專利名稱：?jiǎn)?dòng)加注處理方法和啟動(dòng)加注處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種啟動(dòng)加注(priming)處理方法和啟動(dòng)加注處理裝置，用于在非旋涂法(spinless)的涂敷處理所用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為 涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備。
背景技術(shù)：
在IXD等平板顯示器(FPD)的制造工藝中的光蝕刻工序中，多使用非旋涂法，該非 旋涂法是使具有狹縫狀噴出口的長(zhǎng)條形的狹縫式噴嘴進(jìn)行掃描，從而在被處理基板(例如 玻璃基板)上涂敷抗蝕液。在這樣的非旋涂法中，希望在防止抗蝕劑涂敷膜的膜厚的不均勻性和涂敷不均的 基礎(chǔ)上，使在涂敷掃描過(guò)程中噴出到基板上的抗蝕液在掃描方向上繞到狹縫式噴嘴的背面 側(cè)而形成的彎液面(meniscus)在噴嘴長(zhǎng)度方向上對(duì)齊成水平一條直線，因此，在涂敷掃描 即將開(kāi)始之前，在狹縫式噴嘴的噴出口和基板之間涂敷間隙中塞滿適量的抗蝕液而使該噴 出口和基板之間不存在間隙是必要條件。為了滿足該必要條件，作為涂敷掃描的預(yù)先準(zhǔn)備， 進(jìn)行從狹縫式噴嘴的噴出口到背面下端部形成抗蝕液的液膜的啟動(dòng)加注處理。有代表性的啟動(dòng)加注處理方法如下所述在涂敷處理部附近水平地設(shè)置具有與狹 縫式噴嘴相同或相同長(zhǎng)度以上的長(zhǎng)度的圓筒狀的啟動(dòng)加注輥，使狹縫式噴嘴隔著微小的間 隙接近到與啟動(dòng)加注輥的頂部相對(duì)的位置而噴出抗蝕液，之后立即使啟動(dòng)加注輥沿規(guī)定方 向旋轉(zhuǎn)。于是，噴出到啟動(dòng)加注輥的頂部附近的抗蝕液繞到狹縫式噴嘴的背面下部而卷繞 在啟動(dòng)加注輥的外周面上，抗蝕液的液膜以分成狹縫式噴嘴側(cè)和啟動(dòng)加注輥側(cè)的形式被分 離。在狹縫式噴嘴上從噴嘴噴出口到背面下端部殘留有抗蝕液的液膜。以往的通常的啟動(dòng)加注處理裝置不僅具有用于驅(qū)動(dòng)啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)， 還具有用于清潔啟動(dòng)加注輥的刮削器(scraper)、清洗噴嘴和干燥噴嘴等，當(dāng)1次啟動(dòng)加注 處理結(jié)束時(shí)，作為該啟動(dòng)加注處理的后處理，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn)而利用 刮削器自啟動(dòng)加注輥的外周面刮掉抗蝕液，然后利用清洗噴嘴和干燥噴嘴分別對(duì)啟動(dòng)加注 輥的外周面噴射清洗液和干燥氣體。但是，在1次的啟動(dòng)加注處理中，啟動(dòng)加注輥上的用于接受從狹縫式噴嘴噴出的 抗蝕液而繞涂該抗蝕液的區(qū)域由于狹縫式噴嘴、啟動(dòng)加注輥的尺寸的不同而不同，該區(qū)域 無(wú)需是啟動(dòng)加注輥的整周(360° )，通常是半周(180° )以下，也可以是1/4周(90° )以 下或1/5周(72° )以下。而且，以往的通常的啟動(dòng)加注處理裝置在每次進(jìn)行啟動(dòng)加注處理 時(shí)，作為后處理均如上所述那樣使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn)而對(duì)啟動(dòng)加注輥的整個(gè)外周面(整 周)噴射清洗液，因此存在需要大量的清洗液(通常為稀釋劑(thinner))的問(wèn)題。為了解決該問(wèn)題，本申請(qǐng)人在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了如下啟動(dòng)加注處理方法，即，為 了進(jìn)行1次啟動(dòng)加注處理，隔開(kāi)規(guī)定的間隙地相對(duì)配置狹縫式噴嘴的噴出口和啟動(dòng)加注輥 的上端，從狹縫式噴嘴噴出一定量的處理液或涂敷液(例如抗蝕液)，并且使啟動(dòng)加注輥旋 轉(zhuǎn)規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度，在該啟動(dòng)加注處理中使用啟動(dòng)加注輥的半周以下的局部表面區(qū)域，在連續(xù)的規(guī)定次數(shù)的啟動(dòng)加注處理結(jié)束之后，統(tǒng)一清洗啟動(dòng)加注輥的整個(gè)外周面。在該啟動(dòng)加注處理方法中，將啟動(dòng)加注輥的外周面沿該啟動(dòng)加注輥的周向分成多 個(gè)區(qū)域，在連續(xù)的規(guī)定次數(shù)的啟動(dòng)加注處理中依次分配地使用上述的分開(kāi)區(qū)域(局部表面 區(qū)域)，之后統(tǒng)一清洗啟動(dòng)加注輥的整個(gè)外周面。在該統(tǒng)一清洗處理中，一邊利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 使啟動(dòng)加注輥連續(xù)旋轉(zhuǎn)一邊使清洗機(jī)構(gòu)和干燥部進(jìn)行動(dòng)作，從而統(tǒng)一清洗啟動(dòng)加注輥的整 個(gè)外周面，在進(jìn)行各啟動(dòng)加注處理時(shí)，不用設(shè)置用于將繞涂在啟動(dòng)加注輥的表面上的涂敷 液的液膜刮掉的刮削器，且能夠節(jié)省在啟動(dòng)加注處理后的清洗處理中所消耗的清洗液，并 且還能防止在進(jìn)行清洗處理時(shí)產(chǎn)生微粒。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2007-23704
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是本申請(qǐng)人在上述專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)的啟動(dòng)加注處理方法的改進(jìn)版發(fā)明， 并且是本申請(qǐng)人從個(gè)人觀點(diǎn)出發(fā)、考慮到啟動(dòng)加注處理的成品率以及可靠性且能夠更大程 度地減少在啟動(dòng)加注處理中使用的清洗液的發(fā)明。S卩，本發(fā)明提供一種能夠保證啟動(dòng)加注處理的可靠性并且能夠更大程度地減少清 洗液的使用量的啟動(dòng)加注處理方法和啟動(dòng)加注處理裝置。本發(fā)明的第1技術(shù)方案提供一種啟動(dòng)加注處理方法，該方法用于在非旋涂法的涂 敷處理用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成涂敷液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，其 中，該方法包括下述工序第1工序，為了進(jìn)行1次量的第1啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式 噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與 該啟動(dòng)加注輥的頂部平行地相對(duì)，然后使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；第2工序， 在上述那樣噴出了涂敷液后，立即在使上述啟動(dòng)加注輥靜止的狀態(tài)下保持不變地放置該涂 敷液規(guī)定時(shí)間；第3工序，使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第 1涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；第4工序，使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周 面上的上述第1涂敷液膜到達(dá)第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)， 上述第1涂敷液膜在該第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；第5 工序，使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜在上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置自然干燥； 第6工序，利用清洗而去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜。另外，本發(fā)明的第1技術(shù)方案還提供一種啟動(dòng)加注處理裝置，該裝置用于在非旋 涂法的涂敷處理所用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù) 先準(zhǔn)備，其中，該裝置包括啟動(dòng)加注輥，其為圓筒狀或圓柱狀且水平地配置在規(guī)定位置； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其用于使上述啟動(dòng)加注輥繞該啟動(dòng)加注輥的中心軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；清洗機(jī)構(gòu)，其用 于噴射清洗液，以清洗上述啟動(dòng)加注輥的外周面；排氣機(jī)構(gòu)，其用于對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的周 圍進(jìn)行強(qiáng)制性的排氣；控制部，其用于控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、上述清洗部和上述排氣部的各動(dòng) 作，該裝置為了進(jìn)行1次量的第1啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配 置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂部平行地 相對(duì)，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液，在上述那樣噴出了涂敷液后，立即保持使上 述啟動(dòng)加注輥靜止的狀態(tài)不變地放置該涂敷液規(guī)定時(shí)間，然后利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟 動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第1涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上，然后使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第1涂敷液膜到達(dá)第1待機(jī) 用旋轉(zhuǎn)角度位置，之后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第1涂敷液膜在該第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn) 角度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)，使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜在 上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置自然干燥，之后使上述清洗機(jī)構(gòu)和上述排氣機(jī)構(gòu)進(jìn) 行動(dòng)作， 利用清洗而去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜。在上述第1技術(shù)方案的啟動(dòng)加注處理方法或啟動(dòng)加注處理裝置中，將啟動(dòng)加注輥 的外周面沿該啟動(dòng)加注輥的周向分開(kāi)成多個(gè)區(qū)域，在連續(xù)的規(guī)定次數(shù)的啟動(dòng)加注處理中分 別分配地使用上述分開(kāi)區(qū)域。并且，在除了最后一次啟動(dòng)加注處理之外的各啟動(dòng)加注中，在 繞涂了各抗蝕液膜后立即使該抗蝕液膜向規(guī)定的各待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置移動(dòng)，在該待機(jī)用 旋轉(zhuǎn)角度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)，從而能夠防止各涂敷液膜(特別是液膜 的一端的積液部)發(fā)生液體下垂現(xiàn)象，由此能夠形成自然干燥的未干透狀態(tài)。這樣，由于能夠防止涂敷液膜在啟動(dòng)加注輥上發(fā)生液體下垂現(xiàn)象，因此不會(huì)弄臟 該涂敷液膜旁邊的未使用分開(kāi)區(qū)域，因而之后的啟動(dòng)加注處理不會(huì)被之前的啟動(dòng)加注處理 影響，能夠提高啟動(dòng)加注處理的再現(xiàn)性和可靠性。另外，由于將附著在啟動(dòng)加注輥上的涂敷液膜形成為自然干燥的半干狀態(tài)的涂敷 液膜而清洗該涂敷液膜、或在完全液狀的狀態(tài)下清洗該涂敷液膜，因此該涂敷液膜容易被 洗掉，能夠減輕清洗機(jī)構(gòu)的負(fù)擔(dān)，且能夠減少清洗液的使用量。此外，在統(tǒng)一清洗時(shí)，只對(duì)啟動(dòng)加注輥的外周面的附著有涂敷液膜的區(qū)域噴射適 量的清洗液，從而能夠更大程度地減少清洗液的使用量。