部件密封用薄膜的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供部件密封用薄膜的制造方法，其可以抑制制造時的空隙的產(chǎn)生，可以提高使用時的封裝性，可以抑制固化時的膨脹。部件密封用薄膜的制造方法，該方法包括：(A)準(zhǔn)備帶有支撐體的臨時樹脂組合物層的步驟，所述帶有支撐體的臨時樹脂組合物層具有支撐體和設(shè)置于該支撐體且厚度為100μm以上的臨時樹脂組合物層；和(B)在所述帶有支撐體的臨時樹脂組合物層的臨時樹脂組合物層上涂布樹脂組合物，并對涂膜進(jìn)行干燥處理，使之與所述臨時樹脂組合物層一體化的步驟；其中，將所述步驟(B)僅進(jìn)行1次、或重復(fù)2次以上，在所述支撐體上形成厚度超過200μm且為700μm以下的樹脂組合物層。
【專利說明】部件密封用薄膜的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于密封電子部件等部件的部件密封用薄膜的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，智能手機(jī)、平板終端（平板PC)等小型高功能攜帶終端的需求不斷增大。 對于用于使這類高功能攜帶終端發(fā)揮功能的半導(dǎo)體裝置等，要求進(jìn)一步的小型化和高功能 化。作為這類半導(dǎo)體裝置的結(jié)構(gòu)，例如，以內(nèi)包2個以上的方式密封半導(dǎo)體芯片等部件的多 芯片封裝，進(jìn)一步將多個多芯片封裝彼此相互接合、進(jìn)而一體地密封，由此構(gòu)成的被稱為封 裝體疊層（PoP)的結(jié)構(gòu)受到關(guān)注。
[0003] 此外，作為可通過將半導(dǎo)體芯片、電容器等部件內(nèi)裝于內(nèi)層電路基板而增大部件 的搭載量并且實現(xiàn)小型化的印刷線路板，提出了部件內(nèi)裝電路板。
[0004] 為了對如上所述的多芯片封裝、封裝體疊層、部件內(nèi)裝電路板中所含的部件進(jìn)行 密封，有時可使用在支撐體上設(shè)置有作為密封材料的樹脂組合物層的片材材料。
[0005] 對于這種以往的片材材料，由于有時樹脂組合物層的厚度不足，無法將部件充分 密封，因而為了使樹脂組合物層的厚度變得更厚，提出了將設(shè)置有樹脂組合物層的片材材 料的樹脂組合物層彼此貼合的方法（參照專利文獻(xiàn)1)。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2012-25907號公報。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 發(fā)明要解決的問題 然而，為了使樹脂組合物層的厚度變得更厚而將預(yù)先形成的2片片材材料彼此貼合的 上述【背景技術(shù)】的方法中，由于貼合步驟，而在由貼合步驟形成的更厚的樹脂組合物層內(nèi)產(chǎn) 生空隙、或發(fā)生剝離而部分地變得品質(zhì)不均勻，特別是由于將貼合步驟后片材狀材料以卷 狀卷取時貼合于樹脂組合物層的兩主面的載體材料（支撐體、保護(hù)膜等）的厚度較厚，因而 存在產(chǎn)生卷歪或皺折等的問題。
[0008] 用于解決問題的方法 本發(fā)明人根據(jù)近年來的技術(shù)進(jìn)步，鑒于可以在實施成膜步驟的同時對所形成的層的厚 度進(jìn)行測定、管理的狀況，發(fā)現(xiàn)通過利用直接涂布，將樹脂組合物層的厚度控制為規(guī)定的厚 度并進(jìn)一步加厚的以往認(rèn)為困難的方法，可以解決上述問題，從而完成了本發(fā)明。即，本發(fā) 明提供下述〔1〕?〔16〕。
[0009] 〔 1〕部件密封用薄膜的制造方法，該方法包括： (A)準(zhǔn)備帶有支撐體的臨時樹脂組合物層（仮樹脂組成物層）的步驟，所述帶有支撐體 的臨時樹脂組合物層具有支撐體和設(shè)置于該支撐體且厚度為IOOym以上的臨時樹脂組合 物層；和 (B)在所述帶有支撐體的臨時樹脂組合物層的臨時樹脂組合物層上涂布樹脂組合物而 形成涂膜，對該涂膜進(jìn)行干燥處理，使之與所述臨時樹脂組合物層一體化的步驟， 將所述步驟（B)僅進(jìn)行1次、或重復(fù)2次以上，在所述支撐體上形成厚度超過200 μ m 且為700 μ m以下的樹脂組合物層； 〔2〕〔1〕所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，使用于形成所述臨時樹脂組合物層 的樹脂組合物的組成與用于形成所述涂膜的樹脂組合物的組成為相同的組成來形成所述 樹脂組合物層； 〔3〕〔1〕或〔2〕所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述步驟（A)是如下步驟： 通過在所述支撐體上涂布樹脂組合物，進(jìn)行干燥處理而形成臨時樹脂組合物層，由此準(zhǔn)備 帶有支撐體的臨時樹脂組合物層； 〔4〕〔1〕?〔3〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，將用于對所述涂膜 進(jìn)行干燥的干燥條件中的溫度設(shè)為70°C?150°C，將時間設(shè)為3分鐘?15分鐘； 〔5〕〔4〕所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，使用于形成所述臨時樹脂組合物層 的第1干燥條件與用于形成所述樹脂組合物層的第2干燥條件不同來進(jìn)行所述干燥處理； 〔6〕〔5〕所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，使所述第1干燥條件的時間短于所 述第2干燥條件的時間； 〔7〕〔1〕?〔6〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述臨時樹脂組合 物層的厚度為100 μ m?200 μ m ; 〔8〕〔1〕?〔7〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，在僅進(jìn)行1次所述 步驟（B)時，通過該步驟（B)附加的部分的厚度為100 μ m?200 μ m ;在重復(fù)2次以上進(jìn)行 所述步驟（B)時，通過2次以上的該步驟（B)附加的部分的厚度分別為100 μ m?200 μ m ; 〔9〕〔1〕?〔8〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，將所述步驟（B)僅 進(jìn)行1次、或僅重復(fù)2次； 〔10〕〔1〕?〔9〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述支撐體為經(jīng)脫 模處理的聚對苯二甲酸乙二醇酯膜； 〔11〕〔1〕?〔10〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述樹脂組合物 含有環(huán)氧樹脂、固化劑和無機(jī)填充材料； 〔12〕〔1〕?〔11〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，使用長條的支撐 體作為所述支撐體，以卷對卷（roll-to-roll)方式來進(jìn)行所述步驟（A)和所述步驟（B)中 的任一者或兩者； 〔13〕〔1〕?〔12〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述部件密封用 薄膜是進(jìn)一步具有接合于樹脂組合物層、且其厚度比所述支撐體的厚度薄的保護(hù)膜的卷狀 的部件密封用薄膜； 〔14〕〔1〕?〔13〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述樹脂組合物 層的最低熔融粘度為50泊?10000泊的范圍； 〔15〕〔1〕?〔14〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述樹脂組合物 層的殘留溶劑率為5質(zhì)量％以下； 〔16〕〔1〕?〔15〕中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述樹脂組合物 層的殘留溶劑率為1. 5質(zhì)量％?5質(zhì)量％。
[0010] 根據(jù)本發(fā)明的部件密封用薄膜的制造方法，可在部件密封用薄膜的制造時抑制空 隙的產(chǎn)生，可以成品率良好地制造厚度為200 μ m左右以上的較厚的高品質(zhì)的部件密封用 薄膜。進(jìn)而，通過本發(fā)明的部件密封用薄膜的制造方法而得的部件密封用薄膜是最低熔融 粘度低、封裝性優(yōu)異、固化時難以在樹脂組合物層（固化體）內(nèi)產(chǎn)生空隙的優(yōu)異的薄膜，因 而可適宜地用于搭載或內(nèi)裝于多芯片封裝、封裝體疊層、部件內(nèi)裝電路板等的部件的密封 步驟。

【具體實施方式】
[0011][部件密封用薄膜的制造方法] 以下，對于本發(fā)明的部件密封用薄膜（以下，有時稱為粘接膜）的制造方法進(jìn)行詳細(xì)說 明。
[0012] 本發(fā)明的部件密封用薄膜的制造方法的特征在于，該方法包括：(A)準(zhǔn)備帶有支 撐體的臨時樹脂組合物層的步驟，所述帶有支撐體的臨時樹脂組合物層具有支撐體和設(shè)置 于該支撐體的臨時樹脂組合物層（稱為步驟（A));和（B)在帶有支撐體的臨時樹脂組合物 層的臨時樹脂組合物層上涂布樹脂組合物，并對涂膜進(jìn)行干燥處理，使之與臨時樹脂組合 物層一體化的步驟（稱為步驟（B));其中，將步驟（B)僅進(jìn)行1次、或重復(fù)2次以上，在支 撐體上形成厚度超過200 μ m且為700 μ m以下的樹脂組合物層。
[0013] 這里，"樹脂組合物"意指包含用于形成臨時樹脂組合物層、樹脂組合物層的材料 (成分）的組合物。此外，將樹脂組合物進(jìn)一步溶解或分散于有機(jī)溶劑等介質(zhì)（溶劑）而成 的液狀體稱為樹脂清漆。即，樹脂清漆是"樹脂組合物"的一個形式。所以，本說明書中提 及"樹脂組合物"的情形有時也包含"樹脂清漆"。
[0014] 進(jìn)而，"臨時樹脂組合物層"和"樹脂組合物層"是指對由樹脂組合物形成的涂膜進(jìn) 行干燥處理、并使揮發(fā)成分的含量（溶劑殘留量）為規(guī)定量以下的層結(jié)構(gòu)體。
[0015] 將樹脂組合物用金屬型涂料機(jī)等以往公知的任意適宜的涂布方式涂布于支撐體 而形成涂膜，并對該涂膜進(jìn)行干燥處理，藉此可形成臨時樹脂組合物層和樹脂組合物層。
[0016] < 步驟（A) > 首先，進(jìn)行步驟（A):準(zhǔn)備帶有支撐體的臨時樹脂組合物層，所述帶有支撐體的臨時樹 脂組合物層具有支撐體和設(shè)置于該支撐體的臨時樹脂組合物層。
