氨基苯基)環(huán)己烷、1,1'-雙(4-二-對甲苯基氨基苯基)-4-苯基-環(huán)己烷之類的芳基環(huán)烷烴系化合物；4,4',4"-三甲基三苯胺、ν,ν,ν',ν'-四苯基-1,1'-聯(lián)苯_4,4'-二胺、n,ν'-二苯基-ν,ν'-雙(3-甲基苯基)-1,1'-聯(lián)苯-4,4'-二胺(tpdl)、ν,ν'-二苯基-ν,ν'-雙(4-甲氧基苯基)-1,1’-聯(lián)苯-4,4'-二胺(′ipd2)、ν,ν,ν',ν'-四(4-甲氧基苯基)-1,γ-聯(lián)苯-4,4'-二胺(tpd3)、ν,ν'-雙(1-萘基)-ν,ν'-二苯基-1,1’-聯(lián)苯_4,4'-二胺(α-npd)、τρτε之類的芳胺系化合物；ν,ν,ν',ν'-四苯基-對苯二胺、ν,ν,ν',ν'-四(對甲苯基)對苯二胺、ν,ν,ν',ν'-四(間甲苯基)間苯二胺(pda)之類的苯二胺系化合物、咔唑、n-異丙基咔唑、n-苯基咔唑之類的咔唑系化合物、均二苯代乙烯、4-二-對甲苯基氨基均二苯代乙烯之類的均二苯代乙烯系化合物、oxz之類的噁唑系化合物；三苯基甲烷、m-mtdata之類的三苯基甲烷系化合物；1-苯基-3-(對-二甲氨基苯基)吡唑啉之類的吡唑啉系化合物；苯炔(環(huán)己二烯)系化合物；三唑之類的三唑系化合物；咪唑之類的咪唑系化合物、1,3,4-噁二唑、2,5-二(4-二甲氨基苯基)-1,3,4-噁二唑之類的噁二唑系化合物；蒽、9-(4-二乙基氨基苯乙烯基)蒽之類的蒽系化合物；荷酮、2,4,7-三硝基-9-芴酮、2,7-雙(2-羥基-3-(2-氯苯基氨基甲?；?-1-萘基偶氮)芴酮之類的芴酮系化合物；聚苯胺之類的苯胺系化合物；硅烷系化合物；1,4-二硫酮基-3,6-二苯基-吡咯并(3,4-c)吡咯并吡咯之類的吡咯系化合物、芴之類的芴系化合物；卟啉、金屬四苯基卟啉之類的卟啉系化合物；喹吖啶酮之類的喹吖啶酮系化合物；酞菁、酞菁銅、四(叔丁基)酞菁銅、酞菁鐵之類的金屬或無金屬的酞菁系化合物；萘酞菁銅、萘酞菁釩、單氯萘酞菁鎵之類的金屬或無金屬的萘酞菁系化合物；n,n'_二(萘-1-基)-n,n'_二苯基-聯(lián)苯胺、n,n,n',n'_四苯基聯(lián)苯胺之類的聯(lián)苯胺系化合物等。

這樣的空穴輸送層5的平均厚度不被特別限定，優(yōu)選的是約10～150nm，更優(yōu)選的是約10～100nm。

此外，該空穴輸送層5能夠被省略。

(紅色發(fā)光層)

該紅色發(fā)光層(第一發(fā)光層)6包含發(fā)出紅色(第一色)的紅色發(fā)光材料而構(gòu)成。

作為這樣的紅色發(fā)光材料，不被特別限定，能夠?qū)⒏鞣N紅色熒光材料、紅色磷光材料組合一種或者兩種以上來使用。

作為紅色熒光材料，只要發(fā)出紅色的熒光即可，不被特別限定，可列舉例如二萘嵌苯衍生物、銪絡(luò)合物、苯并吡喃衍生物、羅丹明衍生物、苯并唾噸衍生物、卟啉衍生物、尼羅紅、2-(1,1-二甲基乙基)-6-(2-(2,3,6,7-四氫-1,1,7,7-四甲基-1h,5h-苯并(ij)喹嗪-9-基)乙烯基)-4h-吡喃-4h-亞基)二氰甲烷(dcjtb)、4-(二氰基亞甲基-2-甲基-6-(對二甲基氨基苯乙烯基)-4h-吡喃(dcm)、聚[2-甲氧基-5-(2-乙基己氧基)-1,4-(1-氰基亞乙烯基亞苯基)]、聚[{9,9-二己基-2,7-雙(1-氰基亞乙烯基)芴基}交替共聚-{2,5-雙(n,n’-二苯基氨基)-1,4-亞苯基}]、聚[{2-甲氧基-5-(2-乙基己氧基)-1,4-(1-氰基亞乙烯基亞苯基)}-co-{2,5-雙(n,n’-二苯基氨基)-1,4-亞苯基}]等。

作為紅色磷光材料，只要產(chǎn)生紅色的磷光即可，不被特別限定，例如可列舉銥、釕、鉑、鋨、錸、鈀等的金屬絡(luò)合物，并可列舉這些金屬絡(luò)合物的配體內(nèi)的至少一個具有苯基吡啶骨架、聯(lián)吡啶骨架，卟啉骨架等的物質(zhì)。更具體而言，可列舉三(1-苯基異喹啉)銥、雙[2-(2’-苯并[4,5-α]噻吩基)吡啶-n,c3’]銥(乙酰丙酮)(btp2ir(acac))、2,3,7,8,12,13,17,18-八乙基-12h,23h-卟啉-鉑(ii)、雙[2-(2’-苯并[4,5-α]噻吩基)吡啶-n,c3’]銥、雙(2-苯基吡啶)銥(乙酰丙酮)。

此外，在紅色發(fā)光層6中，除了上述紅色發(fā)光材料之外，紅色發(fā)光材料也可以包含被作為客體材料而添加的主體材料。

主體材料具有使空穴與電子再次結(jié)合而生成激發(fā)子、并且使該激發(fā)子的能量向紅色發(fā)光材料移動(福斯特移動或者德克斯特移動)而激發(fā)紅色發(fā)光材料的功能。在使用這樣的主體材料的情況下，例如能夠?qū)⒆鳛榭腕w材料的紅色發(fā)光材料摻雜在摻雜劑主體材料中來使用。

作為這樣的主體材料，只要對所使用的紅色發(fā)光材料發(fā)揮上述那種功能即可，不被特別限定，但在紅色發(fā)光材料包含紅色熒光材料的情況下，例如可列舉萘并萘衍生物、萘衍生物、蒽衍生物那種并苯衍生物(并苯系材料)、二苯乙烯基丙炔衍生物、二萘嵌苯衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基胺衍生物、三(8-羥基奮啉)鋁絡(luò)合物(alq3)等羥基奮啉系金屬絡(luò)合物、三苯基胺的四聚體等的三芳基胺衍生物、噁二唑衍生物、噻咯衍生物，二咔唑衍生物、低聚噻吩衍生物、苯并吡喃衍生物、三唑衍生物、苯并噁唑衍生物、苯并噻衍生物、喹啉衍生物、4,4’-雙(2,2’-二苯基乙烯基)聯(lián)苯(dpvbi)等，也能夠組合地使用它們之的一種或者兩種以上。

