專利名稱：螺旋涂敷裝置以及螺旋涂敷方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實施方式涉及螺旋涂敷裝置以及螺旋涂敷方法，例如涉及在涂敷對象物上涂敷材料而形成涂敷膜的螺旋涂敷裝置以及螺旋涂敷方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體等領(lǐng)域中，作為在基板上形成圓形狀的膜的方法，有螺旋涂敷方法。該螺旋涂敷方法中，在圓形狀的旋轉(zhuǎn)工作臺上固定圓盤狀的基板，將涂敷噴嘴的噴出面與基板表面的距離(間隙)保持為規(guī)定的值，使該旋轉(zhuǎn)工作臺旋轉(zhuǎn)，ー邊用可控制流量的定量泵從涂敷噴嘴噴出材料，ー邊使該涂敷噴嘴從基板中央向基板外周直線狀移動，通過描繪螺旋 狀(漩渦狀)的涂敷軌跡來在基板的整個面上形成膜?；诼菪糠蟮耐糠笱b置以及涂敷方法中，例如用與噴嘴一體設(shè)置的位移測量定距基板表面的距離，以使測定出的距離成為預(yù)先設(shè)定的值的方式調(diào)整噴嘴的高度方向的位置，由此進行控制(間隙控制)以使得噴嘴前端與基板表面的距離保持為一定。存在例如由于噴嘴的移動的再現(xiàn)性、尺寸偏差、噴嘴的熱伸長等影響而導(dǎo)致噴嘴的噴出面的位置變化的情況，在這樣的情況下，通過上述的技術(shù)難以高精度地控制間隙。

發(fā)明內(nèi)容
ー種螺旋涂敷裝置，具有工作臺、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、涂敷噴嘴、移動機構(gòu)部、噴嘴位置檢測部以及位置調(diào)整部。工作臺具有載置涂敷對象物的載置面。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)。涂敷噴嘴對工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷。移動機構(gòu)部使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉(zhuǎn)方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動，并使上述工作臺和上述涂敷噴嘴能夠在上述旋轉(zhuǎn)的軸方向上相對移動。噴嘴位置檢測部檢測上述旋轉(zhuǎn)的軸方向上的上述涂敷噴嘴的底面的位置信息。位置調(diào)整部根據(jù)上述涂敷噴嘴的位置信息，進行上述涂敷噴嘴與上述載置面在上述軸方向的位置調(diào)整。根據(jù)本實施方式的螺旋涂敷裝置以及螺旋涂敷方法，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的間隙控制和聞精度下的定位。


圖I是表示第I實施方式的螺旋涂敷裝置的結(jié)構(gòu)的概略說明圖。圖2是表示該實施方式的螺旋涂敷方法的控制順序的流程圖。圖3是表示該螺旋涂敷方法的工作臺位置檢測エ序的說明圖。圖4是表示該螺旋涂敷方法的工作臺位置檢測エ序的說明圖。圖5是表示該螺旋涂敷方法的噴嘴位置檢測エ序的說明圖。圖6是表示該螺旋涂敷方法的噴嘴位置檢測エ序的說明圖。圖7是表示第2實施方式的涂敷裝置的結(jié)構(gòu)的概略說明圖。
圖8是表示該涂敷裝置的控制步驟的流程圖。圖9是表示第3實施方式的涂敷裝置的結(jié)構(gòu)的概略說明圖。圖10是表示該涂敷裝置的控制步驟的流程圖。