本發(fā)明的第2技術(shù)方案提供一種啟動(dòng)加注處理方法，該方法用于在非旋涂法的涂 敷處理所用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成涂敷液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備， 其中，該方法包括第1工序，為了進(jìn)行1次量的第1啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴 出口相對(duì)于水平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加 注輥的頂部平行地相對(duì)，然后使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；第2工序，在上述那 樣噴出了涂敷液后立即使上述啟動(dòng)加注輥以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行往返的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；第3工 序，使上述啟動(dòng)加注輥正向旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第1涂敷液膜繞涂 在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；第4工序，使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第1 涂敷液膜到達(dá)第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第1涂敷液 膜在該第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；第5工序，使上述啟動(dòng) 加注輥上的上述第1涂敷液膜在上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置自然干燥；第6工序，利用清 洗而去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜。另外，本發(fā)明的第2技術(shù)方案還提供一種啟動(dòng)加注處理裝置，該裝置用于在非旋 涂法的涂敷處理所用的狹縫式噴嘴的噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù) 先準(zhǔn)備，其中，該裝置包括啟動(dòng)加注輥，其為圓筒狀或圓柱狀且水平地配置在規(guī)定位置； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其用于使上述啟動(dòng)加注輥繞該啟動(dòng)加注輥的中心軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；清洗機(jī)構(gòu)，其用 于噴射清洗液，以清洗上述啟動(dòng)加注輥的外周面；排氣機(jī)構(gòu)，其用于對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的周 圍進(jìn)行強(qiáng)制性的排氣；控制部，其用于控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、上述清洗部和上述排氣部的各動(dòng) 作，該裝置為了進(jìn)行1次量的第1啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平配 置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥平行地相對(duì)，然后使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液，在上述那樣噴出了涂敷液后立即利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行往返的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，然后利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使 上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第1涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng) 加注輥的外周面上，然后使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第1涂敷液膜到達(dá)第 1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置，之后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第1涂敷液膜在該第1待機(jī) 用旋轉(zhuǎn)角度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)，在上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置使上 述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜自然干燥，之后使上述清洗機(jī)構(gòu)和上述排氣機(jī)構(gòu)進(jìn)行 動(dòng)作，利用清洗而去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜。在上述第2技術(shù)方案的啟動(dòng)加注處理方法或啟動(dòng)加注處理裝置中，在噴出了涂敷 液后立即使啟動(dòng)加注輥進(jìn)行優(yōu)選為低速的往返旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而能夠利用狹縫式噴嘴的噴出 部(下端面)使剛從狹縫式噴嘴噴出在啟動(dòng)加注輥上的涂敷液沿輥的周向均勻化，從而不 易使液膜的端部發(fā)生液體積溜現(xiàn)象。由此，自不必說(shuō)形成在啟動(dòng)加注輥上的涂敷液膜不會(huì) 在向規(guī)定的待機(jī)用旋轉(zhuǎn)位置移動(dòng)的中途發(fā)生液膜下垂的現(xiàn)象，而且由于不存在積液部，因 此當(dāng)該涂敷液膜停止在待機(jī)用旋轉(zhuǎn)位置時(shí)以及在該位置靜止的狀態(tài)下，更加不易發(fā)生液膜 下垂的現(xiàn)象。由此，不僅能夠起到上述第1技術(shù)方案的啟動(dòng)加注處理方法或啟動(dòng)加注處理 裝置的作用和效果，還能獲得可以擴(kuò)大待機(jī)用旋轉(zhuǎn)位置的設(shè)定范圍的效果。另外，在本發(fā)明的啟動(dòng)加注處理方法或啟動(dòng)加注處理裝置中，在將涂敷液膜繞涂 在啟動(dòng)加注輥上而使該涂敷液膜分開(kāi)后，優(yōu)選立即使啟動(dòng)加注輥繼續(xù)在規(guī)定時(shí)間內(nèi)進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)動(dòng)作，然后在最后采用能到達(dá)規(guī)定的待機(jī)用旋轉(zhuǎn)位置的動(dòng)作。由此，自不必說(shuō)形成在啟動(dòng) 加注輥上的涂敷液膜不會(huì)在繼續(xù)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的期間內(nèi)發(fā)生液膜下垂的現(xiàn)象，而且由于能 夠在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中使膜厚在某一程度上達(dá)到均勻，因此當(dāng)該涂敷液膜停止在待機(jī)用旋 轉(zhuǎn)位置時(shí)以及在該位置靜止的狀態(tài)下，更加不易發(fā)生液膜下垂的現(xiàn)象。由此，能夠獲得可以 擴(kuò)大或者更加擴(kuò)大待機(jī)用旋轉(zhuǎn)位置的設(shè)定范圍的效果。采用本發(fā)明的啟動(dòng)加注處理方法或啟動(dòng)加注處理裝置，能夠利用上述那樣的結(jié)構(gòu) 和作用保證啟動(dòng)加注處理的可靠性、并且能夠更大程度地減少清洗液的使用量。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的啟動(dòng)加注處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。圖2是示意性地表示在第1實(shí)施例中進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段的圖。圖3是以時(shí)間軸上的波形表示在第1實(shí)施例中進(jìn)行1次量的啟動(dòng)加注處理動(dòng)作時(shí) 的啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)速度特性的圖。圖4是示意性地表示在第1實(shí)施例中進(jìn)行第2次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段的圖。圖5是示意性地表示在第1實(shí)施例中在啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)進(jìn)行最后 (第4次)的啟動(dòng)加注處理以及在該處理后立即進(jìn)行統(tǒng)一清洗處理時(shí)的各階段的圖。圖6是以時(shí)間軸上的波形表示在進(jìn)行圖5的啟動(dòng)加注處理動(dòng)作和統(tǒng)一清洗處理時(shí) 的啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)速度特性的圖。圖7是用于說(shuō)明清洗工序中的啟動(dòng)加注處理裝置的作用的圖。圖8是示意性地表示在第1實(shí)施例的一變形例中進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各 階段的圖。
圖9是示意性地表示在上述變形例中進(jìn)行第2次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段的圖。圖10是示意性地表示在第1實(shí)施例的另一變形例中進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí) 的各階段的圖。圖11是示意性地表示在上述變形例中進(jìn)行第2次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段的圖。圖12是示意性地表示在第2實(shí)施例中進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段的圖。圖13是以時(shí)間軸上的波形表示在第2實(shí)施例中進(jìn)行1次量的啟動(dòng)加注處理動(dòng)作 時(shí)的啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)速度特性的圖。圖14是示意性地表示在第3實(shí)施例中進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各階段的圖。圖15是以時(shí)間軸上的波形表示在第3實(shí)施例中進(jìn)行1次量的啟動(dòng)加注處理動(dòng)作 時(shí)的啟動(dòng)加注輥的旋轉(zhuǎn)速度特性的圖。圖16是表示第4實(shí)施例中進(jìn)行第2次啟動(dòng)加注處理時(shí)的涂敷位置時(shí)的圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照所添加的

本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。 啟動(dòng)加灃處理裝置的結(jié)構(gòu)圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的啟動(dòng)加注處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。該啟動(dòng)加注處 理裝置被組裝于抗蝕劑涂敷裝置(未圖示)中，該抗蝕劑涂敷裝置例如在LCD制造工藝用 的光蝕刻工序中進(jìn)行非旋涂法的抗蝕劑涂敷處理，并且該啟動(dòng)加注處理裝置配置在為了進(jìn) 行抗蝕劑涂敷處理而載置或懸浮輸送被處理基板的涂敷臺(tái)(未圖示)的附近。在圖示的啟動(dòng)加注處理裝置中，外殼10由在上表面具有狹縫狀的開(kāi)口部12的長(zhǎng) 條形的框體構(gòu)成，且外殼10以所收容的啟動(dòng)加注輥14的頂部經(jīng)由開(kāi)口部12暴露于上方的 方式利用軸承(未圖示)水平且能旋轉(zhuǎn)地支承該啟動(dòng)加注輥14。啟動(dòng)加注輥14是例如由不銹鋼構(gòu)成的圓筒狀或圓柱狀的輥，具有恒定的外徑(例 如100 150mm)以及能夠覆蓋后述的狹縫式噴嘴72的全長(zhǎng)的長(zhǎng)度。外殼10也可以由例 如不銹鋼制成。在外殼10內(nèi)，當(dāng)以啟動(dòng)加注輥14的頂部或最上部作為基準(zhǔn)位置PQ(0° )時(shí)，沿正 向旋轉(zhuǎn)的周向(圖1中的逆時(shí)針?lè)较?優(yōu)選在旋轉(zhuǎn)角度位置為90° 180°的區(qū)間內(nèi)設(shè)有 清洗機(jī)構(gòu)16的清洗噴嘴18。該清洗噴嘴18優(yōu)選由長(zhǎng)條形的雙流體噴射噴嘴18構(gòu)成，以覆 蓋啟動(dòng)加注輥14的全長(zhǎng)的長(zhǎng)度與該啟動(dòng)加注輥14平行地配置，且借助配管20、22與清洗 液供給部24和氣體供給部26相連接。在配管20、22的中途分別設(shè)有開(kāi)閉閥28、30。清洗啟動(dòng)加注輥14時(shí)，將開(kāi)閉閥28、30打開(kāi)，雙流體噴射噴嘴18分別自清洗液供 給部24和氣體供給部26以期望的流量接受清洗液(例如稀釋劑)和氣體(例如空氣或氮 氣)，然后使清洗液和氣體在噴嘴內(nèi)混合，將混合物自狹縫或多孔型的噴出口以噴射流的方 式噴射到啟動(dòng)加注輥14的外周面上。清洗控制部25控制清洗液供給部24、氣體供給部26 和開(kāi)閉閥28、30，特別是，在來(lái)自后述的主控制部70的指示下能夠單獨(dú)且任意地控制清洗 液和氣體的流量。在開(kāi)口部12與清洗機(jī)構(gòu)16之間的區(qū)間內(nèi)，外殼10的內(nèi)壁以留有不會(huì)與啟動(dòng)加注 輥14的外周面接觸那樣程度的微小間隙的方式與該外周面鄰近，該間隙形成為噴霧遮擋 部32。