在使用上述那種紅色發(fā)光材料(客體材料)以及主體材料的情況下，紅色發(fā)光層6中紅色發(fā)光材料的含量(摻雜量)優(yōu)選的是0.01～10wt％，更優(yōu)選的是0.1～5wt％的。通過使紅色發(fā)光材料的含量為這樣的范圍內(nèi)，能夠使發(fā)光效率最佳化。

這樣的紅色發(fā)光層6的平均厚度不被特別限定，優(yōu)選的是約10～150nm，更優(yōu)選的是約10～100nm。

(電子輸送層)

電子輸送層10具有將從陰極12經(jīng)由電子注入層11注入的電子輸送到紅色發(fā)光層6的功能。

作為電子輸送層10的構(gòu)成材料(電子輸送材料)，例如可列舉三(8-羥基奮啉)鋁(alq3)等以8-羥基喹啉或其衍生物作為配體的有機(jī)金屬絡(luò)合物等的喹啉衍生物、噁二唑衍生物、二萘嵌苯衍生物、吡啶衍生物、嘧啶衍生物、喹喔啉衍生物、二苯基苯醌衍生物、經(jīng)硝基取代的芴衍生物等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

電子輸送層10的平均厚度不被特別限定，但優(yōu)選的是約0.5～100nm，更優(yōu)選的是約1～50nm。

此外，該電子輸送層10能夠被省略。

(電子注入層)

電子注入層11具有使來自陰極12的電子注入效率提高的功能。

作為該電子注入層11的構(gòu)成材料(電子注入材料)，例如可列舉各種的無機(jī)絕緣材料、各種無機(jī)半導(dǎo)體材料。

作為這樣的無機(jī)絕緣材料，例如可列舉堿金屬硫?qū)倩?氧化物、硫化物、硒化物、碲化物)、堿土類金屬硫?qū)倩铩A金屬的鹵化物以及堿土類金屬的鹵化物等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。通過將它們作為主要材料而構(gòu)成電子注入層，能夠進(jìn)一步使電子注入性提高。特別是，堿金屬化合物(堿金屬硫?qū)倩?、堿金屬的鹵化物等)的功函數(shù)非常小，通過使用其構(gòu)成電子注入層11，使得發(fā)光元件200獲得較高的亮度。

作為堿金屬硫?qū)倩?，例如可列舉li2o、lio、na2s、na2se、nao等。

作為堿土類金屬硫?qū)倩铮缈闪信ecao、bao、sro、beo、bas、mgo、case等。

作為堿金屬的鹵化物，例如可列舉csf、lif、naf、kf、licl、kcl、nacl等。

作為堿土類金屬的鹵化物，例如可列舉caf2、baf2、srf2、mgf2、bef2等。

此外，作為無機(jī)半導(dǎo)體材料，例如可列舉包含li、na、ba、ca、sr、yb、al、ga、in、cd、mg、si、ta、sb以及zn中的至少一個元素的氧化物、氮化物或者氧化氮化物等，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

電子注入層11的平均厚度不被特別限定，但優(yōu)選的是約0.1～1000nm，更優(yōu)選的是約0.2～100nm，進(jìn)一步優(yōu)選的是約0.2～50nm。

此外，該電子注入層11能夠被省略。

如以上那樣構(gòu)成發(fā)光元件200r。此外，發(fā)光元件200g、200b分別具備以下所示的那種綠色發(fā)光層以及藍(lán)色發(fā)光層來取代發(fā)光元件200r所具備的紅色發(fā)光層6，由此，發(fā)出發(fā)光光譜為g(綠色)以及b(藍(lán)色)的光。

(藍(lán)色發(fā)光層)

藍(lán)色發(fā)光層(第二發(fā)光層)8包含發(fā)出藍(lán)色(第二色)的藍(lán)色發(fā)光材料而構(gòu)成。

作為這樣的藍(lán)色發(fā)光材料，例如可列舉各種藍(lán)色熒光材料以及藍(lán)色磷光材料，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

作為藍(lán)色熒光材料，只要發(fā)出藍(lán)色的熒光即可，不被特別限定，例如可列舉二苯乙烯胺系化合物等二苯乙烯基胺衍生物、焚蒽衍生物、嵌二萘衍生物、二萘嵌苯以及二萘嵌苯衍生物、蒽衍生物、苯并噁唑衍生物、苯并噻衍生物、苯并咪挫衍生物、薦衍生物、菲衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、四苯基丁二烯、4,4’-雙(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1,1’-聯(lián)苯(bczvbi)、聚[(9,9-二辛基芴基-2,7-二基)-co-(2,5-二甲氧基苯-1,4-二基)]、聚[(9,9-二己氧基芴-2,7-二基)-交替共聚-(2-甲氧基-5-{2-乙氧基己氧基}亞苯基-1,4-二基)]、聚[(9,9-二辛基芴基-2,7-二基)-co-(乙苯)]等。

作為藍(lán)色磷光材料，只要產(chǎn)生藍(lán)色的磷光即可，不被特別限定，例如可列舉銥、釕、鉑、鋨、錸、鈀等金屬絡(luò)合物，具體而言，可列舉雙[4,6-二氟苯基吡啶-n,c2’]-吡啶甲酸-銥、三[2-(2,4-二氟苯基)吡啶-n,c2’]銥、雙[2-(3,5-三氟甲)吡啶-n,c2’]-吡啶甲酸-銥，雙(4,6-二氟苯基吡啶-n,c2’)銥(乙酰丙酮)等。

此外，在藍(lán)色發(fā)光層8中，除了上述藍(lán)色發(fā)光材料之外，藍(lán)色發(fā)光材料也可以包含被作為客體材料而添加的主體材料。

作為這樣的主體材料，能夠使用與在上述紅色發(fā)光層(第一發(fā)光層)6中說明的主體材料相同的材料。

此外，與紅色發(fā)光層6的主體材料相同，這樣的藍(lán)色發(fā)光層8的主體材料優(yōu)選的是使用并苯衍生物(并苯系材料)。由此，能夠以更高亮度并且高效率使藍(lán)色發(fā)光層8以紅色發(fā)光。

(綠色發(fā)光層)

綠色發(fā)光層(第三發(fā)光層)9包含發(fā)出綠色(第三色)的綠色發(fā)光材料而構(gòu)成。

作為這樣的綠色發(fā)光材料，不被特別限定，例如可列舉各種綠色熒光材料以及綠色磷光材料，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。