[0017] 作為步驟（A)的帶有支撐體的臨時樹脂組合物層，例如，可以使用預(yù)先制造、并在 規(guī)定儲藏條件下儲藏的帶有支撐體的臨時樹脂組合物層，此外，也可以使用市售的帶有支 撐體的臨時樹脂組合物層（在支撐體上設(shè)置有相當(dāng)于"臨時樹脂組合物層"的樹脂組合物 層的結(jié)構(gòu)體）。
[0018] (支撐體） 支撐體是由具有相對的2個主面的板狀體或膜形成的結(jié)構(gòu)體。作為支撐體，可舉出例 如：由塑料材料形成的膜、金屬箔、脫模紙，優(yōu)選為由塑料材料形成的膜、金屬箔。作為支撐 體，還可以使用長條的膜。
[0019] 作為使用由塑料材料形成的膜來作為支撐體時的塑料材料，可舉出例如：聚對苯 二甲酸乙二醇酯（PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN)等聚酯，聚碳酸酯（PC)、聚甲基丙烯酸 甲酯（PMMA)等丙烯酸類、環(huán)狀聚烯烴、三乙酰基纖維素（TAC)、聚醚砜（PES)、聚醚酮、聚酰 亞胺等。其中，優(yōu)選聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯，特別優(yōu)選廉價的聚對苯 二甲酸乙二醇酯。
[0020] 使用金屬箔作為支撐體時，作為金屬箔，可舉出例如：銅箔、鋁箔等，優(yōu)選銅箔。作 為銅箔，可以使用由銅的單金屬構(gòu)成的箔，也可以使用由銅與其它金屬（例如，錫、鉻、銀、 鎂、鎳、鋯、硅、鈦等）的合金構(gòu)成的箔。
[0021] 支撐體中，可以對與后述臨時樹脂組合物層或樹脂組合物層接合的面、涂布有樹 脂組合物的面實施消光處理、電暈處理。
[0022] 此外，作為支撐體，可以使用在與臨時樹脂組合物層或樹脂組合物層接合一側(cè)、涂 布有樹脂組合物一側(cè)具有脫模層的帶有脫模層的支撐體。作為帶有脫模層的支撐體的脫模 層的形成中所使用的脫模劑，可舉出例如選自醇酸樹脂、聚烯烴樹脂、聚氨酯樹脂、和有機(jī) 硅樹脂中的1種以上的脫模劑。帶有脫模層的支撐體可以使用市售品，可舉出例如，具有以 醇酸樹脂系脫模劑為主成分的脫模層的PET膜，即，U 7夕（株）制的"SK-l"、"AL-5"、 "AL-7" 等。
[0023] 支撐體的厚度沒有特別限定，優(yōu)選為5 μ m?75 μ m的范圍、更優(yōu)選為10 μ m? 60 μ m的范圍。應(yīng)予說明，使用帶有脫模層的支撐體時，帶有脫模層的支撐體整體的厚度優(yōu) 選為上述范圍內(nèi)。
[0024](臨時樹脂組合物層） 用于形成臨時樹脂組合物層的樹脂組合物的材料（成分）如下述。
[0025] 用于形成臨時樹脂組合物層的涂膜的干燥處理可通過加熱、吹送熱風(fēng)等公知的任 意適宜的干燥方法來實施。通過該干燥處理，涂膜被制為臨時樹脂組合物層。這里，將用于 形成臨時樹脂組合物層的干燥條件稱為"第1干燥條件"。第1干燥條件可以考慮樹脂組 合物或樹脂清漆所含的有機(jī)溶劑的沸點等來確定。對于第1干燥條件，例如在使用含有30 質(zhì)量％?60質(zhì)量％的有機(jī)溶劑的樹脂清漆時，可以將溫度設(shè)為70°C?150°C、將時間設(shè)為 3分鐘?15分鐘。應(yīng)予說明，從提高成品率的觀點、提高厚度的精度的觀點出發(fā)，臨時樹脂 組合物層的厚度優(yōu)選為IOOym以上、更優(yōu)選為150 μ m以上。此外，從容易進(jìn)行涂布后的干 燥處理的觀點出發(fā)，臨時樹脂組合物層的厚度優(yōu)選為200 μ m以下。
[0026] 如上所述準(zhǔn)備"帶有支撐體的臨時樹脂組合物層"（以下，有時稱為臨時粘接膜）。
[0027] 將在帶有支撐體的臨時樹脂組合物層、或臨時樹脂組合物層上進(jìn)行了 1次以上樹 脂組合物的涂布和干燥處理的制造過程中的結(jié)構(gòu)體暫時儲藏時，即將樹脂組合物層的制造 步驟暫時中斷并隔一段時間再恢復(fù)時，優(yōu)選進(jìn)一步設(shè)置接合于未與臨時樹脂組合物層的支 撐體接合一側(cè)的面（即，與支撐體相反側(cè)的面）的保護(hù)膜。該保護(hù)膜有助于防止垃圾等對 臨時樹脂組合物層的附著或劃傷。作為保護(hù)膜，可使用例如聚丙烯膜、聚乙烯膜等。此外 還可以使用由與支撐體的材料相同的材料構(gòu)成的膜。保護(hù)膜的厚度沒有特別限定，例如為 1 μ m?40 μ m。保護(hù)膜的厚度優(yōu)選比支撐體的厚度薄。
[0028] 帶有支撐體的臨時樹脂組合物層上的保護(hù)膜的貼合可以使用以往公知的層合機(jī) 裝置來進(jìn)行。
[0029] < 步驟（B) > 接著，進(jìn)行在由步驟（A)準(zhǔn)備的帶有支撐體的臨時樹脂組合物層的臨時樹脂組合物層 上涂布樹脂組合物而形成涂膜，并將該涂膜干燥而使之與臨時樹脂組合物層一體化的步驟 ⑶。
[0030] 步驟⑶僅進(jìn)行1次、或重復(fù)2次以上，以厚度（的總計）超過200 μ m且為700 μ m 以下的規(guī)定厚度的方式將樹脂組合物層形成于支撐體。通過如此使樹脂組合物層的厚度超 過200 μ m，可以適宜地進(jìn)彳丁部件的?封，通過使厚度為700 μ m以下，可以提商成品率。樹脂 組合物層的厚度優(yōu)選為210 μ m?700 μ m、220 μ m?700 μ m、230 μ m?700 μ m、240 μ m? 650 μ m、250 μ m ?600 μ m。
[0031] 本發(fā)明的部件密封用薄膜的制造中，從提高成品率的觀點、抑制涂布次數(shù)而使異 物附著等的風(fēng)險降低的觀點、使樹脂組合物層的厚度的精度提高的觀點出發(fā)，前述步驟（B) 優(yōu)選僅進(jìn)行1次、或僅重復(fù)2次。
[0032] (1)僅進(jìn)行1次步驟⑶的情形 該情形中，在臨時樹脂組合物層上涂布樹脂組合物而形成涂膜，并對該涂膜進(jìn)行干燥 處理，使之與臨時樹脂組合物層一體化，由此形成規(guī)定厚度的樹脂組合物層。
[0033] 此時，用于形成步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層的樹脂組合物的組成與用于形 成步驟（B)所述的涂膜的樹脂組合物的組成可以相同或不同。
[0034] 此外，步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層的厚度與樹脂組合物層中的通過步驟 (B)附加的部分的厚度可以相同或不同。換而言之，可以以（i)使通過步驟（B)附加的部分 的厚度與臨時樹脂組合物層的厚度為相同厚度的方式形成，也可以以（ii)使通過步驟（B) 附加的部分的厚度與臨時樹脂組合物層的厚度為不同厚度的方式形成。
[0035] 前述（ii)的情形中，可以以使臨時樹脂組合物層的厚度較通過步驟⑶附加的部 分的厚度更厚的方式形成，也可以以臨時樹脂組合物層的厚度較通過步驟（B)附加的部分 的厚度更薄的方式形成。
[0036] 通過步驟⑶附加的部分的厚度優(yōu)選為100 μ m?200 μ m。只要為這樣的范圍，則 可以使樹脂組合物層的厚度的精度變得良好，可以成品率良好地形成樹脂組合物層。
[0037] (2)將步驟⑶重復(fù)進(jìn)行2次以上的情形 此時，在步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層上涂布樹脂組合物而形成涂膜，并對該涂 膜進(jìn)行干燥的步驟重復(fù)2次以上，使各步驟中所形成的層與臨時樹脂組合物層一體化，由 此形成規(guī)定厚度的樹脂組合物層。
[0038] 應(yīng)予說明，重復(fù)2次以上步驟（B)時，將進(jìn)行了 1次以上步驟（B)但未達(dá)到最終的 規(guī)定厚度的制造過程中的層結(jié)構(gòu)也稱為"臨時樹脂組合物層"。
[0039] 此時，用于形成步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層的樹脂組合物的組成、和用于 形成被重復(fù)2次以上的各步驟（B)所述的涂膜的樹脂組合物的組成可以相同或不同。換而 言之，步驟（A)所述的樹脂組合物與2次以上的各步驟（B)中，樹脂組合物的組成可以全部 相同，也可以均不同，也可以它們中的多個相互不同且剩余的相同。
[0040] 此外，步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層的厚度與樹脂組合物層中的通過重復(fù)2 次以上進(jìn)行的各步驟（B)附加的部分的厚度可以相同或不同。換而言之，步驟（A)所述的 臨時樹脂組合物層的厚度、和通過2次以上的步驟（B)附加的部分的厚度各自可以均相同， 也可以均不相同，也可以它們中的多個相互不同且剩余的相同。步驟㈧所述的臨時樹脂 組合物層的厚度、和通過2次以上的步驟（B)附加的部分的厚度各自可通過考慮涂布裝置、 膜的輸送裝置的輸送速度等而如上所述任意適宜地設(shè)定。從臨時樹脂組合物層、樹脂組合 物層的干燥的程度、操作性等觀點出發(fā)，步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層的厚度、和通過 2次以上的步驟（B)附加的部分的厚度各自優(yōu)選設(shè)為200 μ m以下。
[0041] 步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層的厚度、和通過2次以上的步驟（B)附加的部 分的厚度各自均不同時，或它們中的多個相互不同且剩余的相同時的厚度的大小關(guān)系并不 特別限定。
[0042] 通過進(jìn)行2次以上步驟⑶而附加的部分的厚度各自優(yōu)選為ΙΟΟμπι?200μπι。 只要設(shè)為這樣的范圍，則可使厚度的精度變得良好、可以成品率良好地形成樹脂組合物層。 [0043](樹脂組合物層） 用于形成樹脂組合物層的涂膜的干燥處理可以與臨時樹脂組合物層的形成步驟中的 干燥處理相同地，通過加熱、吹送熱風(fēng)等公知的任意適宜的干燥方法來實施。通過該干燥處 理，涂膜與臨時樹脂組合物層一體地構(gòu)成而形成樹脂組合物層。這里，將能夠進(jìn)行1次以上 的步驟（B)所述的干燥條件稱為"第2干燥條件"。第2干燥條件可以考慮樹脂組合物所含 的有機(jī)溶劑的沸點等來確定。第2干燥條件可以將溫度設(shè)為70°C?150°C、將時間設(shè)為3 分鐘?15分鐘。
[0044] 上述干燥處理中，可以使用于形成步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層的第1干燥 條件與步驟（B)所述的第2干燥條件不同來進(jìn)行干燥處理。此時，從提高樹脂組合物層的 厚度的精度的觀點出發(fā)，優(yōu)選使第1干燥條件的時間短于第2干燥條件的時間，和/或使第 1干燥條件的溫度（平均溫度）低于第2干燥條件的溫度（平均溫度）。