在清洗啟動(dòng)加注輥14時(shí)，產(chǎn)生在雙流體噴射噴嘴18周圍的噴霧不會(huì)通過(guò)噴霧遮擋部32的間隙而流向開(kāi)口部12側(cè)，而是被該噴霧遮擋部32遮擋。 在外殼10內(nèi)，在以啟動(dòng)加注輥14為中心而在與噴霧遮擋部32和清洗機(jī)構(gòu)16相 反的一側(cè)設(shè)置有噴霧引入部34、吸引口 36和強(qiáng)制干燥部38。在以啟動(dòng)加注輥14的頂部作為基準(zhǔn)位置P。(0° )時(shí)，優(yōu)選將噴霧引入部34設(shè)置 在沿正向旋轉(zhuǎn)的周向的旋轉(zhuǎn)角度位置為180° 270°的區(qū)間內(nèi)。圖示的結(jié)構(gòu)例的噴霧引 入部34在該區(qū)間內(nèi)具有形成在外殼10的內(nèi)壁與啟動(dòng)加注輥14的外周面之間的用于引入 噴霧的間隙40。優(yōu)選將強(qiáng)制干燥部38設(shè)置在比噴霧引入部34靠下游側(cè)的旋轉(zhuǎn)角度位置為 270° 360°的區(qū)間內(nèi)。圖示的結(jié)構(gòu)例的強(qiáng)制干燥部38在該區(qū)間內(nèi)具有形成在外殼10的 內(nèi)壁與啟動(dòng)加注輥14的外周面之間的用于除去液體的間隙42。吸引口 36借助真空通路44和真空管46與具有例如真空泵或吸氣扇(未圖示)和 捕霧器(mist trap)或過(guò)濾器等的真空(vacuum)裝置48相連通。在真空通路44的末端 附近設(shè)置有由排氣閥控制部50控制開(kāi)閉的排氣閥52。在開(kāi)啟真空裝置48而使排氣閥52 處于開(kāi)放狀態(tài)時(shí)，噴霧引入部34和強(qiáng)制干燥部38進(jìn)行動(dòng)作，使噴霧引入用的氣流和液體除 去用的氣流分別從外部朝向吸引口 36地流入噴霧弓I入用的間隙40和液體除去用的間隙42 中。在關(guān)閉排氣閥52時(shí)，即使真空裝置48處于開(kāi)啟狀態(tài)，吸引口 36也不會(huì)到達(dá)真空，噴霧 引入部34和強(qiáng)制干燥部38處于非動(dòng)作(off)狀態(tài)。在該啟動(dòng)加注處理裝置中，用于對(duì)啟動(dòng)加注輥14的周圍進(jìn)行強(qiáng)制性排氣的排氣 機(jī)構(gòu)45如上所述那樣包括噴霧引入部34、吸引口 36、強(qiáng)制干燥部38、真空裝置48、排氣閥 控制部50和排氣閥52。在外殼10的底部，在啟動(dòng)加注輥14的正下方位置形成有排液口 54。該排液口 54 借助排液管56與排液箱58相連通。在該啟動(dòng)加注處理裝置中，用于使啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)65包括電動(dòng)機(jī) 60、旋轉(zhuǎn)控制部62和編碼器64。電動(dòng)機(jī)60優(yōu)選由伺服電動(dòng)機(jī)構(gòu)成，電動(dòng)機(jī)60的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 軸例如借助帶輪、傳動(dòng)帶等傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)與啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)軸相連接。旋轉(zhuǎn)控 制部62不僅能夠控制電動(dòng)機(jī)60的基本動(dòng)作(旋轉(zhuǎn)、停止、速度控制等)，還能夠利用編碼器 64任意地控制電動(dòng)機(jī)60的旋轉(zhuǎn)量和旋轉(zhuǎn)角度位置。在該啟動(dòng)加注處理裝置中設(shè)置有用于測(cè)量啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕劑膜的膜厚的 膜厚測(cè)量部67。膜厚測(cè)量部67具有膜厚傳感器66和膜厚運(yùn)算部68。將膜厚傳感器66以不與狹縫式噴嘴72發(fā)生干涉的方式設(shè)置或配置在開(kāi)口部12 的附近，自該位置以非接觸的方式即光學(xué)方式測(cè)量附著在正對(duì)著的啟動(dòng)加注輥14的外周 面上的抗蝕劑液膜的膜厚。作為另一結(jié)構(gòu)例，例如也可以利用支承臂等可動(dòng)地支承膜厚傳 感器66，在狹縫式噴嘴72遠(yuǎn)離外殼10的開(kāi)口部12時(shí)，使膜厚傳感器66對(duì)位在開(kāi)口部12 之上。膜厚運(yùn)算部68輸入膜厚傳感器66的輸出信號(hào)，運(yùn)算啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液膜 的膜厚測(cè)量值。優(yōu)選沿啟動(dòng)加注輥14的軸線方向以恒定間隔呈一列地配置有多個(gè)膜厚傳 感器66，從而不僅能夠測(cè)量啟動(dòng)加注輥14的周向上的抗蝕液膜的膜厚分布特性，而且還能 測(cè)量啟動(dòng)加注輥14的軸向的抗蝕液膜的膜厚分布特性。利用膜厚測(cè)量部67測(cè)得的膜厚測(cè) 量值以及膜厚分布特性測(cè)量值被輸送到主控制部70。
主控制部70包括按照規(guī)定的軟件的指示進(jìn)行動(dòng)作的微型計(jì)算機(jī)，統(tǒng)一控制該啟 動(dòng)加注處理裝置內(nèi)的清洗機(jī)構(gòu)16、排氣機(jī)構(gòu)45、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)65和膜厚測(cè)量部67的動(dòng)作。在 圖示的結(jié)構(gòu)例中，主控制部70直接控制真空裝置48、膜厚傳感器66和膜厚運(yùn)算部68的各 動(dòng)作，并且利用清洗控制部25、排氣閥控制部50和旋轉(zhuǎn)控制部62控制雙流體噴射噴嘴18、 排氣閥52和電動(dòng)機(jī)60的各動(dòng)作。此外，主控制部70能夠利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)65的旋轉(zhuǎn)控制部 62把握并控制啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)量和旋轉(zhuǎn)角度位置。 另外，主控制部70統(tǒng)一控制該啟動(dòng)加注處理裝置內(nèi)的整體順序(sequence)，并且 至少在進(jìn)行啟動(dòng)加注處理時(shí)控制該抗蝕劑涂敷裝置所具有的抗蝕劑涂敷處理用的狹縫式 噴嘴72的所有動(dòng)作。S卩，在該抗蝕劑涂敷裝置中，利用噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)74支承狹縫式噴嘴72，且能夠?qū)?該狹縫式噴嘴72在預(yù)先設(shè)定的空間內(nèi)搬送到任一位置上且定位在任意的位置上。另外，將 抗蝕液自抗蝕劑供給部76經(jīng)由抗蝕劑供給管78供給到狹縫式噴嘴72中。這里，在抗蝕劑 供給管78上設(shè)有開(kāi)閉閥80。在進(jìn)行啟動(dòng)加注處理時(shí)，主控制部70利用噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)74、 抗蝕劑供給部76、開(kāi)閉閥80來(lái)控制狹縫式噴嘴72的移動(dòng)、定位及抗蝕液噴出動(dòng)作。啟動(dòng)加灃處理方法的第1實(shí)施例接下來(lái)，參照?qǐng)D2 圖11說(shuō)明能夠利用該啟動(dòng)加注處理裝置實(shí)施的啟動(dòng)加注處理 方法的第1實(shí)施例。在組裝有該啟動(dòng)加注處理裝置的該抗蝕劑涂敷裝置中，在涂敷臺(tái)上，每當(dāng)1張基 板的量的涂敷處理結(jié)束時(shí)，作為下一涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，使用該啟動(dòng)加注處理裝置進(jìn)行1 次量的啟動(dòng)加注處理。圖2表示在將啟動(dòng)加注輥14的整個(gè)外周面恢復(fù)成清潔狀態(tài)后進(jìn)行最初(第1次) 的啟動(dòng)加注處理時(shí)的各個(gè)階段。圖3以時(shí)間軸上的波形表示第1次啟動(dòng)加注處理動(dòng)作中的 啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度特性。在該第1次啟動(dòng)加注處理中，首先如圖1所示，利用噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)74定位狹縫式 噴嘴72，以使狹縫式噴嘴72的噴出口相對(duì)于啟動(dòng)加注輥14的頂部隔開(kāi)規(guī)定的間隙(例如 幾十 幾百Pm)而與該啟動(dòng)加注輥14的頂部平行地相對(duì)。在該情況下，自不必說(shuō)清洗機(jī) 構(gòu)16保持不動(dòng)，排氣機(jī)構(gòu)45也保持不動(dòng)。然后如圖2的1(噴出及放置)所示，使啟動(dòng)加注輥14保持靜止?fàn)顟B(tài)，經(jīng)由抗蝕劑 供給部76使狹縫式噴嘴72在規(guī)定時(shí)間內(nèi)(、 、例如1秒鐘)噴出一定量的抗蝕液R， 噴出后立即放置該抗蝕液R規(guī)定時(shí)間(、 、例如3秒鐘)。自狹縫式噴嘴72噴出的抗 蝕液R在被放置的期間U1 t2)內(nèi)在狹縫式噴嘴72的噴出口附近以及啟動(dòng)加注輥14的 頂部附近沿噴嘴的長(zhǎng)度方向和輥的周向向周圍擴(kuò)散。然后，利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)65在規(guī)定的時(shí)刻(圖3的時(shí)刻t2)使啟動(dòng)加注輥14開(kāi)始進(jìn) 行正向旋轉(zhuǎn)，如圖2的II (繞涂)所示，使抗蝕液R蔓延到狹縫式噴嘴72的背面下端部72a 地將抗蝕液R繞涂在設(shè)定于啟動(dòng)加注輥14的外周面上的第1分開(kāi)區(qū)域14(1)。這里，優(yōu)選 繞涂抗蝕液R時(shí)的輥旋轉(zhuǎn)速度Va為不會(huì)太快斷開(kāi)抗蝕液R的液膜那樣的比較慢的速度，例 如將周向速度選擇為幾十mm/秒。然后，在規(guī)定的時(shí)刻(圖3的時(shí)刻t3)瞬間提高啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度。由此， 如圖2的III (斷開(kāi))所示，抗蝕液R的液膜被斷開(kāi)而分成狹縫式噴嘴72側(cè)的液膜和啟動(dòng)加注輥14側(cè)的液膜。此時(shí)，在使狹縫式噴嘴72上升時(shí)，能夠在規(guī)定的部位更加順暢且可靠 地?cái)嚅_(kāi)抗蝕液膜。這樣，在狹縫式噴嘴72的從噴嘴噴出口到背面下端部72a的范圍內(nèi)殘留 有抗蝕液的液膜RF。另一方面，在啟動(dòng)加注輥14的外周面上作為第1抗蝕液膜(涂敷液膜)殘留有如 上所述那樣被繞涂的抗蝕液的液膜RMlt5這里，在啟動(dòng)加注輥14的正向旋轉(zhuǎn)的周向上，呈現(xiàn) 出在第1抗蝕液膜RM1的前端部產(chǎn)生截面為球狀的積液部Hi1的趨勢(shì)。例如，在沿啟動(dòng)加注輥14的周向?qū)?dòng)加注輥14的外周面4等分而對(duì)各分開(kāi)區(qū) 域14(n) (n = 1 4)進(jìn)行1次量的啟動(dòng)加注處理的情況下，以旋轉(zhuǎn)角度范圍表示，可以將 形成在各分開(kāi)區(qū)域14(η)中的各抗蝕液膜RMn的周向繞涂尺寸設(shè)定為例如75° 85°的 尺寸。這樣，在將第1抗蝕液膜RM1自狹縫式噴嘴72斷開(kāi)后，使啟動(dòng)加注輥14繼續(xù)旋轉(zhuǎn)， 從而使第1抗蝕液膜RM1旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至圖2的IV(停止、待機(jī))所示的第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度 位置〈ΡΡ，當(dāng)?shù)?抗蝕液膜RM1旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至該位置時(shí)使啟動(dòng)加注輥14停止旋轉(zhuǎn)。在該情況下，可以任意地設(shè)定從斷開(kāi)抗蝕液膜RM1到停止的期間(t4 t5)內(nèi)的的 啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度特性，但優(yōu)選如圖3所示那樣將該特性定型為在將旋轉(zhuǎn)速度提高 到比斷開(kāi)速度\快很多的速度V。后以恒定的速率(負(fù)的加速度)減速的特性。這樣，在正在旋轉(zhuǎn)的啟動(dòng)加注輥14上不會(huì)發(fā)生抗蝕液在重力的作用下自第1抗蝕 液膜RM1 (特別是積液部Hi1)下垂的現(xiàn)象，即不會(huì)弄臟啟動(dòng)加注輥14的外周面上的其他分開(kāi) 區(qū)域(未使用區(qū)域)，從而能夠使第1抗蝕液膜RM1穩(wěn)定地移動(dòng)至第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置 〈P)。S卩，若在斷開(kāi)了抗蝕液膜RMn后立即使啟動(dòng)加注輥14停止旋轉(zhuǎn)，則在抗蝕液膜RMn 上仍持續(xù)作用有在重力的作用下朝向周向下方的力，從而使抗蝕液膜RMn在啟動(dòng)加注輥14 的外周面上垂向下方或者垂向前方。在使用狹縫式噴嘴進(jìn)行的非旋涂涂敷法中，由于通常 使用20cp以下的低粘度抗蝕液，因此容易在啟動(dòng)加注輥上發(fā)生上述那樣的抗蝕液膜下垂 的現(xiàn)象。然而，在本實(shí)施例中，通過(guò)不使啟動(dòng)加注輥14停止旋轉(zhuǎn)、而是使啟動(dòng)加注輥14繼續(xù) 旋轉(zhuǎn)，能夠?qū)嵸|(zhì)性地將作用在抗蝕液膜RMn上的重力作用力(引發(fā)液體下垂的力)消除掉， 從而不會(huì)使繞涂在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液膜RMn因發(fā)生液體下垂現(xiàn)象而擴(kuò)開(kāi)，能夠利用 表面張力使該抗蝕液膜RMn停止在規(guī)定區(qū)域(分開(kāi)區(qū)域)內(nèi)。如圖2的IV(停止、待機(jī))所示，優(yōu)選將第1抗蝕液膜RM1的中心到達(dá)輥的最下部 (180° )時(shí)的位置選定為第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置〈Ρ,。在該情況下，在啟動(dòng)加注輥14的 正向旋轉(zhuǎn)的周向上，第1抗蝕液膜RM1的前端被收容在比225°的旋轉(zhuǎn)角度位置靠上游側(cè)的 位置，第1抗蝕液膜RM1的后端被收容在比135°的旋轉(zhuǎn)角度位置靠下游側(cè)的位置。通過(guò)使第1抗蝕液膜RM1靜止在該第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置〈ΡΡ，即使在第1抗蝕 液膜RM1中存在液體的移動(dòng)、特別是抗蝕液自積液部Hi1向低處的部位移動(dòng)，抗蝕液也只是向 使第1抗蝕液膜RM1的膜厚變均勻的方向移動(dòng)，不會(huì)溢出到相鄰的分開(kāi)區(qū)域(未使用區(qū)域) 中。這樣，第1抗蝕液膜RM1能夠以靜止在啟動(dòng)加注輥14上的第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位 置<Pi>的狀態(tài)在規(guī)定時(shí)間內(nèi)(t4 t5 例如40 50秒鐘)暴露于周圍的空氣或接受自然 干燥至下一次(第2次)啟動(dòng)加注處理開(kāi)始。