具體實施例方式以下，參照圖f圖6說明本發(fā)明的ー實施方式的螺旋涂敷裝置以及螺旋涂敷方法。各圖中箭頭χ、γ、ζ分別表示相互正交的三個方向。此外，在各圖中，為了便于說明，將結(jié)構(gòu)適當(dāng)擴大、縮小或省略地示出。圖I所示的螺旋涂敷裝置I具備載置作為涂敷對象物的基板W的工作臺2，使該工作臺2在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3，從前端向工作臺2上的基板W噴出材料而進行涂敷的涂敷噴嘴4，能夠使該涂敷噴嘴4和工作臺2在水平面方向(X軸)及高度方向(Ζ軸) 上相對移動的移動機構(gòu)5 (移動機構(gòu)部)，向涂敷噴嘴4供給涂敷材料的供給部7，線傳感器 (line sensor) 11 (位置檢測部)，位移傳感器12 (位置檢測部)，溫度檢測部13，以及對各部進行控制的控制部10 (位置調(diào)整部)。工作臺2例如形成為圓形狀，并構(gòu)成為能夠通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。該工作臺2具備吸附所載置的基板W的吸附機構(gòu)，通過該吸附機構(gòu)將作為涂敷對象物的基板W固定并保持在工作臺2的載置面2a上。作為該吸附機構(gòu)，例如可以采用空氣(air)吸附機構(gòu)等。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3是如下機構(gòu)，即支撐工作臺2使其能夠在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，以工作臺中心為旋轉(zhuǎn)中心、通過馬達等驅(qū)動源使工作臺2在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。由此，在工作臺2上載置的基板W在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。涂敷噴嘴4是噴出成為涂敷膜M的材料的噴嘴，在前端(底面)具有噴嘴面4a。該涂敷噴嘴4利用壓カ從其前端4a連續(xù)地噴出材料，使該材料涂敷于工作臺2上的基板W。該涂敷噴嘴4經(jīng)由連通管8的通路而連接著供給材料的供給部7。供給部7具有貯存材料的供給箱、供給用泵、流量調(diào)整閥等。該供給部7通過控制部10而被控制，調(diào)整從涂敷噴嘴4噴出的材料噴出量。在涂敷處理時材料通過供給用泵的動作從供給箱供給到涂敷噴嘴4。連通管8例如由軟管(tube)或?qū)Ч?pipe)構(gòu)成，與涂敷噴嘴4及供給部7的供給箱內(nèi)連通。在噴嘴4設(shè)有溫度檢測部13。溫度檢測部13例如設(shè)置在噴嘴4的側(cè)壁。溫度檢測部13是熱電偶等溫度傳感器，檢測噴嘴4的側(cè)壁溫度來測定噴嘴4的溫度，將溫度信息送到控制部10。移動機構(gòu)5具備Z軸移動機構(gòu)5a和X軸移動機構(gòu)5b，Z軸移動機構(gòu)5a支撐涂敷噴嘴4使其沿Z軸方向移動，X軸移動機構(gòu)5b經(jīng)由該Z軸移動機構(gòu)5a支撐涂敷噴嘴4并使其沿X軸方向移動。該移動機構(gòu)5使涂敷噴嘴4定位于工作臺2的上方，并使該涂敷噴嘴4對工作臺2相對移動。作為Z軸移動機構(gòu)5a及X軸移動機構(gòu)5b，例如可以采用以線性馬達作為驅(qū)動源的線性馬達移動機構(gòu)和/或以馬達作為驅(qū)動源的進給螺桿(日本語送りネジ)移動機構(gòu)等。在工作臺2的側(cè)方設(shè)置有作為位置檢測部的線傳感器11。線傳感器11例如具備投光部11a、受光部lib、朝向工作臺2水平地延伸且可上下移動地設(shè)置的位置檢測用板11c。
線傳感器11，在使位置檢測用板Ilc上下運動而與工作臺2上表面抵接的狀態(tài)下，從投光部Ila照射光，根據(jù)經(jīng)由位置檢測用板Ilc而由受光部Ilb接收的光的信息，取得位置檢測用板Ilc的位置信息，根據(jù)該位置信息，檢測工作臺2的以載置面2a為基準的Z方向上的位置信息(高度信息)并送到控制部10。此外，線傳感器11，在將噴嘴4設(shè)置在規(guī)定的測定對象范圍內(nèi)的狀態(tài)下，從投光部Ila照射光，根據(jù)經(jīng)由噴嘴4而由受光部Ilb接收的光的信息，取得噴嘴面4a在Z方向上的位置信息并送到控制部10。在移動機構(gòu)5，設(shè)有涂敷噴嘴4和工作臺用位移傳感器12。通過移動機構(gòu)5的動作，涂敷噴嘴4及工作臺用位移傳感器12都能夠沿X方向及Z方向移動。