[0045] 此外，步驟（A)所述的第1干燥條件和被重復(fù)2次以上的步驟（B)所述的第2干燥 條件各自可以相互相同或不同。換而言之，第1干燥條件和進(jìn)行2次以上的第2干燥條件 各自可以均為相同的條件，也可以均不相同，還可以它們中的多個相互不同且剩余的相同。
[0046] 應(yīng)予說明，一邊輸送卷狀的長條支撐體一邊進(jìn)行第1干燥條件和第2干燥條件所 述的干燥處理時，干燥處理是對正在移動的露出的區(qū)域連續(xù)地進(jìn)行。結(jié)果，長條的臨時樹脂 組合物層、樹脂組合物層均勻地受到干燥處理。
[0047] 此外，所形成的樹脂組合物層的殘留溶劑率優(yōu)選為1. 5質(zhì)量％?5質(zhì)量％。
[0048] 從防止固化時在樹脂組合物層（固化體）內(nèi)產(chǎn)生空隙的觀點出發(fā)，殘留溶劑率優(yōu) 選為5質(zhì)量％以下。此外，從提高樹脂組合物層的操作性的觀點出發(fā)，殘留溶劑率優(yōu)選為 1. 5質(zhì)量％以上。
[0049] 帶有支撐體的臨時樹脂組合物層設(shè)置有與臨時樹脂組合物層接合的保護(hù)膜時，在 將保護(hù)膜剝離時露出的臨時樹脂組合物層上涂布樹脂組合物。
[0050] 上述臨時樹脂組合物層的形成步驟和/或樹脂組合物層的形成步驟優(yōu)選一邊逐 漸測量所形成的臨時樹脂組合物層和/或樹脂組合物層的厚度是否達(dá)到規(guī)定厚度并管理 厚度一邊實施。只要這樣進(jìn)行，則可進(jìn)一步提高樹脂組合物層的厚度的均勻性，可進(jìn)一步提 高部件密封用薄膜的品質(zhì)。
[0051] 步驟（A)和步驟（B)中的任一者或兩者優(yōu)選使用長條的支撐體作為支撐體，以卷 對卷方式進(jìn)行。步驟（A)和步驟（B)中的任一者或兩者可以以間歇方式進(jìn)行，而步驟（A) 和進(jìn)行1次以上的步驟（B)各自可以組合卷對卷方式和間歇方式來進(jìn)行。
[0052] 利用卷對卷方式的臨時樹脂組合物層和/或樹脂組合物層的形成步驟通過下述 方式進(jìn)行：將鋪展于含有卷出輥和卷取輥的至少2根輥間的長條的支撐體（基板、膜）連續(xù) 地輸送、同時對露出于卷出輥和卷取輥間的支撐體的一方的主面涂布樹脂組合物而形成涂 膜，并連續(xù)地對涂膜進(jìn)行干燥處理，從而形成臨時樹脂組合物層或樹脂組合物層，進(jìn)而對連 續(xù)地形成的層的厚度進(jìn)行測定。
[0053] 步驟（A)和進(jìn)行1次或重復(fù)2次以上的步驟（B)還可以以卷對卷方式作為一系列 步驟來實施。若通過卷對卷方式實施這些步驟，則可以進(jìn)一步提高成品率。
[0054] 本發(fā)明的部件密封用薄膜可以進(jìn)一步具備覆蓋未與樹脂組合物層的支撐體接合 一側(cè)的面（即，與支撐體為相反側(cè)的面）的保護(hù)膜。保護(hù)膜有助于防止垃圾等對樹脂組合 物層的附著或劃傷。作為保護(hù)膜的材料，可以使用與針對臨時樹脂組合物層、支撐體進(jìn)行說 明的材料相同的材料。保護(hù)膜的厚度沒有特別限定，例如為Iym?40μπι。特別是在制作 卷狀的部件密封用薄膜時，從可以防止卷歪或皺折的觀點出發(fā)，保護(hù)膜的厚度優(yōu)選較支撐 體的厚度薄。部件密封用薄膜在實施密封步驟時，可通過將保護(hù)膜剝離而使樹脂組合物層 露出來使用。
[0055] <樹脂組合物> 這里，對臨時樹脂組合物層、樹脂組合物層的形成中所用的樹脂組合物的成分進(jìn)行說 明。應(yīng)予說明，本說明書中的說明中，各成分的含量是將樹脂組合物中的不揮發(fā)成分的總計 設(shè)為100質(zhì)量％時的量。
[0056] 如已經(jīng)說明的那樣，部件密封用薄膜含有支撐體、與以接合于該支撐體的方式設(shè) 置的樹脂組合物層。繼而，樹脂組合物層的厚度設(shè)為超過200μπι且為700μπι以下。用作 樹脂組合物層的材料的樹脂組合物可以使用熱固性樹脂，優(yōu)選為含有環(huán)氧樹脂、固化劑和 無機(jī)填充材料的樹脂組合物。樹脂組合物可以進(jìn)一步含有熱塑性樹脂、固化促進(jìn)劑、阻燃劑 和橡膠粒子等添加劑。以下，分別對它們進(jìn)行說明。
[0057] -環(huán)氧樹脂- 作為環(huán)氧樹脂，可舉出例如：雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹 月旨、雙酚AF型環(huán)氧樹脂、二環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂、三苯酚（trisphenol)環(huán)氧樹脂、萘酚酚醛 清漆環(huán)氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、叔丁基-兒茶酚型環(huán)氧樹脂、萘型環(huán)氧樹脂、萘 酚型環(huán)氧樹脂、蒽型環(huán)氧樹脂、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛 清漆型環(huán)氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、線性脂肪族環(huán)氧樹脂、具有丁二烯結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂、月旨 環(huán)式環(huán)氧樹脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹脂、含螺環(huán)的環(huán)氧樹脂、環(huán)己烷二甲醇型環(huán)氧樹脂、亞萘基醚 型環(huán)氧樹脂和三羥甲基型環(huán)氧樹脂等。環(huán)氧樹脂可以1種單獨使用，或并用2種以上。
[0058] 環(huán)氧樹脂優(yōu)選包含在1分子中具有2個以上環(huán)氧基的環(huán)氧樹脂。將環(huán)氧樹脂的不 揮發(fā)成分設(shè)為100質(zhì)量％時，優(yōu)選至少50質(zhì)量％以上是在1分子中具有2個以上環(huán)氧基的 環(huán)氧樹脂。其中，優(yōu)選含有在1分子中具有2個以上環(huán)氧基且在溫度20°C下為液狀的環(huán)氧 樹脂（以下，稱為"液狀環(huán)氧樹脂")、與在1分子中具有3個以上環(huán)氧基且在溫度20°C下為 固體狀的環(huán)氧樹脂（以下，稱為"固體狀環(huán)氧樹脂"）。作為環(huán)氧樹脂，通過并用液狀環(huán)氧樹 脂與固體狀環(huán)氧樹脂，可得到具有優(yōu)異撓性的樹脂組合物。此外，將樹脂組合物固化而形成 的密封層（固化體）的斷裂強(qiáng)度也提高。
[0059] 作為液狀環(huán)氧樹脂，優(yōu)選例如雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、苯酚酚醛 清漆型環(huán)氧樹脂、2官能脂肪族環(huán)氧樹脂、或萘型環(huán)氧樹脂，可舉出雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙 酚F型環(huán)氧樹脂、或萘型環(huán)氧樹脂。作為液狀環(huán)氧樹脂的具體例，可舉出：DIC(株）制的 "HP4032"、"HP4032D"、"HP4032SS"（萘型環(huán)氧樹脂）、三菱化學(xué)（株）制的"jER828EL"、 " jER1007"（雙酚A型環(huán)氧樹脂）、" jER807"（雙酚F型環(huán)氧樹脂）、" jER152"（苯酚酚醛 清漆型環(huán)氧樹脂）、新日鐵化學(xué)（株）制的"ZX1059"（雙酚A型環(huán)氧樹脂和雙酚F型環(huán)氧 樹脂的混合品）、"YL7410"(2官能脂肪族環(huán)氧樹脂）等。它們可以1種單獨使用，或并用2 種以上。
[0060] 作為固體狀環(huán)氧樹脂，可舉出例如：結(jié)晶性2官能環(huán)氧樹脂、4官能萘型環(huán)氧樹 月旨、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、二環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂、三苯酚環(huán)氧樹脂、萘酚酚醛清漆環(huán) 氧樹脂、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、亞萘基醚型環(huán)氧樹脂。作為固體狀環(huán)氧樹脂的具體例，可舉出： DIC(株）制的"HP-4700"、"HP-4710"（4官能萘型環(huán)氧樹脂）、"N-690"（甲酚酚醛清漆 型環(huán)氧樹脂）、"N_695"（甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂）、"HP-7200"（二環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹 脂）、"EXA7311"、"EXA7311-G3"、"HP6000"（亞萘基醚型環(huán)氧樹脂）、日本化藥（株）制 的"EPPN-502H"（三苯酚環(huán)氧樹脂）、"NC7000L"（萘酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂）、"NC3000H"、 "NC3000"、"NC3000H"、"NC3000L"、"NC3100"（聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂）、新日鐵化學(xué)（株）制的 "ESN475"（萘酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂）、"ESN485"（萘酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂）、三菱化 學(xué)（株）制的"YX4000H"、"YL6121"（聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂）、作為結(jié)晶性2官能環(huán)氧樹脂的 "YX4000HK"（聯(lián)二甲酚型環(huán)氧樹脂）等。
[0061] 作為環(huán)氧樹脂，在并用液狀環(huán)氧樹脂和固體狀環(huán)氧樹脂時，它們的量比（液狀環(huán) 氧樹脂：固體狀環(huán)氧樹脂）以質(zhì)量比計優(yōu)選為1 : 0.1?1 : 4的范圍。通過使液狀環(huán)氧樹 脂和固體狀環(huán)氧樹脂的量比為上述范圍，可以得到：i)以粘接膜的形態(tài)使用時帶來適度的 粘接性；ii)以粘接膜的形態(tài)使用時得到充分的撓性且操作性提高；以及iii)可得到具有 充分的斷裂強(qiáng)度的固化體等效果。從上述i)?iii)的效果的觀點出發(fā)，液狀環(huán)氧樹脂與固 體狀環(huán)氧樹脂的量比（液狀環(huán)氧樹脂：固體狀環(huán)氧樹脂）以質(zhì)量比計更優(yōu)選為1 : 0.3? 1 : 3. 5的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為1 : 0.6?1 : 3的范圍，特別優(yōu)選為1 : 0.8?1 : 2. 5 的范圍。