在該期間內(nèi)，利用噴嘴移動(dòng)機(jī)構(gòu)74將狹縫式噴嘴72送往涂敷臺(tái)，在該涂敷臺(tái)上進(jìn) 行1張基板的量的抗蝕劑涂敷處理。然后，在抗蝕劑涂敷處理結(jié)束時(shí)，將狹縫式噴嘴72再 次送回到該啟動(dòng)加注處理裝置，且如圖1所示，以使該狹縫式噴嘴72的噴出口相對(duì)于啟動(dòng) 加注輥14的頂部隔開(kāi)規(guī)定的間隙而與該啟動(dòng)加注輥14平行地相對(duì)的方式定位該狹縫式噴 嘴72。圖4表示進(jìn)行第2次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各個(gè)階段。優(yōu)選在啟動(dòng)加注輥14的外周 面上使用第1抗蝕液膜RM1的下游側(cè)相鄰的分開(kāi)區(qū)域14(2)進(jìn)行第2次啟動(dòng)加注處理。為 此，在即將開(kāi)始進(jìn)行第2次啟動(dòng)加注處理之前，使啟動(dòng)加注輥14沿正向旋轉(zhuǎn)的周向旋轉(zhuǎn)規(guī) 定的旋轉(zhuǎn)角度。如圖4的1(噴出、放置)所示，在該第2次啟動(dòng)加注處理中，使啟動(dòng)加注輥14的 外周面上的分開(kāi)區(qū)域14(2)(更準(zhǔn)確而言為該分開(kāi)區(qū)域的前端部)位于啟動(dòng)加注輥14的頂 部，利用與進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)的動(dòng)作相同的動(dòng)作以及在相同的時(shí)刻使狹縫式噴嘴 72噴出一定量的抗蝕液R，然后立即放置該抗蝕液R規(guī)定時(shí)間。然后如圖4所示，還是利用與進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)的動(dòng)作相同的動(dòng)作以及 在相同的時(shí)刻依次進(jìn)行抗蝕液R的繞涂(II)、斷開(kāi)(III)、停止、待機(jī)(IV)的各個(gè)工序。在該情況下，亦與第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)相同，利用繞涂(II)工序和斷開(kāi)(III) 工序，以規(guī)定的周向尺寸(以旋轉(zhuǎn)角度范圍表示為75° 85° )將抗蝕液R繞涂在啟動(dòng)加 注輥14的外周面上，形成第2抗蝕液膜RM2。然后，使啟動(dòng)加注輥14繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，從而使第2 抗蝕液膜RM2自斷開(kāi)(III)的位置移動(dòng)至第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<P2>。

這樣，在正在旋轉(zhuǎn)的啟動(dòng)加注輥14上抗蝕液R不會(huì)因重力作用而自第2抗蝕液膜 RM2 (特別是積液部m2)下垂，能夠使第2抗蝕液膜RM2穩(wěn)定地移動(dòng)至第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位 置 <P2>。如圖4的IV(停止、待機(jī))所示，同樣優(yōu)選將第2抗蝕液膜RM2的中心到達(dá)輥的最 下部(180° )時(shí)的位置選定為第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<P2>。在該情況下，在啟動(dòng)加注輥 14的正向旋轉(zhuǎn)的周向上，第2抗蝕液膜RM2的前端被收容在比225°的旋轉(zhuǎn)角度位置靠下 游側(cè)的位置，第2抗蝕液膜RM2的后端被收容在比135°的旋轉(zhuǎn)角度位置靠上游側(cè)的位置。 通過(guò)使第2抗蝕液膜RM2靜止在該第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<P2>，即使在第2抗蝕液膜RM2 中存在液體的移動(dòng)，也不會(huì)使抗蝕液溢出到相鄰的分開(kāi)區(qū)域(未使用區(qū)域)中。另外，在啟動(dòng)加注輥14的正向旋轉(zhuǎn)的周向上，第1抗蝕液膜RM1在第2抗蝕液膜 RM2的上游側(cè)附近、即旋轉(zhuǎn)角度位置為45° 135°的范圍內(nèi)進(jìn)行待機(jī)。這里，從第1次啟動(dòng) 加注處理結(jié)束后到第2次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)的期間內(nèi)，由于第1抗蝕液膜RM1在第1待機(jī) 用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pi>接受自然干燥，因此該第1抗蝕液膜RM1的液膜表面在一定程度上干 燥，從而即使該第1抗蝕液膜RM1靜止在偏離第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pi>的位置(45° 135°的范圍內(nèi))，也不易發(fā)生液體下垂現(xiàn)象。另外，假設(shè)即使在啟動(dòng)加注輥14上抗蝕液自 第1抗蝕液膜RM1的前端部(積液部Hi1)向低處的位置(第2抗蝕液膜RM2的后端部側(cè))移 動(dòng)(液體下垂)，由于該低處的位置位于使用過(guò)的分開(kāi)區(qū)域14(1) 14(2)內(nèi)，因此不會(huì)產(chǎn) 生任何影響(不會(huì)弄臟未使用區(qū)域)。附圖中省略了第3次啟動(dòng)加注處理的圖示，同樣利用與上述第1次和第2次啟動(dòng) 加注處理完全相同的步驟以及動(dòng)作進(jìn)行該第3次啟動(dòng)加注處理。第3次啟動(dòng)加注處理的結(jié)果是，在啟動(dòng)加注輥14上的與第1抗蝕液膜RM1、第2抗蝕液膜RM2的所在區(qū)域均不相同的 區(qū)域內(nèi)、通常是正向旋轉(zhuǎn)的周向上的第2抗蝕液膜RM2的下游側(cè)附近的分開(kāi)區(qū)域14(3)內(nèi)， 以規(guī)定的周向尺寸(75° 85° )形成第3抗蝕液膜RM3,將該第3抗蝕液膜RM3視作第3 次啟動(dòng)加注處理所附帶產(chǎn)生的殘留物。當(dāng)將該第3抗蝕液膜RM3繞涂在啟動(dòng)加注輥14上 之后，立即向設(shè)定在輥的最下部(180° )附近的第3待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<P3>移動(dòng)該第3 抗蝕液膜冊(cè)3，使第3抗蝕液膜RM3在該第3待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<P3>接受自然干燥。 附圖中省略表示下述狀態(tài)，即，在啟動(dòng)加注輥14上，當(dāng)?shù)?抗蝕液膜RM3在輥的最 下部(180° )的第3待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<P3>進(jìn)行待機(jī)的期間內(nèi)，第2抗蝕液膜RM2在第 3抗蝕液膜RM3的上游側(cè)附近、即旋轉(zhuǎn)角度位置為45° 135°的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行待機(jī)，第1抗 蝕液膜RM1在第2抗蝕液膜RM2的上游側(cè)附近、即旋轉(zhuǎn)角度位置為-45° 45°的區(qū)域內(nèi)進(jìn) 行待機(jī)。在該情況下，第2抗蝕液膜RM2與上述第2次啟動(dòng)加注處理后的第1抗蝕液膜RM1 相同，不存在液體下垂的問(wèn)題。另外，第1抗蝕液膜RM1的中心部位于輥的最上部，第1抗 蝕液膜RM1的后端部位于比相鄰的未使用區(qū)域、即第4分開(kāi)區(qū)域14(4)高的位置。但是，由 于第1抗蝕液膜RM1持續(xù)接受了相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間(通常為100秒以上)的自然干燥，因此抗蝕 液不會(huì)自第1抗蝕液膜RM1的后端部向相鄰的未使用區(qū)域(第4分開(kāi)區(qū)域14(4))下垂。在該第1實(shí)施例中，自將啟動(dòng)加注輥14的整個(gè)外周面恢復(fù)成清潔狀態(tài)起連續(xù)進(jìn)行 了規(guī)定次數(shù)例如4次的啟動(dòng)加注處理之后，對(duì)啟動(dòng)加注輥14進(jìn)行統(tǒng)一清洗(清潔整個(gè)外周 面)°圖5表示在啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)進(jìn)行最后(第4次)的啟動(dòng)加注處 理以及在該啟動(dòng)加注處理后立即進(jìn)行統(tǒng)一清洗處理時(shí)的各個(gè)階段。圖6以時(shí)間軸上的波形 表示在進(jìn)行圖5的啟動(dòng)加注處理和統(tǒng)一清洗處理時(shí)的啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)速度特性。如圖5所示，在最后(第4次)的啟動(dòng)加注處理中，也是采用第1次 第3次啟動(dòng) 加注處理時(shí)的相同方法進(jìn)行抗蝕液R的噴出、放置(I)、抗蝕液膜RM4的繞涂(II)以及抗蝕 液膜RM4的斷開(kāi)(III)的各個(gè)工序，從而在啟動(dòng)加注輥14的外周面上將抗蝕液膜RM4繞涂 在第3抗蝕液膜RM3的下游側(cè)相鄰的第4分開(kāi)區(qū)域14(4)內(nèi)。但是，在該最后(第4次)的啟動(dòng)加注處理中，在進(jìn)行了斷開(kāi)(III)工序后，跳過(guò) 停止、待機(jī)(IV)工序，保持啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)不變地過(guò)渡到清洗(V)工序。在該清 洗(V)工序中，使清洗機(jī)構(gòu)16和排氣機(jī)構(gòu)45進(jìn)行動(dòng)作。另外，在開(kāi)始進(jìn)行清洗(V)工序之前，主控制部70利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)65和膜厚測(cè)量部 67對(duì)附著在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液膜RMp冊(cè)2、冊(cè)3、RM4的范圍(面積)和膜厚進(jìn)行測(cè) 量，根據(jù)該測(cè)量結(jié)果通過(guò)運(yùn)算來(lái)決定清洗(V)工序中的清洗液的使用量。例如，可以將附著 在啟動(dòng)加注輥14上的所有抗蝕液膜的總抗蝕劑量(范圍X膜厚)視作基準(zhǔn)值，將清洗液 的使用量設(shè)定為與該基準(zhǔn)值(總抗蝕劑量)相等的值。另外，關(guān)于抗蝕液膜的測(cè)量，由于通常在啟動(dòng)加注輥14上反復(fù)進(jìn)行相同的啟動(dòng)加 注處理，所以可以將附著在各分開(kāi)區(qū)域14(n)上的各抗蝕液膜RMn的范圍和膜厚視為相同 值，僅測(cè)量抗蝕液膜RMn中的一個(gè)、例如第1抗蝕液膜RM1的范圍(面積)和膜厚即可。作為清洗(V)工序的一優(yōu)選方式，主控制部70與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)65和清洗機(jī)構(gòu)16聯(lián)動(dòng) (配合)地進(jìn)行控制，以使雙流體噴射噴嘴18僅對(duì)啟動(dòng)加注輥14的外周面中的附著有抗蝕液膜RM1 RM4的區(qū)域或部位噴射清洗液和空氣的雙流體噴射流。這里，通過(guò)上述那樣測(cè)量 抗蝕液膜而決定清洗液的流量以及使用量。這樣，在自雙流體噴射噴嘴18噴射的雙流體噴射流的強(qiáng)沖擊力的作用下，自不必 說(shuō)剛剛附著在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的第4抗蝕液膜RM4能夠被洗掉，而且連在自然干 燥后處于未干透狀態(tài)或半干狀態(tài)的其他抗蝕液膜RMpRMyRM3也能全被容易地洗掉，該抗蝕 液膜中的大部分與清洗液混合而向正下方的排液口 M落下，其余的抗蝕液膜變成噴霧ma 而飛散到附近。在上述那樣的統(tǒng)一清洗過(guò)程中產(chǎn)生在雙流體噴射噴嘴18周圍的噴霧ma中 的、飛揚(yáng)到上方的噴霧被噴霧遮擋部32遮擋，幾乎不會(huì)跑出到外殼10的開(kāi)口部12側(cè)。另一方面，在排氣機(jī)構(gòu)45中，排氣閥52開(kāi)放，從而抽真空作用自真空裝置48經(jīng)過(guò) 真空管46、真空通路44和吸引口 36作用于噴霧引入部34和強(qiáng)制干燥部38。