專利名稱：用于控制分配器設(shè)備的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于控制分配器設(shè)備的方法，且更確切地說，涉及一種用于控制 如下分配器的方法，所述分配器能夠減少在襯底上形成多個圖案的處理時間。
背景技術(shù)：
陰極射線管(CRT)已用作現(xiàn)有技術(shù)顯示裝置。然而，CRT具有體積大且重量重的 限制。近年來，例如液晶顯示裝置(LCD)、等離子顯示面板(PDP)和有機發(fā)光裝置(OLED)的 平板顯示器(FPD)廣泛用作顯示裝置。FPD具有重量輕、構(gòu)形纖細和功率消耗低的優(yōu)點。為了制造此種類型的FPD，將一對平坦襯底彼此接合。舉例來說，在IXD的情況下， 制造包括多個薄膜晶體管和像素電極的下部襯底與包括彩色濾光片和共用電極的上部襯 底。接著，沿著上部襯底和下部襯底中的一者或兩者的邊緣區(qū)域而設(shè)置多個金屬圖案，以將 上部襯底電連接到下部襯底。所述多個圖案可沿著邊緣的圓周彼此間隔開。一種用于將金屬膏(paste)涂覆到上部襯底和下部襯底中的一者或兩者上以形 成所述多個圖案的分配器設(shè)備包括安裝有所述襯底的平臺、包括用于排放源材料(例如， 涂覆到安裝于所述平臺上的襯底上的金屬膏)的噴嘴的分配器、用于測量襯底與噴嘴之間 的間隙的傳感器、用于提升分配器的驅(qū)動部分、用于水平地移動分配器的傳送(transfer) 部分，和用于控制分配器的操作的控制部分。首先，使用傳感器來測量襯底與噴嘴之間的間隙，以使用現(xiàn)有技術(shù)分配器設(shè)備在 襯底上形成所述多個圖案。接著，分配器上升或下降以調(diào)整襯底與噴嘴之間的間隙。即，調(diào) 整襯底與噴嘴之間的間隙以從噴嘴將源材料排放到襯底上。此后，在從噴嘴排放源材料的 同時移動分配器，以形成具有所要長度的圖案。當形成具有所要長度的圖案時，停止從噴嘴 排放源材料且將分配器提升約2cm到約5cm。接著，將分配器移動到將形成下一個圖案的位 置。當分配器到達將形成下一個圖案的位置時，使用傳感器來測量襯底與噴嘴之間的間隙， 且降低分配器，藉此調(diào)整襯底與噴嘴之間的間隙。此后，在從噴嘴排放源材料的同時移動分 配器，以形成具有所要長度的圖案。接著，將上文所描述的過程重復(fù)若干次，以在襯底上形 成所述多個圖案。參考如上文所描述的現(xiàn)有技術(shù)分配器設(shè)備的配置，為了形成所述多個圖案，分配 器需要在每次形成圖案時上升或下降以調(diào)整襯底與噴嘴之間的間隙。因為當在襯底上形成 所述多個圖案的同時將襯底與噴嘴之間的間隙調(diào)整了若干次，所以增加處理時間。因此，此 類方法可能很難避免低生產(chǎn)率的缺點。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種用于控制分配器設(shè)備的方法，其中水平地移動所述分配器以將源 材料排放到襯底上，藉此減少形成多個圖案的處理時間。根據(jù)示范性實施例，提供一種用于控制分配器設(shè)備的方法，所述分配器設(shè)備包括 存儲源材料的注射器(syringe)、將源材料排放到襯底上的噴嘴、控制注射器與噴嘴之間的連通的閥門(valve)，和經(jīng)調(diào)適以在所述襯底上形成彼此間隔開的多個圖案的分配器，所述 方法包括水平地移動分配器以將源材料排放到襯底上，藉此形成所述多個圖案，其中在將 源材料排放到襯底上時的襯底與噴嘴之間的間隙等于未將源材料排放到襯底上時的襯底 與噴嘴之間的間隙。所述分配器的水平移動可包括在將源材料排放到襯底上時維持襯底與噴嘴之間 的間隙，而無需重復(fù)地執(zhí)行以下過程其中，當在襯底上形成彼此間隔開的多個圖案時，分 配器上升或下降若干次以調(diào)整襯底與噴嘴之間的間隙。所述方法可進一步包括將源材料排放到襯底上以形成圖案之前，向分配器施加源 材料的排放開始信號。所述方法可進一步包括在襯底上形成圖案結(jié)束之前，向分配器施加源材料的排放