位移傳感器12是反射型激光傳感器等，利用Z軸移動機構(gòu)5a和X軸移動機構(gòu)5b沿X軸方向移動，通過光到達對置配置的工作臺2的載置面2a或調(diào)整用基板W2而后檢測其反射光，從而測定與工作臺2的載置面2a或調(diào)整用基板W2的間隔距離。由此，取得工作臺2的載置面2a或調(diào)整用基板W2在Z方向上的位置信息并送到控制部10。 控制部10具備對各部集中控制的微型計算機、以及存儲各種程序及各種信息等的存儲部。作為存儲部，可以采用存儲器、硬盤驅(qū)動器(HDD)等。 控制部10例如根據(jù)各種程序、各種信息(位置信息、溫度信息等)，進行運算處理而決定間隙值、修正值。此外，控制部10例如根據(jù)各種程序、各種信息(涂敷條件信息等)，控制旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3及移動機構(gòu)5，作為在工作臺2上維持規(guī)定間隙而定位涂敷噴嘴4的位置調(diào)整部發(fā)揮功能。此外，控制部10使載置有基板W的工作臺2旋轉(zhuǎn)，ー邊使材料從涂敷噴嘴4的前端4a噴出，一邊使該涂敷噴嘴4從基板中央(或基板外周)向基板外周(或基板中央)直線狀地移動，通過描繪漩渦狀的涂敷軌跡來在基板的整個面上形成膜(螺旋涂敷)。以下，參照圖2說明涂敷裝置I的動作。首先，控制部10利用線傳感器11檢測エ作臺2的上表面的高度信息(ST1)。例如，如圖2、圖3所示，在使檢測用板Ilc在上下方向上移動而與工作臺2的上表面抵接的狀態(tài)下，從投光部IlA照射光，根據(jù)由受光部IlB檢測出的光的信息，檢測工作臺2的載置面2a的位置，設(shè)置載置面的高度基準。接著，利用線傳感器11，檢測噴嘴面4a的高度信息(ST2)，根據(jù)載置面2a的高度信息、噴嘴面4a的高度信息、設(shè)定間隙值G1、基板W的厚度tl等信息，使噴嘴移動(ST3)。這里，首先，例如如圖5、圖6所示，使移動機構(gòu)5動作，使其移動以使得噴嘴4的前端的噴嘴面4a成為與工作臺2的載置面2a相同的高度。此時，在將噴嘴4配置在投光部IlA與受光部IlB之間的測定范圍內(nèi)的狀態(tài)下，從投光部IlA照射光，根據(jù)由受光部IlB檢測出的光的信息，一邊檢測噴嘴面4a的位置ー邊使位置對齊。并且，通過控制部10記錄移動機構(gòu)5的移動信息。并且，將與基板Wl具有相同厚度的調(diào)整用的基板W2設(shè)置在工作臺2上，根據(jù)基板W的厚度tl、設(shè)定間隙值Gl等，算出作為目標(biāo)的噴嘴面4a的Z方向的目標(biāo)位置，根據(jù)該計算結(jié)果，使移動機構(gòu)5動作而將噴嘴4在Z方向上移動。例如，從噴嘴面4a位干與工作臺面2a相同高度的狀態(tài)起，將噴嘴4向上方移動基板W的厚度tl和傳感器基準值設(shè)定高度G2的合計值，在基板W上的任意點將噴嘴面4a設(shè)置在Z方向上的目標(biāo)位置(目標(biāo)高度)。此時使控制部10存儲基于移動機構(gòu)5的移動距離信息。接著，與設(shè)置于移動機構(gòu)5的噴嘴4 一起，使位移傳感器12在XY平面上移動，并移動到通過位移傳感器12測定載置面2a的位移的測定位置。以使間隙設(shè)定范圍成為傳感器的測定范圍內(nèi)的方式，用相對于噴嘴的相對移動機構(gòu)使其在Z方向移動并進行調(diào)整。此時使控制部10存儲基于移動機構(gòu)5的移動距離信息。在該狀態(tài)下，通過位移傳感器12，測定從傳感器12到調(diào)整用基板W2a的位移G2(ST4)，將該G2設(shè)定為傳感器基準值(ST5)。通過以上步驟，決定考慮到涂敷裝置I中的位移傳感器12與噴嘴面4a在高度方向上的位置關(guān)系的傳感器基準值。在決定了傳感器基準值后去掉調(diào)整用的基板W2。另外，利用溫度傳感器13測定噴嘴4的溫度，作為基準溫度Tb存儲于控制部10(ST6)。