如圖7所示，噴霧引入部34將在雙流體噴射噴嘴18的周圍產(chǎn)生的噴霧ma自間隙 40的下端吸入到該間隙40中，在間隙40中使噴霧ma沿啟動(dòng)加注輥14的外周面在旋轉(zhuǎn)方 向上流動(dòng)，從而將自間隙40的上端流出到吸引口 36的噴霧ma送往真空裝置48。強(qiáng)制干燥 部38將空氣自上方的大氣空間經(jīng)由開(kāi)口部12吸入到間隙42中，在間隙42中使空氣沿啟 動(dòng)加注輥14的外周向在與旋轉(zhuǎn)方向相反的方向上流動(dòng)，從而利用空氣的壓力將殘留在啟 動(dòng)加注輥14的外周面上的液體剝落而使該液體變成液滴，將自間隙42的下端流出到吸引 口 36的噴霧mb送往真空裝置48。這樣，利用抽真空作用使沿與旋轉(zhuǎn)方向相反的方向流動(dòng) 的空氣流碰撞啟動(dòng)加注輥14的外周面而將液體碰碎，并且利用抽真空作用將在碰碎液體 時(shí)產(chǎn)生的噴霧mb直接回收，因此能夠獲得較高的干燥效率，并且能夠防止噴霧飛散。在自開(kāi)始上述那樣的清洗(V)工序起經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間后(圖6的時(shí)刻te)，關(guān)閉清 洗機(jī)構(gòu)16，停止進(jìn)行雙流體噴射清洗。之后，在使啟動(dòng)加注輥14保持連續(xù)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下僅 使排氣機(jī)構(gòu)45 (噴霧引入部34和強(qiáng)制干燥部38)繼續(xù)進(jìn)行動(dòng)作，從而切換到利用抽真空的 力使啟動(dòng)加注輥14的整個(gè)外周面干燥的強(qiáng)制干燥(VI)工序。然后，在經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間后， 關(guān)閉排氣閥52且使排氣機(jī)構(gòu)45停止動(dòng)作，從而使干燥處理停止，到此，結(jié)束了統(tǒng)一清洗處 理的所有工序。另外，從使生產(chǎn)節(jié)拍一致的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在統(tǒng)一清洗處理中，將清洗(V)工序和 強(qiáng)制干燥(VI)工序合并后得到的總處理時(shí)間(圖6的t4 tH)設(shè)定為與移動(dòng)、待機(jī)(IV)工 序的所需時(shí)間(圖3的、 、)相同的長(zhǎng)度(例如60秒)。在該情況下，可以將清洗(V) 工序的處理時(shí)間(圖6的t4 te)設(shè)定為例如20秒，將強(qiáng)制干燥(VI)工序的處理時(shí)間(圖 6的tG tH)設(shè)定為例如40秒。如上所述，采用該第1實(shí)施例，將啟動(dòng)加注輥14的外周面沿該啟動(dòng)加注輥14的周 向分成多個(gè)(例如4個(gè))區(qū)域，在連續(xù)的規(guī)定次數(shù)0次)的啟動(dòng)加注處理中分別分配地使 用上述分開(kāi)區(qū)域14(1) 14 )。并且，在除了最后(第4次)的啟動(dòng)加注處理之外的各啟 動(dòng)加注處理中，在將各抗蝕液膜RMn繞涂在啟動(dòng)加注輥14上之后立即使該抗蝕液膜冊(cè) 移 動(dòng)到特殊的待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>，且使抗蝕液膜RMn在該待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>待 機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始，從而能夠防止自各抗蝕液膜RMn(特別是積液部mn)發(fā)生液 體下垂現(xiàn)象，能夠使該抗蝕液膜RMn處于自然烘干后的未干透狀態(tài)或半干狀態(tài)。這樣，在啟動(dòng)加注輥14上，由于能夠防止發(fā)生抗蝕液膜RMn的液體下垂現(xiàn)象，因此 不會(huì)弄臟相鄰的未使用分開(kāi)區(qū)域，因而后續(xù)的啟動(dòng)加注處理不會(huì)被之前的啟動(dòng)加注處理影響，從而能夠提高啟動(dòng)加注處理的再現(xiàn)性和可靠性。另外，由于能夠在附著于啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液膜RMn變成自然干燥后的半干 狀態(tài)的抗蝕液膜、或處于完全液體狀態(tài)時(shí)對(duì)該抗蝕液膜RMn進(jìn)行清洗，因此該抗蝕液膜RMn 容易被洗掉，從而能夠減輕清洗機(jī)構(gòu)16的負(fù)擔(dān)，減少清洗液的使用量。此外，在統(tǒng)一清洗中，由于僅對(duì)啟動(dòng)加注輥14的外周面中的附著有抗蝕液膜冊(cè)” RM2, RM3、RM4的區(qū)域噴射適量的清洗液，因此能夠更大程度地減少清洗液的使用量。另外，在圖示的例子中，沿啟動(dòng)加注輥14的周向?qū)?dòng)加注輥14的外周面4等 分，且將1次的啟動(dòng)加注處理中的周向的抗蝕液繞涂尺寸設(shè)定為75° 85°。但是，可以 任意設(shè)定分開(kāi)數(shù)量和繞涂尺寸，例如，也可以將每次的周向繞涂尺寸設(shè)定為72°以下，從而 將啟動(dòng)加注輥14的外周面分成5份而連續(xù)使用5次。另外，作為待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>的另一優(yōu)選例，例如如圖8(第1次啟動(dòng)加注 處理)和圖9(第2次啟動(dòng)加注處理)所示，也可以設(shè)定如下的旋轉(zhuǎn)角度位置，即，被繞涂在 啟動(dòng)加注輥14的外周面上而被切掉后不久的抗蝕液膜RMn的前端到達(dá)輥的最下部那樣的 旋轉(zhuǎn)角度位置。通過(guò)使抗蝕液膜RMn在圖示所示的待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置< >進(jìn)行待機(jī)(靜 止)，即使在該抗蝕液膜RMn中存在液體的移動(dòng)，也不會(huì)使液體集中(停留)在最下方的積 液部mn，不會(huì)溢出到相鄰的分開(kāi)區(qū)域(未使用區(qū)域)中。綜上所述，基本上優(yōu)選將待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>設(shè)定在能使抗蝕液膜RMn的中 心到達(dá)輥的最下部的旋轉(zhuǎn)角度位置(圖2、圖4)和能使抗蝕液膜RMn的前端到達(dá)輥的最下 部的旋轉(zhuǎn)角度位置(圖8、圖9)的范圍內(nèi)。作為待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>的另一優(yōu)選例，例如如圖10 (第1次啟動(dòng)加注處理) 和圖11(第2次啟動(dòng)加注處理)所示，也可以設(shè)定如下的旋轉(zhuǎn)角度位置，S卩，被繞涂在啟動(dòng) 加注輥14的外周面上而被切掉后不久的抗蝕液膜RMn的前端到達(dá)輥的最上部那樣的旋轉(zhuǎn) 角度位置。通過(guò)使抗蝕液膜RMn在圖示所示的待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置< >進(jìn)行待機(jī)(靜止)， 由于最容易引發(fā)液體下垂的積液部mn被載置在大致水平的輥的頂面上，因此抗蝕液不會(huì)自 該處的積液部mn溢出到下游側(cè)附近的分開(kāi)區(qū)域(未使用區(qū)域)。啟動(dòng)加注處理方法的第2實(shí)施例接下來(lái)，參照?qǐng)D12和圖13說(shuō)明能夠利用該啟動(dòng)加注處理裝置實(shí)施的啟動(dòng)加注處 理方法的第2實(shí)施例。圖12表示在第2實(shí)施例中在啟動(dòng)加注輥14上進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各個(gè) 階段。圖13以時(shí)間軸上的波形表示進(jìn)行1次量的啟動(dòng)加注處理動(dòng)作時(shí)的啟動(dòng)加注輥14的 旋轉(zhuǎn)速度特性。該第2實(shí)施例的特征是不會(huì)使被繞涂在啟動(dòng)加注輥14的外周面上的抗蝕液膜 RMn的前端部產(chǎn)生積液部mn。作為實(shí)現(xiàn)該特征的方法，在抗蝕劑噴出工序(I)后立即進(jìn)行的 并不是暫時(shí)放置該抗蝕液的操作，而是如圖12的IIA所示，首先使啟動(dòng)加注輥14以比繞涂 速度V/漫的速度(例如周向速度為IOmm/秒以下)\沿正向旋轉(zhuǎn)的周向旋轉(zhuǎn)規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角 度(例如30° 50° )或旋轉(zhuǎn)規(guī)定時(shí)間(圖13的、 tN 例如大約1. 5秒)。然后，即在 使啟動(dòng)加注輥14停止以較慢的速度沿正向旋轉(zhuǎn)的周向旋轉(zhuǎn)后，如圖12的IIB所示，本次使 啟動(dòng)加注輥14以與上述速度Va相等或相同程度的低速、沿相反方向旋轉(zhuǎn)與上述正方向旋 轉(zhuǎn)大致相同的旋轉(zhuǎn)角度或規(guī)定時(shí)間(圖13的tN t2 例如大約1. 5秒)。
通過(guò)使啟動(dòng)加注輥14上述那樣進(jìn)行優(yōu)選為低速的往返旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，能夠利用抗蝕 劑噴嘴72的噴出部(下端面)使剛剛自抗蝕劑噴嘴72噴出在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液R 在輥的周向上均勻化，從而不易使液膜的端部產(chǎn)生積液部(mn)。另外，作為附帶效果，能夠 提高形成在抗蝕劑噴嘴72的噴出口附近的抗蝕液珠(bead)的均勻性。這樣，當(dāng)使抗蝕液R在抗蝕劑噴嘴72的噴出口周圍沿輥的周向(甚至在噴嘴的長(zhǎng) 度方向上也)完全均勻后，利用與上述第1實(shí)施例相同的動(dòng)作以及在相同的時(shí)刻進(jìn)行繞涂 (III)、斷開(kāi)(IV)和向待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>移動(dòng)及停止在待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置移動(dòng)、停止(V)的各個(gè)工序。結(jié)果，能夠在啟動(dòng)加注輥14上繞涂沒(méi)有積液部(mn)的平坦的 抗蝕液膜RMn，然后使該平坦的抗蝕液膜RMn在待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>接受自然干燥。在該實(shí)施例中，形成在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液膜RMn自不必說(shuō)不會(huì)在向待機(jī)用 旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>移動(dòng)的中途發(fā)生液體下垂現(xiàn)象，而且由于該抗蝕液膜RMn不存在積液部 (mn)，因此在停止以及靜止在待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>的狀態(tài)下該抗蝕液膜RMn更加不易 發(fā)生液體下垂現(xiàn)象。即，能夠獲得可以擴(kuò)大待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>的設(shè)定范圍的效果。 例如如圖12所示，自不必說(shuō)在抗蝕液膜RMn的前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的位置<APn>處不會(huì) 發(fā)生液體下垂現(xiàn)象，而且即使在抗蝕液膜RMn的前端到達(dá)作為邊界位置的270°的旋轉(zhuǎn)角度 位置時(shí)的位置<BPn>處也不易發(fā)生液體下垂現(xiàn)象。作為該第2實(shí)施例的變形例、特別是啟動(dòng)加注輥14的往返旋轉(zhuǎn)動(dòng)作(IIA、IIB)的 變形例，可以將往返旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的次數(shù)設(shè)定為2次以上、先進(jìn)行反方向旋轉(zhuǎn)、分別單獨(dú)地設(shè)定 正方向旋轉(zhuǎn)動(dòng)作和反方向旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的條件(速度、時(shí)間、移動(dòng)距離等)等等。啟動(dòng)加注處理方法的第3實(shí)施例接下來(lái)，參照?qǐng)D14和圖15說(shuō)明能夠利用該啟動(dòng)加注處理裝置實(shí)施的啟動(dòng)加注處 理方法的第3實(shí)施例。圖14表示在第3實(shí)施例中在啟動(dòng)加注輥14上進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)的各個(gè) 階段。圖15以時(shí)間軸上的波形表示進(jìn)行1次量的啟動(dòng)加注處理動(dòng)作時(shí)的啟動(dòng)加注輥14的 旋轉(zhuǎn)速度特性。在該第3變形例中，在將抗蝕液膜RMn繞涂在啟動(dòng)加注輥14上而斷開(kāi)該抗蝕液膜 疆 后，立即使啟動(dòng)加注輥14進(jìn)行繼續(xù)以一定速度(例如與斷開(kāi)速度Va相同的速度)在規(guī) 定時(shí)間(圖15的t4 tJ:優(yōu)選為10秒以上)內(nèi)旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的繼續(xù)旋轉(zhuǎn)動(dòng)作⑴)，然后進(jìn)行最 后(圖15的tj tK)到達(dá)規(guī)定的待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>的動(dòng)作(IV)。在進(jìn)行繼續(xù)旋轉(zhuǎn)動(dòng)作⑴)的期間內(nèi)，使排氣機(jī)構(gòu)45停止動(dòng)作。