結(jié)束信號。在開始形成圖案的實際位置被稱作圖案形成開始點的情況下，可在分配器位于所 述圖案形成開始點之前的位置處時，向分配器施加源材料的排放開始信號。所述排放開始信號施加點可通過分配器的移動速度、注射器內(nèi)的壓力加添時間和 閥門的操作時間來調(diào)整。所述排放開始信號施加點可通過以下等式而計算為距離值“排放開始信號施加 點=分配器的移動速度X注射器內(nèi)的壓力加添時間X閥門的操作時間”。所述排放開始信號施加點可位于圖案形成點之前的相距所計算的值的位置處。當從圖案形成開始點起將襯底上的圖案劃分成第一區(qū)、第二區(qū)和第三區(qū)時，可將 加添到注射器中以形成所述圖案的第一區(qū)的壓力調(diào)整為加添到注射器中以形成所述第二 區(qū)的壓力的約30%到約80%。所述圖案的第一區(qū)可屬于覆蓋距圖案形成開始點約0. 5mm的范圍。在襯底上形成所述圖案結(jié)束的實際位置被稱作圖案形成結(jié)束點的情況下，可在分 配器位于所述圖案形成結(jié)束點之前的位置處時，向分配器施加源材料的排放結(jié)束信號。所述排放結(jié)束信號施加點可通過以下等式而計算為距離值“排放結(jié)束信號施加 點S2 =加添到注射器中的壓力X每壓力的長度改變”。所述排放結(jié)束信號施加點可位于所述圖案形成結(jié)束點之前的相距所計算的值的 位置處。


可從結(jié)合附圖所進行的以下描述來更詳細地理解示范性實施例，在附圖中圖1為根據(jù)示范性實施例的分配器設(shè)備的示意圖。圖2為根據(jù)示范性實施例的分配器的截面圖。圖3為用于解釋排放開始信號施加點的截面圖，其中在通過根據(jù)示范性實施例的 方法水平地移動分配器時，向所述排放開始信號施加點施加用于從分配器排放源材料的排 放開始信號。圖4為用于解釋排放結(jié)束信號施加點的截面圖，其中在通過根據(jù)示范性實施例的 方法水平地移動分配器時，向所述排放結(jié)束信號施加點施加用于從分配器排放源材料的排 放結(jié)束信號。
圖5為用于解釋根據(jù)示范性實施例的分配器的水平移動的截面圖。
具體實施例方式在下文中，將參看附圖詳細地描述特定實施例。然而，本發(fā)明可以不同形式來體現(xiàn) 且不應(yīng)被解釋為限于本文中所闡述的實施例。而是，提供這些實施例以使得本發(fā)明將為透 徹且完整的，且將本發(fā)明的范圍完全傳達給所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員。在諸圖中，相似參考數(shù)字 貫穿全文指代相似元件。圖1為根據(jù)示范性實施例的分配器設(shè)備的示意圖。圖2為根據(jù)示范性實施例的 分配器的截面圖。圖3為用于解釋排放開始信號施加點的截面圖，其中在通過根據(jù)示范性 實施例的方法水平地移動分配器時，向所述排放開始信號施加點施加用于從分配器排放源 材料的排放開始信號。圖4為用于解釋排放結(jié)束信號施加點的截面圖，其中在通過根據(jù)示 范性實施例的方法水平地移動分配器時，向所述排放結(jié)束信號施加點施加用于從分配器排 放源材料的排放結(jié)束信號。圖5為用于解釋根據(jù)示范性實施例的分配器的水平移動的截面 圖。參看圖1和圖2，根據(jù)示范性實施例的分配器設(shè)備包括安裝有襯底10的平臺 100 ；分配器200，其包括用于將源材料排放到安裝于平臺100上的襯底10上的噴嘴210 ； 用于測量襯底10與噴嘴210之間的間隙的傳感器MO ；用于提升分配器200的驅(qū)動部分 250 ；用于水平地移動分配器200的傳送部分300 ；和用于控制分配器200的操作的控制部 分 400。根據(jù)示范性實施例的襯底10可為用于液晶顯示裝置(LCD)的上部襯底和下部襯 底中的一者。雖然未示出，但(例如)彩色濾光片(filter)和共用電極可設(shè)置在上部襯 底上，且多個薄膜晶體管和一個像素電極可設(shè)置在下部襯底上。當將上部襯底與下部襯底 彼此接合以制造LCD時，可在上部襯底和下部襯底中的一者上設(shè)置由金屬膏形成的多個圖 案，以將上部襯底電連接到下部襯底。