作為綠色熒光材料，只要發(fā)出綠色的熒光即可，不被特別限定，例如可列舉香豆素衍生物、喹吖酮衍生物等喹吖酮以及其衍生物、9,10-雙[(9-乙基-3-咔唑)-亞乙烯基]-蒽、聚(9,9-二己基-2,7-乙烯基芴基)、聚[(9,9-二辛基芴基-2,7-二基)-co-(1,4-二苯撐-乙烯撐-2-甲氧基-5-{2-乙基己氧基}苯)]、聚[(9,9-二辛基-2,7-二乙烯基芴基)-交替共聚-(2-甲氧基-5-(2-乙氧基己氧基)-1,4-亞苯基)]等。

作為綠色磷光材料，只要發(fā)出綠色的磷光即可，不被特別限定，例如可列舉銥、釕、鉑、鋨、錸、鈀等的金屬絡(luò)合物，具體而言，可列舉fac-三(2-苯基吡啶)銥(ir(ppy)3)、雙(2-苯基吡啶磺酸-n,c2’)銥(乙酰丙酮)，fac-三[5-氟代-2-(5-三氟甲-2-吡啶)苯基-c,n]銥等。

此外，在綠色發(fā)光層9中，除了上述綠色發(fā)光材料之外，也可以包含以綠色發(fā)光材料作為客體材料的主體材料。

作為這樣的主體材料，能夠使用與在上述紅色發(fā)光層(第一發(fā)光層)6中說明的主體材料相同的材料。

此外，與紅色發(fā)光層6的主體材料相同，這樣的綠色發(fā)光層9的主體材料優(yōu)選的是使用并苯衍生物(并苯系材料)。由此，能夠以更高亮度并且高效率使綠色發(fā)光層9以紅色發(fā)光。

而且，該綠色發(fā)光層9的主體材料優(yōu)選的是與上述藍(lán)色發(fā)光層8的主體材料相同。由此，在兩個發(fā)光層8、9中，能夠平衡較好地發(fā)出綠色的光與藍(lán)色的光。

(發(fā)光元件中的層疊體的制造方法)

在以上那樣構(gòu)成的顯示裝置300所具備的發(fā)光元件200r、200g、200b的層疊體14r、14g、14b的形成中應(yīng)用本發(fā)明的成膜方法。

以下，對使用了本發(fā)明的成膜方法的層疊體14r、14g、14b的制造方法(形成方法)進(jìn)行說明。

圖6是說明將本發(fā)明的成膜方法應(yīng)用于顯示裝置所具備的發(fā)光元件的層疊體的制造的情況的圖。

此外，在以下的說明中，除了使用用于形成層疊體14r、14g、14b所具備的各層的成膜用油墨這一點(diǎn)以外，與上述成膜方法相同，因此對于與上述成膜方法相同的事項(xiàng)省略其說明。

此外，在本實(shí)施方式中，層疊體14r從陽極3側(cè)向陰極12側(cè)地依次層疊有空穴注入層4、空穴輸送層5、紅色發(fā)光層6、電子輸送層10、以及電子注入層11，層疊體14g、14b分別具備綠色發(fā)光層以及藍(lán)色發(fā)光層來取代層疊體14r所具備的紅色發(fā)光層6，因此以下，以將層疊體14r成膜在從設(shè)于平坦化層22上的隔壁31的開口部露出的陽極3上的情況作為一個例子進(jìn)行說明。

a-1

首先，圖6(a)所示的，在從設(shè)于平坦化層22上的隔壁31的開口部露出的陽極3上，供給成膜用油墨4a(參照圖6(b)。)。

本工序能夠與上述成膜方法的油墨賦予工序[1]相同地進(jìn)行。

成膜用油墨4a包含成膜材料以及液性介質(zhì)，并與上述成膜用油墨1相同地構(gòu)成。

此外，成膜用油墨4a包含空穴注入材料作為成膜材料。

此外，在從隔壁31的開口部露出的陽極3的表面，在使用上述氧化物(金屬氧化物)作為陽極3的構(gòu)成材料的情況下，羥基露出。因此，作為第二成分，通過使用具備羥基的物質(zhì)，使得陽極3的表面與第二成分具有優(yōu)異的親和性。因此，能夠使作為液滴供給到開口部內(nèi)的成膜用油墨4a更順暢地在陽極3上潤濕擴(kuò)散。

而且，在隔壁31的隔壁面311的表面被實(shí)施了賦予防液性的表面處理的情況下，氟元素在該表面露出。因此，作為第二成分，通過使用具備羥基的物質(zhì)，使得隔壁面311的表面與成膜用油墨4a之間產(chǎn)生反彈的反彈力，由此，在隔壁面311上，能夠更可靠地抑制或者防止成膜用油墨4a所包含的成膜材料滲出。

然后，與上述成膜方法的干燥工序[2]相同，使賦予到陽極3上的成膜用油墨4a減壓干燥或加熱干燥。

由此，如圖6(c)所示，從成膜用油墨4a中去除第一成分，其結(jié)果，成膜用油墨4a干燥，由此形成空穴注入層4。

a-2

接下來，與上述成膜方法的油墨賦予工序[1]相同，向形成于隔壁31的開口部的空穴注入層4上供給成膜用油墨5a。

成膜用油墨5a包含成膜材料以及液性介質(zhì)，并與上述成膜用油墨1相同地構(gòu)成。

此外，成膜用油墨5a包含空穴輸送材料作為成膜材料。

此外，在隔壁31的隔壁面311的表面被實(shí)施了賦予防液性的表面處理的情況下，氟元素在該表面露出。因此，作為第二成分，通過使用具備羥基的物質(zhì)，使得隔壁面311的表面與成膜用油墨5a之間產(chǎn)生反彈的反彈力，由此，在隔壁面311上，能夠更可靠地抑制或者防止成膜用油墨5a所包含的成膜材料滲出。

然后，與上述成膜方法的干燥工序[2]相同，使賦予到空穴注入層4上的成膜用油墨5a減壓干燥或加熱干燥。

由此，從成膜用油墨5a中去除第一成分，其結(jié)果，成膜用油墨5a干燥，由此形成空穴輸送層5。

a-3

接下來，與上述成膜方法的油墨賦予工序[1]相同，向形成于隔壁31的開口部的空穴輸送層5上供給成膜用油墨6a。

此外，在隔壁31的隔壁面311的表面被實(shí)施了賦予防液性的表面處理的情況下，氟元素在該表面露出。因此，作為第二成分，通過使用具備羥基的物質(zhì)，由此在隔壁面311的表面與成膜用油墨6a之間產(chǎn)生反彈的反彈力，由此，在隔壁面311上，能夠更可靠地抑制或者防止成膜用油墨6a所包含的成膜材料滲出。

