專利名稱：顯示板的圖形形成方法以及形成裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于制造PDP(Plasma Display panel)、液晶、有機EL(Electro-Luminecence)、CRT(Cathode Ray Tube)等顯示板的技術領域。
背景技術：
以下，例舉在顯示器屏板上，由熒光體材料或電極材料等形成屏幕線條的情況，對以往的技術課題進行說明。
首先，對最初的熒光體材料的情況進行說明。
在進行彩色顯示的等離子顯示板(以下稱PDP)中，在前面板/后面板上具有由以RGB各色發(fā)光的熒光體材料組成的熒光體層。
該熒光體層，是在以平行線狀形成在前面板/后面板上的隔壁與隔壁之間(即，在尋址電極上)形成3組充填了RGB各色熒光體材料的線條、并將其3組線條平行地鄰接布置成多列的結構。該熒光體層通過網(wǎng)板印刷方式、照相平板印刷方式等形成。
對于將畫面大型化的情況，用以往的網(wǎng)板印刷方式很難將網(wǎng)板印刷版高精度地對準位置，如果要充填熒光體材料，就要把材料一直裝入到隔壁的頂部，而為了除去它又需要導入研磨過程的對策。另外，根據(jù)滑動壓力的不同熒光體材料的充填量會變化，并且調(diào)整這個壓力是極微妙的，依賴于操作者熟練程度的部分很多。因此，獲得遍及整個前面板/后面板的一定充填量很不容易。
另外，雖然能夠使用感光性熒光體材料、并通過照相平板印刷方式形成熒光體層，但必須有曝光和顯影的過程，由于與網(wǎng)板印刷方式相比過程數(shù)很多，所以制造成本高就成為課題。
彩色電子束管屏板的熒光體屏幕線條，通常以由曝光臺進行照片顯影的方式進行制造。用這個方式，首先把彩色3原色中的1種熒光體涂覆在整個屏板上。
作為這種涂覆方法，例如，在把熒光體液注入在屏板內(nèi)面上以后，使屏板主體旋轉(zhuǎn)，給予熒光體液離心力，使熒光體材料在屏板整個面上均勻化，使用所謂的“離心法”。
接著，把全面涂覆了熒光體的上述屏板與掩膜合體，并用曝光臺只對該彩色熒光體的線條的位置曝光、實施顯影化學處理以便留下曝光區(qū)域并除去殘余部掩膜覆蓋區(qū)域。然后，對彩色3原色的其他熒光體同樣地反復進行掩膜曝光、顯影的照相蝕刻過程。所以，要3次反復照相蝕刻過程。
作為形成熒光體屏幕線條方法，其他的還可用靜電噴涂方式。這種方式雖然原理上與照片顯影方式相同，但是在使用作為線條的彩色熒光體的線條電材料、并通過干式涂覆進行涂覆這一點是不同的。
在以上述兩種方式形成電子束管屏板的熒光體屏幕線條時，由于無論以哪種方式都必須經(jīng)歷很多的復雜過程，所以，需要大規(guī)模的制造裝置。因此，雖然適用于大量生產(chǎn)，但對于多品種少量的生產(chǎn)，有效率低的缺點。
為了解決形成屏幕線條的問題，即，為了解決與PDP中的網(wǎng)板印刷方式以及電子束管屏板中的“離心法→照片顯影方式”有關的上述課題，已經(jīng)提出了使用調(diào)合劑的直接繪圖方式(direct patterning)。
圖23是在特開平10-27543號公報中公開的內(nèi)容，出示了以PDP為對象的熒光體形成裝置以及形成方法。其中450是基板，451是放置基板450的放置臺，452是排出糊狀的熒光體的計量供料器(dispenser)，453是計量供料器452的排出噴嘴。
為了構成使該排出噴嘴453和放置臺451相對移動的輸送部，在放置臺451的兩側設有1對向Y軸方向的輸送裝置454a、454b。另外，支撐計量供料器452的X軸方向的輸送裝置455，通過上述Y軸方向的輸送裝置454a、454b可沿Y軸方向移動地被裝入。而且，Z軸方向的輸送裝置456，通過上述X軸方向的輸送裝置455可沿X軸方向移動地被裝入。
根據(jù)上述方案，由于不使用以往的屏幕掩膜，而只以數(shù)值設定基板規(guī)格就能從在基板450上移動的噴嘴453排出熒光體，并能涂覆基板450凸棱之間的溝槽，所以對于任意尺寸的基板450都能夠高精度地形成熒光體層，并且能夠容易地對應基板450規(guī)格的變更。
即使對于把彩色陰極射線顯像管(或CRT顯像管)的屏板作為對象的熒光體層形成裝置，在特公昭57-21223號公報中也公開了同樣的方案。根據(jù)該方案，不需要擴大制造過程以及制造生產(chǎn)線的規(guī)模，用單個的裝置就能進行網(wǎng)板印刷，另外，對于多品種少量生產(chǎn)的陰極射線顯像管有提高產(chǎn)量的效果，而且具有對用單個的裝置進行網(wǎng)板印刷的自動化生產(chǎn)線實行以小規(guī)模設備生產(chǎn)的優(yōu)點。
但是，即使在用計量供料器在屏板上形成熒光體屏幕線條的情況下，也希望具有與網(wǎng)板印刷方式相同的生產(chǎn)節(jié)奏。
然而，能夠設置在涂覆裝置上的計量供料器數(shù)量受到限制，對于將上千根～數(shù)千根的屏幕線條在盡可能短的時間內(nèi)繪出，就必須使屏板與噴嘴之間的相對速度足夠大。
因此，必須使計量供料器或裝載屏板的輸送臺高精度并高速地往復動作。
在此，把屏板的面設定為具有形成熒光體層的“有效顯示區(qū)域”(圖2中用點劃線圍起來的四方形區(qū)域60a)和配置在該有效顯示區(qū)域外周部不形成熒光體層的“非有效顯示區(qū)域”(圖2中方形區(qū)域60a外側的四方框形區(qū)域60b)。
另外，把計量供料器作為裝載在輸送臺上的機構來注視1個排出噴嘴的行跡。對屏板的面上的上述“有效顯示區(qū)域”進行連續(xù)涂覆并以高速移動的噴嘴，當接近屏板的端面時，經(jīng)減速區(qū)降低速度，并進入“非有效顯示區(qū)域”。在該非有效顯示區(qū)域中反轉(zhuǎn)后，經(jīng)加速區(qū)間再次在有效顯示區(qū)域穩(wěn)定移動。
即，噴嘴與屏板之間的相對速度在加速區(qū)間的前后有很大變化。這時，計量供料器最好具有下述功能。
①對應噴嘴與屏板之間的相對速度，可改變流量。
②在屏板的端面的反轉(zhuǎn)區(qū)間(在非有效顯示區(qū)域移動的區(qū)間)，可完全切斷排出量。
③在經(jīng)過上述反轉(zhuǎn)區(qū)間涂覆開始時的涂覆線的起始點部不發(fā)生“細”和“斷”的情況。同樣，在涂覆結束時的涂覆線的終點部不發(fā)生“粗”和“積留”。
在不能實現(xiàn)上述①時，例如，不管噴嘴與屏板之間的相對速度比穩(wěn)定移動時小，只要能夠減少排出量，則熒光涂覆線的線寬和厚度就會超過技術范圍。
要提高生產(chǎn)拍節(jié)就必須縮短加速、減速的時間，并且獲得大的相對速度變化率。即，對于計量供料器，要求有更高流量控制的響應。
上述②的必要性如下所述。當噴嘴在屏板的端面的反轉(zhuǎn)區(qū)間(非有效顯示區(qū)域)上移動時，噴嘴與屏板之間的相對速度為零和處于在其前后的極低速狀態(tài)。
如果在該區(qū)間從噴嘴流出材料，即使是很小的流量，但因為有多根線條重疊，所以材料會堆積在屏板上。其結果，堆積的材料粘在排出噴嘴的前端。如果在這種狀態(tài)下再開始涂覆，則粘在噴嘴的前端的流體塊在屏板上不連續(xù)地散逸，發(fā)生明顯破壞繪線精度等故障。即，最好在屏板的端面的反轉(zhuǎn)區(qū)間，計量供料器能夠完全切斷排出量。
上述③，計量供料器方式是確保與以往的方式、例如網(wǎng)板印刷方式相同的、或是用于確保更高質(zhì)量的所需要的條件。
根據(jù)以上的要點，為了使用計量供料器以高生產(chǎn)效率在屏板上形成熒光體屏幕線條，希望計量供料器具有能夠任意地實行流體的切斷、釋放的功能，以及高流量控制響應性和高流量精度。但是作為計量供料器的先例的、例如在特公昭57-21223號公報中和在特開平10-27543號公報中，卻沒有看到有關這些的詳細記載。
那么，雖然計量供料器(液體排出裝置)自以前就用于各種領域，但近年來隨著電子產(chǎn)品的小型化和高記錄密度化的需要，就需要能對微少量的流體材料實行以高精度并且穩(wěn)定的供料控制的技術。以前，作為液體排出裝置，廣泛使用如圖24所示的應用氣體方式的計量供料器，例如，在“自動化技術，93.25卷7號”等中介紹了這種技術。
應用這種方式的計量供料器，把從穩(wěn)壓源供給的定量氣體脈動地施加于容器600(氣缸)內(nèi)，對應于氣缸內(nèi)601壓力上升部分的一定量的液體從噴嘴602排出。
這種氣體方式的計量供料器有下述問題點。
(1)因排出壓力的脈動排出量不均勻。
(2)因水位差而使排出量不均勻。
(3)因液體粘度的變化而使排出量變化。
上述(1)的現(xiàn)象，節(jié)拍越短、排出時間越短，則越為顯著。因此在實施用于使氣壓脈動高度均勻化的穩(wěn)定電路上下了工夫。
對于上述(2)，由于氣缸內(nèi)的空隙部601的容積根據(jù)液體剩余量H而不同，所以在供給一定高壓氣體時，空隙部601內(nèi)壓力變化程度，根據(jù)上述液體剩余量H有很大的變化就是其原因。如果降低液體剩余量H，就有例如涂覆量與最大值相比減少50～60％左右的問題。因此，實行每排出一次就檢測一次液體剩余量H、為使排出量趨于均勻而調(diào)整脈動時間的寬度等對策。
對于上述(3)，例如含有大量溶劑材料的粘度隨時間變化時會發(fā)生(3)的情況。作為對策，把對時間軸粘度變化的傾向預先在計算機中作成程序，為修正粘度變化的影響而調(diào)節(jié)脈動寬度等。
對于上述課題的任何一個方案，使包括計算機在內(nèi)的控制系統(tǒng)復雜化，另外，很難對應不規(guī)律的環(huán)境條件(溫度等)的變化，不是根本的解決方案。
在氣體方式的上述課題中，還有該方式的計量供料器響應性差的缺點。這一缺點與封入氣缸600的氣體壓縮性和在使氣體通過狹窄間隙時的噴嘴阻力有關。即，在氣體方式的情況下，以氣缸的容積C、噴嘴阻力R決定的流體回路的時間常數(shù)T＝RC很大，估計在施加輸入脈沖后、開始排出時，例如要延遲0.07～0.1秒左右。
為了解決上述氣體方式的缺點，在排出噴嘴的入口部設置針閥，通過使構成該針閥的細直徑滑柱沿軸方向高速移動、使排出口開閉的計量供料器，已經(jīng)實用化。但是，在這種情況下，在切斷流體時，進行相對移動的部件之間的間隙為零，數(shù)微米～數(shù)十微米的平均粒徑的粉體受到機械的擠壓而被破壞。由于作為結果發(fā)生了各種不好的情況，所以難以適用于作為本發(fā)明的對象的熒光體等的涂覆的情況較多。
根據(jù)以上的原因，即使原封不動地引入以往的計量供料器構造或應用方法，也很難滿足以高生產(chǎn)效率在屏板上形成熒光體屏幕線條的條件。
以上例舉了在顯示板上用熒光體材料形成屏幕線條的情況，并對以往技術上的課題進行了說明。對于除熒光體屏幕線條以外的材料，例如由電極材料等形成圖形的情況也有同樣的問題。
在此，本發(fā)明的目的是提供一種顯示板的圖形形成方法以及形成裝置，其可滿足為了通過對計量供料器賦予高速排出切斷、高速排出釋放和流量控制功能，以高生產(chǎn)效率在顯示板板上形成熒光體、電極材料等薄膜圖形的條件，即，①能夠根據(jù)計量供料器的加減速度，以高響應性改變流量，②能夠在計量供料器噴嘴前端從涂覆區(qū)域向非涂覆區(qū)域、或進行相反移動時，任意地進行流體的高速切斷和高速釋放等。

發(fā)明內(nèi)容
為達到上述目的，本發(fā)明具有如下所述的構成。