即，若開(kāi)啟排氣機(jī) 構(gòu)45而使啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn)，則啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液膜RM1在強(qiáng)制干燥部38的間 隙42中受到由逆風(fēng)產(chǎn)生的較大壓力，從而容易使膜厚均勻性下降。特別是，若在強(qiáng)制干燥 部38的間隙42內(nèi)作用于抗蝕液膜RMn的逆風(fēng)的壓力在軸線方向上不均勻，則在抗蝕液膜 RMn的表面上容易產(chǎn)生沿周向延伸的筋狀的凹凸。在使排氣機(jī)構(gòu)45停止動(dòng)作時(shí)，在啟動(dòng)加 注輥14的旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，該啟動(dòng)加注輥14的外周面上的抗蝕液膜RMn即使在通過(guò)間隙42時(shí) 也不會(huì)受到逆風(fēng)的壓力，從而能夠更加高效地接受與以靜止?fàn)顟B(tài)被放置在大氣中的情況相 同程度的自然干燥。在該第3實(shí)施例中，形成在啟動(dòng)加注輥14上的抗蝕液膜RMn自不必說(shuō)不會(huì)在進(jìn) 行繼續(xù)旋轉(zhuǎn)動(dòng)作(Q)的期間內(nèi)發(fā)生液體下垂現(xiàn)象，而且由于在進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的過(guò)程中前端的積液部(mn)在一定程度上達(dá)到均勻，因此當(dāng)該抗蝕液膜RMn停止在待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置 <Pn>時(shí)以及在該待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>靜止的狀態(tài)下，更加不易發(fā)生液膜下垂的現(xiàn)象。 即，與第2實(shí)施例相同，能夠獲得可以擴(kuò)大待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置<Pn>的設(shè)定范圍的效果。例 如如圖14所示，自不必說(shuō)在抗蝕液膜RMn的前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的位置<APn>處不會(huì)發(fā) 生液體下垂現(xiàn)象，而且即使在抗蝕液膜RMn的前端到達(dá)作為邊界位置的270°的旋轉(zhuǎn)角度位 置時(shí)的位置<BPn>處也不易發(fā)生液體下垂現(xiàn)象。其他實(shí)施例也可以在上述第2實(shí)施例的基礎(chǔ)上組合進(jìn)行該第3實(shí)施例，在該情況下，能夠利用 復(fù)合作用更大程度地提高液體下垂防止效果。在統(tǒng)一清洗處理中，也可以對(duì)啟動(dòng)加注輥14的整個(gè)外周面噴射清洗液，但此時(shí)會(huì) 增加清洗液的使用量。啟動(dòng)加注處理裝置內(nèi)的各部分的結(jié)構(gòu)或功能也不限定于上述實(shí)施方式。例如，在 清洗機(jī)構(gòu)16中，也可以使用或者與雙流體噴射噴嘴并用除了雙流體噴射噴嘴以外的清洗 工具例如刮削器，排氣機(jī)構(gòu)45的各部分、特別是強(qiáng)制干燥部38的結(jié)構(gòu)可以進(jìn)行各種變形。接下來(lái)，說(shuō)明第4實(shí)施例。在第1實(shí)施例中，在圖4所示的位置進(jìn)行了第2次啟動(dòng) 加注處理，但如圖16所示，也可以在啟動(dòng)加注輥14上的、與在第1次啟動(dòng)加注處理中涂敷 了抗蝕液膜的位置相對(duì)的位置進(jìn)行第2次啟動(dòng)加注處理。通過(guò)在該位置進(jìn)行第2次啟動(dòng)加 注處理，能夠在從圖2的工序IV的位置到第2次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)的期間內(nèi)減小啟動(dòng)加 注輥的旋轉(zhuǎn)的角度。接下來(lái)，說(shuō)明第5實(shí)施例。第5實(shí)施例中的到VI為止的動(dòng)作與第1實(shí)施例中的圖 5的到VI為止的動(dòng)作相同。在圖5的VI的動(dòng)作結(jié)束時(shí)，進(jìn)行新的第1次啟動(dòng)加注處理，屆 時(shí)在啟動(dòng)加注輥14上的圖4的I的位置進(jìn)行該啟動(dòng)加注處理。也就是說(shuō)，在前次第2次啟 動(dòng)加注處理的位置進(jìn)行新的第1次啟動(dòng)加注處理。基本上應(yīng)該在圖5的VI的狀態(tài)下對(duì)啟 動(dòng)加注輥14的整個(gè)圓周進(jìn)行清洗，但為了進(jìn)一步減少清洗液、縮短清洗時(shí)間，也可以在啟 動(dòng)加注輥14的局部留有微量的抗蝕劑。關(guān)于抗蝕劑能被留下微量的可能性，在第1次啟動(dòng) 加注處理中涂敷的抗蝕劑被留下的可能性最大，在第4次啟動(dòng)加注處理中涂敷的抗蝕劑被 留下的可能性最小。這是因?yàn)?，決定上述可能性的主要原因在于，自將抗蝕劑涂敷在啟動(dòng)加 注輥14上后到開(kāi)始清洗啟動(dòng)加注輥14的時(shí)間。但是，在啟動(dòng)加注輥14上，通過(guò)在與前次 的第1次啟動(dòng)加注處理的位置不同的位置進(jìn)行新的第1次啟動(dòng)加注處理，能夠擴(kuò)大在對(duì)啟 動(dòng)加注輥14進(jìn)行了第2次清洗后留下的微量抗蝕劑的范圍，不會(huì)使殘留的抗蝕劑的膜厚堆 積而變厚，從而能夠降低在啟動(dòng)加注處理中發(fā)生不良情況的可能性。與此相對(duì)，若在與前次 的第1次啟動(dòng)加注處理的位置相同的位置進(jìn)行新的第1次啟動(dòng)加注處理，則在對(duì)啟動(dòng)加注 輥14進(jìn)行了第2次清洗后，留下的微量抗蝕劑的膜厚因堆積而逐漸變厚，從而在進(jìn)行下一 次啟動(dòng)加注處理時(shí)誘發(fā)不良情況、或者不是必須增加清洗液的使用量、就是必須加長(zhǎng)清洗 時(shí)間。然后，在進(jìn)行了第4次啟動(dòng)加注處理、結(jié)束了對(duì)啟動(dòng)加注輥14的清洗而進(jìn)行新的第1 次啟動(dòng)加注處理時(shí)，在圖5中的第3次啟動(dòng)加注處理的位置進(jìn)行該啟動(dòng)加注處理。然后在 進(jìn)行了第4次啟動(dòng)加注處理、結(jié)束了對(duì)啟動(dòng)加注輥14的清洗而進(jìn)行新的第1次啟動(dòng)加注處 理時(shí)，在圖5中的第4次啟動(dòng)加注處理的位置進(jìn)行該啟動(dòng)加注處理。在上述那樣進(jìn)行動(dòng)作 而對(duì)啟動(dòng)加注輥14進(jìn)行了 4次沖洗后，當(dāng)進(jìn)行新的第1次啟動(dòng)加注處理時(shí)，返回到圖2的第1次啟動(dòng)加注處理的位置進(jìn)行該啟動(dòng)加注處理。另外，在對(duì)啟動(dòng)加注輥14進(jìn)行第4次的 清洗動(dòng)作時(shí)，在第1次 第3次的清洗動(dòng)作中漏清洗的微量抗蝕劑可能分布在啟動(dòng)加注輥 14的整個(gè)圓周上，因此例如可以僅在進(jìn)行第4次的清洗動(dòng)作時(shí)，使用比其他次的清洗動(dòng)作 多的清洗液、或者以比其他次的清洗動(dòng)作長(zhǎng)的時(shí)間進(jìn)行清洗。通過(guò)上述那樣操作，能夠?qū)⒏?著在啟動(dòng)加注輥14上的微量抗蝕劑全部去除，并且能夠在整體上減少清洗液的使用量。另外，為了防止涂敷在啟動(dòng)加注輥上的抗蝕劑被過(guò)度干燥，將外殼10內(nèi)的啟動(dòng)加 注輥14附近的氣氛保持成有機(jī)溶劑的氣氛較好。這樣，在對(duì)啟動(dòng)加注輥14進(jìn)行清洗動(dòng)作 時(shí)，能夠降低抗蝕劑殘留的可能性，而且針對(duì)在第1次啟動(dòng)加注處理中涂敷的抗蝕液膜，亦 能夠不留下微量地將該抗蝕液膜去除。另外，也可以不設(shè)置膜厚測(cè)量部67，而是通過(guò)實(shí)驗(yàn)等預(yù)先收集存儲(chǔ)抗蝕液膜的范 圍、膜厚的數(shù)據(jù)，根據(jù)該數(shù)據(jù)對(duì)啟動(dòng)加注輥14進(jìn)行清洗。通過(guò)采用上述結(jié)構(gòu)，不再需要始終 設(shè)置膜厚測(cè)量部，因此能夠簡(jiǎn)化裝置的結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提高裝置的可靠性。在此總結(jié)說(shuō)明下第1 第5實(shí)施例的要點(diǎn)。即，第1 第5實(shí)施例的特征在于，在 啟動(dòng)加注輥14上進(jìn)行第1次啟動(dòng)加注處理(涂敷抗蝕液膜)，然后使啟動(dòng)加注輥14旋轉(zhuǎn) 至不會(huì)使所涂敷的抗蝕液膜下垂擴(kuò)展的位置而停止在該位置，在該位置使抗蝕液膜在一定 程度上干燥，之后在比第1次啟動(dòng)加注處理的位置靠啟動(dòng)加注輥14的旋轉(zhuǎn)方向側(cè)的位置進(jìn) 行第2次啟動(dòng)加注處理。并且，第1 第5實(shí)施例在重復(fù)進(jìn)行多次該動(dòng)作而對(duì)啟動(dòng)加注輥 14的整個(gè)圓周進(jìn)行了啟動(dòng)加注處理后，對(duì)啟動(dòng)加注輥14進(jìn)行統(tǒng)一清洗。通過(guò)上述那樣操 作，能夠防止在啟動(dòng)加注處理中涂敷的抗蝕液膜下垂擴(kuò)展到供下一次啟動(dòng)加注處理進(jìn)行的 區(qū)域，從而能夠高精度地進(jìn)行啟動(dòng)加注處理。另外，由于在進(jìn)行了多次啟動(dòng)加注處理后對(duì)啟 動(dòng)加注輥14進(jìn)行統(tǒng)一清洗，因此與以往的方法相比能夠減少清洗次數(shù)，從而能夠減少清洗 液的使用量、縮短清洗時(shí)間等等。作為本發(fā)明的涂敷液，除了可以使用抗蝕液以外，例如也可以使用層間絕緣材料、 電介質(zhì)材料、布線材料等的涂敷液，還可以使用各種藥液、顯影液、沖洗液等。本發(fā)明的被處 理基板不限定于LCD基板，也可以是其他的平板顯示器用基板、半導(dǎo)體晶圓、CD基板、光掩 模、印刷電路板等。
權(quán)利要求
1.一種啟動(dòng)加注處理方法，該方法用于在非旋涂法的涂敷處理所用的狹縫式噴嘴的噴 出口附近形成涂敷液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，其中，該方法包括下述工序第1工序，為了進(jìn)行1次量的第1啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水 平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂部平 行地相對(duì)，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；第2工序，在噴出上述涂敷液后，立即保持使上述啟動(dòng)加注輥靜止的狀態(tài)不變地放置 該涂敷液規(guī)定時(shí)間；第3工序，使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第1涂敷液膜 繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；第4工序，使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第1涂敷液膜到達(dá)第1待機(jī)用 旋轉(zhuǎn)角度位置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第1涂敷液膜在該第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角 度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；第5工序，使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜在上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置 自然干燥；第6工序，利用清洗而去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，在上述第3工序與上述第4工序之間具有第7工序，該第7工序?yàn)榱舜偈股鲜龅?涂敷 液膜自然干燥，使在上述第3工序中開(kāi)始旋轉(zhuǎn)的上述啟動(dòng)加注輥繼續(xù)保持旋轉(zhuǎn)規(guī)定時(shí)間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上位于下述范圍 內(nèi)，即，上述第1涂敷液膜的后端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置和上述第1涂敷液膜的 前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置之間的范圍。