[0062] 樹脂組合物中的環(huán)氧樹脂的含量優(yōu)選為3質(zhì)量％?50質(zhì)量％、更優(yōu)選為5質(zhì)量％? 45質(zhì)量％、進(jìn)一步優(yōu)選為5質(zhì)量％?40質(zhì)量％、特別優(yōu)選為7質(zhì)量％?35質(zhì)量％。
[0063] 環(huán)氧樹脂的環(huán)氧當(dāng)量優(yōu)選為50?3000的范圍、更優(yōu)選為80?2000的范圍、進(jìn)一 步優(yōu)選為110?1000的范圍。通過為這樣的范圍，可以得到交聯(lián)密度充分的固化體。應(yīng)予 說明，環(huán)氧當(dāng)量可依照J(rèn)IS K7236所標(biāo)準(zhǔn)化的方法來測定。這里，環(huán)氧當(dāng)量是指含有1當(dāng)量 的環(huán)氧基的樹脂的質(zhì)量。
[0064] -固化劑_ 作為固化劑，只要是具有將上述環(huán)氧樹脂固化的功能則沒有特別限定，可舉出例如：苯 酚系固化劑、萘酚系固化劑、活性酯系固化劑、苯并噁嗪系固化劑、和氰酸酯系固化劑。固化 劑可以1種單獨使用，或并用2種以上。
[0065] 作為苯酚系固化劑和萘酚系固化劑，可舉出例如：具有酚醛清漆（7 7 〃結(jié) 構(gòu)的苯酚系固化劑、具有酚醛清漆結(jié)構(gòu)的萘酚系固化劑、含氮苯酚系固化劑、含有三嗪骨架 的甲酚系固化劑、含有三嗪骨架的苯酚系固化劑。
[0066] 作為苯酚系固化劑和萘酚系固化劑的具體例，可舉出例如：明和化成（株）制的 "MEH-7700"、"MEH-7810"、"MEH-7851"、日本化藥（株）制的1圓"、"08^'、"6?!1"、東都化 成（株）制的"SN170，，、"SN180，，、"SN190，，、"SN475，，、"SN485，，、"SN495，，、"SN375，，、"SN395，，、 DIC (株）制的 "LA7O52 "、"LA7OM"、" LA3OI8 " 等。
[0067] 活性酯系固化劑沒有特別限制，一般可優(yōu)選使用酚酯類、硫酚酯類、N-羥胺酯類、 雜環(huán)羥基化合物的酯類等在1分子中具有2個以上反應(yīng)活性高的酯基的化合物。該活性酯 系固化劑優(yōu)選為通過羧酸化合物和/或硫代羧酸化合物與羥基化合物和/或硫醇化合物的 縮合反應(yīng)而得的活性酯系固化劑。特別是從提高耐熱性的觀點出發(fā)，優(yōu)選由羧酸化合物和 羥基化合物得到的活性酯系固化劑，更優(yōu)選由羧酸化合物與苯酚化合物和/或萘酚化合物 得到的活性酯系固化劑。作為羧酸化合物，可舉出例如：苯甲酸、乙酸、琥珀酸、馬來酸、衣康 酸、鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對苯二甲酸、均苯四甲酸等。作為苯酚化合物或萘酚化合物， 可舉出例如：對苯二酚、間苯二酚、雙酚A、雙酚F、雙酚S、酚酞啉、甲基化雙酚A、甲基化雙 酚F、甲基化雙酚S、苯酚、鄰甲酚、間甲酚、對甲酚、兒茶酚、α -萘酚、β -萘酚、1，5-二羥基 萘、1，6-二羥基萘、2, 6-二羥基萘、二羥基二苯甲酮、三羥基二苯甲酮、四羥基二苯甲酮、間 苯三酚、苯三酚、二環(huán)戊二烯型的二苯酚化合物、苯酚酚醒清漆（phenol novolac)等。
[0068] 作為活性酯系固化劑，具體可舉出：含有二環(huán)戊二烯型二苯酚稠合結(jié)構(gòu)的活性酯 化合物、含有萘結(jié)構(gòu)的活性酯化合物、含有苯酚酚醛清漆的乙?；锏幕钚怎セ衔铩⒑?苯酚酚醛清漆的苯甲?；锏幕钚怎セ衔?。
[0069] 作為活性酯系固化劑的市售品，含有二環(huán)戊二烯型二苯酚稠合結(jié)構(gòu)的活性酯化合 物可舉出：1乂89451"、1乂89460"、1乂894605"、"冊〇8000-651'"（01(：(株）制） ；含有萘結(jié) 構(gòu)的活性酯化合物可舉出："EXB9416-70BK"(DIC(株）制）；含有苯酚酚醛清漆的乙酰化物 的活性酯化合物可舉出："DC808"（三菱化學(xué)（株）制）；含有苯酚酚醛清漆的苯甲酰化物 的活性酯化合物可舉出："YLH1026"（三菱化學(xué)（株）制）等。
[0070] 作為苯并噁嗪系固化劑的具體例，可舉出：昭和高分子（株）制的"HFB2006M"、四 國化成工業(yè)（株）制的"P-d"、"F-a"。
[0071] 作為氰酸酯系固化劑，可舉出例如：雙酚A二氰酸酯、多酚氰酸酯（寡（3-亞甲 基-1，5-亞苯基氰酸酯）、4, 4' -亞甲基雙（2, 6-二甲基苯基氰酸酯）、4, 4' -亞乙基二苯基 二氰酸酯、六氟雙酚A二氰酸酯、2, 2-雙（4-氰酸酯）苯基丙烷、1，1-雙（4-氰酸酯苯基甲 烷）、雙（4-氰酸酯_3, 5-二甲基苯基）甲烷、1，3_雙（4-氰酸酯苯基-1-(甲基亞乙基）） 苯、雙（4-氰酸酯苯基）硫醚、雙（4-氰酸酯苯基）醚等2官能氰酸酯樹脂，由苯酚酚醛清 漆和甲酚酚醛清漆（cresol novolac)等衍生的多官能氰酸酯樹脂、這些氰酸酯樹脂的一部 分被三嗪化的預(yù)聚物等。作為氰酸酯系固化劑的具體例，可舉出： 13 >開' \ (株）制 的"PT30"和"PT60"（均為苯酚酚醛清漆型多官能氰酸酯樹脂）、"BA230"（雙酚A二氰酸 酯的一部分或全部被三嗪化而形成三聚體的預(yù)聚物）等。
[0072] 環(huán)氧樹脂與固化劑的量比，以[環(huán)氧樹脂的環(huán)氧基的總計數(shù)]:[固化劑的反應(yīng)基 的總計數(shù)]的比率計，優(yōu)選為1 : 0.2?1 : 2的范圍、更優(yōu)選為1 : 0.3?1 : 1.5的范 圍、進(jìn)一步優(yōu)選為1 : 0.4?I : 1的范圍。這里，固化劑的反應(yīng)基是指活性羥基、活性酯 基等，根據(jù)固化劑的種類而不同。此外，環(huán)氧樹脂的環(huán)氧基的總計數(shù)是針對全部環(huán)氧樹脂將 各環(huán)氧樹脂的不揮發(fā)成分的質(zhì)量除以環(huán)氧當(dāng)量而得的值求和而得的值。固化劑的反應(yīng)基的 總計數(shù)是針對全部固化劑將各固化劑的不揮發(fā)成分的質(zhì)量除以反應(yīng)基當(dāng)量而得的值求和 而得的值。通過將環(huán)氧樹脂與固化劑的量比設(shè)為該范圍內(nèi)，形成固化物時的耐熱性會進(jìn)一 步提商。
[0073] _無機(jī)填充材料_ 從使形成固化體時的膨脹率降低而防止固化體與被密封的部件等的熱膨脹差異所致 的破裂、電路變形等不良情況的發(fā)生，防止熔融粘度的過度低下而抑制部件的位置偏移，精 度良好地進(jìn)行密封的觀點出發(fā)，臨時樹脂組合物層、樹脂組合物層的形成中所用的樹脂組 合物優(yōu)選含有無機(jī)填充材料。
[0074] 從使固化體的熱膨脹系數(shù)降低，防止熔融粘度的過度降低而抑制部件的位置偏 移，精度良好地進(jìn)行密封的觀點出發(fā)，樹脂組合物中的無機(jī)填充材料的含量優(yōu)選為30質(zhì) 量％以上、更優(yōu)選為40質(zhì)量％以上、進(jìn)一步優(yōu)選為50質(zhì)量％以上、還更優(yōu)選為60質(zhì)量％以 上、特別優(yōu)選為62質(zhì)量％以上、64質(zhì)量％以上、或66質(zhì)量％以上。特別是從抑制部件的位 置偏移的觀點出發(fā)，樹脂組合物中的無機(jī)填充材料的含量優(yōu)選為50質(zhì)量％以上。從固化體 的機(jī)械強(qiáng)度的觀點出發(fā)，樹脂組合物中的無機(jī)填充材料的含量的上限優(yōu)選為90質(zhì)量％以 下、更優(yōu)選為85質(zhì)量％以下。
[0075] 作為無機(jī)填充材料，可舉出例如：二氧化硅、氧化鋁、硫酸鋇、滑石、粘土、云母粉、 氫氧化鋁、氫氧化鎂、碳酸鈣、碳酸鎂、氧化鎂、氮化硼、硼酸鋁、鈦酸鋇、鈦酸鍶、鈦酸鈣、鈦 酸鎂、鈦酸鉍、氧化鈦、鋯酸鋇、和鋯酸鈣等。其中，無定形二氧化硅、熔融二氧化硅、結(jié)晶二 氧化硅、合成二氧化硅、中空二氧化硅等二氧化硅特別適宜。此外，作為二氧化硅，還優(yōu)選球 狀二氧化硅。無機(jī)填充材料可以單獨使用1種、也可以組合2種以上使用。作為市售的球 狀（熔融）二氧化硅，可舉出：（株） 7卜''7亍V夕7制"30〇2"、"50(：1"、"50〇4"、"50〇5"、 "S0C6"。
[0076] 從提高樹脂組合物的流動性而實現(xiàn)充分的封裝性的觀點出發(fā)，無機(jī)填充材料的平 均粒徑優(yōu)選為〇. Olym?4μπι的范圍、更優(yōu)選為0. 05 μ m?2. 5 μ m的范圍、進(jìn)一步優(yōu)選為 0. Ιμπι?1.5μηι的范圍、還更優(yōu)選為0. 3μηι?Ι.Ομηι的范圍。無機(jī)填充材料的平均粒徑 可通過基于米氏（Mie)散射理論的激光衍射-散射法測定。具體地，利用激光衍射散射式粒 度分布測定裝置，以體積基準(zhǔn)制作無機(jī)填充材料的粒度分布，將其中值直徑作為平均粒徑， 由此可以測定。無機(jī)填充材料的平均粒徑的測定中可優(yōu)選使用將無機(jī)填充材料通過超聲波 分散于水中的測定樣品。作為激光衍射散射式粒度分布測定裝置，可使用（株）堀場制作 所制LA-500等。
[0077] 從提高耐濕性和分散性的觀點出發(fā)，無機(jī)填充材料優(yōu)選用氨基硅烷系偶聯(lián)劑、環(huán) 氧基娃燒系偶聯(lián)劑、疏基娃燒系偶聯(lián)劑、娃燒系偶聯(lián)劑、有機(jī)娃氣燒化合物、欽酸醋系偶聯(lián) 劑等的1種以上的表面處理劑進(jìn)行處理。作為表面處理劑的市售品，可舉出例如：信越化 學(xué)工業(yè)（株）制"ΚΒΜ403"（3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷）、信越化學(xué)工業(yè)（株）制 "ΚΒΜ803"（3-巰基丙基三甲氧基硅烷）、信越化學(xué)工業(yè)（株）制"ΚΒΕ903"（3-氨基丙基三 乙氧基硅烷）、信越化學(xué)工業(yè)（株）制"ΚΒΜ573"（Ν-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷）、信 越化學(xué)工業(yè)（株）制"SZ-31"（六甲基二硅氮烷）等。