接著,作為涂敷對象物的基板W通過機械手操作設(shè)備(robot handling)等搬送機構(gòu)被搬入到工作臺2上(ST7)?；錡通過吸附機構(gòu)被固定在工作臺2上。并且，根據(jù)在ST7中求出的傳感器基準值，通過一體設(shè)有傳感器12及噴嘴4的移動機構(gòu)5調(diào)整傳感器12及噴嘴4的高度位置(ST8)。此時，利用移動機構(gòu)5進行設(shè)置以使得傳感器12距基板W的 上表面Wa的距離為G2。接著，進行修正處理。作為修正處理，首先，通過溫度檢測機構(gòu)取得噴嘴4的溫度Tm (ST9)。然后，根據(jù)在ST6中設(shè)定的基準溫度Ti，算出考慮了熱伸長的高度方向的修正量Λ Z(STIO)，涂敷噴嘴4通過Z軸移動機構(gòu)5a在Z軸方向上移動ΛΖ的距離(ST11)。這里，例如，事先將測定的基準溫度Ti與噴嘴伸長的數(shù)據(jù)表存儲在控制部10中，根據(jù)該數(shù)據(jù)表利用算出了噴嘴伸長的數(shù)據(jù)來算出修正量。例如修正量ΛΖ可以根據(jù)式I求出。修正量Λ Z =線膨脹系數(shù)α (測量溫度Tm —基準溫度Ti)·噴嘴頸長L···(式I)例如線膨脹系數(shù)α由噴嘴4的材質(zhì)決定。另外，本實施方式中，噴嘴4例如由聚醚醚酮(PEEK)構(gòu)成，其線膨脹系數(shù)α = 50ΧΙΟ—6 /で。并且，從位移傳感器12到基板W的涂敷面Wa的距離G3為G2 + Λ Z。S卩，使距傳感器12的距離比修正前的距離G2増大，増大的量是噴嘴4因溫度變化而向下方熱伸長的長度ΛΖ的尺寸。根據(jù)以上，將涂敷噴嘴4與基板W的涂敷面Wa之間的距離調(diào)整為考慮了噴嘴4的熱伸長的量的期望值。接著，進行涂敷處理(ST12)。在涂敷處理中，工作臺2通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3旋轉(zhuǎn)，在該工作臺2上的基板W進行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，使涂敷噴嘴4從基板W的中央即原點位置起，通過Z軸移動機構(gòu)5a和X軸移動機構(gòu)5b，沿X軸方向即從基板W的中心向外周等速地移動。此時，使供給用泵動作來供給涂敷材料，從而涂敷噴嘴4 一邊移動ー邊從前端4a連續(xù)地將材料向基板W的涂敷面噴出，在該涂敷面上以漩渦狀涂敷材料(螺旋涂敷)。由此，在基板W的涂敷面Wa上形成涂敷膜M。在基板W上的規(guī)定區(qū)域形成涂敷膜M后，涂敷結(jié)束，取出基板(ST13)。然后，通過Z軸移動機構(gòu)5a使涂敷噴嘴4上升，涂敷處理結(jié)束。接著，反復(fù)進行ST7 ST13的處理，對一定數(shù)量的基板進行涂敷處理(ST14)，處理結(jié)束。根據(jù)本實施方式的螺旋涂敷裝置以及螺旋涂敷方法，取得噴嘴面4a的高度信息，考慮該高度信息而進行間隙調(diào)整，從而能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的間隙調(diào)整。此外，在上述實施方式中，采用共通的線傳感器11，從而能夠高精度地使工作臺2的載置面2a與噴嘴面4a的高度位置對齊。
此外，在上述實施方式中，由于考慮基于溫度變化的噴嘴4的熱伸長來進行修正，因此能夠?qū)崿F(xiàn)更高精度下的定位。[第2實施方式]以下，參照圖7及圖8說明第2實施方式的螺旋涂敷裝置100以及螺旋涂敷方法。本實施方式中，作為檢測噴嘴位置的位置檢測部，采用了埋入工作臺2的位移傳感器，除此以外與上述第I實施方式相同，因此省略共通的說明。本實施方式的螺旋涂敷裝置100中，如圖7所示，在工作臺2的載置面2a的規(guī)定位置埋入有位移傳感器14。位移傳感器14是反射型激光傳感器等，從工作臺2的載置面2a測定與涂敷噴嘴4的噴嘴面4a之間的間隔距離G5。由此，能夠取得噴嘴面4a的高度信息。