成膜用油墨6a包含成膜材料以及液性介質(zhì)，與上述成膜用油墨1相同地構(gòu)成。

此外，成膜用油墨6a包含紅色發(fā)光材料作為成膜材料。

然后，與上述成膜方法的干燥工序[2]相同，使賦予到空穴輸送層5上的成膜用油墨6a減壓干燥或加熱干燥。

由此，從成膜用油墨6a中去除第一成分，其結(jié)果，成膜用油墨6a干燥，由此形成紅色發(fā)光層6。

a-4

接下來，在形成于隔壁31的開口部的紅色發(fā)光層6上形成電子輸送層10。

該電子輸送層10不被特別限定，但例如優(yōu)選的是使用濺射法、真空蒸鍍法、cvd法等氣相工序而形成。通過使用氣相工序，能夠防止紅色發(fā)光層6與電子輸送層10之間的層溶解，并且能夠可靠地形成電子輸送層10。

a-5

接下來，在形成于隔壁31的開口部的電子輸送層10上形成電子注入層11。

該電子注入層11不被特別限定，但例如優(yōu)選的是使用濺射法、真空蒸鍍法、cvd法等氣相工序而形成。通過使用氣相工序，能夠防止電子輸送層10與電子注入層11之間的層溶解，并且能夠可靠地形成電子注入層11。

如以上那樣，能夠在從隔壁31的開口部露出的陽極3上制造層疊體14r。此外，層疊體14r、14g、14g既可以分別獨(dú)立地形成，也可以一并形成。

作為這樣獲得的具有膜的裝置的顯示裝置300所具備的層疊體14r、14g、14b利用隔壁31防止了它們的混合，并且能夠以優(yōu)異的尺寸精度對它們進(jìn)行成膜，因此具有所希望的光學(xué)特性，并具有優(yōu)異的可靠性。

這樣的成膜方法并不局限于層疊體14r、14g、14b的制造，也能夠應(yīng)用于濾色器103的制造。

(濾色器的制造方法)

接下來，作為本發(fā)明的成膜方法的更具體的應(yīng)用例，對上述濾色器103的制造方法進(jìn)行說明。

圖7是對將本發(fā)明的成膜方法應(yīng)用于濾色器的制造的情況進(jìn)行說明的圖。

此外，在以下的說明中，除了使用顏色不同的多種成膜用油墨這一點(diǎn)以外，與上述成膜方法相同，因此對于與上述成膜方法相同的事項(xiàng)省略其說明。

如圖7(e)所示，該濾色器103具有多個著色層19r、19g、19b、遮光層(隔壁)36、各著色層19r、19g、19b以及支承隔壁36的基板20。

在該濾色器103中，著色層19r是將來自發(fā)光元件200r的光wr轉(zhuǎn)換為紅色的濾光部。此外，著色層19g是將來自發(fā)光元件200g的wg轉(zhuǎn)換為綠色的濾光部。此外，著色層19b是將來自發(fā)光元件200b的光wb轉(zhuǎn)換為藍(lán)色的濾光部。

在該構(gòu)成的濾色器103中，在各著色層19r、19g、19b的形成中使用本發(fā)明的成膜用油墨，但以下對使用了本發(fā)明的成膜用油墨的濾色器103的制造方法進(jìn)行說明。

b-1

首先，如圖7(a)所示，準(zhǔn)備在基板20上形成有隔壁36(堤)的基材15a。

此外，也可以根據(jù)需要，先于隔壁36(堤)的形成地通過大氣壓下的氧等離子體處理使基材15a親液化。

而且，也可以對隔壁36的表面實(shí)施賦予防液性的表面處理。

b-2

接下來，如圖7(b)所示，向應(yīng)形成著色層19r的區(qū)域供給成膜用油墨19ra。

本工序能夠與上述成膜方法的油墨賦予工序[1]相同地進(jìn)行。

成膜用油墨19ra包含成膜材料以及液性介質(zhì)，并與上述成膜用油墨1相同地構(gòu)成。

此外，成膜用油墨19ra的成膜材料包含紅色的染料或者顏料等的著色劑。此外，在成膜用油墨19ra的成膜材料中也可以包含例如丙烯酸樹脂等樹脂材料。

b-3

然后，與上述成膜方法的干燥工序[2]相同地將賦予到基材15a上的成膜用油墨19ra加熱。

由此，如圖7(c)所示，從成膜用油墨19ra中去除第一成分，其結(jié)果，成膜用油墨19ra干燥，由此形成著色層19r。

之后，如圖7(c)所示，向應(yīng)形成著色層19g的區(qū)域供給成膜用油墨19ga。此時(shí)，由于著色層19r為固體狀，因此不會向其他區(qū)域流出。

本工序中的成膜用油墨19ga向基材15a的賦予也能夠與上述成膜方法的油墨賦予工序[1]相同地進(jìn)行。

成膜用油墨19ga不會成膜材料以及液性介質(zhì)，并與上述成膜用油墨1相同地構(gòu)成。

此外，成膜用油墨19ga的成膜材料包含綠色的染料或者顏料等的著色劑。此外，在成膜用油墨19ga的成膜材料中也可以包含例如丙烯酸樹脂等樹脂材料。

b-4

然后，與上述成膜方法的干燥工序[2]相同地將賦予到基材15a上的成膜用油墨19ga加熱。

由此，如圖7(d)所示，從成膜用油墨19ga中去除第一成分，其結(jié)果，成膜用油墨19ga干燥，由此形成著色層19g。

之后，如圖7(d)所示，向應(yīng)形成著色層19b的區(qū)域供給成膜用油墨19ba。此時(shí)，由于著色層19r、19g分別為固體狀，因此不會向其他區(qū)域流出。

本工序中的成膜用油墨19ba向基材15a的賦予也能夠與上述成膜方法的油墨賦予工序[1]相同地進(jìn)行。

成膜用油墨19ba包含成膜材料以及液性介質(zhì)，并與上述成膜用油墨1相同地構(gòu)成。

此外，成膜用油墨19ba的成膜材料包含藍(lán)色的染料或者顏料等的著色劑。此外，在成膜用油墨19ba的成膜材料中也可以包含例如丙烯酸樹脂等樹脂材料。

b-5

然后，與上述成膜方法的干燥工序[2]相同地將賦予到基材15a上的成膜用油墨19ba加熱。

由此，如圖7(e)所示，從成膜用油墨19ba中去除第一成分，其結(jié)果，成膜用油墨19ba干燥，由此形成著色層19b。

如以上那樣，在基材15a上的開口部內(nèi)形成固體狀的著色層19r、19g、19b。此外，也可以在將成膜用油墨19ra、19ga、19ba全部賦予到基材15a上之后，一并實(shí)施與上述成膜方法的干燥工序[2]相同的處理，并一并地形成著色層19r、19g、19b。

如以上那樣，能夠制造濾色器103。

這樣獲得的具有膜的裝置即濾色器103可防止著色層19r、19g、19b的混色，并且能夠以優(yōu)異的尺寸精度對著色層19r、19g、19b進(jìn)行成膜，因此具有所希望的光學(xué)特性，并具有優(yōu)異的可靠性。

(其他應(yīng)用例)