[0078] 經(jīng)表面處理劑進(jìn)行了表面處理的無機(jī)填充材料可以在用溶劑（例如，甲基乙基酮 (MEK))進(jìn)行洗滌處理后，測定無機(jī)填充材料的每單位表面積的碳量。具體地，在經(jīng)表面處理 劑進(jìn)行了表面處理的無機(jī)填充材料中加入作為溶劑的充分量的ΜΕΚ，在25°C進(jìn)行5分鐘超 聲波洗滌。除去上清液，將固體成分干燥后，使用碳分析儀可以測定無機(jī)填充材料的每單位 表面積的碳量。作為碳分析儀，可使用（株）堀場制作所制"EMIA-320V"等。
[0079] 從提高無機(jī)填充材料的分散性的觀點出發(fā)，無機(jī)填充材料的每單位表面積的碳量 優(yōu)選為〇· 〇2mg/m2以上、更優(yōu)選為0· lmg/m2以上、進(jìn)一步優(yōu)選為0· 2mg/m2以上。另一方面， 從抑制樹脂組合物層的熔融粘度的上升的觀點出發(fā)，無機(jī)填充材料的每單位表面積的碳量 優(yōu)選為lmg/m 2以下、更優(yōu)選為0. 8mg/m2以下、進(jìn)一步優(yōu)選為0. 5mg/m2以下。
[0080] 樹脂組合物優(yōu)選分別含有作為無機(jī)填充材料的二氧化硅，作為環(huán)氧樹脂的液狀 環(huán)氧樹脂與固體狀環(huán)氧樹脂的混合物（液狀環(huán)氧樹脂：固體狀環(huán)氧樹脂的質(zhì)量比優(yōu)選為 1 : 0.1?1 : 4的范圍、更優(yōu)選為1 : 0.3?1 : 3. 5的范圍、進(jìn)一步優(yōu)選為1 : 0.6? 1 : 3的范圍、特別優(yōu)選為1 : 0.8?1 : 2. 5的范圍），作為固化劑的選自苯酚系固化劑、萘 酚系固化劑、活性酯系固化劑和氰酸酯系固化劑中的1種以上（含有優(yōu)選選自苯酚系固化 齊U、萘酚系固化劑中的1種以上、更優(yōu)選選自含三嗪骨架的苯酚酚醛清漆樹脂、萘酚系固化 劑中的1種以上、進(jìn)一步優(yōu)選含三嗪骨架的苯酚酚醛清漆樹脂的固化劑）。關(guān)于組合含有上 述特定成分的樹脂組合物，無機(jī)填充材料、環(huán)氧樹脂、和固化劑的適宜含量如上所述，其中， 優(yōu)選無機(jī)填充材料的含量為30質(zhì)量％?90質(zhì)量％的范圍、環(huán)氧樹脂的含量為3質(zhì)量％? 50質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選無機(jī)填充材料的含量為50質(zhì)量％?90質(zhì)量％的范圍、環(huán)氧樹脂 的含量為5質(zhì)量％?45質(zhì)量％的范圍。關(guān)于固化劑的含量，以使環(huán)氧樹脂的環(huán)氧基的總計 數(shù)與固化劑的反應(yīng)基的總計數(shù)之比優(yōu)選為1 : 0.2?1 : 2的范圍、更優(yōu)選為1 : 0.3? 1 : 1.5的范圍、進(jìn)一步優(yōu)選為1 : 0.4?I : 1的范圍的方式來含有。
[0081] -熱塑性樹脂- 作為熱塑性樹脂，可舉出例如：苯氧樹脂、丙烯酸類樹脂、聚乙烯醇縮醛樹脂、聚酰亞胺 樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚醚砜樹脂、和聚砜樹脂等。熱塑性樹脂可以單獨使用1種、或并 用2種以上。
[0082] 熱塑性樹脂的聚苯乙烯換算的重均分子量優(yōu)選為8000?70000的范圍、更優(yōu)選為 10000?60000的范圍、進(jìn)一步優(yōu)選為20000?60000的范圍。熱塑性樹脂的聚苯乙烯換算 的重均分子量通過凝膠滲透色譜（GPC)法測定。具體地，熱塑性樹脂的聚苯乙烯換算的重 均分子量可以使用（株）島津制作所制LC-9A/RID-6A作為測定裝置，使用昭和電工（株） 制Shodex K-800P/K-804L/K-804L作為柱，使用氯仿等作為流動相，以柱溫為40°C進(jìn)行測 定，使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯的校準(zhǔn)曲線算出。
[0083] 作為苯氧樹脂，可舉出例如具有選自雙酚A骨架、雙酚F骨架、雙酚S骨架、雙酚苯 乙酮骨架、酚醛清漆骨架、聯(lián)苯骨架、芴骨架、二環(huán)戊二烯骨架、降冰片烯骨架、萘骨架、蒽骨 架、金剛烷骨架、萜烯骨架、和三甲基環(huán)己烷骨架中的1種以上骨架的苯氧樹脂。苯氧樹脂 的末端可以是酚性羥基、環(huán)氧基等的任一官能團(tuán)。苯氧樹脂可以1種單獨使用、或并用2種 以上。作為苯氧樹脂的具體例，可舉出：三菱化學(xué)（株）制的"1256"和"4250"（均是含有 雙酚A骨架的苯氧樹脂）、"YX8100"（含有雙酚S骨架的苯氧樹脂）、和"YX6954"（含有雙 酚苯乙酮骨架的苯氧樹脂），另外還可舉出：東都化成（株）制的"FX280"和"FX293"、三菱 化學(xué)（株）制的 "丫1^7553"、"￥1^6794"、"￥1^7213"、"￥1^7290"和"￥1^7482"等。
[0084] 作為丙烯酸類樹脂，從進(jìn)一步降低密封層的熱膨脹系數(shù)和彈性模量的觀點出發(fā)， 優(yōu)選為含有官能團(tuán)的丙烯酸類樹脂、更優(yōu)選為Tg(玻璃化轉(zhuǎn)變溫度）為25°C以下的含有環(huán) 氧基的丙烯酸類樹脂。
[0085] 含有官能團(tuán)的丙烯酸類樹脂的數(shù)均分子量（Mn)優(yōu)選為10000?1000000、更優(yōu)選 為 30000 ?900000。
[0086] 含有官能團(tuán)的丙烯酸類樹脂的官能團(tuán)當(dāng)量優(yōu)選為1000?50000、更優(yōu)選為2500? 30000。
[0087] 作為Tg為25°C以下的含有環(huán)氧基的丙烯酸類樹脂，優(yōu)選Tg為25°C以下的含 有環(huán)氧基的丙烯酸酯共聚物樹脂，作為其具體例，可舉出：于力'力^ A T 7 (株）制 的"SG-80H"（含有環(huán)氧基的丙烯酸酯共聚物樹脂（數(shù)均分子量Mn:350000g/mol、環(huán)氧值 0.〇7eq/kg、TgllO ))、于力七^ AV7 (株）制的"SG-P3，，（含有環(huán)氧基的丙烯酸酯 共聚物樹脂（數(shù)均分子量Mn :850000g/mol、環(huán)氧值0· 21eq/kg、Tgl2°C ))。
[0088] 作為聚乙烯醇縮醛樹脂的具體例，可舉出：電氣化學(xué)工業(yè)（株）制的電化^ 7 - 卟4000-2、5000-A、6000-C、6000-EP、積水化學(xué)工業(yè)（株）制的工スレックBH系列、BX系 列、KS系列、BL系列、BM系列等。
[0089] 作為聚酰亞胺樹脂的具體例，可舉出：新日本理化（株）制的" U力=一卜SN20" 和" u力ZT-卜PN20"。此外，作為聚酰亞胺樹脂的具體例，可舉出：使2官能性羥基末端聚 丁二烯、二異氰酸酯化合物和四元酸酐反應(yīng)而得的線性聚酰亞胺（日本特開2006-37083號 公報中記載的聚酰亞胺樹脂）、含有聚硅氧烷骨架的聚酰亞胺（日本特開2002-12667號公 報和日本特開2000-319386號公報等中記載的聚酰亞胺樹脂）等改性聚酰亞胺。
[0090] 作為聚酰胺酰亞胺樹脂的具體例，可舉出：東洋紡織（株）制的口 7 77 HR11NN"和口 7 V7 HR16NN"。作為聚酰胺酰亞胺樹脂的具體例，可舉出：日立化 成工業(yè)（株）制的含有聚硅氧烷骨架的聚酰胺酰亞胺"KS9100"、"KS9300"等改性聚酰胺酰 亞胺。
[0091] 作為聚醚砜樹脂的具體例，可舉出：住友化學(xué)（株）制的"PES5003P"等。
[0092] 作為聚砜樹脂的具體例，可舉出：乂 >7卜'' 八> 7卜*。U 7 -文'(株）制的聚 砜 "P1700"、"P3500" 等。
[0093] 樹脂組合物中的熱塑性樹脂的含量優(yōu)選為0. 1質(zhì)量％?20質(zhì)量％。通過使熱塑性 樹脂的含量為上述范圍內(nèi)，樹脂組合物的粘度變得適度，可以形成厚度或體積性狀均勻的 樹脂組合物層。樹脂組合物中的熱塑性樹脂的含量更優(yōu)選為〇. 5質(zhì)量％?10質(zhì)量％。
[0094] -固化促進(jìn)劑- 作為固化促進(jìn)劑，可舉出例如：磷系固化促進(jìn)劑、胺系固化促進(jìn)劑、咪唑系固化促進(jìn)劑、 胍系固化促進(jìn)劑等。
[0095] 作為磷系固化促進(jìn)劑，可舉出例如：三苯基膦、鱗硼酸鹽（phosphonium borate) 化合物、四苯基鱗四苯基硼酸鹽、正丁基鱗四苯基硼酸鹽、四丁基鱗癸酸鹽、（4-甲基苯基） 二苯基鱗欽酸鹽、四苯基鱗欽酸鹽、丁基二苯基鱗欽酸鹽等。
[0096] 作為胺系固化促進(jìn)劑，可舉出例如：三乙基胺、三丁基胺等三烷基胺、4-二甲基氨 基吡啶、芐基二甲基胺、2, 4, 6-三（二甲基氨基甲基）苯酚、1，8-二氮雜雙環(huán)（5, 4, 0)-十一 碳烯等。
[0097] 作為咪唑系固化促進(jìn)劑，可舉出例如：2-甲基咪唑、2-i烷基咪唑、2-十七烷 基咪唑、1,2-二甲基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、1,2-二甲基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、 2-苯基咪唑、2-苯基-4-甲基咪唑、1-芐基-2-甲基咪唑、1-芐基-2-苯基咪唑、1-氰基 乙基-2-甲基咪唑、1-氰基乙基-2-i烷基咪唑、1-氰基乙基-2-乙基-4-甲基咪唑、 1-氰基乙基-2-苯基咪唑、1-氰基乙基-2- i^一烷基咪唑鎗偏苯三酸鹽、1-氰基乙基-2-苯 基咪唑鎗偏苯三酸鹽、2, 4-二氨基-6-[2' -甲基咪唑基-(Γ )]-乙基-均三嗪、2, 4-二氨 基-6- [2' - i^一烷基咪唑基-(Γ )]-乙基-均三嗪、2, 4-二氨基-6- [2' -乙基-4' -甲基咪 唑基-(1'）]-乙基-均三嗪、2, 4-二氨基-6-[2'_甲基咪唑基-(Γ)]-乙基-均三嗪異氰 脲酸加成物、2-苯基咪唑異氰脲酸加成物、2-苯基-4, 5-二羥基甲基咪唑、2-苯基-4-甲 基-5羥基甲基咪唑、2, 3-二氫-IH-吡咯并[1，2-a]苯并咪唑、1-十二烷基-2-甲基-3-芐 基咪唑鎗氯化物、2-甲基咪唑啉、2-苯基咪唑啉等咪唑化合物以及咪唑化合物和環(huán)氧樹脂 的加合物。
[0098] 作為胍系固化促進(jìn)劑，可舉出例如：雙氰胺、1-甲基胍、1-乙基胍、1-環(huán)己基 胍、1-苯基胍、1-(鄰甲苯基）胍、二甲基胍、二苯基胍、三甲基胍、四甲基胍、五甲基胍、 1，5, 7-三氮雜雙環(huán)[4. 4.0]十碳-5-烯、7-甲基_1，5, 7-三氮雜雙環(huán)[4. 4.0]十碳-5-烯、 1-甲基雙胍、1-乙基雙胍、1-正丁基雙胍、1-正十八烷基雙胍、1，1-二甲基雙胍、1，1-二乙 基雙胍、1-環(huán)己基雙胍、1-烯丙基雙胍、1-苯基雙胍、1-(鄰甲苯基）雙胍等。