根據(jù)示范性實施例，銀(Ag)膏用作源材料，Ag膏是 存儲于注射器內(nèi)且涂覆到襯底10上。用傳送部分300在X-軸或Y-軸方向上移動分配器200，以沿著襯底10的邊緣區(qū) 的圓周涂覆源材料，藉此形成所述多個圖案11。傳送部分300使用馬達和軌道來移動平臺 100和分配器200?；蛘撸墒褂闷渌喾N單元來移動平臺100和分配器200。雖然在本示 范性實施例中是在X-軸或Y-軸方向上水平地移動分配器200，但本發(fā)明不限于此。舉例來 說，可在χ-軸或Y-軸方向上移動平臺100以將源材料涂覆到襯底10上。或者，可在X-軸 或Y-軸方向上移動平臺100與分配器200兩者以涂覆源材料。否則，可在一個側(cè)向上移動 平臺且可在另一側(cè)向上移動分配器200以涂覆源材料。分配器200包括存儲著源材料(例如，Ag膏)的注射器220 ；固定地裝設(shè)有注射 器220的主體部分230 ；將存儲于注射器220中的源材料排放到襯底10上的噴嘴；和測量 該分配器200的噴嘴210與襯底10之間的間隙的傳感器M0。雖然未示出，但用于控制注 射器220與噴嘴210之間的連通的閥門(例如，電磁閥)可設(shè)置于注射器220與噴嘴210 之間。因此，當將壓力加添到存儲著源材料的注射器220中且使用閥門使注射器220與噴 嘴210連通時，將源材料供應(yīng)到注射器220中。接著，從噴嘴210排放源材料。根據(jù)示范性實施例，在形成所述多個圖案11的同時，分配器200并不上升和下降若干次以調(diào)整襯底10與噴嘴210之間的間隙，此做法不同于現(xiàn)有技術(shù)。即，如圖5中所示， 在形成所述多個圖案11期間，水平地移動分配器200而并不是將分配器200提升和下降若 干次，同時襯底10與分配器200保持預(yù)定間隙。即，水平地移動分配器200，以使得排放源 材料時的襯底10與噴嘴210之間的間隙等于未排放源材料時的襯底10與噴嘴之間的間 隙。下文將詳細描述分配器200的水平移動。傳感器240測量襯底10與噴嘴210之間的間隙。雖然未示出，但傳感器240包括 向襯底10上發(fā)射光以用于測量距離的發(fā)光部分(未示出)和接收自所述發(fā)光部分發(fā)射的 光的光接收部分(未示出)。發(fā)光部分與光接收部分可一體地形成于一個主體中且彼此以 預(yù)定距離間隔開。驅(qū)動部分250經(jīng)配置以基于來自傳感器240的測量值來提升分配器200， 以將襯底與噴嘴210之間的間隙調(diào)整到約40 μ m。根據(jù)示范性實施例，可僅提升分配器200 —次，以調(diào)整襯底10與噴嘴210之間的 間隙?？稍谝r底10上形成圖案11之前調(diào)整襯底10與噴嘴210之間的間隙。此后，可連續(xù) 地且水平地移動分配器200以形成所述多個圖案11，而并不提升或下降分配器200。另外， 傳感器240可在水平地移動分配器200以在襯底10上形成所述多個圖案11的同時連續(xù)地 測量襯底10與噴嘴210之間的間隙?？刂撇糠?00控制分配器200的操作以避免產(chǎn)生有缺陷的圖案。為此目的，控制 部分400存儲襯底10的將開始形成圖案11的點(圖案形成開始點Pl)和圖案11的形成 將結(jié)束的點(圖案形成結(jié)束點P2)。而且，控制部分400計算排放開始信號施加點Sl和排 放結(jié)束信號施加點S2。當移動中之分配器200定位于排放開始信號施加點Sl處時，向分配 器200施加用于排放源材料的排放開始信號。而且，當移動中之分配器200定位于排放結(jié) 束信號施加點S2處時，向分配器200施加用于結(jié)束排放源材料的排放結(jié)束信號。下文將詳 細描述圖案形成開始點P1、圖案形成結(jié)束點P2、排放開始信號施加點Sl和排放結(jié)束信號施 加點S2。在下文中，將參看圖1到圖5描述用于在連續(xù)地且水平地移動分配器200的同時 在襯底10上形成所述多個圖案11的方法。首先，將襯底10安置于分配器設(shè)備的平臺100上，且使用傳感器240來測量襯底 10與噴嘴210之間的間隙。襯底10可為LED面板的上部襯底和下部襯底中的一者。