本發(fā)明的顯示板的圖形形成方法，大致為通過使流量可變式計量供料器一邊相對于基板移動、一邊排出糊劑，順序在規(guī)定位置涂覆糊劑而形成圖形，當所述計量供料器與所述基板在不形成所述圖形的區(qū)域移動時，保持切斷排出所述糊劑的狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明之1的顯示板的圖形形成方法，通過使流量可變式計量供料器一邊相對于基板移動、一邊排出糊劑，在所述基板的應排出位置上順序排出所述糊劑，形成一種圖形的糊劑層，對具有形成所述糊劑層的有效顯示區(qū)域和在該有效顯示區(qū)域的外側、并且不形成所述糊劑層的非有效顯示區(qū)域的所述基板中的所述有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時排出所述糊劑，而在所述非有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時切斷所述糊劑的排出。
根據(jù)本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之1的、通過使計量供料器一邊相對于在表面排列形成有多根光吸收層的基板移動、一邊排出糊劑，在應向所述光吸收層間排出的位置順序排出所述糊劑，形成一種圖形的糊劑層的顯示板的圖形形成方法中，使用流量可變式計量供料器作為所述計量供料器，控制所述糊劑的排出。
根據(jù)本發(fā)明之3的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法中，使所述計量供料器與所述基板的相對速度一致地控制所述計量供料器而使所述糊劑的排出量可變。
根據(jù)本發(fā)明之4的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法中，對具有形成所述糊劑層的有效顯示區(qū)域和在該有效顯示區(qū)域的外側、并且不形成所述糊劑層的非有效顯示區(qū)域的所述基板中的所述有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行向?qū)σ苿訒r排出所述糊劑，而對所述非有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時切斷所述糊劑的排出。
根據(jù)本發(fā)明之5的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法中，使用螺旋槽式計量供料器作為所述計量供料器，通過所述螺旋槽式計量供料器的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)控制、控制所述糊劑的排出。
根據(jù)本發(fā)明之6的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之4的顯示板的圖形形成方法中，使用螺旋槽式計量供料器作為所述計量供料器，在所述計量供料器和所述基板在所述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，停止所述螺旋槽式計量供料器的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，或者在所述有效顯示區(qū)域進行移動時，使所述旋轉(zhuǎn)軸反旋。
根據(jù)本發(fā)明之7的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之5的顯示板的圖形形成方法中，所述計量供料器和所述基板在從所述有效顯示區(qū)域向所述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，通過在降低所述螺旋槽式計量供料器的所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速后使其停止來停止所述排出，或者通過在降低后使其停止、并使所述旋轉(zhuǎn)軸反旋來停止所述排出。
根據(jù)本發(fā)明之8的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之5的顯示板的圖形形成方法中，所述計量供料器和所述基板在從所述非有效顯示區(qū)域向所述有效顯示區(qū)域進行相對移動時，在增加所述螺旋槽式計量供料器的所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速后、維持所述旋轉(zhuǎn)軸的特定旋轉(zhuǎn)并進行排出，或者在增加之后降低，然后維持所述旋轉(zhuǎn)軸的特定旋轉(zhuǎn)并進行排出。
根據(jù)本發(fā)明之9的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之5的顯示板的圖形形成方法中，使用多個螺旋槽式計量供料器作為所述計量供料器，個別調(diào)節(jié)所述多個螺旋槽式計量供料器的轉(zhuǎn)速來設定規(guī)定的流量。
根據(jù)本發(fā)明之10的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法中，所述計量供料器，通過向由作為糊劑壓送裝置的缸筒和柱塞形成的流體輸送室供給所述糊劑，同時對所述缸筒和所述柱塞施與相對于軸方向的運動、增減所述流體輸送室的空間而改變所述糊劑的排出量。
根據(jù)本發(fā)明之11的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之10的顯示板的圖形形成方法中，對形成在所述缸筒和所述柱塞的相對移動面上的螺旋槽給與相對的旋轉(zhuǎn)運動來壓送所述糊劑。
根據(jù)本發(fā)明之12的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之10的顯示板的圖形形成方法中，在所述噴嘴前端與所述基板從所述有效顯示區(qū)域向所述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，增大所述流體輸送室的空間而停止所述糊劑的排出。
根據(jù)本發(fā)明之13的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之10的顯示板的圖形形成方法中，在所述噴嘴前端與所述基板從所述非有效顯示區(qū)域向所述有效顯示區(qū)域進行相對移動時，減小由所述缸筒和所述柱塞形成的所述流體輸送室的空間而排出所述糊劑。
根據(jù)本發(fā)明之14的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之10的顯示板的圖形形成方法中，在所述噴嘴前端與所述基板在所述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，增大由所述缸筒和所述柱塞形成的所述流體輸送室的空間而持續(xù)地停止所述糊劑的排出。
根據(jù)本發(fā)明之15的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法中，所述計量供料器，作為糊劑壓送裝置，向由缸筒和柱塞以及收納該柱塞的至少一部分的套筒形成的流體輸送室壓送所述糊劑，同時通過對所述缸筒和所述柱塞、以及該柱塞與所述套筒施與相對軸方向的運動，增減所述流體輸送室的空間而改變所述糊劑的排出量。
根據(jù)本發(fā)明之16的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之15的顯示板的圖形形成方法中，把所述缸筒與所述柱塞的相對位移曲線和所述柱塞與所述缸筒的相對位移曲線設定為大致反相位，或者使移動方向相反，而進行所述糊劑的開始排出或停止排出。
根據(jù)本發(fā)明之17的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法中，所述流量可變式計量供料器，通過對軸和殼體沿軸方向相對驅(qū)動、使所述軸和所述殼體之間的流通路的間隙變化而實現(xiàn)所述糊劑的流體阻力的增減、對所述糊劑的排出量進行控制。
根據(jù)本發(fā)明之18的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之17的顯示板的圖形形成方法中，所述計量供料器，使軸和殼體進行相對旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生使所述糊劑從所述殼體的吸入口向排出口壓送的泵壓力，排出所述糊劑。
根據(jù)本發(fā)明之19的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之17的顯示板的圖形形成方法中，通過形成在所述軸和所述殼體的相對移動面上的動壓密封，切斷所述糊劑的流出。
根據(jù)本發(fā)明之20的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之197的顯示板的圖形形成方法中，所述計量供料器，通過使軸和殼體進行相對旋轉(zhuǎn)、同時使所述軸和所述殼體沿軸方向相對移動，而變化形成在所述軸和所述殼體之間的動壓密封的流通路的間隙，并通過實現(xiàn)對所述糊劑流體阻力的增減進行對所述糊劑流量的控制。
根據(jù)本發(fā)明之21的顯示板的圖形形成裝置，是在并排設置在基板表面上的多根光吸收層之間排出糊劑、形成一種圖形的糊劑層的顯示板的圖形形成裝置，包括放置基板的放置臺，和具有至少1個排出所述糊劑的噴嘴的計量供料器，和使所述噴嘴和所述放置臺相對移動的輸送部，和為在所述光吸收層之間的規(guī)定位置上順序排出所述糊劑而控制所述輸送部和所述計量供料器的控制裝置；所述計量供料器為螺旋槽式。
根據(jù)本發(fā)明之22的顯示板的圖形形成裝置，是在本發(fā)明之21的顯示板的圖形形成裝置中，所述計量供料器，包括具有所述糊劑的吸入孔和排出孔、并且在內(nèi)部形成有流體輸送室的缸筒，和被收納于所述缸筒中的柱塞，和為增減由所述缸筒和所述柱塞形成的內(nèi)部空間而對所述缸筒和所述柱塞給與相對運動的促動器；從所述吸入孔流入所述流體輸送室的所述糊劑，經(jīng)過與所述內(nèi)部空間連接的流路從所述排出孔流出。
根據(jù)本發(fā)明之23的顯示板的圖形形成裝置，是在本發(fā)明之21的顯示板的圖形形成裝置中，所述計量供料器，取代螺旋槽式計量供料器，包括第1促動器，和由所述第1促動器沿直線方向驅(qū)動的柱塞，和收納該柱塞并且具有所述糊劑的吸入孔和排出孔的殼體，和與所述柱塞同軸配置的缸筒，和給予所述柱塞和所述缸筒之間相對旋轉(zhuǎn)運動的第2促動器；在所述柱塞與所述殼體之間，形成有連接所述吸入孔和所述排出孔的泵室，通過由所述第1促動器和所述第2促動器的驅(qū)動的所述柱塞與所述缸筒的相對旋轉(zhuǎn)運動或直線運動，給予所述泵室以泵作用，并且通過對所述第1促動器從外部供給電磁的非接觸式電力而移動或伸縮，使所述柱塞移動。