[0099] 固化促進(jìn)劑可單獨使用1種、或組合2種以上使用。對于樹脂組合物中的固化促 進(jìn)劑的含量，在將環(huán)氧樹脂與固化劑的不揮發(fā)成分的總量設(shè)為100質(zhì)量％時，優(yōu)選以〇. 05 質(zhì)量％?3質(zhì)量％的范圍內(nèi)使用。
[0100] -阻燃劑- 作為阻燃劑，可舉出例如：有機(jī)磷系阻燃劑、有機(jī)系含氮磷化合物、氮化合物、有機(jī)硅系 阻燃劑、金屬氫氧化物等。作為能夠使用的阻燃劑的實例，可舉出三光（株）制"HCA-HQ"。 阻燃劑可以1種單獨使用，或并用2種以上。樹脂組合物層中的阻燃劑的含量沒有特別限 定，優(yōu)選為〇. 5質(zhì)量％?10質(zhì)量％的范圍、更優(yōu)選為1質(zhì)量％?9質(zhì)量％的范圍、進(jìn)一步優(yōu) 選為1. 5質(zhì)量％?8質(zhì)量％的范圍。
[0101] -橡膠粒子- 作為橡膠粒子，使用的是例如不溶解于后述有機(jī)溶劑，也與上述環(huán)氧樹脂、固化劑、和 熱塑性樹脂等不相容的橡膠粒子。通常，這種橡膠粒子通過使橡膠成分的分子量增大至不 溶解于有機(jī)溶劑或樹脂的程度、并制為粒子狀來制備。
[0102] 作為橡膠粒子，可舉出例如：芯鞘型橡膠粒子、交聯(lián)丙烯腈丁二烯橡膠粒子、交聯(lián) 苯乙烯丁二烯橡膠粒子、丙烯酸橡膠粒子等。芯鞘型橡膠粒子是具有芯層和鞘層的橡膠粒 子，例如，外層的鞘層由玻璃狀聚合物構(gòu)成、內(nèi)層的芯層由橡膠狀聚合物構(gòu)成的2層結(jié)構(gòu)； 或者，外層的鞘層由玻璃狀聚合物構(gòu)成、中間層由橡膠狀聚合物構(gòu)成、芯層由玻璃狀聚合物 構(gòu)成的3層結(jié)構(gòu)的橡膠粒子等。玻璃狀聚合物層例如由甲基丙烯酸甲酯的聚合物等構(gòu)成， 橡膠狀聚合物層例如由丙烯酸丁酯聚合物（丁基橡膠）等構(gòu)成。作為能使用的橡膠粒子的 實例，可舉出：力' > V (株）制" 7夕7〗口 ·^卜'' AC3816N，，。橡膠粒子可以1種單獨使用， 或并用2種以上。
[0103] 橡膠粒子的平均粒徑優(yōu)選為0. 005 μ m?1 μ m的范圍、更優(yōu)選為0. 2μηι?0. 6μηι 的范圍。橡膠粒子的平均粒徑可使用動態(tài)光散射法來測定。例如，可以將橡膠粒子利用超聲 波等均勻地分散于適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑中，使用高濃度體系粒徑分析器（FPAR-1000 ;大塚電子 (株）制），以質(zhì)量基準(zhǔn)制作橡膠粒子的粒度分布，將其中值直徑作為平均粒徑，由此測定。 樹脂組合物中的橡膠粒子的含量優(yōu)選為1質(zhì)量％?10質(zhì)量％的范圍、更優(yōu)選為2質(zhì)量％? 5質(zhì)量％的范圍。
[0104] -其它添加劑- 用于形成樹脂組合物層的樹脂組合物可以根據(jù)需要含有例如用于調(diào)整樹脂組合物層 或固化體的特性的其它添加劑。作為所述其它添加劑，可舉出例如：有機(jī)銅化合物、有機(jī)鋅 化合物和有機(jī)鈷化合物等有機(jī)金屬化合物、以及有機(jī)填料、增粘劑、消泡劑、流平劑、密合性 賦予劑、和著色劑等樹脂添加劑等。
[0105] 作為制作樹脂清漆時所用的有機(jī)溶劑，可舉出例如：丙酮、甲基乙基酮和環(huán)己酮等 酮類、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸溶纖劑、丙二醇單甲基醚乙酸酯和卡必醇乙酸酯等乙酸酯 類、溶纖劑和丁基卡必醇等卡必醇類、甲苯和二甲苯等芳香族烴類、二甲基甲酰胺、二甲基 乙酰胺和N-甲基吡咯烷酮等酰胺系溶劑等。有機(jī)溶劑可以1種單獨使用，或并用2種以上。 用于形成步驟（A)所述的臨時樹脂組合物層的樹脂清漆中所含的有機(jī)溶劑、和后述各步驟 (B)所述的樹脂清漆中所含的有機(jī)溶劑可以相同或不同。
[0106] 本發(fā)明的部件密封用薄膜中，樹脂組合物層的最低熔融粘度以封裝性、能夠防止 熱固化步驟時的樹脂流掛（垂Λ )為條件，并無特別限定，優(yōu)選為50泊以上、更優(yōu)選為200 泊以上、進(jìn)一步優(yōu)選為500泊以上。樹脂組合物層的最低熔融粘度的上限沒有特別限制，優(yōu) 選為10000泊以下、更優(yōu)選為8000泊以下、進(jìn)一步優(yōu)選為6000泊以下、還更優(yōu)選為4000泊 以下、特別優(yōu)選為1500泊以下。
[0107] 這里，樹脂組合物層的"最低熔融粘度"是指樹脂組合物層的樹脂通過加熱處理而 熔融時樹脂組合物層所呈的最低粘度。具體地，以恒定的升溫速度對樹脂組合物層進(jìn)行加 熱處理而使樹脂熔融時，初期階段的熔融粘度隨著溫度上升而降低，然后在超過某個溫度 時，隨著溫度上升，熔融粘度也上升。"最低熔融粘度"是指上述最低點的熔融粘度。
[0108] 樹脂組合物層的最低熔融粘度可通過動態(tài)粘彈性法測定。具體地，熱固性樹脂組 合物層的最低熔融粘度可通過在測定開始溫度60°C、升溫速度5°C /分、頻率IHz、傾斜度 (f >) Ideg的條件下進(jìn)行動態(tài)粘彈性測定而得到。作為動態(tài)粘彈性測定裝置，可舉出例 如：（株）二 一 匕' 一 工 Λ 社制的 "Rheosol-G3000，'。
[0109] [部件密封用薄膜的使用方式] 能夠用本發(fā)明的制造方法得到的部件密封用薄膜密封的部件沒有特別限定，可舉出對 應(yīng)于所期望的功能的任意適宜的部件。作為能夠用部件密封用薄膜密封的部件，可舉出例 如：電容器、電感器、電阻等從動部件，以及半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體芯片封裝等主動部件。本發(fā) 明所述的部件密封用薄膜可以適宜地用于例如部件內(nèi)裝電路板的部件的密封步驟。本發(fā)明 所述的部件密封用薄膜特別適用于進(jìn)行倒裝芯片封裝的半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體芯片封裝（多 芯片封裝）等的密封步驟（底部填充成型）。
[0110] 只要使用通過本發(fā)明的制造方法而得的部件密封用薄膜來實施密封步驟，即使在 搭載厚度較厚的部件的情形、在形成有密封層的密封面的凹凸的高度差大的情形，也可以 有效地進(jìn)行封裝、精度良好地形成密封層（密封部）。通過該密封步驟，可以成品率良好且 有效率地制造更高品質(zhì)的部件內(nèi)裝電路板、半導(dǎo)體裝置。
[0111] 作為使用通過本發(fā)明的制造方法而得的部件密封用薄膜的部件內(nèi)裝電路板、半導(dǎo) 體裝置的用途，可舉出例如：用于控制電氣制品（例如，電腦、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)和數(shù)字電視 等）和交通工具（例如，摩托車、汽車、電車、船舶和飛機(jī)等）等的工作等的各種形態(tài)的部件 內(nèi)裝電路板、半導(dǎo)體裝置。
[0112] 對使用通過本發(fā)明的制造方法而得的部件密封用薄膜的密封步驟的實例進(jìn)行說 明。
[0113] 首先，準(zhǔn)備搭載有作為密封對象的部件的部件內(nèi)裝電路板、半導(dǎo)體裝置。以部件密 封用薄膜的樹脂組合物層與作為密封對象的部件的表面接觸的方式載置。接著，通過實施 例如加壓成形步驟或真空層疊步驟，將部件封裝而被覆于樹脂組合物層。
[0114] 所述加壓成形步驟或真空層疊步驟以不損害待密封部件的功能為條件，可以在任 意適宜的條件下進(jìn)行。此時的溫度條件、加壓條件可以考慮樹脂組合物層的最低熔融粘度 來確定。這種加壓成形步驟或真空層疊步驟可以使用市售的真空加壓裝置、真空層合機(jī)裝 置來實施。半導(dǎo)體芯片通常可能因應(yīng)力、加熱處理而劣化，因而優(yōu)選通過使用真空層合機(jī)裝 置的真空層疊步驟來進(jìn)行封裝。對于這種真空層疊條件，例如，可在壓力1?llkgf/cm 2、溫 度70?140°C、時間5?180秒鐘的條件下進(jìn)行。
[0115] 支撐體可以在所述加壓成形步驟或真空層疊步驟之后從樹脂組合物層剝離，也可 以在熱固化步驟之后進(jìn)行剝離。支撐體優(yōu)選在熱固化步驟之后進(jìn)行剝離。應(yīng)予說明，例如 在利用支撐體附加放熱功能、保護(hù)功能等的情形中，可以直接利用而不用將支撐體從樹脂 組合物層或固化體剝離。
[0116] 接著，對封裝有部件的樹脂組合物層進(jìn)行加熱處理，實施進(jìn)行熱固化的熱固化步 驟。通過該熱固化步驟，樹脂組合物層被固化而形成密封層。
[0117] 所述熱固化步驟的加熱處理的條件沒有特別限定，以不損害待密封部件的功能為 條件，考慮樹脂組合物層的最低熔融粘度等進(jìn)行確定即可。此外，所述熱固化步驟優(yōu)選在大 氣壓下（常壓下）進(jìn)行。
[0118] 通過以上的密封步驟，樹脂組合物層形成密封部件的固化體、即密封層。
[0119] 根據(jù)期望，可以實施將具備密封層的結(jié)構(gòu)體切斷為2個以上單片的單片化步驟。 該單片化步驟可通過，例如，用具備旋轉(zhuǎn)刀片的以往公知的切割裝置對邊緣區(qū)域進(jìn)行磨削 并切斷來進(jìn)行。通過該單片化步驟，形成有密封層的結(jié)構(gòu)體被單片化為具備分別內(nèi)包并密 封部件的密封部的多個功能元件。 實施例
[0120] 以下，通過實施例更具體地說明本發(fā)明。本發(fā)明并不受這些實施例的限定。應(yīng)予 說明，以下記載中，若無特別限定，則"份"和"％"分別意指"質(zhì)量份"和"質(zhì)量％"。
[0121] <測定方法和評價方法> 首先，對后述實施例和比較例中所用的部件密封用薄膜的制造方法中所述的各種測定 方法和評價方法進(jìn)行說明。
[0122] (樹脂組合物層的最低熔融粘度溫度的測定） 后述實施例和比較例中制造的以卷狀卷取的長條的粘接膜中的樹脂組合物層的最低 熔融粘度溫度使用動態(tài)粘彈性測定裝置（（株）二一'匕一·社制、"Rhe〇S〇l-G3000"） 來測定。作為試樣，將構(gòu)成樹脂組合物層的樹脂組合物Ig載置于直徑18mm的平行板，將 開始溫度設(shè)為60°C，使升溫速度為5°C /分從60°C升溫至200°C，將測定溫度的間隔設(shè)為 2. 5°C，將頻率設(shè)為1Hz，在傾斜度為Ideg的測定條件下測定與最低熔融粘度對應(yīng)的溫度。
[0123] (殘留溶劑率的測定） 將后述實施例和比較例中制作的粘接膜切出IOcm見方，首先測定干燥處理前的質(zhì)量。 然后，在130°C進(jìn)行15分鐘干燥處理，使粘接膜中的溶劑揮發(fā)，由此測定干燥處理后的質(zhì) 量。繼而，根據(jù)下述計算式求出層中殘留的溶劑的比例即殘留溶劑率（質(zhì)量％)。