而且，本發(fā)明的成膜用油墨也能夠使用于布線基板的導(dǎo)體圖案的形成。

用于形成導(dǎo)體圖案的成膜用油墨是形成導(dǎo)體圖案前體的油墨。

具體而言，成膜用油墨的成膜材料包含金屬粒子。而且，成膜用油墨是使金屬粒子分散于分散介質(zhì)而成的分散液。

作為該金屬粒子，優(yōu)選使用銀粒子，銀粒子的平均粒徑優(yōu)選的是1nm以上100nm以下，更優(yōu)選的是10nm以上30nm以下。由此，能夠更加提高油墨的排出穩(wěn)定性，并且能夠容易地形成微小的導(dǎo)體圖案。此外，在本說明書中，“平均粒徑”只要未特別指出，則指的是體積基準(zhǔn)的平均粒徑。

此外，銀粒子(金屬粒子)優(yōu)選的是作為在其表面附著有分散劑的銀膠體粒子(金屬膠體粒子)而分散到分散介質(zhì)中。由此，銀粒子向水系分散介質(zhì)的分散性變得特別優(yōu)異，油墨的排出穩(wěn)定性尤其優(yōu)異。

油墨中的銀膠體粒子的含量優(yōu)選的是1wt％以上60wt％以下，更優(yōu)選的是10wt％以上50wt％以下。

此外，用于形成導(dǎo)體圖案的成膜用油墨的成膜材料也可以包含有機(jī)粘合劑。有機(jī)粘合劑在由成膜用油墨形成的導(dǎo)體圖案前體中防止銀粒子的聚集。此外，在燒結(jié)時(shí)，有機(jī)粘合劑能夠被分解并去除，導(dǎo)體圖案前體中的銀粒子彼此結(jié)合而形成導(dǎo)體圖案。

作為有機(jī)粘合劑，不被特別限定，例如可列舉聚乙二醇#200(重均分子量200)、聚乙二醇#300(重均分子量300)、聚乙二醇#400(平均分子量400)、聚乙二醇#600(重均分子量600)、聚乙二醇#1000(重均分子量1000)、聚乙二醇#1500(重均分子量1500)、聚乙二醇#1540(重均分子量1540)、聚乙二醇#2000(重均分子量2000)等聚乙二醇、聚乙烯醇#200(重均分子量：200)、聚乙烯醇#300(重均分子量：300)、聚乙烯醇#400(平均分子量：400)、聚乙烯醇#600(重均分子量：600)、聚乙烯醇#1000(重均分子量：1000)、聚乙烯醇#1500(重均分子量：1500)、聚乙烯醇#1540(重均分子量：1540)、聚乙烯醇#2000(重均分子量：2000)等聚乙烯醇、聚甘油，聚甘油酯等具有聚甘油骨架的聚甘油化合物，能夠組合地使用它們之中的一種或者兩種以上。此外，作為聚甘油酯，例如可列舉聚甘油的單硬脂酸酯、三硬酯酸酯、四硬酯酸酯、單油酸、季戊四醇油酸酯、單月桂酸酯、單辛酸、聚蓖麻醇酸酯、倍半硬脂酸酯、十油酸酯(decaoleate)、倍半異硬脂酸(sesquioleate)等。

此外，油墨中的有機(jī)粘合劑的含量優(yōu)選的是1wt％以上30wt％以下，更優(yōu)選的是5wt％以上20wt％以下。由此，能夠使油墨的排出穩(wěn)定性特別優(yōu)異，并且能夠更有效地防止裂縫、斷線的產(chǎn)生。與此相對，若有機(jī)粘合劑的含量小于上述下限值，則根據(jù)有機(jī)粘合劑的組成，會有防止裂縫產(chǎn)生的效果變小的情況。此外，若有機(jī)粘合劑的含量超過上述上限值，則根據(jù)有機(jī)粘合劑的組成，會有難以充分降低油墨的粘度的情況。

(電子設(shè)備)

圖8是表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動型(或者筆記本型)的個人計(jì)算機(jī)的構(gòu)成的立體圖。

在該圖中，個人計(jì)算機(jī)1100由具備鍵盤1102的主體部1104和具備顯示部的顯示單元1106構(gòu)成，顯示單元1106經(jīng)由鉸接構(gòu)造部可轉(zhuǎn)動地支承于主體部1104。

在該個人計(jì)算機(jī)1100中，顯示單元1106所具備的顯示部由上述的顯示裝置300構(gòu)成。

圖9是表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動電話機(jī)(也包含phs)的構(gòu)成的立體圖。

在該圖中，移動電話機(jī)1200在具備多個操作按鈕1202、受話器1204以及送話器1206的同時(shí)還具備顯示部。

在移動電話機(jī)1200中，該顯示部由上述的顯示裝置300構(gòu)成。

圖10是表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼相機(jī)的構(gòu)成的立體圖。此外，在該圖中，也簡易地示出了與外部設(shè)備之間的連接。

這里，相對于通常的相機(jī)是通過被拍攝體的光圖像對鹵化銀拍照膠片進(jìn)行感光，數(shù)碼相機(jī)1300利用ccd(chargecoupleddevice)等拍攝元件對被拍攝體的光圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換而生成拍攝信號(圖像信號)。

在數(shù)碼相機(jī)1300中的殼體(主體)1302的背面設(shè)有顯示部，并構(gòu)成為基于ccd的拍攝信號進(jìn)行顯示，作為將被拍攝體顯示為電子圖像的取景器發(fā)揮功能。

在數(shù)碼相機(jī)1300中，該顯示部由上述的顯示裝置300構(gòu)成。

在殼體的內(nèi)部設(shè)置有電路基板1308。該電路基板1308設(shè)置有可儲存(存儲)拍攝信號的存儲器。

此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖示的構(gòu)成背面?zhèn)?設(shè)有包含光學(xué)透鏡(拍攝光學(xué)系)、ccd等的光接收單元1304。

若拍攝者確認(rèn)顯示于顯示部的被拍攝體像并按下快門按鈕1306，則該時(shí)刻的ccd的拍攝信號被轉(zhuǎn)送·儲存到電路基板1308的存儲器。

此外，在該數(shù)碼相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)有視頻信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖示那樣，根據(jù)需要，在視頻信號輸出端子1312連接有電視監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314連接有個人計(jì)算機(jī)1440。而且構(gòu)成為，通過規(guī)定的操作，將儲存于電路基板1308的存儲器的拍攝信號向電視監(jiān)視器1430、個人計(jì)算機(jī)1440輸出。

這種具有本發(fā)明的具有膜的裝置的電子設(shè)備具有優(yōu)異的可靠性。

此外，本發(fā)明的電子設(shè)備除了圖8的個人計(jì)算機(jī)(移動型個人計(jì)算機(jī))，圖9的移動電話機(jī)、圖10的數(shù)碼相機(jī)之外，例如能夠應(yīng)用于電視、攝像機(jī)、取景器型、監(jiān)視器直視型的視頻磁帶記錄器、便攜型個人計(jì)算機(jī)、車輛導(dǎo)航裝置、呼機(jī)、電子記事本(也包含附帶通信功能)、電子辭典、電子計(jì)算器、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、電視電話、防盜用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、pos終端，具備觸摸面板的設(shè)備(例如金融機(jī)構(gòu)的自動提款機(jī)、自動售票機(jī))、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電顯示裝置、超聲波診斷裝置、內(nèi)窺鏡用顯示裝置)、魚群探知機(jī)、各種測量設(shè)備、計(jì)量儀器類(例如，車輛、飛機(jī)、船舶的計(jì)量儀器類)、飛行模擬裝置、其他各種監(jiān)視器類、投影儀等投射型顯示裝置等。