傳感 器240測量襯底10與噴嘴210之間的間隙，且驅(qū)動部分250基于傳感器240的測量值來提 升分配器200以將襯底10與噴嘴210之間的間隙調(diào)整到約40 μ m。可僅提升分配器200 — 次，以調(diào)整襯底10與噴嘴210之間的間隙。此外，可在襯底10上形成圖案11之前調(diào)整襯 底10與噴嘴210之間的間隙。接著，使用傳送部分300水平地移動分配器200?？沙蛟谝r底10上開始形成圖 案11的位置(即，圖案形成開始點Pl)水平地移動分配器200。在朝向圖案形成開始點Pl 水平地移動分配器200的同時，控制部分400計算排放開始信號施加點Si。此后，如圖3中 所示，當分配器200位于高于排放開始信號施加點Sl的位置處時，控制部分400向分配器 200施加用于排放源材料的排放開始信號。因此，可在連續(xù)地且水平地移動分配器200的 同時，在所要位置處形成圖案11。此處，如圖3中所示，排放開始信號施加點Sl可設(shè)置于 圖案形成開始點Pl之前的相距預(yù)定距離的位置處。排放開始信號施加點Sl是根據(jù)分配器 200的移動速度、用于在注射器220內(nèi)加添足夠壓力的時間和閥門的操作時間而改變。通常，在控制部分400向分配器200施加排放開始信號之后直到從分配器200的噴嘴210排放 源材料為止，需要一段預(yù)定時間。即，需要預(yù)定時間以便在存儲著源材料的注射器220內(nèi)加 添足夠壓力，以使得可將源材料供應(yīng)到噴嘴210。亦需要預(yù)定時間以操作閥門，以使得注射 器220可與噴嘴210連通。因此，即使控制部分400向分配器200供應(yīng)用于排放源材料的 命令信號，也并不立即從分配器200排放源材料。另外，排放開始信號施加點Sl可視分配 器200的移動速度而定，此是因為圖案11是在水平地移動分配器200的同時形成于襯底10 上。可將上述關(guān)系表達為以下等式“排放開始信號施加點Sl =分配器200的移動速度X 閥門的操作時間X注射器220內(nèi)的壓力加添時間”。根據(jù)示范性實施例，使用以下等式計 算排放開始信號施加點Sl :(排放開始信號施加點Sl =分配器的移動速度X閥門的操作 時間X注射器內(nèi)的壓力加添時間)。將排放開始信號施加點Sl計算為距離單位。將排放 開始信號施加點Sl設(shè)定為在圖案形成開始點Pl之前的相距計算的值的位置。舉例來說， 當計算的值為約Imm時，在圖案形成開始點Pl之前的相距約Imm的位置處施加排放開始信 號。因此，當移動中的分配器200定位于排放開始信號施加點Sl處時，控制部分400向分 配器200施加用于排放源材料的排放開始信號，如圖3中所示。當向分配器200施加用于排放源材料的排放開始信號時，開始向注射器220中加 添壓力。接著，設(shè)置于注射器220與噴嘴210之間的閥門開始操作以使注射器220與噴嘴 210彼此連通。在上文所描述的過程的執(zhí)行期間，分配器200到達圖案形成開始點P1。當 分配器200位于高于圖案形成開始點Pl的位置處時，從噴嘴210排放注射器220內(nèi)的源材 料。即，在所要點(即，圖案形成開始點Pl)處開始涂覆源材料以形成圖案11。隨著在過程 前進方向上連續(xù)地且水平地移動分配器200，將從噴嘴210排放的源材料涂覆到襯底10上 以形成圖案11。在于襯底10上形成第一圖案11 (即，初始圖案11)的情況下，可在分配器200位 于圖案形成開始點Pl處之后向分配器200施加排放開始信號。即，當開始從噴嘴210排放 源材料以形成第一圖案11時，分配器200尚未移動。因此，可在使分配器200位于圖案形 成開始點P處、向分配器200施加排放開始信號且從噴嘴210排放源材料之后，水平地移動 分配器200。因此，可優(yōu)選在分配器200到達排放開始信號施加點Sl時施加排放開始信號 以用于形成下一個圖案11，此是因為在襯底10上形成初始圖案11之后，分配器200水平地 移動以形成下一個圖案11。