[0124] 計算式：殘留溶劑率（質(zhì)量％)={(干燥處理前的質(zhì)量-干燥處理后的質(zhì)量V(干 燥處理前的質(zhì)量-PET膜的質(zhì)量）} X 100 (有無空隙產(chǎn)生的評價） 粘接膜的樹脂組合物層中的空隙等缺陷的確認(rèn)如下進(jìn)行：將所得卷狀粘接膜中的長度 方向的最初和最后各切出lm，對于剝離了保護(hù)膜的樹脂組合物層，首先通過目測對整體進(jìn) 行確認(rèn)，進(jìn)而從切出的Im長的粘接膜進(jìn)一步切出5cm見方的小片粘接膜（從來自Im長的 粘接膜的四角附近和中央附近的5處切出的小片）的5個樣品，通過光學(xué)顯微鏡（々一$ > 7社制"VH-5500，，）對5個樣品進(jìn)行確認(rèn)。
[0125] 評價基準(zhǔn)： 〇：沒有空隙等（Φ 100 μ m以上）缺陷； X :有1個以上空隙等（Φ IOOym以上）缺陷。
[0126] (厚度的精度的評價） 粘接膜的樹脂組合物層的厚度的精度的評價中，將所得卷狀粘接膜中的長度方向的最 初和最后各切出lm，對于剝離了保護(hù)膜的樹脂組合物層，以距離MD方向的端部20mm的點為 起點，以20mm間隔對多個點使用接觸式層厚計（（株）$ 7卜3制、MCD-25MJ)測定厚度。
[0127] 全部測定值相對于理論值的厚度（測定值-支撐PET膜的厚度）為±6%以內(nèi)的 粘接膜評價為"〇"，高于6%的粘接膜評價為" X "。
[0128] <實施例1 > (樹脂清漆1的制備） 將雙酚型環(huán)氧樹脂（新日鐵化學(xué)（株）制"ZX1059"、雙酚A型的環(huán)氧樹脂與雙酚F型 的環(huán)氧樹脂的I : 1 (質(zhì)量比）混合品）10份、結(jié)晶性2官能環(huán)氧樹脂（三菱化學(xué)（株）制 "YX4000HK"、環(huán)氧當(dāng)量約185) 10份、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂（日本化藥（株）制"NC3000H") 10份、 苯氧樹脂（三菱化學(xué)（株）制"YL7553BH30"、固體成分30質(zhì)量％的MEK溶液）5份在溶劑石 腦油40份中一邊攪拌一邊加熱溶解。冷卻至室溫后，向其中混合活性酯化合物（DIC(S) 制"HPC8000-65T"、活性基當(dāng)量約223的不揮發(fā)分65質(zhì)量％的甲苯溶液）15份、含有三嗪的 甲酚系固化劑（羥基當(dāng)量151、DIC(株）制"LA-3018-50P"）的固體成分50%的甲氧基丙醇 溶液15份、含有環(huán)氧基的丙烯酸酯共聚物（數(shù)均分子量Mn :850000g/m〇l、環(huán)氧值0. 21eq/ kg、TgirC、t方七^ V7 (株）制"SG-P3，，）的固體成分I5%的MEK溶液5〇份、固 化促進(jìn)劑（4-二甲基氨基吡啶、固體成分2質(zhì)量％的MEK溶液）5份、阻燃劑（三光（株） 制"HCA-HQ"、10- (2, 5-二羥基苯基）-10-氫-9-氧雜-10-磷雜菲-10-氧化物、平均粒徑 2μπι)2份、經(jīng)氨基硅烷系偶聯(lián)劑（信越化學(xué)工業(yè)（株）制、"KBM573"）進(jìn)行了表面處理的球 形二氧化硅（平均粒徑2·2μπκ (株）7卜''7亍7々7制"50〇6"、每單位面積的碳量0.4mg/ m2) 200份，用高速旋轉(zhuǎn)攪拌機(jī)均勻地分散，制備樹脂清漆1。組成（不揮發(fā)成分換算）示于 下述表1。
[0129] (粘接膜的制造） 作為支撐體，準(zhǔn)備帶有醇酸樹脂系脫模層的PET膜（厚度38 μ m、U 々（株）制、 "AL5"）。將上述實施例1中得到的樹脂清漆1使用金屬型涂料機(jī)均勻地涂布于醇酸樹脂 系脫模層側(cè)的該支撐體的表面，在80°C?120°C (平均KKTC )進(jìn)行5分鐘干燥處理，由此 以干燥處理后的厚度為150 μ m的方式形成臨時樹脂組合物層，在60°C連續(xù)地在所形成的 臨時樹脂組合物層的表面貼合作為保護(hù)膜的厚度15μπι的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制 " 7 7 r > ΜΑ-411"的平滑面?zhèn)龋?，同時以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的臨時粘接膜。
[0130] 接著，一邊卷出帶有卷狀保護(hù)膜的臨時粘接膜，一邊剝離并卷取聚丙烯膜，同時 再次使用金屬型涂料機(jī)在露出的樹脂組合物層的表面均勻地涂布實施例1中所得的樹脂 清漆1，在80°C?130°C (平均105°C )進(jìn)行5分鐘干燥處理，由此以干燥處理后的總厚為 300 μ m的方式形成樹脂組合物層，同樣地，在60°C連續(xù)地在樹脂組合物層的表面貼合作為 保護(hù)膜的厚度15 μ m的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制" 7 7 r > ΜΑ-41Γ'的平滑面?zhèn)龋?同時以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的粘接膜。
[0131] 通過已經(jīng)說明的上述測定方法和評價方法來測定殘留溶劑率和最低熔融粘度，對 有無空隙產(chǎn)生進(jìn)行評價。結(jié)果示于表2。
[0132] 殘留溶劑率為2. 8質(zhì)量％，最低熔融粘度為920泊且其溫度為155°C。未確認(rèn)到空 隙等缺陷的產(chǎn)生。樹脂組合物層的厚度的精度為±3. 5%(300±10. 5μπι的范圍），為良好。
[0133] <實施例2> (樹脂清漆2的制備） 將雙酚型環(huán)氧樹脂（新日鐵化學(xué)（株）制"ΖΧ1059"、雙酚A型與雙酚F型的1 : 1(質(zhì) 量比）混合品）5份、2官能脂肪族環(huán)氧樹脂（三菱化學(xué)（株）制"YL7410"）5份、結(jié)晶性 2官能環(huán)氧樹脂（三菱化學(xué)（株）制"YX4000HK"、環(huán)氧當(dāng)量約185) 10份、聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂 (日本化藥（株）制"NC3000H")10份、雙酚A型環(huán)氧樹脂（三菱化學(xué)（株）制"jER1007"、 環(huán)氧當(dāng)量約2000) 3份、橡膠粒子（力> V化成（株）制、7夕7 〃口 4 F' AC3816N) 2份在 溶劑石腦油48份中一邊攪拌一邊加熱溶解。冷卻至室溫后，向其中混合含有三嗪的苯酚系 固化劑（羥基當(dāng)量125、DIC(株）制"LA-7054"）的固體成分60%的MEK溶液12份、萘酚 系固化劑（羥基當(dāng)量215、新日鐵化學(xué)（株）制"SN-485"）的固體成分60%的MEK溶液12 份、固化促進(jìn)劑（4-二甲基氨基吡啶、固體成分2質(zhì)量％的MEK溶液）3份、阻燃劑（三光 (株）制"HCA-HQ"、10- (2, 5-二羥基苯基）-10-氫-9-氧雜-10-磷雜菲-10-氧化物、平均 粒徑2μπι)2份、經(jīng)氨基硅烷系偶聯(lián)劑（信越化學(xué)工業(yè)（株）制、"KBM573"）進(jìn)行了表面處 理的球形二氧化硅（平均粒徑1. 2 μ m、（株）7 F ^77制"50〇4"、每單位面積的碳量 0. 5mg/m2) 250份，用高速旋轉(zhuǎn)攪拌機(jī)均勻地分散，制備樹脂清漆2。其組成示于下述表1。
[0134] (粘接膜的制造） 作為支撐體，準(zhǔn)備帶有醇酸樹脂系脫模層的PET膜（厚度38 μ m、U 々（株）制、 "AL5")。將上述實施例2中得到的樹脂清漆2使用金屬型涂料機(jī)均勻地涂布于醇酸樹脂系 脫模層側(cè)的支撐體的表面，在80°C?120°C (平均KKTC )進(jìn)行8分鐘干燥處理，由此以干 燥處理后的厚度為200 μ m的方式形成臨時樹脂組合物層，在60°C連續(xù)地在臨時樹脂組合 物層的表面貼合作為保護(hù)膜的厚度15 μ m的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制" 7 7 r > MA-411"的平滑面?zhèn)龋瑫r以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的臨時粘接膜。
[0135] 接著，一邊卷出帶有卷狀保護(hù)膜的臨時粘接膜，一邊剝離并卷取聚丙烯膜，同時再 次使用金屬型涂料機(jī)在露出的臨時樹脂組合物層的表面均勻地涂布實施例2中得到的樹 脂清漆2,在80°C?120°C (平均KKTC )進(jìn)行10分鐘干燥處理，由此以干燥處理后的總計 為400 μ m的方式形成樹脂組合物層，相同地，在60°C連續(xù)地在樹脂組合物層的表面貼合作 為保護(hù)膜的厚度15μπι的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制" r >MA-411"的平滑面 側(cè)），同時以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的粘接膜。
[0136] 通過已經(jīng)說明的上述測定方法和評價方法來測定殘留溶劑率和最低熔融粘度，對 有無空隙產(chǎn)生進(jìn)行評價。結(jié)果示于表2。
[0137] 殘留溶劑率為3. 7質(zhì)量％，最低熔融粘度為3200泊且其溫度為IKTC。未確認(rèn)到 空隙等缺陷的產(chǎn)生。樹脂組合物層的厚度的精度為±4%(400± 16 μ m的范圍），為良好。
[0138] <比較例1> (粘接膜的制造） 作為支撐體，準(zhǔn)備帶有醇酸樹脂系脫模層的PET膜（厚度38 μ m、U 々（株）制、 "AL5")。將上述實施例1中得到的樹脂清漆1使用金屬型涂料機(jī)均勻地涂布于醇酸樹脂系 脫模層側(cè)的支撐體的表面，在80°C?130°C (平均105°C )進(jìn)行10分鐘干燥處理，由此以干 燥后的厚度為300 μ m的方式形成樹脂組合物層，在60°C連續(xù)地在樹脂組合物層的表面貼 合作為保護(hù)膜的厚度15ym的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制" r >MA-411"的平 滑面?zhèn)龋瑫r以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的粘接膜。
[0139] 通過已經(jīng)說明的上述測定方法測定殘留溶劑率和最低熔融粘度。結(jié)果示于表2。