根據(jù)本發(fā)明之24的顯示板的圖形形成裝置，是在本發(fā)明之21的顯示板的圖形形成裝置中，所述計量供料器，取代螺旋槽式計量供料器，包括軸，和收納該軸、并且具有把在與所述軸之間形成的泵室和外部連接的所述糊劑的吸入口和排出口的殼體，和使所述軸與所述殼體相對旋轉(zhuǎn)的裝置，和給予所述軸與所述殼體之間沿軸方向相對位移的軸方向驅(qū)動裝置，和將流入所述泵室內(nèi)的所述糊劑向排出口側壓送的裝置；為實現(xiàn)在所述泵室與所述排出口之間的所述糊劑的流體阻力，通過所述軸方向驅(qū)動裝置變化所述軸與所述殼體之間的間隙。
根據(jù)本發(fā)明之25的顯示板的圖形形成裝置，是在本發(fā)明之21的顯示板的圖形形成裝置中，所述計量供料器，包括柱塞，和收納所述柱塞并且具有所述糊劑的吸入口和排出口的殼體，和使所述柱塞與所述殼體進行相對移動的第1促動器，和具有收納所述柱塞的至少一部分的沿軸向穿通的空間的缸筒，和使所述缸筒與所述殼體進行相對移動的第2促動器；自外部向由所述柱塞和所述缸筒以及所述殼體形成的泵室、從所述吸入口供給所述糊劑，并從所述排出口排出。
根據(jù)本發(fā)明之26的顯示板的圖形形成裝置，所述計量供料器，由被收納于缸筒中的柱塞，和為增減由所述缸筒和所述柱塞形成的內(nèi)部空間而對所述缸筒和所述柱塞給與相對運動的促動器，和收納所述缸筒或與所述缸筒一體化、并且具有所述糊劑的吸入孔和排出孔的殼體，和形成在所述殼體內(nèi)部的流體輸送室構成；從所述吸入孔流入所述流體輸送室的所述糊劑，經(jīng)過與所述內(nèi)部空間連接的的流路從所述排出孔流出。
根據(jù)本發(fā)明之27的顯示板的圖形形成裝置，是在本發(fā)明之26的顯示板的圖形形成裝置中，使用在切斷所述糊劑時、把所述柱塞和與其對向面之間的間隙形成得比包含在排出材料中的微粒的粒徑大的計量供料器。
根據(jù)本發(fā)明之28的顯示板的圖形形成裝置，是在本發(fā)明之27的顯示板的圖形形成裝置中，在從所述吸入口到所述排出噴嘴的流通路中，在切斷所述糊劑時的最小間隙為8μm以上。
根據(jù)本發(fā)明之29的顯示板的圖形形成裝置，是在本發(fā)明之21的顯示板的圖形形成裝置中，所述控制裝置，實行下述控制，對具有形成所述糊劑層的有效顯示區(qū)域和在該有效顯示區(qū)域的外側、并且不形成所述糊劑層的非有效顯示區(qū)域的所述基板中的所述有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時排出所述糊劑，而對所述非有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時切斷所述糊劑的排出。
根據(jù)本發(fā)明之30的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之1的顯示板的圖形形成方法中，當所述計量供料器、在具有形成作為所述糊劑層的電極層的有效顯示區(qū)域，和與所述有效顯示區(qū)域鄰接設置、并形成與連續(xù)的所述電極層不連續(xù)的電極層的準有效顯示區(qū)域，和假定設置在所述有效顯示區(qū)域與所述準有效顯示區(qū)域外側、并不形成電極層的非有效顯示區(qū)域的所述基板中的所述有效顯示區(qū)域和所述準有效顯示區(qū)域上、進行相對移動時，排出所述糊劑，而當所述計量供料器在所述非有效顯示區(qū)域上進行相對移動時，切斷所述糊劑的排出。
根據(jù)本發(fā)明之31的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法中，在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)開始排出所述糊劑，或者在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)切斷在所述有效顯示區(qū)域內(nèi)的排出。
根據(jù)本發(fā)明之32的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之3的顯示板的圖形形成方法中，通過具有以等節(jié)距設置的多根噴嘴的計量供料器，當在與所述有效顯示區(qū)域鄰接的所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)開始所述糊劑的多根線條狀的排出后，經(jīng)過所述有效顯示區(qū)域，在與所述有效顯示區(qū)域另一側鄰接的所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)切斷所述糊劑的多根線條狀的排出。
根據(jù)本發(fā)明之33的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之2的顯示板的圖形形成方法中，通過具有以等節(jié)距設置的多根噴嘴的計量供料器，在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)的所述糊劑層中，只選擇具有同樣的傾斜角的彎曲的多根線條狀的電極層，在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)、和/或者在所述有效顯示區(qū)域內(nèi)同時進行所述多根線條狀的排出，形成所述多根線條狀的所述電極層。
根據(jù)本發(fā)明之34的顯示板的圖形形成方法，是在本發(fā)明之3的顯示板的圖形形成方法中，當在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)切斷所述糊劑的排出時，利用隨著所述計量供料器的內(nèi)部流路的間隙的增大而產(chǎn)生的負壓，實行對上述排出的切斷。


本發(fā)明的這些和其他目的的特征，可從與附圖的優(yōu)選實施例有關的下面敘述的內(nèi)容中明了。在這些附圖中，圖1是將用于實施本發(fā)明的顯示板的圖形形成方法的圖形形成裝置、作為實施例1應用于PDP用基板的熒光體層形成裝置時的概略立體圖。
圖2是表示上述PDP用基板的有效顯示區(qū)域和非有效顯示區(qū)域的圖。
圖3是表示應用于本發(fā)明的實施例1的計量供料器的主視圖的剖視圖。
圖4是表示實施例1中的計量供料器的移動速度對時間的曲線圖。
圖5A是表示實施例1中的螺旋槽轉(zhuǎn)速基本成分對時間的曲線圖，圖5B是表示實施例1中螺旋槽轉(zhuǎn)速修正部分對時間的曲線圖，圖5C是表示實施例1中螺旋槽轉(zhuǎn)速對時間的曲線圖。
圖6是表示應用于本發(fā)明的實施例2的計量供料器的主視圖的剖視圖。
圖7是圖6的排出部的詳細圖。
圖8是表示實施例2中的柱塞位移對時間的曲線圖。
圖9是表示實施例2中的螺旋槽壓力對時間的曲線圖。
圖10是表示實施例2中的擠壓壓力對時間的曲線圖。
圖11是表示實施例2中的排出噴嘴上游側壓力對時間的曲線圖。
圖12是表示應用于本發(fā)明的實施例3的計量供料器的主視圖的剖視圖。
圖13是圖12的流量控制部的詳細圖。
圖14是表示實施例3中的排出流量對時間的曲線圖。
圖15是表示實施例3中的流量控制部的電路模式圖。
圖16是將本實施例的圖形形成裝置應用于CRT熒光體層和PDP用基板的圖形形成裝置等、同時繪制屏幕線條時的概略立體圖。
圖17是表示應用于本發(fā)明的實施例4的計量供料器的主視圖的剖視圖。
圖18A、圖18B分別表示實施例4中的柱塞和套筒的位移對時間的曲線圖。
圖19是表示實施例4中的排出噴嘴上游側壓力對時間的曲線圖。
圖20是表示應用于本發(fā)明的實施例5的計量供料器的主視圖的剖視圖。
圖21是實施例5中的泵部的放大圖。
圖22A、圖22B、圖22C分別表示實施例5中的密封壓力與間隙的關系圖。
圖23是以往提出的計量供料器方式熒光體層裝置的概略立體圖。
圖24是表示以往的氣體式計量供料器的圖。
圖25是用于說明通過圖16的圖形形成裝置、用多根微型計量供料器同時繪制多根涂覆線狀態(tài)的說明圖。
圖26是用于說明通過上述圖形形成裝置繪制PDP用基板的電極線狀態(tài)的說明圖。
圖27是本發(fā)明的另外的實施例的圖形形成裝置，是將計量供料器固定并在屏板側移動的圖形形成裝置的立體圖。
圖28是表示圖2的變形例的上述PDP用基板的有效顯示區(qū)域和非有效顯示區(qū)域的圖。
具體實施例方式
在接著敘述本發(fā)明之前，在附圖中對于同一部件給予同樣的符號。
下面，根據(jù)附圖對本發(fā)明的實施例進行說明。
(實施例1)以下，用圖1的概略立體圖對把本發(fā)明的顯示板的圖形形成方法以及形成裝置應用于等離子顯示板(以下稱PDP)的PDP用基板61的熒光體層形成方法以及形成裝置的實施例1進行說明。
50是用于放置構成屏板一部分的PDP用基板61的放置臺，例如，由能只對PDP用基板61進行定位和固定的固定盤或X、Y載物臺等構成。還設有夾住放置臺50的兩側的1對Y方向輸送裝置51、52。另外，X方向輸送裝置53可沿Y-Y’方向移動地被裝載在上述Y方向輸送裝置51、52上。并且，Z方向輸送裝置54可沿X-X’方向移動地被裝載在上述X方向輸送裝置53上。
安裝著可裝卸的計量供料器55的注射器安裝部56，可沿Z-Z’方向可移動地被裝載在Z方向輸送裝置54上。
Y方向輸送裝置51、52，由帶編碼器的Y軸用電機57a、57b的驅(qū)動將X方向輸送裝置53沿Y-Y’方向輸送。分別從編碼器輸出的信息(換句話說是輸送位置信息)被輸入到控制裝置100中，為了Y軸用電機57a、57b的動作控制等使用。
另外，X方向輸送裝置53，由帶編碼器的X軸用電機58的驅(qū)動，將Z方向輸送裝置54沿X-X’方向輸送。從編碼器輸出的信息(換句話說是輸送位置信息)被輸入到控制裝置100中，為了X軸用電機58的動作控制等使用。
另外，Z方向輸送裝置54，由帶編碼器的Z軸用電機89的驅(qū)動將注射器安裝部56沿Z-Z’方向輸送。從編碼器輸出的信息(換句話說是輸送位置信息)被輸入到控制裝置100中，使用于Z軸用電機89的動作控制等。
Y軸用電機57a、57b通過電機驅(qū)動器91a、91b、X軸用電機58通過電機驅(qū)動器92、Z軸用電機89通過電機驅(qū)動器93、計量供料器55通過計量供料器控制部94分別與控制裝置100連接。Y軸用電機57a、57b、X軸用電機58、Z軸用電機89和計量供料器55，分別根據(jù)從編碼器輸出的信息，由控制裝置100進行動作控制。
并且，把由X方向輸送裝置53和Y方向輸送裝置51、52，使排出噴嘴相對于放置臺50進行移動、作為一例構成輸送部。輸送部的其他實例是圖27中所示的將于后述的XY工作臺。
在計量供料器55上，固定著作為基板攝像裝置一例的CCD傳感器或者線傳感器等基板位置檢測照相機90，由基板位置檢測照相機90攝像的信息被輸入到控制裝置100中。在控制裝置100上，連接著儲存數(shù)據(jù)和程序的存儲器101。
由具有上述構成的上述圖形形成裝置在PDP用基板61上形成熒光體層。
首先，把收納有紅色(R)熒光體層用糊劑(paste)的注射器59可裝卸地安裝在計量供料器55上。
如圖2所示，PDP用基板61，具有形成對應于PDP有效顯示部的熒光體層的有效顯示區(qū)域60a，和在該有效顯示區(qū)域60a外側、例如不止在外周部并不形成熒光體層的非有效顯示區(qū)域60b。將該基板61放置并固定在放置臺50的規(guī)定位置上。