該實施方式的涂敷方法，如圖8所示，首先，一邊由位移傳感器14測定距在上方對置的噴嘴面4a的間隔距尚G4 (ST21), 一邊使噴嘴4移動,根據(jù)間隔距尚G4與基板W的厚度tl，進行噴嘴4的位置調(diào)整，以使得噴嘴面4a與基板W的涂敷面Wa之間的間隙成為預(yù)先設(shè)定的間隙值Gl (ST22)。然后，與上述第I實施方式的ST4以后的動作同樣，通過與噴嘴4 一體動作的位移傳感器12，測定距對置配置的工作臺2的載置面2a的距離G5，設(shè)定傳感器基準值。ST4以后的動作與上述第I實施方式相同。根據(jù)本實施方式的涂敷裝置100以及涂敷方法，通過在不沿Z方向移動的工作臺2側(cè)設(shè)置的傳感器14，求出從工作臺2的載置面2a到噴嘴面4a的間隔距離，并給予該測定值來設(shè)定傳感器基準，從而不易影響可沿Z方向移動的噴嘴4的再現(xiàn)性，因此能夠?qū)崿F(xiàn)高精度下的間隙控制。[第3實施方式]以下，參照圖9及圖10說明第3實施方式的螺旋涂敷裝置110以及螺旋涂敷方法。本實施方式的螺旋涂敷裝置110如圖9所示，具備將噴嘴4的周邊溫度保持為ー定的送風(fēng)機構(gòu)15。送風(fēng)機構(gòu)15例如由將溫度調(diào)整后的空氣送風(fēng)的管道(duct)機構(gòu)構(gòu)成，并設(shè)置在噴嘴4的側(cè)方。送風(fēng)部按照控制部10的控制向噴嘴4進行送風(fēng)，從而調(diào)整構(gòu)成涂敷裝置110的外輪廓的腔室(chamber) 16內(nèi)部的溫度。送風(fēng)的溫度及風(fēng)量等條件按照例如由溫度傳感器13測定的噴嘴4的溫度來決定。例如以將噴嘴4的溫度維持為基準溫度Ti這樣的條件進行送風(fēng)。本實施方式的螺旋涂敷方法如圖10所示，在與上述第I實施方式同樣進行了到ST9為止的處理之后，代替ST10、STll的噴嘴的位置修正處理，而通過送風(fēng)機構(gòu)15向噴嘴4供給規(guī)定溫度的空氣(ST23)，將涂敷裝置110內(nèi)的溫度保持為預(yù)先設(shè)定的基準溫度，從而使噴嘴4的尺寸回到基準值，防止因噴嘴4的熱伸長造成的影響。根據(jù)本實施方式的涂敷裝置110以及涂敷方法，通過規(guī)定溫度的送風(fēng)來維持噴嘴4的尺寸，能夠降低因噴嘴4的熱伸長而帶來的對尺寸的影響，能夠高精度地調(diào)整間隙。雖然說明了本發(fā)明的實施方式，但這些實施方式是作為例子而提示的，并不意欲限定發(fā)明的范圍。這些實施方式能夠以其他各種形態(tài)實施，在不脫離發(fā)明精神的范圍內(nèi)，能夠進行各種省略、替換和變更。這些實施方式及其變形包含在發(fā)明的范圍及精神中，同樣也包含在權(quán)利要求書所記載的發(fā)明及其同等范圍中。例如，上述第I 第3實施方式中，將溫度傳感器13設(shè)在噴嘴4的側(cè)部來檢測噴嘴4的壁的溫度，但溫度傳感器13的個數(shù)及溫度測定對象不限于上述實施方式。例如可以將溫度傳感器13設(shè)置在多個部位，測定溫度的對象也可以不是噴嘴4的側(cè)壁而是支撐噴嘴4的移動機構(gòu)5和/或貯存噴出材料的供給部7等。在設(shè)置多個溫度傳感器的情況下，測量噴嘴、移動機構(gòu)5、支撐旋轉(zhuǎn)機構(gòu)3的底板的溫度。根據(jù)測量數(shù)據(jù)，算出熱伸長(噴嘴熱伸長ΔΖ1、移動機構(gòu)熱伸長Λ Z2、底板熱伸長Λ Ζ3)，并算出Z方向上噴嘴與基板W的相對伸長。(ΔΖ = ΔΖ1 + ΔΖ2 + ΛΖ3)。說明了本發(fā)明的幾個實施方式，但這些實施方式是作為例子而提示的，并不意欲限定發(fā)明的范圍。這些新的實施方式能夠以其他各種形態(tài)實施，在不脫離發(fā)明的精神的范 圍內(nèi)，能夠進行各種省略、替換和變更。這些實施方式及其變形包含在發(fā)明的范圍及精神中，并且包含在權(quán)利要求書所記載的發(fā)明及其等同范圍中。
權(quán)利要求