而且，如果將待形成于襯底10上的圖案11劃分成第一區(qū)、第二區(qū)和第三區(qū)(如圖 3和圖4中所示)，那么可將加添到注射器220中以形成圖案11的第一區(qū)的壓力調(diào)整為加 添到注射器中以形成第二區(qū)的壓力的約30%到約80%。因此，可調(diào)整第一區(qū)的厚度，以使 得其并不因在圖案11的第一區(qū)中產(chǎn)生源材料塊而致使厚于第二區(qū)和第三區(qū)的厚度。舉例 來說，當加添到注射器220中以形成第一區(qū)的壓力等于加添到注射器中以形成第二區(qū)的壓 力時，源材料可成塊地(lumped)集中于第一區(qū)中。此是因為保留在噴嘴210中的源材料 與新近從注射器220供應(yīng)到噴嘴210中的源材料是同時一起被排放的。因此，可將加添到 注射器220中以形成圖案11的第一區(qū)的壓力調(diào)整為加添到注射器中以形成第二區(qū)的壓力 的約30%到約80%。因此，可防止第一區(qū)的厚度歸因于在圖案11的第一區(qū)中的源材料塊 而導(dǎo)致厚于第二區(qū)的厚度。根據(jù)示范性實施例，第一區(qū)可屬于覆蓋距圖案形成開始點Pl約 0. 5mm的范圍。
按順序，在朝向圖案形成結(jié)束點P2的方向連續(xù)地且水平地移動分配器200的同 時，形成圖案11的第二區(qū)和第三區(qū)?？刂撇糠?00計算排放結(jié)束信號施加點S2。此后，如 圖4中所示，當分配器200位于高于排放結(jié)束信號施加點S2的位置處時，控制部分400向 分配器200施加源材料的排放結(jié)束信號。此情況防止當在水平地移動分配器200的同時 在襯底10上形成所述多個圖案11 (如在示范性實施例中所描述)時，在穿過圖案形成結(jié)束 點P2之后涂覆源材料。通常，在向分配器200施加排放結(jié)束信號之后直到從注射器220到 噴嘴210的源材料供應(yīng)實際上停止為止，需要一段預(yù)定時間。即，雖然向分配器200施加排 放結(jié)束信號，但并不立即停止從噴嘴排放源材料(歸因于保留在噴嘴210中的源材料)。因 此，排放結(jié)束信號施加點S2可視在向分配器200施加排放結(jié)束信號之后仍從噴嘴210排放 源材料的長度而定。而且，排放結(jié)束信號施加點S2可根據(jù)在向分配器200施加排放結(jié)束信 號之前加添到分配器200的注射器220中的壓力而改變。此可表達為以下等式“排放結(jié)束 信號施加點S2 =加添到注射器中的壓力X每壓力的長度改變”。此處，每壓力的長度改變 表示在向分配器200施加源材料的排放結(jié)束信號之后將源材料從噴嘴210涂覆到襯底10 上的長度。而且，每壓力的長度改變可視分配器200的移動速度和源材料的黏度而定。因 此，根據(jù)示范性實施例，基于分配器200的移動速度和用于實際過程中的源材料來計算每 壓力的長度改變。接著，將計算的數(shù)據(jù)應(yīng)用于以下等式以獲得排放結(jié)束信號施加點S2 (排 放結(jié)束信號施加點S2 =加添到注射器中的壓力X每壓力的長度改變)。表1說明在施加排放結(jié)束信號之后根據(jù)壓力改變而將源材料從噴嘴涂覆到襯底 上的長度。表 權(quán)利要求
1.一種用于控制分配器設(shè)備的方法，所述分配器設(shè)備包含存儲源材料的注射器、將所 述源材料排放到襯底上的噴嘴、控制所述注射器與所述噴嘴之間的連通的閥門，和經(jīng)調(diào)適 以在所述襯底上形成彼此間隔開的多個圖案的分配器，所述方法包含水平地移動所述分配器以將所述源材料排放到所述襯底上，藉此形成所述多個圖案，其中所述源材料排放到所述襯底上時的所述襯底與所述噴嘴之間的間隙等于未將所 述源材料排放到所述襯底上時的所述襯底與所述噴嘴之間的間隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在水平地移動所述分配器期間，在所述過程期間 將所述源材料排放到所述襯底上時的所述襯底與所述噴嘴之間的所述間隙保持著，而并不 重復(fù)地通過使所述分配器上升或下降而調(diào)整所述間隙。