以上，基于圖示的實(shí)施方式說明了本發(fā)明的成膜用油墨、成膜方法、具有膜的裝置以及電子設(shè)備，但本發(fā)明并不限定于這些。

例如，在上述實(shí)施方式中，說明了發(fā)光元件具有三層發(fā)光層的情況，但發(fā)光層也可以是一層或者雙層，還可以是四層以上。此外，作為發(fā)光層的發(fā)光色，并不限定于上述實(shí)施方式的r、g、b。

此外，在使用本發(fā)明的成膜方法層疊多個層的情況下，通過選定在之后的膜形成時(shí)使用的液性介質(zhì)的種類、或使先前形成的膜進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)，能夠防止之前形成的膜在之后的膜形成時(shí)溶解。

此外，作為本發(fā)明的具有膜的裝置，并不限定于上述濾色器、發(fā)光裝置、布線基板，只要是具有使用成膜用油墨而形成的膜的裝置即可，能夠應(yīng)用于各種裝置。

實(shí)施例

接下來，對本發(fā)明的具體的實(shí)施例進(jìn)行說明。

·基于成膜用油墨的膜的形成

1.使用了高分子的空穴輸送材料(空穴注入材料)作為成膜材料的情況下

1-1.成膜用油墨的制備

首先，作為空穴輸送性材料(或者空穴注入材料)，準(zhǔn)備聚(n-乙烯基咔唑)(pvk)、聚芴(pf)、聚對亞苯基亞乙烯基(ppv)、聚(甲基苯基硅烷)(pmps)、聚[n,n’-雙(4-丁基苯基)-n,n’-雙(苯基)-聯(lián)苯胺]、聚(2,7-(9,9-二-n-辛基芴)-(1,4-亞苯基-((4-仲丁基苯基)亞氨基)-1,4-亞苯基(tfb)，以使它們的含量成為1.5wt％的方式溶解于液性介質(zhì)，由此分別制備了空穴輸送層(或者空穴注入層)形成用的成膜用油墨。

此外，作為制備這些成膜用油墨時(shí)使用的液性介質(zhì)，作為第一成分，分別準(zhǔn)備二芐醚、4-異丙基聯(lián)苯、二苯甲醇、3-苯氧基甲苯、辛基苯、2-異丙基萘、4-甲基聯(lián)苯、二苯基甲烷、二苯基醚、2-甲基聯(lián)苯、1-甲基萘、苯基環(huán)己烷、庚基苯、己基苯、戊基苯，并如表1所示那樣將這些第一成分用作液性介質(zhì)。此外，除了上述第一成分之外，作為第二成分，分別準(zhǔn)備二乙二醇單苯基醚、甘油、三乙二醇、2-(芐氧基)乙醇、亞氨基二乙酸二乙酯、二乙二醇、丙二醇單苯基醚、乙二醇單苯基醚、1,3-丙二醇，并將采用了表2、3所示的那種第一成分與第二成分的組合、以及含有比例的物質(zhì)用作液性介質(zhì)。

1-2.空穴輸送層(或者空穴注入層)的成膜

首先，準(zhǔn)備設(shè)有隔壁的ito基板，該隔壁具有寬度100μm×300μm的開口部并具有防液性，在該開口部內(nèi)，分別通過噴油墨法供給在上述1-1中制備出的空穴輸送層(或者空穴注入層)形成用的各成膜用油墨，從而形成了液狀覆膜。

之后，通過以25℃進(jìn)行減壓干燥(到達(dá)真空度：10-³pa)，從而分別形成了空穴輸送層(或者空穴注入層)。

此外，通過噴油墨法供給的液滴的重量設(shè)為10ng，向開口部內(nèi)供給16～40滴該液滴。

1-3.膜平坦性的評價(jià)

對于開口部的中央部以及隔壁(堤)的邊緣部測量了在上述1-2中成膜的空穴輸送層(或者空穴注入層)的膜厚(參照圖11。)。然后，基于這些中央部的測量值(中央部膜厚)、邊緣部的測量值(隔壁邊緣膜厚)，根據(jù)以下的三個階段的基準(zhǔn)進(jìn)行了評價(jià)。

○：隔壁邊緣膜厚≤中央部膜厚×1.1

▲：隔壁邊緣膜厚＞中央部膜厚×1.1

×：確認(rèn)到因成膜材料的析出導(dǎo)致成膜不合格

將該評價(jià)結(jié)果分別表示在以下的表1～表7中。

表1

如表1所示，在使液性介質(zhì)單獨(dú)含有第一成分的情況下，使用包含該液性介質(zhì)的成膜用油墨形成的空穴輸送層(或者空穴注入層)由于被抑制了成膜用油墨的滲出，所以隔壁邊緣膜厚比中央部膜厚的1.1倍厚，不能以均勻的膜厚將空穴輸送層(或者空穴注入層)成膜。

與此相對，如表2～7所示，使液性介質(zhì)包含沸點(diǎn)差為30℃以上的第一成分與第二成分，而且使它們的含有率(第二成分：第一成分)為20：100～500：100，由此能夠抑制成膜用油墨的滲出，能夠?qū)⑹褂迷摮赡び糜湍纬傻目昭ㄝ斔蛯?或者空穴注入層)成膜為隔壁邊緣膜厚比中央部膜厚的1.1倍薄，即，能夠成膜為均勻膜厚的空穴輸送層(或者空穴注入層)。

2.使用了高分子的發(fā)光材料作為成膜材料的情況下

2-1.成膜用油墨的制備

首先，作為發(fā)光材料，準(zhǔn)備聚[{9,9-二己基-2,7-雙(1-氰基亞乙烯基)芴基}交替共聚-{2,5-雙(n,n’-二苯基氨基)-1,4-亞苯基}]、poly(9,9-二己基芴基-2,7-二基)、聚[(9,9-二辛基芴基-2,7-二基)-co-(n,n’-聯(lián)苯基)-n,n’-二(p-丁苯)1,4-二氨基-苯)]，以使它們的含量為1.6wt％的方式溶解于液性介質(zhì)，由此分別制備了發(fā)光層形成用的成膜用油墨。