例如，對于42英寸的PDP用基板，在由厚3.0mm的玻璃板構成的基板61的有效顯示區(qū)域60a上，預先沿箭頭X-X’方向平行地、以保持節(jié)距P的間隔形成1921根長度L＝560mm、高度H＝100μm、寬度W＝50μm的凸棱(光吸收層)。由于由這1921根凸棱形成了1920根溝槽，所以R、G、B熒光體可分別被涂覆在640根(＝1920根/3)溝槽中。
作為準備工作，先說明對PDP用基板61由計量供料器55進行熒光體層劃線的定位方法。
例如，用基板位置檢測照相機90分別檢測出形成在大致呈四方形的PDP用基板61的2處(例如對角的2處)或3處的位置吻合標記(定線標記)。
然后，用基板位置檢測照相機90檢測出PDP用基板61的光吸收層的位置信息。這時，通過從放置臺50側入射并貫穿PDP用基板61的透過光或者由在計量供料器55一側設置的入射光的PDP用基板61的反射、檢測出光吸收層。如果需要，可通過實行圖像處理使黑白分明。所得到的光吸收層的位置信息由控制裝置100儲存在存儲器101中。這時，可以檢測所有的光吸收層，也可以檢測從所有的適當選擇的一部分光吸收層，并對其他的光吸收層的位置信息進行類推。
另外，取代上述的光吸收層的檢測工作，也可以預先把光吸收層的位置信息儲存在存儲器101中，由控制裝置100讀取所儲存的光吸收層的位置信息。
接著，以上述直線對準標記的位置信息為基準，根據(jù)光吸收層的位置信息決定從上圖形形成裝置的坐標軸看的涂覆開始位置b(劃線開始位置)的XY坐標。這時，例如在以上述直線對準標記的位置信息為基準，決定了涂覆開始位置b的XY坐標后，根據(jù)光吸收層的位置信息(例如，位置b和位置c之間的距離信息)，決定其他位置(準備位置a、涂覆開始位置b、涂覆結束位置c、轉(zhuǎn)彎位置d、轉(zhuǎn)彎位置e、涂覆開始位置f、涂覆結束位置g、轉(zhuǎn)彎位置h、···等位置)的XY坐標。在這里，涂覆開始位置b和涂覆結束位置c以及涂覆開始位置f和涂覆結束位置g，分別是有效顯示區(qū)域60a和非有效顯示區(qū)域60b的交界位置。轉(zhuǎn)彎位置d和轉(zhuǎn)彎位置e以及轉(zhuǎn)彎位置h，分別是以對X或X’方向與Y或Y’方向的移動方向進行轉(zhuǎn)換并轉(zhuǎn)彎的方式使計量供料器55移動的位置。
而且，作為圖2的變形例，在圖28中，表示了涂覆開始位置b和涂覆結束位置c以及涂覆開始位置f不是有效顯示區(qū)域60a和非有效顯示區(qū)域60b的交界位置、而是非有效顯示區(qū)域60b內(nèi)的位置的例子。因此，一般來說，涂覆開始位置和涂覆結束位置分別是是非有效顯示區(qū)域60b內(nèi)的任意位置，或是有效顯示區(qū)域60a和非有效顯示區(qū)域60b的交界位置，而轉(zhuǎn)彎位置，通常是非有效顯示區(qū)域60b內(nèi)的任意位置。
接著，在檢測出光吸收層的位置信息時，根據(jù)情況使用激光等讀取Z軸信息(計量供料器55的噴嘴前端和與其對向面的距離)。在PDP用基板61有波紋或為曲面的情況下，當為使計量供料器55的噴嘴前端和與其對向面的距離一定而驅(qū)動Z軸時，就必須要有Z軸信息。這時也可取代使用激光等直接讀取Z軸信息，也可以將先檢測出Z軸信息預先儲存在存儲器101中，由控制裝置100讀出所儲存的Z軸信息。
下面，對由控制裝置100控制的排出動作進行說明。
首先，為開始涂覆R(紅色)熒光體(以下稱為“R熒光體”)，而把計量供料器55移動到準備位置a，并根據(jù)Z軸信息由控制裝置100的動作控制驅(qū)動Z軸用電機89、使排出噴嘴62的前端定位在規(guī)定的高度。
接著，由控制裝置100控制驅(qū)動X軸用電機58，將排出噴嘴62沿X方向移動，并根據(jù)從X軸用電機58的編碼器輸出的信息，由控制裝置100檢測出排出噴嘴62已位于涂覆開始位置b。這樣，通過控制裝置100的控制從排出噴嘴62開始排出R熒光體，同時使排出噴嘴62進一步沿箭頭X方向以一定速度移動并開始對PDP用基板61進行線條狀的熒光體涂覆。排出噴嘴62只繪制1根凸棱長度L(圖2)的涂覆線，并根據(jù)從X軸用電機58的編碼器輸出的信息，由控制裝置100檢測排出噴嘴62的前端、從有效顯示區(qū)域60a到達進入非有效顯示區(qū)域60b的涂覆結束位置c的情況。當檢測出時，通過控制裝置100的控制，停止熒光體的排出。然后，通過控制裝置100的控制，進一步使排出噴嘴62繼續(xù)沿X方向移動，并根據(jù)從X軸用電機58的編碼器輸出的信息，由控制裝置100檢測到達轉(zhuǎn)彎位置d的情況。當檢測出時，停止X軸用電機58的驅(qū)動，從而停止使排出噴嘴62沿X方向移動。
接著，排出噴嘴62以維持在停止排出熒光體的狀態(tài)，通過控制裝置100的控制，同時驅(qū)動Y軸用電機57a、57b，排出噴嘴62從轉(zhuǎn)彎位置d向轉(zhuǎn)彎位置e只以3P(即，凸棱(或光吸收層)的設置節(jié)距P的3倍間隔)沿Y方向移動。即，當根據(jù)從Y軸用電機57a、57b的編碼器輸出的信息、由控制裝置100檢測排出噴嘴62已到達轉(zhuǎn)彎位置e的情況時，通過控制裝置100的控制，停止Y軸用電機57a、57b的驅(qū)動，從而停止使排出噴嘴62沿Y方向移動。
接著，通過控制裝置100的控制，再次驅(qū)動X軸用電機58，使排出噴嘴62從轉(zhuǎn)彎位置e向涂覆開始位置f沿X’方向開始移動。當根據(jù)從X軸用電機58的編碼器輸出的信息、由控制裝置100檢測出排出噴嘴62已到達涂覆開始位置f的情況時，再次從排出噴嘴62開始排出R熒光體，同時使排出噴嘴62進一步沿箭頭X’方向以一定速度移動并開始對PDP用基板61進行線條狀的熒光體涂覆。排出噴嘴62只繪制1根凸棱長度L(圖2)的涂覆線，并根據(jù)從X軸用電機58的編碼器輸出的信息，由控制裝置100檢測排出噴嘴62的前端、從有效顯示區(qū)域60a到達進入非有效顯示區(qū)域60b的涂覆結束位置g的情況。這樣，當檢測出時，通過控制裝置100的控制，停止熒光體的排出。然后，通過控制裝置100的控制，進一步使排出噴嘴62繼續(xù)沿X’方向移動，并根據(jù)從X軸用電機58的編碼器輸出的信息，由控制裝置100檢測到達轉(zhuǎn)彎位置h的情況。當檢測出時，停止X軸用電機58的驅(qū)動，從而停止使排出噴嘴62沿X’方向移動。
在這里，把轉(zhuǎn)彎位置h以讀出以前的轉(zhuǎn)彎位置d替換，并只向尖頭的Y方向移動3P(即，凸棱(或光吸收層)的設置節(jié)距P的3倍間隔)，移動到新的準備位置a，再次反復如上述那樣的上述步驟，當涂覆根數(shù)達到640根時，結束對R熒光體的操作。
以上是熒光體涂覆的基本步驟，但對剩下的G(綠色)熒光體(以下稱為“G熒光體”)、B(藍色)熒光體(以下稱為“B熒光體”)的涂覆，可以在另外設置的具有G熒光體專用放置臺的G熒光體用圖形形成裝置、具有B熒光體專用放置臺的B熒光體用圖形形成裝置上，順序輸送PDP用基板61，用各圖形形成裝置進行圖形形成。或者也可以在同一個圖形形成裝置的Z軸方向輸送裝置54上，分別設置3種(R(紅色)，G(綠色)，B(藍色)熒光體涂覆用)計量供料器，進行分別按各色排出熒光體的動作。
并且，如上所述，對排出噴嘴62的始終端位置(涂覆開始位置b、涂覆結束位置c、涂覆開始位置f、涂覆結束位置g等)和涂覆開始、結束位置的時間點以及與計量供料器、即排出噴嘴62的移動速度同步的涂覆量的控制，由控制裝置100根據(jù)預先編好程序的始端和終端位置以及從排出噴嘴62的位移、速度信息進行。這樣，當全部結束了沿凸棱間的內(nèi)面形狀的R、G、B熒光體的形成操作后，計量供料器55的排出噴嘴62的前端位置回復到原位(例如，圖2的準備位置a)。以上在結束了屏幕線條的涂覆過程時，在輸送基板61后便移向干燥過程。
螺旋槽式計量供料器以下，對本發(fā)明實施例1的在PDP用基板61上的熒光體層形成方法以及形成裝置更具體的結構，用圖3～圖5進行說明。
在圖3中，350是螺旋槽式計量供料器(相當于前面說明的計量供料器55)的旋轉(zhuǎn)軸，351是收納該旋轉(zhuǎn)軸的排出側的套筒，352是形成在該套筒351內(nèi)面與旋轉(zhuǎn)軸350的相對移動面上的螺旋槽(把槽的部分涂成黑色)，353是形成在套筒351上的吸入口，354是設置在套筒351前端的排出部，355是設置在該排出部354上的排出噴嘴(相當于前面說明的排出噴嘴62)，356是粘接在旋轉(zhuǎn)軸350上的電機轉(zhuǎn)子，357是電機定子，358、359是支撐旋轉(zhuǎn)軸350的軸承，360、361是收納上述軸承358、359和電機定子357的上部殼體和下部殼體，362是檢測電機轉(zhuǎn)速并向控制裝置100輸出的編碼器。
在實施例1中的屏幕線條的形成方法如下所述。用圖2進行說明，當排出噴嘴355，換言之，上述螺旋槽式計量供料器開始移動時，排出噴嘴355的前端被設在非有效顯示區(qū)域60b內(nèi)(參照圖2的準備位置a)。通常，在作為計量供料器的驅(qū)動裝置的X軸方向輸送裝置53開始驅(qū)動后，在計量供料器達到穩(wěn)定速度之前，需要0.01～0.1秒的時間常數(shù)。該控制系統(tǒng)的時間常數(shù)的大小，由所移動載物的質(zhì)量、電機功率和過度狀態(tài)中的允許振動的大小等決定。以下，對計量供料器的移動速度，(1)在非有效顯示區(qū)域內(nèi)為穩(wěn)定速度時，(2)在有效顯示區(qū)域內(nèi)為穩(wěn)定速度時的兩種情況分開說明。
(1)在非有效顯示區(qū)域內(nèi)為穩(wěn)定速度時圖4是上述實施例1中“計量供料器的移動速度對時間”的曲線圖。圖5C出示了“螺旋槽旋轉(zhuǎn)速與時間的關系”，Ns是作為螺旋槽旋轉(zhuǎn)速的基本成分的基本輸入波形。并且，在圖4～圖5C的橫軸上的“a、b、c、d”分別指的是通過準備位置a、涂覆開始位置b、涂覆結束位置c和轉(zhuǎn)彎位置d的時間。
涂覆在基板61上的涂覆線的每單位長度的總量，與計量供料器的速度成反比例。另外，可注意到在穩(wěn)定狀態(tài)下，螺旋槽旋轉(zhuǎn)速與排出量Q為線形比例。因此，在上述實施例中，以與計量供料器的速度Vs成反比的關系式，設定作為螺旋槽旋轉(zhuǎn)速的基本成分的基本輸入波形Ns。
在上述實施例中，在計量供料器的速度非常低的情況下，用旋轉(zhuǎn)速基本輸入波形Ns能夠無障礙地涂覆包含始終點的連續(xù)線。
但是，為了提高生產(chǎn)的節(jié)奏，例如當把計量供料器的速度設定為Vs＞100m/sec時，會發(fā)生下述問題。
①涂覆開始時的問題與上述噴嘴的前端向上述有效顯示區(qū)域相對移動的同時，使形成有螺紋槽352的旋轉(zhuǎn)軸350的旋轉(zhuǎn)急速開始。這時，與旋轉(zhuǎn)開始的同時，在基板61上不繪制劃線，在繪制劃線之前期間缺少涂覆線，會發(fā)生細線等不良情況。其原因如下所述。從排出噴嘴355的前端流出的流體，由于在流出開始后流速很小而不從噴嘴355分離，因排出噴嘴前端的表面張力而形成流體塊。當流速上升、涂覆流體的運動能量增加時，克服了表面張力，流體從噴嘴355脫離。這時，噴嘴前端的流體塊也同時滴在基板61上，因此在涂覆線缺少和變?yōu)榧毦€之后，會有掉落的部分。