1.ー種螺旋涂敷裝置，其特征在于，具備 工作臺，具有載置涂敷對象物的載置面； 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)； 涂敷噴嘴，對上述工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷； 移動機構(gòu)部，使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉(zhuǎn)方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動，并且能夠使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在上述旋轉(zhuǎn)的軸方向上相對移動； 噴嘴位置檢測部，檢測上述旋轉(zhuǎn)的軸方向上的上述涂敷噴嘴的底面的位置信息；以及位置調(diào)整部，根據(jù)上述涂敷噴嘴的位置信息，進行上述涂敷噴嘴與上述載置面在上述軸方向的位置調(diào)整。
2.如權(quán)利要求I所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 上述噴嘴位置檢測部具備設(shè)置于上述工作臺、測定到上述涂敷噴嘴的前端的位移的位移傳感器。
3.如權(quán)利要求I所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 上述噴嘴位置檢測部具備設(shè)置于上述工作臺的側(cè)方、檢測上述涂敷噴嘴的前端在上述軸方向的位置的線傳感器。
4.如權(quán)利要求3所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 具備工作臺位移傳感器，該工作臺位移傳感器與上述涂敷噴嘴一體地設(shè)置于上述移動機構(gòu)部，與上述涂敷噴嘴一起移動，在與上述工作臺對置的狀態(tài)下測定距上述載置面的距離， 上述位置調(diào)整部根據(jù)上述噴嘴的位置信息、由上述移動機構(gòu)部產(chǎn)生的上述噴嘴的移動的信息、以及由上述工作臺位移傳感器測定的距上述載置面的距離，進行上述位置調(diào)整。
5.如權(quán)利要求4所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 該螺旋涂敷裝置還具備檢測上述噴嘴的溫度的溫度檢測部， 上述位置調(diào)整部根據(jù)上述噴嘴的溫度，算出上述噴嘴的熱伸長量，執(zhí)行對上述噴嘴與上述載置面在高度方向的位置關(guān)系進行修正的修正處理。
6.ー種螺旋涂敷裝置，其特征在于，具備 工作臺，具有載置涂敷對象物的載置面； 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)； 涂敷噴嘴，對上述工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷； 移動機構(gòu)，使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉(zhuǎn)方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動； 溫度檢測部，檢測上述涂敷噴嘴的溫度；以及 位置調(diào)整部，根據(jù)上述涂敷噴嘴的溫度，算出上述噴嘴的熱伸長量，修正上述涂敷噴嘴及上述載置面在軸方向的位置關(guān)系。
7.ー種螺旋涂敷裝置，其特征在于，具備 工作臺，具有載置涂敷對象物的載置面； 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)； 涂敷噴嘴，對上述工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷；移動機構(gòu)，使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉(zhuǎn)方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動； 溫度檢測部，檢測上述噴嘴的溫度；以及 溫度調(diào)節(jié)部，向上述涂敷噴嘴的設(shè)置環(huán)境供給規(guī)定溫度的氣體，調(diào)整上述噴嘴的溫度。