此外，作為制備這些成膜用油墨時(shí)使用的液性介質(zhì)，作為第一成分，分別準(zhǔn)備二芐醚、4-異丙基聯(lián)苯、二苯甲醇、3-苯氧基甲苯、辛基苯、2-異丙基萘、4-甲基聯(lián)苯、二苯基甲烷、二苯基醚、2-甲基聯(lián)苯、1-甲基萘、苯基環(huán)己烷、庚基苯、己基苯、戊基苯，并如表4所示，將這些第一成分用作液性介質(zhì)。此外，除了上述第一成分之外，作為第二成分，分別準(zhǔn)備二乙二醇單苯基醚、甘油、三乙二醇、2-(芐氧基)乙醇、亞氨基二乙酸二乙酯、二乙二醇、丙二醇單苯基醚、乙二醇單苯基醚、1,3-丙二醇，并將采用了表5、6所示的那種第一成分與第二成分的組合、以及含有比例的物質(zhì)用作液性介質(zhì)。

2-2.發(fā)光層的成膜

首先，準(zhǔn)備設(shè)有隔壁的ito基板，該隔壁具有寬度100μm×300μm的開口部且具有防液性，分別通過噴油墨法向該開口部內(nèi)供給在上述2-1中制備的發(fā)光層形成用的各成膜用油墨，從而形成了液狀覆膜。

之后，通過在25℃進(jìn)行減壓干燥(到達(dá)真空度：10-³pa)，從而分別形成了發(fā)光層。

此外，通過噴油墨法供給的液滴重量設(shè)為10ng，向開口部內(nèi)供給16～40滴該液滴。

2-3.膜平坦性的評價(jià)

對于開口部的中央部以及隔壁(堤)的際部測量了在上述2-2中成膜的發(fā)光層的膜厚(參照圖11。)。然后，基于這些中央部的測量值(中央部膜厚)、邊部的測量值(隔壁邊緣膜厚)，根據(jù)以下的三個階段的基準(zhǔn)進(jìn)行了評價(jià)。

○：隔壁邊緣膜厚≤中央部膜厚×1.1

▲：隔壁邊緣膜厚＞中央部膜厚×1.1

×：確認(rèn)到因成膜材料的析出導(dǎo)致成膜不合格

將該評價(jià)結(jié)果分別表示在以下的表8～表16中。

表8

如表8所示，在使液性介質(zhì)單獨(dú)包含第一成分的情況下，使用包含該液性介質(zhì)的成膜用油墨形成的發(fā)光層由于被抑制了成膜用油墨的滲出，所以隔壁邊緣膜厚比中央部膜厚的1.1倍厚，能夠以均勻的膜厚將發(fā)光層成膜。

與此相對，如表9～16所示，使液性介質(zhì)含有沸點(diǎn)差為30℃以上的第一成分與第二成分，而且使它們的含有率(第二成分：第一成分)為20：100～500：100，由此能夠抑制成膜用油墨的滲出，能夠?qū)⑹褂迷摮赡び糜湍纬傻陌l(fā)光層成膜為隔壁邊緣膜厚比中央部膜厚的1.1倍薄，即，能夠成膜為均勻膜厚的發(fā)光層。

3.使用了低分子的空穴輸送材料(空穴注入材料)作為成膜材料的情況下

3-1.成膜用油墨的制備

首先，作為空穴輸送性材料(或者空穴注入材料)，銅萘酞菁(cupc)、4,4’-(環(huán)己烷-1,1-二基)雙(n,n-二對甲苯基苯胺)(tapc)、n,n’-雙(3-甲基苯基)-n,n’-雙(苯基)-聯(lián)苯胺(tpd)、n,n’-二(萘-1-基)-n,n’-二苯基-聯(lián)苯胺(α-npd)、4,4’,4”-三(3-甲基苯基苯基氨基)三苯基胺(m-mtdata)、4,4’,4”-三{2-萘基(苯基)氨基}三苯基胺(2-tnata)、4,4’,4”-三-9-咔唑基苯基胺(tcta)、1,3,5-三[4-(二苯基氨基)苯基]苯(tdapb)、2,2’,7,7’-四(n,n-二苯基氨基)-9,9’-螺雙芴(螺-tad)、n,n’-二(4-甲基苯基)-n,n’-二苯基-1,4-苯二胺(dppd＝dtp)，三-對-甲苯胺(htm1)、1,1-雙[(二-4-甲苯基氨)苯基]環(huán)己烷(htm2)、1,3,5-三(4-吡啶基)-2,4,6-三嗪(tpt1)、三苯胺四聚體(tpte)準(zhǔn)備，以使它們的含量為1.6wt％的方式溶解于液性介質(zhì)，由此分別制備了空穴輸送層(或者空穴注入層)形成用的成膜用油墨。

此外，作為制備這些成膜用油墨時(shí)使用的液性介質(zhì)，作為第一成分，分別準(zhǔn)備二芐醚、4-異丙基聯(lián)苯、二苯甲醇、3-苯氧基甲苯、辛基苯、2-異丙基萘、4-甲基聯(lián)苯、二苯基甲烷、二苯基醚、2-甲基聯(lián)苯、1-甲基萘、苯基環(huán)己烷、庚基苯、己基苯、戊基苯，并如表7所示那樣將這些第一成分用作液性介質(zhì)。此外，除了上述第一成分之外，作為第二成分，分別準(zhǔn)備二乙二醇單苯基醚、甘油、三乙二醇、2-(芐氧基)乙醇、亞氨基二乙酸二乙酯、二乙二醇、丙二醇單苯基醚、乙二醇單苯基醚、1,3-丙二醇，并將采用了表8、9所示的那種第一成分與第二成分的組合、以及含有比例的物質(zhì)用作液性介質(zhì)。

3-2.空穴輸送層(或者空穴注入層)的成膜

首先，準(zhǔn)備設(shè)有隔壁的ito基板，該隔壁具有寬度100μm×300μm的開口部且具有防液性，在該開口部內(nèi)，分別通過噴油墨法供給在上述3-1中制備的空穴輸送層(或者空穴注入層)形成用的各成膜用油墨，從而形成了液狀覆膜。

之后，通過在25℃進(jìn)行減壓干燥(到達(dá)真空度：10^-3pa)，從而分別形成了空穴輸送層(或者空穴注入層)。

此外，通過噴油墨法供給的液滴重量設(shè)為10ng，向開口部內(nèi)供給16～40滴該液滴。

3-3.膜平坦性的評價(jià)

對于開口部的中央部以及隔壁(堤)的邊緣部測量了在上述3-2中成膜的空穴輸送層(或者空穴注入層)的膜厚(參照圖11。)。然后，基于這些中央部的測量值(中央部膜厚)、邊緣部的測量值(隔壁邊緣膜厚)，根據(jù)以下的三個階段的基準(zhǔn)進(jìn)行了評價(jià)。

○：隔壁邊緣膜厚≤中央部膜厚×1.1

▲：隔壁邊緣膜厚＞中央部膜厚×1.1

×：確認(rèn)到因成膜材料的析出導(dǎo)致成膜不合格

將該評價(jià)結(jié)果分別表示在以下的表17～表24中。

表17

表17所示，在使液性介質(zhì)單獨(dú)含有第一成分的情況下，使用包含該液性介質(zhì)的成膜用油墨形成的空穴輸送層(或者空穴注入層)由于被抑制了成膜用油墨的滲出，所以隔壁邊緣膜厚比中央部膜厚的1.1倍厚，不能以均勻的膜厚將空穴輸送層(或者空穴注入層)成膜。