②涂覆結束時的問題在涂覆的終點，如下所述。在噴嘴前端從有效顯示區(qū)域60a向非有效顯示區(qū)域60b相對移動之前，使螺旋槽352的旋轉(zhuǎn)急劇下降。其結果，雖然停止了向基板61上的涂覆，但從噴嘴前端流出的流體還沒有完全停止，所以噴嘴355在反轉(zhuǎn)區(qū)間(例如，從轉(zhuǎn)彎位置d到轉(zhuǎn)彎位置e區(qū)間)移動期間，也繼續(xù)在噴嘴前端生長流體塊。
當噴嘴前端從非有效顯示區(qū)域60b向有效顯示區(qū)域60a移動之前、開始轉(zhuǎn)動時，首先最先發(fā)生從噴嘴前端掉落流體塊。
以后，如前所述，發(fā)生涂覆線缺少和變?yōu)榧毦€。
針對上述的①、②的問題，在上述實施例1中，對于始終端上的上述問題以下述方法解決。
根據(jù)在螺旋槽旋轉(zhuǎn)速的基本輸入波形(圖5A)Ns上加入修正項(修正部分)ΔN(圖5B)的輸入波形Nt(圖5C)，使螺旋槽352旋轉(zhuǎn)。修正項ΔN是對計量供料器的過度的流量特性進行修正的量。在涂覆開始點，在使螺旋槽352的旋轉(zhuǎn)加速后，快速返回穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)。其結果，由于給予流體在排出開始之后克服表面張力的較大的運動能量，所以能夠在噴嘴前端不產(chǎn)生流體塊而開始涂覆。
在涂覆終點，如圖5C所示，使螺旋槽352的旋轉(zhuǎn)急劇減速而停止。其結果，以在反轉(zhuǎn)區(qū)間(非有效顯示區(qū)域60b)移動的前階段能使噴嘴前端有很少的流體塊的狀態(tài)，防止涂覆開始時的掉落。
另外，在反轉(zhuǎn)區(qū)間移動時，通過使螺旋槽352緩慢地逆旋轉(zhuǎn)，保持把噴嘴前端的流體塊稍微向噴嘴內(nèi)部吸引的狀態(tài)，可更有效地防止在涂覆開始時發(fā)生掉落。
(2)在有效顯示區(qū)域內(nèi)為穩(wěn)定速度時這時與(1)的情況同樣，根據(jù)與計量供料器的移動速度成比例地在基本輸入波形Ns上加入防止涂覆開始時排出延遲和涂覆結束時產(chǎn)生流體塊的修正項ΔN的輸入波形Nt，使螺旋槽旋轉(zhuǎn)即可。
在用上述計量供料器以直接繪制方式形成屏幕線條時，從生產(chǎn)節(jié)奏出發(fā)最好設置多根計量供料器。這時，怎樣使各計量供料器的流量一致成為很大的課題。即使對包含泵的計量供料器的尺寸因素、電機等驅(qū)動條件進行同樣的設定，在很多情況下各計量供料器的流量也會產(chǎn)生誤差。在上述的實施例1中，利用了流量與螺旋槽的大致成比例，以電機的基本轉(zhuǎn)速Ns為基準，只對各計量供料器的旋轉(zhuǎn)速δNs進行個別修正，就能夠使流量一致。另外，即使R、G、B各熒光體的流動特性的不同產(chǎn)生流量差，也能夠通過設定電機轉(zhuǎn)速進行修正。該方法也適用于用螺旋槽式的以下所表示的實施例2～5中。
(實施例2)以下，對作為本發(fā)明實施例2的應用于熒光體層形成方法以及形成裝置的計量供料器，用圖6～圖11進行說明。
以下所示的實施例2的計量供料器，具有在柱塞與收納該柱塞的套筒之間同時施與相對的旋轉(zhuǎn)運動和直線運動的“2自由度促動器”。即，①通過用第1促動器對柱塞進行直線驅(qū)動，在柱塞的排出側端面上產(chǎn)生正負的擠壓壓力。
③通過用第2促動器給予旋轉(zhuǎn)運動，使形成有螺旋槽的柱塞旋轉(zhuǎn)并使其產(chǎn)生泵壓力，以便將涂覆流體向排出側壓送。
通過將上述①②組合，能夠?qū)崿F(xiàn)在有效顯示區(qū)域和非有效顯示區(qū)域的交界部對涂覆線高速切斷、高速釋放的控制。
在圖6中，1是第1促動器，在這個實施例2中，使用的是能獲得高定位精度、并具有高響應性同時能得到大的發(fā)生負荷的超磁應變元件。2是由第1促動器驅(qū)動的主軸(柱塞)。上述第1促動器1被收納于殼體3并在該殼體3的下端部(前部一側)裝有收納主軸2的泵部4。
5是第2促動器，是對主軸2和殼體3之間給出旋轉(zhuǎn)運動的機構。電機轉(zhuǎn)子6被固定在主軸7的上部，另外，電機定子8被收納于上部殼體9中。
11、12由超磁應變元件組成的圓筒形狀的后側超磁應變桿和前側超磁應變桿。13是用于沿超磁應變桿11、12長方向施加磁場的磁場線圈。14、15和16是用于向超磁應變桿11、12施加偏轉(zhuǎn)磁場的后側、中間部和前側的永久磁鐵。后側和前側的永久磁鐵14、16，以與中間部永久磁鐵15把超磁應變桿11、12夾住的形式而設置。
該永久磁鐵14～16，預先在超磁應變桿11、12上施加磁場來提高磁場的工作點，由該磁偏轉(zhuǎn)能夠改善磁場強度的超磁應變線形。
17是被設置在超磁應變桿11的后側、并作為磁路的軛鐵材料的后側軛鐵，18是被設置在超磁應變桿12前側、并兼作為軛鐵材料的前側套筒，19是被設置在磁場線圈13的外周部的圓筒形狀的軛鐵部件。
由超磁應變桿12→永久磁鐵15→超磁應變桿11→永久磁鐵14→后側軛鐵17→軛鐵部件19→前側套筒18→16→超磁應變桿12，形成控制超磁應變桿11、12伸縮的閉環(huán)磁路。并且，主軸2使用的是對該磁路不施與影響的非磁性材料。即，由超磁應變桿11、12、磁場線圈13、永久磁鐵14～16、后側軛鐵17、前側套筒18和軛鐵部件19構成以施與磁場線圈13上的電流能夠控制超磁應變桿11、12沿軸方向伸縮的超磁應變促動器(第1促動器)。
20是收納可自由旋轉(zhuǎn)的、并且能沿軸方向移動的上部主軸7的后側套筒。該后側套筒20也通過軸承38可自由旋轉(zhuǎn)地支撐在中間殼體21上。
22是裝在后側軛鐵17與后側套筒20之間的偏轉(zhuǎn)彈簧。通過由該偏轉(zhuǎn)彈簧22施加軸方向的負荷，超磁應變桿11、12以把永久磁鐵14～16夾在中間、壓住上下的后側軛鐵17、前側套筒18的形式被固定。其結果，由于在超磁應變桿11、12上總是施加有軸方向的壓縮應力，所以能夠消除在反復產(chǎn)生應力的情況下對拉伸應力較弱的超磁應變元件的缺點。
前側套筒18收納有可沿軸方向移動的主軸2。從電機5傳遞到主軸2上的旋轉(zhuǎn)動力，由設置在主軸2和前側套筒18之間的旋轉(zhuǎn)傳動鍵23傳遞到前側套筒18上。另外，前側套筒18也由軸承24可自由旋轉(zhuǎn)地支撐在殼體3上。
根據(jù)上述構成，電機5的旋轉(zhuǎn)動力只傳遞到主軸2和前側套筒18上，并且對作為脆性材料的超磁應變元件不產(chǎn)生扭矩。
另外，被形成為環(huán)狀的超磁應變元件11、12和永久磁鐵14～16被設置為穿通非磁性材料的主軸2的形式。而且，把主軸2的外周部與上述超磁應變桿以及上述永久磁鐵的內(nèi)周部之間的間隙設定得非常小。其結果，裝置在旋轉(zhuǎn)時通過施加在各部件上的離心力的影響，上述超磁應變桿以及上述永久磁鐵的軸心不會有很大的偏移。
即，使各部件穿通而設置的主軸2，兼有對作為脆性材料的超磁應變元件不施加壓縮應力以外應力的“保護功能”和在旋轉(zhuǎn)時的“防止軸心偏移功能”。
25是用于檢測設置在作為第2促動器的電機5上部主軸7的旋轉(zhuǎn)位置信息的編碼器。另外，26是用于檢測上部主軸7(以及主軸2)的上端面27的軸方向位移的位移傳感器。
根據(jù)上述構成，能夠?qū)崿F(xiàn)可同時和獨立進行旋轉(zhuǎn)運動以及微小位移的直線運動的控制的“2自由度、復合動作促動器”。并且，在該實施例2中，由于第1促動器使用了超磁應變元件，所以能夠以非接觸形式從外部施加使超磁應變桿11、12(以及主軸2)作直線運動的的動力。
由于施加在超磁應變元件上的輸入電流與位移成比例，所以即使是沒有位移傳感器的開環(huán)控制，也能夠控制上述主軸2在軸方向的定位。但是，只要像根據(jù)上述實施例2那樣設置位置檢測機構(或裝置)、進行反饋控制，就能夠改善超磁應變元件的磁滯特性，所以能夠更高精度地定位。
根據(jù)上述實施例2，用主軸2在軸方向的定位功能、以保持主軸2穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，能夠任意地控制主軸2排出側端面間隙的大小。用這個功能，無論在從吸入口32到排出噴嘴33的流通路的哪個區(qū)間都能夠以機械的非接觸狀態(tài)，對始終端粉粒體的切斷、釋放進行控制。將其原理用作為泵部4的詳細圖的圖7和表示柱塞的位移與所產(chǎn)生的壓力的關系的圖8～圖11進行說明。
在圖7中，28是形成在主軸2外表面上的用于向排出側壓送流體的徑向槽(在圖6中槽的部分涂成黑色，而在圖7中槽的部分劃有斜線)，29是流體密封圈，30是缸筒。
在該主軸2與缸筒30之間，形成有通過主軸2與缸筒30的相對旋轉(zhuǎn)可起到泵的作用的泵室31(流體輸送室)。另外，在缸筒30中，形成有與泵室31連接的吸入孔32。33是裝在缸筒30下端的排出噴嘴，34是固定連接在缸筒30的排出側端面上的排出板。35是主軸2的排出側端面，在與主軸2的排出側端面35的對向面36的中央部形成有排出噴嘴33的開口部37。在圖7中說明的作為流體壓送機構(或裝置)的徑向槽28，作為螺旋槽(spiral groove)動壓軸承已是眾所周知，另外也利用作為螺旋槽泵。
在實施例中，用超磁應變元件驅(qū)動的主軸2(以下稱為柱塞)，利用能夠進行旋轉(zhuǎn)同時高速的直線運動，以下述方法實現(xiàn)解決涂覆線始終端的問題。
①在涂覆開始時，使柱塞急速下降，同時使電機開始旋轉(zhuǎn)。
②在涂覆結束時，使柱塞上升，同時使電機停止旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)上述實施例2，由于以超磁應變元件驅(qū)動柱塞，所以對于柱塞輸入信號的輸出位移的響應性在10-3sec(1000Herz)的級別。由于對間隙的變化擠壓壓力發(fā)生期間的時間延遲只是很小的，所以與用電機進行旋轉(zhuǎn)速控制的實施例1相比流量控制的響應性要高1～2位數(shù)。
圖8是由超磁應變元件驅(qū)動的柱塞的位移曲線，圖9表示的是將電機轉(zhuǎn)速從N＝0rpm上升到N＝200rpm時產(chǎn)生螺紋槽泵壓力Pp。圖10表示的是通過使柱塞上升、下降而產(chǎn)生的、在排出噴嘴上游一側的擠壓壓力Ps的解析結果。圖11是將上述螺紋槽泵壓力Pp與擠壓壓力Ps合成的壓力Pn(Pp+Ps)。該擠壓壓力Ps是以表1的條件解下面式(1)的Reynolds方程式而求出的量。∂∂x(h36μ∂P∂x)+∂∂y(h36μ∂P∂y)-(∂hU∂x+∂hV∂y)=2dhdt.....(1)]]>在(1)式中，P是壓力，μ是流體粘度系數(shù)，h是對向面間的間隙，r是半徑方向的位置，t是時間，U是x方向的相對速度，V是y方向的相對速度。另外，右邊是當間隙變化時發(fā)生的擠壓效應的效果項。
(1)涂覆開始時涂覆開始前的狀態(tài)，電機停止旋轉(zhuǎn)，柱塞處于和與其對向面的間隙為Xp＝40μm的狀態(tài)。在T＝0.02秒時柱塞從間隙Xp＝40→30μm急劇下降，這時排出噴嘴上游側壓力Pn急劇上升。其原因是由于式(1)的Reynolds方程式，當dh/dt＜0時產(chǎn)生的擠壓的作用。擠壓作用是用粘性流體的流體軸承的動壓效應的一種。根據(jù)由該擠壓效應形成很陡的尖峰壓力(上沖，over shoot)，給予流體大的運動能量以克服在排出噴嘴前端的表面張力，所以在排出噴嘴前端能夠不形成流體塊而開始涂覆。