8.如權(quán)利要求6所述的螺旋涂敷裝置，其特征在干， 上述溫度檢測部設(shè)置在多個部位，測定上述涂敷噴嘴、支撐上述涂敷噴嘴的支撐機構(gòu)、以及對上述涂敷噴嘴供給的材料中的任意的ー個以上的溫度。
9.ー種螺旋涂敷方法，其特征在干， 對在載置涂敷對象物的載置面上對置配置的涂敷噴嘴的高度方向的位置信息進行檢測， 根據(jù)上述涂敷噴嘴的位置信息，調(diào)整工作臺與上述涂敷噴嘴的相對位置而進行定位。
10.ー種螺旋涂敷方法，其特征在干， 利用在載置涂敷對象物的載置面設(shè)置的位移傳感器，檢測距與上述載置面對置配置的涂敷噴嘴的前端的距離， 根據(jù)距上述涂敷噴嘴的距離，調(diào)整工作臺與上述涂敷噴嘴的相對位置而進行定位。
11.ー種螺旋涂敷方法，其特征在干， 通過在具有載置涂敷對象物的載置面的工作臺的側(cè)方設(shè)置的線傳感器，檢測上述載置面在上下方向的位置信息， 用上述線傳感器檢測噴嘴的前端在上下方向的位置信息，使噴嘴移動而使上述噴嘴的前端對齊于和上述載置面相同的高度， 將調(diào)整用基板設(shè)置在上述載置面上， 根據(jù)包含預(yù)先設(shè)定的間隙值的間隙信息，使上述噴嘴移動規(guī)定距離而定位到目標(biāo)高度， 使上述噴嘴與上述載置面對置配置， 通過與上述噴嘴一體設(shè)置并與上述噴嘴一起移動的位移傳感器，測定距在上述載置面設(shè)置的上述調(diào)整用基板的距離， 根據(jù)所測定的距上述調(diào)整用基板的距離，進行上述噴嘴的前端與上述載置面的定位。
12.如權(quán)利要求9所述的螺旋涂敷方法，其特征在于 在上述定位之后在上述載置面上設(shè)置上述涂敷對象物， 一邊通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)使載置有上述涂敷對象物的上述工作臺旋轉(zhuǎn)，一邊通過移動機構(gòu)使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在上述交差方向上沿著上述載置面相對移動，通過上述涂敷噴嘴對上述工作臺上的涂敷對象物涂敷上述材料。
全文摘要
一種螺旋涂敷裝置，具有工作臺、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、涂敷噴嘴、移動機構(gòu)部、噴嘴位置檢測部以及位置調(diào)整部。工作臺具有載置涂敷對象物的載置面。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)使上述工作臺在沿著上述載置面的旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)。涂敷噴嘴對工作臺上的上述涂敷對象物噴出材料而進行涂敷。移動機構(gòu)部使上述工作臺和上述涂敷噴嘴在與上述旋轉(zhuǎn)方向相交的交差方向上沿著上述載置面相對移動，并使上述工作臺和上述涂敷噴嘴能夠在上述旋轉(zhuǎn)的軸方向上相對移動。噴嘴位置檢測部檢測上述旋轉(zhuǎn)的軸方向上的上述涂敷噴嘴的底面的位置信息。位置調(diào)整部根據(jù)上述涂敷噴嘴的位置信息，進行上述涂敷噴嘴與上述載置面在上述軸方向的位置調(diào)整。
文檔編號B05D1/02GK102836793SQ20121020925
公開日2012年12月26日 申請日期2012年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月20日
發(fā)明者大城健一, 佐藤強 申請人:株式會社東芝