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進一步包含將所述源材料排放到所述襯底上以形成 所述圖案之前，向所述分配器施加所述源材料的排放開始信號。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進一步包含在所述襯底上形成所述圖案結(jié)束之前， 向所述分配器施加所述源材料的排放結(jié)束信號。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，在開始形成所述圖案的實際位置被稱作圖案形 成開始點的情況下，在所述分配器位于所述圖案形成開始點之前的位置處時，向所述分配 器施加所述源材料的排放開始信號。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述排放開始信號施加點是通過所述分配器的移 動速度、所述注射器內(nèi)的壓力加添時間和所述閥門的操作時間來調(diào)整。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述排放開始信號施加點是通過以下等式而計算 為距離值“排放開始信號施加點=分配器的移動速度X注射器內(nèi)的壓力加添時間X閥門 的操作時間”。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述排放開始信號施加點位于所述圖案形成點之 前的相距所計算的值的位置處。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，當從所述圖案形成開始點起將所述襯底上的所 述圖案劃分成第一區(qū)、第二區(qū)和第三區(qū)時，將加添到所述注射器中以形成所述圖案的所述 第一區(qū)的壓力調(diào)整為加添到所述注射器中以形成所述第二區(qū)的壓力的約30%到約80%。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述圖案的所述第一區(qū)屬于覆蓋距所述圖案形 成開始點約0. 5mm的范圍。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，在所述襯底上形成所述圖案結(jié)束時的實際位 置被稱作圖案形成結(jié)束點的情況下，在所述分配器位于所述圖案形成結(jié)束點之前的位置處 時，向所述分配器施加所述源材料的排放結(jié)束信號。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述排放結(jié)束信號施加點是通過以下等式而計 算為距離值“排放結(jié)束信號施加點S2 =加添到注射器中的壓力X每壓力的長度改變”。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述排放結(jié)束信號施加點位于所述圖案形成結(jié) 束點之前的相距所計算的值的位置處。
全文摘要
提供一種用于控制分配器設(shè)備的方法。所述分配器設(shè)備包括存儲源材料的注射器、將源材料排放到襯底上的噴嘴、控制所述注射器與所述噴嘴之間的連通的閥門，和在所述襯底上形成彼此間隔開的多個圖案的分配器。所述用于控制所述分配器設(shè)備的方法包括水平地移動所述分配器以將所述源材料排放到襯底上，藉此形成所述多個圖案。在將所述源材料排放到所述襯底上時的所述襯底與所述噴嘴之間的間隙等于未將所述源材料排放到所述襯底上時的所述襯底與所述噴嘴之間的間隙的狀態(tài)下，連續(xù)地且水平地移動所述分配器。因為可在所述襯底上形成所述多個圖案而無需重復(fù)地使所述分配器上升或下降以調(diào)整所述襯底與所述噴嘴之間的所述間隙，所以可減少整個處理時間。
文檔編號B05C11/00GK102101094SQ20101051863
公開日2011年6月22日 申請日期2010年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月19日
發(fā)明者崔在萬, 張在男, 李根德, 金正斗 申請人:Ap系統(tǒng)股份有限公司