柱塞行程越大、上升時間越短，則為了在起始點順利繪制涂覆線的上沖壓力越大。即，克服在排出噴嘴前端的流體表面張力，同時在起始點的涂覆線不變“粗”的范圍內(nèi)，設定這個上沖壓力的大小。
(2)在穩(wěn)定移動時0.03＜t＜0.07秒期間，柱塞邊保持和與其對向面的間隙Xp＝30μm的狀態(tài)，邊通過由螺旋槽旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的泵壓力Pp形成的定量排出，涂覆連續(xù)線。雖然在柱塞和與其對向面之間有流體阻力，但由于間隙Xp＝30μm的流體阻力很小，所以能夠排出必要的流體。
在這個區(qū)間內(nèi)不產(chǎn)生擠壓壓力。其原因是擠壓壓力只在間隙h變化時產(chǎn)生。
(3)涂覆結束時在t＝0.07秒時，電機減速，同時柱塞的間隙Xp＝30→40μm開始上升，這時，排出噴嘴上游側的壓力Pn，如圖11所示，一時急劇下降。壓力急劇下降是因為即使柱塞急劇上升，在軸向端面與對向面所形成的空隙部的間隙還不十分狹窄，在從空隙部的外周部到中心部之間有軸心方向的流體阻力的原因。因該流體阻力不容易從外部補充流體，所以壓力下降。在理論上，受Reynolds方程式(式(1))dh/dt＞0的也稱作逆擠壓作用效果的影響。
成為大的負壓是因為Reynolds方程式?jīng)]有考慮流體的壓縮性的原因。實際上，由于氣泡等的發(fā)生，流體壓力不會達到絕對壓力零以下(Pn＜0.0MPa)。
由于發(fā)生這個急劇的負壓，不僅可切斷從排出噴嘴流出的流體，而且還能得到把噴嘴前端的流體塊向噴嘴內(nèi)部吸入一些量的反吸效應。在因擠壓壓力而發(fā)生負壓后，由于停止電機旋轉(zhuǎn)，所以因螺旋槽的泵壓力而沒有排出。因此，噴嘴在通過非有效顯示區(qū)域(反轉(zhuǎn)區(qū)間)期間，噴嘴內(nèi)部流體的機械舉動是在噴嘴前端不形成流體塊而繼續(xù)保持在同一位置上。為此，能夠避免上述的流體塊掉落等問題。
并且，在實施例中，把柱塞和其對向面的最小間隙設定為Xmin＝20μm。實施例中的熒光體粒徑為φd＝7～9μm，且由于Xmin＞φd，所以在從吸入口到排出口通路中，熒光體的微粒子不會被機械地壓榨和破壞。
即，把上述柱塞和其對向面的間隙形成為比在切斷上述糊劑時包含在排出材料的粒子的粒徑大。在從上述吸入口到上述排出噴嘴的通路中，切斷上述糊劑時的最小間隙最好為8μm以上。
表1

根據(jù)上述實施例2，能夠通過柱塞沿軸方向的運動得到用于順暢地繪制涂覆線的始點、終點的上沖壓力和反吸壓力。根據(jù)上述實施例2，能夠把柱塞位移曲線(圖8所示的一例)設定為任意形狀。另外，由于驅(qū)動柱塞的超磁應變元件具有高響應性，所以即使位移曲線急劇變化也能夠充分按照其曲線變化。即，通過超磁應變元件的位移、速度控制，能夠進行由電機轉(zhuǎn)速控制不能進行的微妙的始終端的排出壓力和流量的控制。
根據(jù)上述實施例2，通過將超磁應變元件軸方向的位移控制與電機轉(zhuǎn)速控制進行組合，可解決連續(xù)涂覆線的始終端問題，同時能夠在反轉(zhuǎn)區(qū)間以任意時間保持從排出噴嘴無材料泄漏的完全切斷狀態(tài)。也可以將如實施例1所示、在電機轉(zhuǎn)速基本輸入波形Ns上加入修正項ΔN的方法與上述實施例2的方法進行組合。
在能夠把反轉(zhuǎn)區(qū)間設定得很短時，如后述的實施例那樣，維持電機的旋轉(zhuǎn)，只通過柱塞的驅(qū)動能夠在終點切斷流量和在始點實行釋放。
根據(jù)上述實施例2，通過用超磁應變元件的2自由度促動器，可給出柱塞沿軸方向移動和旋轉(zhuǎn)兩種功能并構成泵部。取代這個結構，也可以是這樣的結構，例如把沿軸方向不移動的旋轉(zhuǎn)軸(外周側柱塞)設置為圓筒狀，并將中心軸(內(nèi)周側柱塞)插入該旋轉(zhuǎn)軸中，由電機驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸，由設置在固定側的電磁應變元件等沿軸方向驅(qū)動中心軸。這時，通過增減內(nèi)周側柱塞的排出側端面和其對向面之間的間隙，能夠在終點切斷流量和在始點實行釋放。總之，只要能增減流體輸送室的空間即可。另外，如果在外周側柱塞和收納于該外周側柱塞的固定側的相對移動面上形成螺旋槽，則與上述實施例2同樣能夠成為流體壓送機構(或裝置)。
當在顯示板的PDP用基板61的外周部(圖2的63)有障礙物(例如壁)時，在計量供料器的主體與障礙物不接觸的范圍內(nèi)，可以把排出噴嘴的全長設定得較長。
另外，作為流體壓送機構(或裝置)的泵，不一定是實施本發(fā)明的必需的機構，也可以利用在外部設置的壓力源(泵或氣壓)，并將流體供給泵室31。這時，沒有必要在柱塞上形成螺旋槽。例如，當在流體壓送機構(或裝置)上利用氣壓并且把反轉(zhuǎn)區(qū)間設定得非常短時，可以只通過柱塞驅(qū)動進行在始終點的切斷流量和釋放的控制。
(實施例3)以下，對本發(fā)明的實施例3用圖12～圖16進行說明。實施例3是把在顯示板的PDP用基板61上的涂覆移動中、在連續(xù)涂覆停止后到再開始的時間，即，把只允許為使計量供料器在非顯示區(qū)域(反轉(zhuǎn)區(qū)間)移動而給予的時間是很短時間的批量生產(chǎn)的限制條件進行反利用的實例。即，以將具有這種“只在短的有限時間內(nèi)的有效流量控制機構(或裝置)”的微型計量供料器(暫時稱作)，和設置在外部的“流體壓力發(fā)生源”組合、形成極為簡單的結構，解決上述在計量供料器涂覆方式中的始終端問題。
在圖12中，出示了應用本發(fā)明的實施例3的微型計量供料器200的主視圖的剖面圖。201是直動式促動器，由為超磁應變元件的電磁應變式促動器、靜電式促動器或電磁螺線管等構成。在上述實施例3中，使用了能得到高定位精度、具有高響應性、同時能得到大的發(fā)生負荷的超磁應變元件。
202是由第1促動器201驅(qū)動的柱塞，203是在排出側端部收納該柱塞202的固定套筒，204是收納促動器201的殼體，205是在排出側對固定套筒203實行固定的下部殼體。206是由超磁應變元件構成的圓筒形的超磁應變桿，該超磁應變桿206以由第1和第2偏轉(zhuǎn)永久磁鐵207、208上下夾住的形式被固定在上部軛鐵209和兼用作軛鐵材料的固定套筒203之間。210是用于沿超磁應變元桿206長方向施與磁場的磁場線圈，211是圓筒形狀的軛鐵并被收納于殼體204中。由超磁應變桿206→第1偏轉(zhuǎn)永久磁鐵207→上部軛鐵209→軛鐵211→固定套筒203→第2偏轉(zhuǎn)永久磁鐵208→超磁應變桿206，形成控制超磁應變桿206伸縮的閉環(huán)磁路。即，由部件206～211構成以施加在磁場線圈的電流、可控制超磁應變桿沿軸方向的伸縮量的超磁應變促動器1。柱塞202與被設置為圓筒形狀的上部軛鐵209成為一體并向上方延伸、被收納于上部套筒212中。柱塞202可相對于上部套筒212沿軸方向移動地被支撐在軸承部213上。上部套筒212與上部軛鐵209之間，設有對超磁應變桿206施加機械的軸方向壓力的偏轉(zhuǎn)彈簧214。在上部套筒212的上端中心部，設置有可自由調(diào)節(jié)的檢測柱塞202端面位置的位移傳感器215。216是作為柱塞202的小直徑部的柱塞細徑軸，217是形成在下部殼體205上的吸入口，218是噴嘴部，219是形成在該噴嘴部218上的排出噴嘴。從吸入口217流入的加壓流體，流入由固定套筒203和下部殼體205形成的流體儲存室220中，進而經(jīng)過后述的流體節(jié)流部221，流入排出噴嘴219。在柱塞細徑軸216的排出側端面和與其對向面以及下部殼體205之間，構成了控制排出流量的流量控制部222。
圖13是上述流量控制部222附近的放大圖，223是柱塞細徑軸216(柱塞202)的排出側端面，224是固定套筒203的排出側端面，225是223、224的對向面。226是設置在柱塞細徑軸216和固定套筒203內(nèi)面上的流體密封圈。228是形成在排出噴嘴入口部上的液體滯留部。由柱塞細徑軸216的排出側端面223和其對向面225形成通過柱塞202的上升、下降導致容積變化的泵室227(流體輸送室)。
以下，對流量控制部222以下記表2的條件構成時，用上述的Reynolds方程式(1)進行了求出排出流量的解析。
解析條件μ＝10000cps，體積彈性系數(shù)K＝300kg/cm2(29.5MPa)，交界部(流體節(jié)流部221的外周部)壓力Ps＝20kg/cm2(2.06MPa)。
表2

在上述條件下得到的排出流量的解析結果出示在圖14中。
(1)在解析開始階段(t＝0)，雖然把流量(壓力)的初始值以適當?shù)闹导俣?，但很快就會收縮為一定的值。在0＜t＜0.03秒期間為連續(xù)繪制的狀態(tài)。
(2)在t＝0.03秒時，柱塞開始上升，這時排出流量急速下降，從開始到0.003秒(3msec)左右的下降時間切斷排出。
(3)在0.03＜t＜0.08秒的區(qū)間，排出流量為零。這個區(qū)間是柱塞以一定速度上升期間。
從表2中，實施例中由于柱塞形成Xst＝50μm，柱塞動作時間Tp＝0.05秒，所以柱塞的上升速度v＝50μm/0.05sec＝1.0mm/sec。
(4)在t＝0.08秒時，柱塞停止，在以后的0.01sec左右的上升時間，很快地回復連續(xù)涂覆的狀態(tài)。
從以上的結果可知，通過使用響應性好的促動器、使排出流路的內(nèi)部空間急劇增大的實施例中的方法，能夠?qū)嵭?.01秒或更低數(shù)量級的響應性非常好的流量控制。
但是，排出流量為零的時間只是在柱塞上升期間。這個切斷時間由促動器的形成界限和上升速度決定。在使用超磁應變元件的促動器時，元件以10mm的長度能得到大約10μm的位移。如果采用壓電元件，就成為大約一半的位移。因此，在圖12的實施例中，在表2的條件下，例如，如果使用50mm長的超磁應變元件的桿206，則在Tp＝0.05秒期間，能夠關閉排出量。
根據(jù)上述的解析，雖然較大地設定了液體滯留部228，另外，考慮了液體滯留部228中的流體的壓縮性，但如果是接近非壓縮性的流體，則上述的上升、下降時間能夠設定得小到接近促動器的響應性界限。
另外，在為超磁應變元件、壓電元件和電磁應變元件等時，通常能得到10-4級別的響應性。
能夠使用電磁螺線管等促動器，與電磁應變元件相比雖然響應性差1位，但能夠大幅度緩和對行程的限制(即，允許停止時間)。
為了使對本發(fā)明的原理容易直觀地理解，可將圖13的流量控制部222置換成圖15那樣的電路模型。
在圖15中，Ps是流體節(jié)流部221的邊界壓力，R0是流體節(jié)流部221的流體阻力，Rn是排出噴嘴219的流體阻力，Qp是由柱塞細徑軸216的上升速度和柱塞面積決定的流量源的大小，Qn是通過排出噴嘴219的流量。
在這里，通過排出噴嘴219的流量Qn為Qn=Ps-R0QpR0+Rn.......(2)]]>當Qn＜0時，即當為下記條件時切斷排出。
R0＞Ps/Qp(3)從上記的式(3)可知，為了能夠控制流量，設置流體節(jié)流部221，并且流體節(jié)流部221要具有一定值以上的流體阻力R0是必要的條件。相當于該流體節(jié)流部的部分(流路面積比其他通路部分縮小的部分)，可以設置在從流體供給源到流量控制部的通路任意一個地方。