與此相對，如表18～24所示，使液性介質(zhì)包含沸點(diǎn)差為30℃以上的第一成分與第二成分，而且使它們的含有率(第二成分：第一成分)為20：100～500：100，由此能夠抑制成膜用油墨的滲出，能夠?qū)⑹褂迷摮赡び糜湍纬傻目昭ㄝ斔蛯?或者空穴注入層)成膜為隔壁邊緣膜厚比中央部膜厚的1.1倍薄，即，能夠成膜為均勻膜厚的空穴輸送層(或者空穴注入層)。

4.在使用了低分子的發(fā)光材料作為成膜材料的情況下

4-1.成膜用油墨的制備

首先，作為發(fā)光材料所包含的主體材料，分別準(zhǔn)備4,4'-n,n'-二咔唑-聯(lián)苯(cbp)、balq、mcp、cdbp、dcb、p06、simcp、ugh3、tdapb，作為紅色發(fā)光材料(摻雜劑)，分別準(zhǔn)備bt2ir(acac)、btp2ir(acac)、ptoep，作為綠色發(fā)光材料(摻雜劑)，分別準(zhǔn)備ir(ppy)3、ppy2ir(acac)，作為藍(lán)色發(fā)光材料(摻雜劑)，分別準(zhǔn)備firpic、ir(pmb)3、firn4、firtaz，在各主體材料與各發(fā)光材料(紅色發(fā)光材料、綠色發(fā)光材料、藍(lán)色發(fā)光材料)的組合中，以使主體材料的含量為97wt％、發(fā)光材料的含量為3wt％的方式溶解于液性介質(zhì)，由此分別制備了發(fā)光層形成用的成膜用油墨。

此外，作為制備這些成膜用油墨時(shí)使用的液性介質(zhì)，作為第一成分，分別準(zhǔn)備了二芐醚、4-異丙基聯(lián)苯、二苯甲醇、3-苯氧基甲苯、辛基苯、2-異丙基萘、4-甲基聯(lián)苯、二苯基甲烷、二苯基醚、2-甲基聯(lián)苯、1-甲基萘、苯基環(huán)己烷、庚基苯、己基苯、戊基苯，如表10所示，將這些第一成分作為液性介質(zhì)而使用。此外，除了上述第一成分之外，作為第二成分，分別準(zhǔn)備了二乙二醇單苯基醚、甘油、三乙二醇、2-(芐氧基)乙醇、亞氨基二乙酸二乙酯、二乙二醇、丙二醇單苯基醚、乙二醇單苯基醚、1,3-丙二醇，并將采用了表11、12所示的那種第一成分與第二成分的組合、以及含有比例的物質(zhì)用作液性介質(zhì)。

4-2.發(fā)光層的成膜

首先，準(zhǔn)備設(shè)有隔壁的ito基板，該隔壁具有寬度100μm×300μm的開口部并具有防液性，在該開口部內(nèi)，分別通過噴油墨法供給在上述4-1中制備的發(fā)光層形成用的各成膜用油墨，從而形成了液狀覆膜。通過以25℃進(jìn)行減壓干燥(到達(dá)真空度：10^-3pa)，從而分別形成了發(fā)光層。

此外，通過噴油墨法供給的液滴的重量設(shè)為10ng，向開口部內(nèi)供給16～40滴該液滴。

4-3.膜平坦性的評價(jià)

對于開口部的中央部以及隔壁(堤)的邊緣部測量了在上述4-2中成膜的發(fā)光層的膜厚(參照圖11。)。然后，基于這些中央部的測量值(中央部膜厚)、邊緣部的測量值(隔壁邊緣膜厚)，根據(jù)以下的三個階段的基準(zhǔn)進(jìn)行了評價(jià)。

○：隔壁邊緣膜厚≤中央部膜厚×1.1

▲：隔壁邊緣膜厚＞中央部膜厚×1.1

×：確認(rèn)到因成膜材料的析出導(dǎo)致成膜不合格

將該評價(jià)結(jié)果分別表示在以下的表25～表31中。

表25

如表25所示，在使液性介質(zhì)單獨(dú)含有第一成分的情況下，使用包含該液性介質(zhì)的成膜用油墨形成的發(fā)光層由于被抑制了成膜用油墨的滲出，所以隔壁邊緣膜厚比中央部膜厚的1.1倍厚，不能以均勻的膜厚將發(fā)光層成膜。

與此相對，如表26～31所示，使液性介質(zhì)包含沸點(diǎn)差為30℃以上的第一成分與第二成分，而且使它們的含有率(第二成分：第一成分)為20：100～500：100，由此能夠抑制成膜用油墨的滲出，能夠?qū)⑹褂迷摮赡び糜湍纬傻陌l(fā)光層成膜為隔壁邊緣膜厚比中央部膜厚的1.1倍薄，即，能夠成膜為均勻膜厚的發(fā)光層。

附圖標(biāo)記說明

1、4a、成膜用油墨1a、液狀覆膜

1b、膜3、陽極

4、空穴注入層5、空穴輸送層

6、紅色發(fā)光層10、電子輸送層

11、電子注入層12、陰極

14、層疊體14r、14g、14b、層疊體

15、15a、基材16、隔壁

17、開口部19、透射層

19b、著色層19ba、成膜用油墨

19g、著色層19ga、成膜用油墨

19r、著色層19ra、成膜用油墨

20、基板21、基板

22、平坦化層24、開關(guān)元件

27、導(dǎo)電部31、隔壁

311、隔壁面32、反射膜

33、防腐蝕膜34、陰極罩

35、樹脂層36、隔壁

100、液滴排出裝置101、發(fā)光裝置

102、濾波器103、濾色器

110、頭111、頭主體

112、振動板113、壓電元件

114、主體115、噴嘴板

115p、油墨排出面116、儲液箱

117、油墨室118、噴嘴

130、基座140、工作臺

170、工作臺定位機(jī)構(gòu)171、第1移動機(jī)構(gòu)

172、馬達(dá)180、頭定位機(jī)構(gòu)

181、第2移動機(jī)構(gòu)182、線性馬達(dá)

183、184、185、馬達(dá)190、控制裝置

191、驅(qū)動電路200、200r、200g、200b、發(fā)光元件

241、半導(dǎo)體層242、柵極絕緣層

243、柵極電極244、源極電極

245、漏極電極300、顯示裝置

300r、300g、300b、子像素1100、個人計(jì)算機(jī)

1102、鍵盤1104、主體部

1106、顯示單元1200、移動電話機(jī)

1202、操作按鈕1204、受話器

1206、送話器1300、數(shù)碼相機(jī)

1302、殼體1304、光接收單元

1306、快門按鈕1308、電路基板

1312、視頻信號輸出端子1314、輸入輸出端子

1430、電視監(jiān)視器1440、個人計(jì)算機(jī)

b、g、r、光。