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上位于下述范圍 內(nèi)，即，上述第1涂敷液膜的中心到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置和上述第1涂敷液膜的 前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置之間的范圍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置是在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上的上述第1涂 敷液膜的前端到達(dá)輥的最上部時(shí)的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，該方法包括下述工序第8工序，為了進(jìn)行另外1次量的第2啟動(dòng)加注處理，避開(kāi)上述第1涂敷液膜地使上述 狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于上述啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂 部平行地相對(duì)，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；第9工序，在噴出上述涂敷液后，立即保持使上述啟動(dòng)加注輥靜止的狀態(tài)不變地放置 該涂敷液規(guī)定時(shí)間；第10工序，使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第2涂敷液 膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；第11工序，使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第2涂敷液膜到達(dá)第2待機(jī)用 旋轉(zhuǎn)角度位置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第2涂敷液膜在該第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角 度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；第12工序，使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第2涂敷液膜在上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置 自然干燥；其中，在上述第6工序中，利用清洗而統(tǒng)一去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜 和第2涂敷液膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，在上述第10工序與上述第11工序之間進(jìn)行第13工序，該第13工序?yàn)榱舜偈股鲜龅?2涂敷液膜自然干燥，使在上述第10工序中開(kāi)始旋轉(zhuǎn)的上述啟動(dòng)加注輥繼續(xù)保持旋轉(zhuǎn)規(guī)定 時(shí)間。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上位于下述范圍 內(nèi)，即，上述第2涂敷液膜的后端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置和上述第2涂敷液膜的 前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置之間的范圍。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上位于下述范圍 內(nèi)，即，上述第2涂敷液膜的中心到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置和上述第2涂敷液膜的 前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置之間的范圍。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置是在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上的上述第2涂 敷液膜的前端到達(dá)輥的最上部時(shí)的位置。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，當(dāng)上述第2啟動(dòng)加注處理啟動(dòng)加注為在上述第1啟動(dòng)加注處理之后進(jìn)行啟動(dòng)加注的 啟動(dòng)加注處理時(shí)，使用上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的規(guī)定區(qū)域來(lái)進(jìn)行上述第2啟動(dòng)加注處 理，以使上述第2涂敷液膜在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上形成在上述第1涂敷液 膜的下游側(cè)的與該第1涂敷液膜相鄰的位置。
12.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，在上述第6工序中，一邊使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)一邊僅對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的外周面上 的附著有涂敷液膜的區(qū)域噴射清洗液。
13.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任意一項(xiàng)所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，在進(jìn)行上述第6工序之前，對(duì)附著在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的涂敷液膜的范圍和 膜厚進(jìn)行測(cè)量，根據(jù)該測(cè)量結(jié)果決定上述第6工序中的清洗液的使用量。
14.一種啟動(dòng)加注處理方法，該方法用于在非旋涂法的涂敷處理所用的狹縫式噴嘴的 噴出口附近形成涂敷液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，其中，該方法包括第1工序，為了進(jìn)行1次量的第1啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水 平配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂部平 行地相對(duì)，然后使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；第2工序，在噴出上述涂敷液后，立即使上述啟動(dòng)加注輥以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行往返 的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；第3工序，使上述啟動(dòng)加注輥正向旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第1涂敷 液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；第4工序，使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第1涂敷液膜到達(dá)第1待機(jī)用 旋轉(zhuǎn)角度位置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第1涂敷液膜在該第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角 度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；第5工序，使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜在上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置 自然干燥；第6工序，利用清洗而去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，在上述第3工序與上述第4工序之間具有第7工序，該第7工序?yàn)榱舜偈股鲜龅?涂敷 液膜自然干燥，使在上述第3工序中開(kāi)始旋轉(zhuǎn)的上述啟動(dòng)加注輥繼續(xù)保持旋轉(zhuǎn)規(guī)定時(shí)間。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上位于下述范圍 內(nèi)，即，上述第1涂敷液膜的后端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置和上述第1涂敷液膜的 前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置之間的范圍。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上位于下述范圍 內(nèi)，即，上述第1涂敷液膜的中心到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置和上述第1涂敷液膜的 前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置之間的范圍。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置是在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上的上述第1涂 敷液膜的前端到達(dá)輥的最上部時(shí)的位置。
19.根據(jù)權(quán)利要求14所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，該方法包括下述工序第8工序，為了進(jìn)行另外1次量的第2啟動(dòng)加注處理，避開(kāi)上述第1涂敷液膜地使上述 狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于上述啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂 部平行地相對(duì)，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；第9工序，在噴出上述涂敷液后，立即使上述啟動(dòng)加注輥以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行往返 的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；第10工序，使上述啟動(dòng)加注輥正向旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第2涂 敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；第11工序，使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第2涂敷液膜到達(dá)第2待機(jī)用 旋轉(zhuǎn)角度位置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第2涂敷液膜在該第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角 度位置待機(jī)至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；第12工序，使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第2涂敷液膜在上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置 自然干燥；其中，在上述第6工序中，利用清洗而統(tǒng)一去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜和第2涂敷液膜。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，在上述第10工序與上述第11工序之間具有第13工序，該第13工序?yàn)榱舜偈股鲜龅?2涂敷液膜自然干燥，使在上述第10工序中開(kāi)始旋轉(zhuǎn)的上述啟動(dòng)加注輥繼續(xù)保持旋轉(zhuǎn)規(guī)定 時(shí)間。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上位于下述范圍 內(nèi)，即，上述第2涂敷液膜的后端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置和上述第2涂敷液膜的 前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置之間的范圍。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上位于下述范圍 內(nèi)，即，上述第2涂敷液膜的中心到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置和上述第2涂敷液膜的 前端到達(dá)輥的最下部時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度位置之間的范圍。
23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置是在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上的上述第2涂 敷液膜的前端到達(dá)輥的最上端部時(shí)的位置。
24.根據(jù)權(quán)利要求14所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，當(dāng)上述第2啟動(dòng)加注處理啟動(dòng)加注為在上述第1啟動(dòng)加注處理之后進(jìn)行啟動(dòng)加注的 啟動(dòng)加注處理時(shí)，使用上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的規(guī)定區(qū)域來(lái)進(jìn)行上述第2啟動(dòng)加注處 理，以使上述第2涂敷液膜在上述啟動(dòng)加注輥的正向旋轉(zhuǎn)的周向上形成在上述第1涂敷液 膜的下游側(cè)的與該第1涂敷液膜相鄰的位置。
25.根據(jù)權(quán)利要求14所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，在上述第6工序中，一邊使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)一邊僅對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的外周面上 的附著有涂敷液膜的區(qū)域噴射清洗液。