當把柱塞的最下點的與對向面的間隙Xmin設定得非常小時，根據(jù)柱塞的排出側端面224和與其對向面225之間的半徑方向的流體阻力Rs，可以把該流體阻力Rs換成上述流體阻力R0。這時，可以省略固定套筒203。但是，流體阻力Rs具有有效值只是在柱塞和其對向面的間隙非常小的時候，在柱塞上升到較高的狀態(tài)時，不能維持作為流量切斷條件的式(3)。其結果維持切斷狀態(tài)的時間變小。
根據(jù)上述實施例3，以將具有“只在短的有限時間內(nèi)的有效流量控制機構(或裝置)”的計量供料器，和設置在外部的“流體壓力發(fā)生源”2個進行組合，可解決繪制線的始終端問題。為了以高生產(chǎn)率在顯示板上繪制上千根～數(shù)千根的屏幕線條，能夠設置在涂覆裝置上的計量供料器的根數(shù)盡可能地多是理想的。在上述實施例3的情況下，由于計量供料器是細直徑并且其結構簡單，所以如圖16所示，能夠容易實行多元化。
在圖16中，250是具有“只在短的有限時間內(nèi)的有效流量控制機構(或裝置)”的計量供料器，251是作為“流體壓力發(fā)生源”的主泵，252是玻璃基板。主泵251必須具有向以等節(jié)距布置的多根微型計量供料器同時供給為繪制如圖25所示的多根線條狀涂覆線流量的能力和產(chǎn)生壓力。
在此，把用圖16的實行了多元化的圖形形成裝置、在PDP用基板61上同時排出并形成多根熒光體層的例子出示在圖25中。在圖25中，對應于計量供料器55的圖2的準備位置a、涂覆開始位置b、涂覆結束位置c、轉(zhuǎn)彎位置d、轉(zhuǎn)彎位置e、涂覆開始位置f、涂覆結束位置g，分別地，對應于第1個微型計量供料器，是準備位置a1、涂覆開始位置b1、涂覆結束位置c1、轉(zhuǎn)彎位置d1、轉(zhuǎn)彎位置e1、涂覆開始位置f1，而對應于第2個微型計量供料器，是準備位置a2、涂覆開始位置b2、涂覆結束位置c2、轉(zhuǎn)彎位置d2、轉(zhuǎn)彎位置e2、涂覆開始位置f2，對應于第3個微型計量供料器，是準備位置a3、涂覆開始位置b3、涂覆結束位置c3、轉(zhuǎn)彎位置d3、轉(zhuǎn)彎位置e3、涂覆開始位置f3。這3根涂覆線，通過3根微型計量供料器同時移動，可同時進行排出涂覆。
并且，并不局限于如圖16所示的對多根微型計量供料器配置1個主泵251，可以把任意的多根微型計量供料器分成組，對各組配置1個，也可以對1根微型計量供料器配置1個。
在上述實施例3中，在該主泵251上使用具有與實施例1(參照圖3)同樣結構的螺旋槽泵。在螺旋槽泵的情況下，具有①能夠?qū)⒎哿ｓw(熒光體材料)以機械的非接觸狀態(tài)、從吸入口向排出口輸送，②能夠通過轉(zhuǎn)速改變流量，③能夠得到定流量特性，④能夠?qū)α鲃有圆畹臒晒怏w材料、通過由旋轉(zhuǎn)施加剪切應力而實現(xiàn)低粘度化等特征。
作為主泵，除了螺旋槽泵以外，還有齒輪泵、次擺線泵(trochoidpump)、單泵等可應用于本發(fā)明。另外，取代泵，也可以利用設置在外部的空氣源，如果能以氣壓對微型計量供料器供給熒光體材料，則可將涂覆裝置大幅度簡化。
并且，即使是具有旋轉(zhuǎn)運動和直線運動的“2自由度促動器”的實施例2的計量供料器的情況，只要給出直線運動的促動器的行程足夠大，就能夠在反轉(zhuǎn)區(qū)間與本實施例同樣地進行流量控制。即，維持電機的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，只通過對柱塞的直線運動進行控制，就能夠控制在有效顯示區(qū)域和非有效顯示區(qū)域上的熒光體糊劑的切斷排出和釋放。即，維持電機的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，①在涂覆開始時，使柱塞急速下降。
②在涂覆結束時，使柱塞上升。
這時，為了滿足具有用于可進行流量控制的條件、流體節(jié)流部、和該流體節(jié)流部具有一定值以上的流體阻力R0的條件，除了柱塞和其對向面之間的軸向阻力以外，還可以利用螺旋槽泵本身具有的內(nèi)部阻力。螺旋槽泵越是流量特性好、另外越是流量小，就越能保持長時間的切斷狀態(tài)。
(實施例4)以下，對本發(fā)明的實施例4用圖17～圖19進行說明。實施例4是通過對實施例3中的柱塞和收納該柱塞的套筒中的無論哪一個都施與能夠沿軸方向移動的功能，來實現(xiàn)涂覆始終端的改良。相對于實施例3中的“1重柱塞方式”，以下，把實施例4的計量供料器稱為“2重柱塞方式”。
在圖17中，501是上部促動器，502是下部促動器，503是固定在該下部促動器自由端側的可動套筒，504是固定在上述上部促動器自由端側505上的柱塞，506是柱塞的細徑部，507是收納上述促動器501、502的上部殼體，508是構成上述促動器501、502的各壓電元件的固定部。509是下部殼體、與上部殼體507連接固定在一起。510是裝在可動套筒503和下部殼體509之間的接觸式密封部，511是吸入口。
512是用于向下部促動器502施加軸方向偏移負荷的偏移彈簧，并裝在可動套筒503與上部殼體507之間。513是固定在下部殼體509上的下部板，514是形成在下部板的中心部、并與柱塞的細徑部506的端面515的對向面位置上的排出口的開口部。516是與下部板513連接固定的排出噴嘴。517是利用由可動套筒503與下部殼體509形成的空間的流體儲存部、并通過吸入口511與設置在外部的流體供給源(未圖示)相連。518是由可動套筒503、柱塞的細徑部506和下部板513所形成的空間的泵室(流體輸送室)。
519是在柱塞504的上端、并固定在上部板520上的柱塞用位移傳感器，可對柱塞504的固定側的絕對位置進行檢測。521是固定在上部殼體507內(nèi)面的差動變壓器式位移傳感器的定子部，522是固定在可動套筒503側的轉(zhuǎn)子部。差動變壓器用于電測微器等，可對可動套筒503軸方向的位置進行檢測。523是用于向上部促動器501(壓電元件)施加軸方向偏移負荷的偏移彈簧，并裝在柱塞504與上部板520之間。
根據(jù)上述實施例4，可通過由差動變壓器構成的位移傳感器、正確地可動套筒503軸方向的位置。因此，對2個促動器501、502動作的時間能夠進行正確地一致控制，同時能夠控制2個促動器的嚴密的位移和速度。
另外，如上述實施例4所示，在可動套筒的位置檢測中，通過使用由中空的檢測用轉(zhuǎn)子522和檢測用定子521構成的位移傳感器，能夠保持圓筒形狀的殼體507、509的細徑構成計量供料器整體。
根據(jù)上述實施例4，將2個促動器、2個傳感器、柱塞和排出噴嘴都是沿軸方向以軸對稱設置的。例如，能夠使超磁應變元件、壓電元件如眾所周知的，實現(xiàn)將外徑制成數(shù)毫米以下的小型化。
因此，只要使用“2重柱塞方式”的上述實施例4，與實施例3同樣，能夠容易地實現(xiàn)與主泵組合的多元化計量供料器。
圖18A出示的是應用本發(fā)明實施例4的柱塞位移Xp和可動套筒Xs對閥作用時間t的一個例子。圖18B出示的是閥的模型圖，550是柱塞，551是可動套筒、552是泵室(流體輸送室)，553是排出噴嘴。
圖19是將應用本發(fā)明實施例4的閥的“排出噴嘴上游側的壓力Pn對時間的特性”與以往的閥對比的曲線。在此，所謂以往的閥，是在排出噴嘴的入口部設置針閥、并通過使構成針閥的閥柱沿軸方向移動而使排出口開閉的計量供料器。即，是①在流體的排出釋放時，增大柱塞端面間的間隙，②在切斷排出時，減小柱塞端面間的間隙的結構。因此，與實施例3(1重柱塞方式)相比，柱塞的動作與①②相反。
使用以往的閥，當增加用于釋放流體的柱塞(未圖示)和與其對向面間的間隙X時，由于作為流體輸送室的泵室(未圖示)的容積增大而使排出噴嘴上游側(泵室)的壓力P、如圖18A所示的那樣大幅度下降。在該排出噴嘴上游側產(chǎn)生的負壓，成為“在繪制開始點不劃線”或者“劃線細”的原因。
并且，當為了切斷流體而把間隙設定得小時，排出噴嘴上游側的壓力P反而增大。這個高壓的發(fā)生是由于流體的壓縮或被稱作擠壓作用的流體軸承的動壓效應而造成。這個高壓的發(fā)生向不利的方向起作用、是在繪制終點造成“液體滯留發(fā)生”的原因。
使用應用本發(fā)明的實施例4的閥，如圖18A那樣，對柱塞550、可動套筒551以反相位驅(qū)動。
這時，由于柱塞550和可動套筒551沿軸方向的移動是反相位，所以對消了泵室的容積變化。其結果，對于“繪制線細”、“液體滯留發(fā)生”等難題發(fā)生的圖19的A，如圖19的B那樣，降低了繪制開始時負壓的發(fā)生和結束時的高壓發(fā)生，解決了“繪制線細”、“液體停滯發(fā)生”等難題。
而且，即使柱塞550的位移Xp在最低點位置的Xp＝Xpmin時，如果把Xpmin設定得足夠大，則柱塞550的存在就能夠?qū)α髀纷枇?即流量)施與很小的影響。
可以分別獨立設置驅(qū)動第1、第2促動器的驅(qū)動器，或用1臺以反相位驅(qū)動各個促動器。
即使是柱塞或可動套筒的排出側端面和其對向面的形狀不是平坦面的閥時，以往閥要解決的問題點與應用本發(fā)明實施例4的效果是一樣的。例如，即使把柱塞的前端設置為靈敏的凸面，把其對向面設置為凹面而構成閥，也能應用本發(fā)明。這時，通過使柱塞的凸面與對向面(固定側)的凹面接近來切斷流體。因此，與圖17的實施例4不同，當可動套筒上升、柱塞下降時切斷流體，相反的時候釋放流體。
這時，即使可動套筒的位移Xs在最低點位置的Xs＝Xsmin時，但只要把Xsmin設定得足夠大即可。
無論哪那種情況，為了繪制最佳繪制線，只要使所應用的工藝過程和涂覆材料相一致地對柱塞和可動套筒的位移曲線進行微調(diào)整即可。
與實施例3的“1重柱塞方式”相比，“2重柱塞方式”的上述實施例4的長處如下所述。
在涂覆開始時和穩(wěn)定涂覆時，與柱塞550下降的同時可動套筒551能夠大幅度上升。由于將可動套筒551和其對向面之間的間隙Xs設置得足夠大，所以可在從吸入口到排出噴嘴的流通路中不設定大的流體阻力R0(式(3))，并能夠確保充分的排出流量。
另外，在切斷涂覆時，相反，由于將套筒551和其對向面之間的間隙Xs設置得足夠小，所以泵室552成為與外部切斷的密閉狀態(tài)。通過以這種密閉狀態(tài)使柱塞550上升，泵室552的壓力急速下降，因此能夠?qū)崿F(xiàn)響應性更高的排出切斷。
根據(jù)上述實施例4的計量供料器，由于能夠任意設定柱塞和套筒的位移曲線，所以能夠把在起點上的上沖壓力和在終點上的反吸壓力與所要求的過程條件相一致地自由設定。也可以使柱塞和套筒的位移曲線不呈完全的反相位。
另外，如果用超磁應變元件、如實施例2那樣采用使套筒旋轉(zhuǎn)的結構，也能夠形成因動壓延續(xù)地切斷排出的結構。
(實施例5)以下，用圖20～22說明把本發(fā)明的作為實施例5應用于熒光體層形成方法以及形成裝置的計量供料器。
以下所示的實施例5的計量供料器，使用對柱塞施與旋轉(zhuǎn)運動和直線運動的2自由度促動器方面與實施例2相同。但在實施例5中，對于切斷流體的方法沒有使用實施例2～5所示的擠壓效應，而利用了根據(jù)軸向動壓密封的斜楔效應。即，①通過在柱塞的排出側端面和與其相對移動面之間形成軸向動壓密封、并且由第1促動器對柱塞進行直線驅(qū)動、調(diào)節(jié)柱塞端面間的間隙，來控制流體的切斷和釋放。