[0140] 殘留溶劑率為5. 8質(zhì)量％，最低熔融粘度為100泊以下，在熔融粘度的測定中發(fā)生 了樣品的樹脂流掛，因而無法測定準(zhǔn)確的最低熔融粘度。
[0141] 如此，熔融粘度過低的粘接膜預(yù)測在實際使用的熱固化步驟中也會發(fā)生樹脂流 掛，并不能夠耐受實際使用。
[0142] <比較例2> (粘接膜的制造） 作為支撐體，準(zhǔn)備帶有醇酸樹脂系脫模層的PET膜（厚度38 μ m、U 々（株）制、 "AL5")。將上述實施例2中所得的樹脂清漆2使用金屬型涂料機(jī)均勻地涂布于支撐體的醇 酸樹脂系脫模層側(cè)的表面，在80°C?130°C (平均105°C )進(jìn)行10分鐘干燥處理，由此以干 燥處理后的厚度為400 μ m的方式形成樹脂組合物層，在60°C連續(xù)地在樹脂組合物層的表 面貼合厚度15μπι的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制"r >ΜΑ-41Γ'的平滑面?zhèn)龋?同時以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的粘接膜。
[0143] 比較例2所述的帶有保護(hù)膜的粘接膜未能通過上述干燥處理充分干燥，保護(hù)膜與 樹脂組合物層牢固粘接，保護(hù)膜剝離時樹脂組合物層發(fā)生斷裂等實質(zhì)上并不能耐受操作， 因而熔融粘度的測定、有無空隙產(chǎn)生的評價無法進(jìn)行。
[0144] <比較例3> (粘接膜的制造） 作為支撐體，準(zhǔn)備帶有醇酸樹脂系脫模層的PET膜（厚度38 μ m、U 々（株）制、 "AL5")。將上述實施例1中得到的樹脂清漆1使用金屬型涂料機(jī)均勻地涂布于醇酸樹脂系 脫模層側(cè)的支撐體的表面，在80°C?120°C (平均KKTC )進(jìn)行5分鐘干燥處理，由此以干 燥處理后的厚度為150 μ m的方式形成臨時樹脂組合物層，在60°C連續(xù)地在臨時樹脂組合 物層的表面貼合作為保護(hù)膜的厚度15 ym的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制" 7 r > MA-411"的平滑面?zhèn)龋瑫r以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的粘接膜。
[0145] 接著，剝離并卷取聚丙烯膜，同時使用熱輥在60°C連續(xù)地將2張粘接膜各自露出 的2層臨時樹脂組合物層的表面彼此貼合，同時以卷狀卷取，得到樹脂組合物層的厚度的 總計為150x2 = 300 μ m的卷狀貼合型粘接膜。
[0146] 通過已經(jīng)說明的上述測定方法測定殘留溶劑率和最低熔融粘度，對有無空隙產(chǎn)生 進(jìn)行評價。結(jié)果示于表2。
[0147] 殘留溶劑率為2. 2質(zhì)量％，最低熔融粘度為1600泊且其溫度為150°C。
[0148] 比較例3所述的粘接膜的樹脂組合物層的厚度的精度為±4%(300± 12 μ m的范 圍），為良好，但是φ 100 μ m至500 μ m的空隙是在樹脂組合物層的長度Im的范圍，即對于 最初的Im的范圍觀察到11個，對于最后Im的范圍觀察到5個，在品質(zhì)上存在問題。
[0149] 上述品質(zhì)上的問題推測是下述原因：由于貼合步驟中的樹脂組合物層彼此間的起 泡，進(jìn)而由于因粘接膜使用具有相同厚度的2張帶有脫模層的PET膜而在它們形成貼附于 樹脂組合物層的兩表面的卷狀結(jié)構(gòu)時所不可避免地對樹脂組合物層施加的應(yīng)力，使得缺陷 容易發(fā)生。
[0150] <比較例4> (粘接膜的制造） 作為支撐體，準(zhǔn)備帶有醇酸樹脂系脫模層的PET膜（厚度38 μ m、U 々（株）制、 "AL5")。將上述實施例1中得到的樹脂清漆1使用金屬型涂料機(jī)均勻地涂布于醇酸樹脂系 脫模層側(cè)的該支撐體的表面，在80°C?120°C (平均KKTC )進(jìn)行4分鐘干燥處理，由此以 干燥處理后的厚度為50 μ m的方式形成臨時樹脂組合物層，在60°C連續(xù)地在所形成的臨時 樹脂組合物層的表面貼合作為保護(hù)膜的厚度15 μ m的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制" 7 r >MA-411"的平滑面?zhèn)龋瑫r以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的臨時粘接膜。
[0151] 接著，一邊卷出帶有卷狀保護(hù)膜的臨時粘接膜，一邊剝離并卷取聚丙烯膜，同時再 次使用金屬型涂料機(jī)在露出的樹脂組合物層的表面均勻地涂布實施例1中所得的樹脂清 漆1，在80°C?120°C (平均KKTC )進(jìn)行4分鐘干燥處理，由此以干燥處理后的厚度總計 為100 μ m的方式形成樹脂組合物層，相同地，在60°C連續(xù)地在樹脂組合物層的表面貼合作 為保護(hù)膜的厚度15μπι的聚丙烯膜（王子特殊紙（株）制" r >MA-411"的平滑面 側(cè)），同時以卷狀卷取，得到帶有卷狀保護(hù)膜的粘接膜。
[0152] 進(jìn)而重復(fù)相同的步驟2次，得到樹脂組合物層的厚度總計為200 μ m的帶有卷狀保 護(hù)膜的粘接膜。
[0153] 通過已經(jīng)說明的上述測定方法和評價方法來測定殘留溶劑率和最低熔融粘度，對 有無空隙產(chǎn)生進(jìn)行評價。結(jié)果示于表2。
[0154] 殘留溶劑率為2. 4質(zhì)量％，最低熔融粘度為1400泊且其溫度為148°C。未確認(rèn)到空 隙等缺陷的產(chǎn)生。然而，樹脂組合物層的厚度的精度不佳，為±7. 5%(200± 15 μ m的范圍）。
[0155] [表 1] (表1)

【權(quán)利要求】
1. 部件密封用薄膜的制造方法，該方法包括： (A) 準(zhǔn)備帶有支撐體的臨時樹脂組合物層的步驟，所述帶有支撐體的臨時樹脂組合物 層具有支撐體和設(shè)置于該支撐體且厚度為100 以上的臨時樹脂組合物層；和 (B) 在所述帶有支撐體的臨時樹脂組合物層的臨時樹脂組合物層上涂布樹脂組合物， 對涂膜進(jìn)行干燥處理，使之與所述臨時樹脂組合物層一體化的步驟， 將所述步驟（B)僅進(jìn)行1次、或重復(fù)2次以上，在所述支撐體上形成厚度超過200 y m 且為700 y m以下的樹脂組合物層。
2. 權(quán)利要求1所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，使用于形成所述臨時樹脂組 合物層的樹脂組合物的組成與用于形成所述涂膜的樹脂組合物的組成為相同的組成來形 成所述樹脂組合物層。
3. 權(quán)利要求1所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述步驟（A)是如下步驟：通 過在所述支撐體上涂布樹脂組合物，進(jìn)行干燥處理而形成臨時樹脂組合物層，由此準(zhǔn)備帶 有支撐體的臨時樹脂組合物層。
4. 權(quán)利要求1所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，將用于對所述涂膜進(jìn)行干燥 的干燥條件中的溫度設(shè)為70°C?150°C，將時間設(shè)為3分鐘?15分鐘。
5. 權(quán)利要求4所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，使用于形成所述臨時樹脂組 合物層的第1干燥條件與用于形成所述樹脂組合物層的第2干燥條件不同來進(jìn)行所述干燥 處理。
6. 權(quán)利要求5所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，使所述第1干燥條件的時間短 于所述第2干燥條件的時間。
7. 權(quán)利要求1?6中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述臨時樹脂組 合物層的厚度為100 U m?200 ii m。
8. 權(quán)利要求1?7中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，在僅進(jìn)行1次所 述步驟（B)時，通過該步驟（B)附加的部分的厚度為100 iim?200 iim; 在重復(fù)2次以上進(jìn)行所述步驟（B)時，通過2次以上的該步驟（B)附加的部分的厚度 分別為100 U m?200 u m。
9. 權(quán)利要求1?8中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，將所述步驟（B) 僅進(jìn)行1次、或僅重復(fù)2次。
10. 權(quán)利要求1?9中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述支撐體為 經(jīng)脫模處理的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜。
11. 權(quán)利要求1?10中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述樹脂組合 物含有環(huán)氧樹脂、固化劑和無機(jī)填充材料。
12. 權(quán)利要求1?11中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，使用長條的支 撐體作為所述支撐體，以卷對卷方式來進(jìn)行所述步驟（A)和所述步驟（B)中的任一者或兩 者。
13. 權(quán)利要求1?12中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述部件密封 用薄膜是進(jìn)一步具有接合于樹脂組合物層、且其厚度比所述支撐體的厚度薄的保護(hù)膜的卷 狀的部件密封用薄膜。
14. 權(quán)利要求1?13中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述樹脂組合 物層的最低熔融粘度為50泊?10000泊的范圍。
15. 權(quán)利要求1?14中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述樹脂組合 物層的殘留溶劑率為5質(zhì)量％以下。
16. 權(quán)利要求1?15中任一項所述的部件密封用薄膜的制造方法，其中，所述樹脂組合 物層的殘留溶劑率為1. 5質(zhì)量％?5質(zhì)量％。
【文檔編號】C09D7/12GK104416998SQ201410413514
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月23日
【發(fā)明者】中村茂雄 申請人:味之素株式會社