26.根據(jù)權(quán)利要求14所述的啟動(dòng)加注處理方法，其中，在進(jìn)行上述第6工序之前，對(duì)附著在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的涂敷液膜的范圍和 膜厚進(jìn)行測(cè)量，根據(jù)該測(cè)量結(jié)果決定上述第6工序中的清洗液的使用量。
27.一種啟動(dòng)加注處理裝置，該裝置用于在非旋涂法的涂敷處理所用的狹縫式噴嘴的 噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，其中，該裝置包括啟動(dòng)加注輥，其為圓筒狀或圓柱狀且水平地配置在規(guī)定位置；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其用于使上述啟動(dòng)加注輥繞該啟動(dòng)加注輥的中心軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；清洗機(jī)構(gòu)，其用于噴射清洗液，以清洗上述啟動(dòng)加注輥的外周面；排氣機(jī)構(gòu)，其用于對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的周圍進(jìn)行強(qiáng)制性的排氣；控制部，其用于控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、上述清洗部和上述排氣部的各動(dòng)作，該裝置為了進(jìn)行1次量的第1啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平 配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂部平行 地相對(duì)，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；在噴出上述涂敷液后，立即保持使上述啟動(dòng)加注輥靜止的狀態(tài)不變地放置該涂敷液規(guī)定時(shí)間；利用上述旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第1 涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第1涂敷液膜到達(dá)第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位 置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第1涂敷液膜在該第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置待機(jī) 至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜在上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置自然干燥； 使上述清洗機(jī)構(gòu)和上述排氣機(jī)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)作，利用清洗而去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述 第1涂敷液膜。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的啟動(dòng)加注處理裝置，其中，自將上述第1涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上開(kāi)始到使上述啟動(dòng)加注輥 停止旋轉(zhuǎn)的期間內(nèi)，為了促使上述第1涂敷液膜自然干燥，利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)繼續(xù)使上述 啟動(dòng)加注輥保持旋轉(zhuǎn)規(guī)定時(shí)間。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的啟動(dòng)加注處理裝置，其中，該裝置為了進(jìn)行另外1次量的第2啟動(dòng)加注處理，避開(kāi)上述第1涂敷液膜地使上述狹 縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于上述啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂部 平行地相對(duì)，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液，在噴出上述涂敷液后立即保持使上述啟動(dòng)加注輥靜止的狀態(tài)不變地放置該涂敷液規(guī) 定時(shí)間；利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第2 涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第2涂敷液膜到達(dá)第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位 置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第2涂敷液膜在該第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置待機(jī) 至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第2涂敷液膜在上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置自然干燥； 利用上述清洗機(jī)構(gòu)和上述排氣機(jī)構(gòu)進(jìn)行清洗而統(tǒng)一去除上述啟動(dòng)加注輥的外周面上 的上述第1涂敷液膜和第2涂敷液膜。
30.一種啟動(dòng)加注處理裝置，該裝置用于在非旋涂法的涂敷處理所用的狹縫式噴嘴的 噴出口附近形成處理液的液膜，以作為涂敷處理的預(yù)先準(zhǔn)備，其中，該裝置包括啟動(dòng)加注輥，其為圓筒狀或圓柱狀且水平地配置在規(guī)定位置； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其用于使上述啟動(dòng)加注輥繞該啟動(dòng)加注輥的中心軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)； 清洗機(jī)構(gòu)，其用于噴射清洗液，以清洗上述啟動(dòng)加注輥的外周面； 排氣機(jī)構(gòu)，其用于對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的周圍進(jìn)行強(qiáng)制性的排氣； 控制部，其用于控制上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、上述清洗部和上述排氣部的各動(dòng)作； 該裝置為了進(jìn)行1次量的第1啟動(dòng)加注處理，使上述狹縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于水平 配置的圓筒狀或圓柱狀的啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂部平行 地相對(duì)，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；在噴出上述涂敷液后，立即利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行往返的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第1 涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第1涂敷液膜到達(dá)第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位 置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第1涂敷液膜在該第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置待機(jī) 至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1涂敷液膜在上述第1待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置自然干燥； 使上述清洗機(jī)構(gòu)和上述排氣機(jī)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)作，利用清洗而去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述 第1涂敷液膜。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的啟動(dòng)加注處理裝置，其中，自將上述第1涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上開(kāi)始到使上述啟動(dòng)加注輥 停止旋轉(zhuǎn)的期間內(nèi)，為了促使上述第1涂敷液膜自然干燥，利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)繼續(xù)使上述 啟動(dòng)加注輥保持旋轉(zhuǎn)規(guī)定時(shí)間。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的啟動(dòng)加注處理裝置，其中，該裝置為了進(jìn)行另外1次量的第2啟動(dòng)加注處理，避開(kāi)上述第1涂敷液膜地使上述狹 縫式噴嘴的噴出口相對(duì)于上述啟動(dòng)加注輥的頂部隔開(kāi)規(guī)定間隙而與該啟動(dòng)加注輥的頂部 平行地相對(duì)，使上述狹縫式噴嘴噴出一定量的涂敷液；在噴出上述涂敷液后，立即利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn) 行往返的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使上述啟動(dòng)加注輥旋轉(zhuǎn)，將被噴出的上述涂敷液的一部分作為第2 涂敷液膜繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上；使繞涂在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的上述第2涂敷液膜到達(dá)第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位 置，然后使上述啟動(dòng)加注輥停止旋轉(zhuǎn)，上述第2涂敷液膜在該第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置待機(jī) 至下一次啟動(dòng)加注處理開(kāi)始時(shí)；使上述啟動(dòng)加注輥上的上述第2涂敷液膜在上述第2待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置自然干燥； 利用上述清洗機(jī)構(gòu)和上述排氣機(jī)構(gòu)進(jìn)行清洗而統(tǒng)一去除上述啟動(dòng)加注輥上的上述第1 涂敷液膜和第2涂敷液膜。
33.根據(jù)權(quán)利要求27或30所述的啟動(dòng)加注處理裝置，其中， 該裝置還包括液膜測(cè)量部，其用于對(duì)附著在上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的涂敷液膜的范圍和膜厚進(jìn) 行測(cè)量；清洗液使用量決定部，在進(jìn)行上述統(tǒng)一清洗之前，該清洗液使用量決定部根據(jù)由上述 液膜測(cè)量部測(cè)得的測(cè)量結(jié)果決定在統(tǒng)一去除上述涂敷液膜時(shí)所用的清洗液的量。
34.根據(jù)權(quán)利要求27或30所述的啟動(dòng)加注處理裝置，其中，上述清洗機(jī)構(gòu)僅對(duì)上述啟動(dòng)加注輥的外周面上的附著有涂敷液膜的區(qū)域噴射清洗液。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能保證啟動(dòng)加注處理的可靠性且能進(jìn)一步減少清洗液的使用量的啟動(dòng)加注處理方法和啟動(dòng)加注處理裝置。使狹縫式噴嘴(72)的噴出口與啟動(dòng)加注輥(14)的頂部平行地相對(duì)，使狹縫式噴嘴(72)噴出一定量的抗蝕液(R)，保持該狀態(tài)地放置該抗蝕液(R)規(guī)定時(shí)間。然后，使啟動(dòng)加注輥(14)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)而將抗蝕液(R)繞涂在其外周面上。然后，瞬間提高啟動(dòng)加注輥(14)的旋轉(zhuǎn)速度，以將該液膜分成狹縫式噴嘴(72)側(cè)和啟動(dòng)加注輥(14)側(cè)的液膜的方式斷開(kāi)抗蝕液(R)的液膜啟動(dòng)加注，在抗蝕液(R)的液膜斷開(kāi)后仍然使啟動(dòng)加注輥(14)繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，使啟動(dòng)加注輥(14)上的抗蝕液(RM1)到達(dá)規(guī)定的待機(jī)用旋轉(zhuǎn)角度位置。
文檔編號(hào)B05D1/26GK102039254SQ20101052003
公開(kāi)日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月22日
發(fā)明者竹熊貴志, 若元幸浩, 近藤大介 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社