②通過用第2促動器給予旋轉(zhuǎn)運動，使形成有螺旋槽的柱塞旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生將涂覆流體向排出側壓送的泵壓力。
是同時實現(xiàn)上述①②的結構。
在圖20中，101是第1促動器、與實施例2相同使用的是超磁應變元件。102是由第1促動器101驅(qū)動的主軸(柱塞)。上述第1促動器被收納于下部殼體103中，在該下部殼體103的下端部(前側)裝有收納主軸102的泵部104。
105是第2促動器、給予主軸102和下部殼體103之間相對的旋轉(zhuǎn)運動。電機轉(zhuǎn)子106被粘接在上部主軸107上，另外，電機定子108被收納于上部殼體109中。
111、112是由超磁應變元件的圓筒形狀的后側超磁應變桿和前側超磁應變桿。113是用于向超磁應變桿111、112的長方向施加磁場的磁場線圈。114、115和116是用于向超磁應變桿111、112施加偏磁場的在后側、中間部以及前側的永久磁鐵。后側和前側的永久磁鐵114、116，以與中間部永久磁鐵115把超磁應變桿111、112夾住的形式而設置。
117是被設置在超磁應變桿111的后側、并作為磁路的軛鐵材料的后側軛鐵，118是被設置在超磁應變桿112前側、并兼作為軛鐵材料的前側套筒，119是被設置在磁場線圈113的外周部的圓筒形狀的軛鐵部件。
即，由超磁應變桿111、112、磁場線圈113、永久磁鐵114～116、后側軛鐵117、前側套筒118和軛鐵部件119構成以施與磁場線圈的電流能夠控制超磁應變桿沿軸方向伸縮的超磁應變促動器(第1促動器101)。
120是收納可自由旋轉(zhuǎn)的、并且能沿軸方向移動的上部主軸107的后側套筒。該后側套筒120也通過軸承139可自由旋轉(zhuǎn)地支撐在中間殼體121上。
122是裝在后側軛鐵117與后側套筒120之間的偏轉(zhuǎn)彈簧。通過由該偏轉(zhuǎn)彈簧122施加軸方向的負荷，超磁應變桿111、112以把永久磁鐵114～116夾在中間、壓住上下的后側軛鐵117、前側套筒118的形式被固定。前側套筒118收納有可沿軸方向移動的主軸102。從電機105傳遞到主軸102上的旋轉(zhuǎn)動力，由設置在主軸102和前側套筒118之間的旋轉(zhuǎn)傳動鍵123傳遞到前側套筒118上。另外，前側套筒118也由軸承124可自由旋轉(zhuǎn)地支撐在殼體103上。
125是用于檢測上部主軸107的旋轉(zhuǎn)位置信息的編碼器，126是用于檢測上部主軸107(以及主軸102)的上端面127的軸方向位移的位移傳感器。
根據(jù)上述構成，與實施例2同樣，裝置的主軸102能夠?qū)崿F(xiàn)可同時和獨立進行旋轉(zhuǎn)運動以及微小位移的直線運動的控制的“2自由度、復合動作促動器”。
根據(jù)上述實施例5，用主軸102在軸方向的定位功能、以保持主軸102穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，能夠任意地控制主軸102排出側端面間隙的大小。用這個功能，無論在從吸入口132到排出噴嘴133的流通路的哪個區(qū)間都能夠以機械的非接觸狀態(tài)，對始終端粉粒體的切斷、釋放進行控制。
即，當計量供料器的排出噴嘴133與基板在有效顯示區(qū)域60a(參照圖2)進行相對移動時，主軸102處于上升位置，排出側端面的間隙足夠大地釋放熒光體糊劑的排出。另外，在排出噴嘴133與基板在非有效顯示區(qū)域60b內(nèi)(參照圖2)開始相對移動之前，主軸102開始下降。其結果，軸向動壓密封功能立刻起作用，切斷熒光體糊劑的排出。
以下，對軸向動壓密封的原理、用泵部104的詳細圖的圖21和表示動壓密封的位移與發(fā)生壓力的關系的圖22A、圖22B、圖22C進行說明。
128是形成在主軸102外表面上的用于向排出側壓送流體的徑向槽(在圖20中槽的部分涂成黑色，而在圖21中槽的部分劃有斜線)，129是流體密封圈，130是缸筒。
在該主軸102與缸筒130之間，形成有通過主軸102與缸筒130的相對旋轉(zhuǎn)可起到泵的作用的泵室131。另外，在缸筒130中，形成有與泵室131連接的吸入孔132。133是裝在缸筒130下端的排出噴嘴，134是固定連接在缸筒130的排出側端面上的排出板。135是與主軸102的排出側端面連接固定的軸向板。在與主軸102的排出側端面136的對向面137的中央部形成有排出噴嘴133的開口部138。
另外，在軸向板135的排出側端面136，形成有軸向動壓密封槽139(在圖22B中槽的部分涂成黑色)。
密封用軸向槽139，作為推力動壓軸承已廣為人知。
能夠產(chǎn)生推力軸承的密封壓力Ps由下式給出。Ps=fωδ2(R04-Ri4)........(4)]]>在式(4)中，ω是轉(zhuǎn)動角速度，r0是推力軸承的外半徑，ri是推力軸承的內(nèi)半徑，f是由槽的深度、槽的角度、槽的寬度和緣寬度決定的函數(shù)。
圖22C中的曲線(I)，以下記表3的條件出示了使用螺旋槽式(spiralgroove)軸向槽時的密封壓力Ps對間隙δ的特性。圖22C中的曲線(II)，是表示對沒有軸方向流動時，徑向槽的泵壓力和軸前端的間隙δ的關系的一個例子。該徑向槽的泵壓力，與上述的軸向槽同樣，通過對徑向間隙、槽的深度、槽的角度的選擇可以在廣范圍內(nèi)進行選擇。但是定性地、徑向槽的泵壓力Pr不依賴于軸前端空隙的大小(即，間隙δ的大小)。
當密封用軸向槽的間隙δ很大時，例如當間隙δ＝15μm時，產(chǎn)生壓力為P＝0.06kg/mm2(0.69MPa)。
維持使軸旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，并使主軸102的端面接近固定側的對向面。當δ＜10.0μm時，密封壓力比徑向槽的泵壓力Pr大，可切斷流體向排出口側的流出。
圖21出示了對流體流出的切斷狀態(tài)，由于在排出噴嘴的開口部138附近的流體，通過軸向槽139受到離心方向的泵吸作用(參照圖21的箭頭)，所以，開口部138附近成為負壓(大氣壓以下)。根據(jù)這個效應，切斷后殘留在排出噴嘴133內(nèi)部的流體再次被吸入泵的內(nèi)部。其結果，不能形成因排出噴嘴前端的表面張力的作用產(chǎn)生流體塊，可解除細線和掉落的問題。
根據(jù)本發(fā)明的上述實施例5，通過使旋轉(zhuǎn)軸沿軸方向移動10～數(shù)10μm，能夠自由地對流體的排出狀態(tài)實行開、關控制。
概括本發(fā)明的上述實施例的要點，由軸向槽產(chǎn)生的密封壓力，當間隙δ變小時會急劇增大，而徑向槽的泵壓力，具有對于間隙δ的變化極為遲鈍的優(yōu)點。
并且，徑向槽、軸向槽都可以形成在旋轉(zhuǎn)側、固定側任意一方。
另外，在涂覆象包含微小粒子的熒光體、電極材料那樣的粉粒體時，只要把間隙δ的最小值δmin設定得比微小粒子直徑φd大即可。
δmin＞φd……………(5)
對于同樣的發(fā)生壓力，為了得到更大的間隙，或是提高旋轉(zhuǎn)速，或是加大軸向板135的外徑并對槽的深度、槽的角度選擇適當?shù)闹怠?br> 表3

在上述實施例5中，作為向形成軸向動壓密封的排出部供給熒光體糊劑的壓力源，使用螺旋槽泵。取代該螺旋槽泵，可以把設置在外部的泵作為涂覆流體的壓力源?；蛘咭部梢允枪S內(nèi)常備的空氣壓?？傊?，只要在能夠產(chǎn)生軸向動壓密封的最大密封壓力以下設定壓力源的供給壓力即可。
以下，對于上述實施例1～5，都可預料在排出高粘度流體的時候，泵壓力、擠壓壓力都能產(chǎn)生極大的流體壓力。這時，由于對于驅(qū)動柱塞的第1促動器，要求抵抗高流體壓力的很大的推力，所以引用容易輸出數(shù)百～數(shù)千N的力的電磁應變式促動器很有效果。由于電磁應變元件具有數(shù)MHZ以上的頻率響應性，所以能夠使主軸以高響應性進行直線運動。因此，能夠?qū)Ω哒扯攘黧w的排出量、以高響應性進行高精度控制。
另外，在軸方向驅(qū)動機構(或裝置)上使用超磁應變元件，與使用壓電元件相比，由于能夠省略傳導電刷，所以能減輕電機(旋轉(zhuǎn)機構或裝置)的負荷，同時整體結構極為簡單，因此能夠使可動部的慣性轉(zhuǎn)矩盡可能小，能夠使計量供料器細徑化。
以上，說明了作為PDP用基板、在后面板上涂覆熒光體時的實施例，但本發(fā)明也適用于作為其他實施例的、例如在作為PDP用基板的表面板上形成電極。
圖26出示的是PDP用表面板的其他的例子，700是對應PDP有效顯示部的“有效顯示區(qū)域”(匯流線電極部)、是涂覆熒光體的后面板的上述的有效顯示區(qū)域60a(參照圖2)和表背一體的區(qū)域。701A、701B是端子部、并被稱為“準有效顯示區(qū)域”。由有效顯示區(qū)域700、端子部701A、端子部701B構成由玻璃基板形成的PDP表面板702。703是接頭接合部。
704是設置在表面板702外部的兩側部(圖26的左右側部)的、用于糊劑涂覆的假設區(qū)域、并被稱為“非有效顯示區(qū)域”。例如，把表面板的左側端部作為始點位置(涂覆開始位置)A(或終點位置(涂覆結束位置))的電極線705，由在準有效顯示區(qū)域701A內(nèi)并從涂覆開始位置A到轉(zhuǎn)彎位置B的接頭接合部703，和在準有效顯示區(qū)域701A內(nèi)并從轉(zhuǎn)彎位置B到轉(zhuǎn)彎位置C的傾斜部，和在準有效顯示區(qū)域701A內(nèi)并從轉(zhuǎn)彎位置C到有效顯示交界位置D的有效顯示交界附近部，和在有效顯示區(qū)域700內(nèi)并從有效顯示交界位置D到有效顯示交界位置E的有效顯示直線部，和在準有效顯示區(qū)域701A內(nèi)并從有效顯示交界位置E到涂覆結束位置F的結束附近直線部構成。因此，電極線705，通過準有效顯示區(qū)域701A，在有效顯示交界位置D進入有效顯示區(qū)域700。并且，通過有效顯示區(qū)域700的電極線705，在有效顯示交界位置E進入右側的準有效顯示區(qū)域701B，然后，停止在涂覆結束位置F。即，準有效顯示區(qū)域701B內(nèi)的涂覆結束位置F，成為電極線705的結束位置(涂覆結束位置)(或始點位置(涂覆開始位置))。其他的電極線708、709、707具有完全相同的構成，而且別的電極線706、711、710，涂覆開始位置是把表面板右側端部作為始點位置(涂覆開始位置)G，只是左右相反，基本構成是同樣的。這樣，電極線706、711、710的各個傾斜部為相同的傾斜角，電極線705、708、709、707的各個傾斜部為相同的傾斜角。
鄰接于電極線705的電極線706，相對于電極線705，始點位置、終點位置的位置被形成為左右相反。鄰接于電極線706的電極線707，相對于電極線706，始點位置、終點位置的位置被形成為左右相反。這樣，在實施例的PDP中，在左右準有效顯示區(qū)域具有停止位置的電極線被形成為相互轉(zhuǎn)換。
首先，對涂覆方法的具體例(I)進行說明。把形成PDP的表面板的電極作為目的，在該實施例中，應用與上述實施例2同樣的方法。即，使用具有“2自由度促動器”的計量供料器，①通過用第1促動器對柱塞進行直線驅(qū)動，在柱塞的排出側端面上產(chǎn)生正負的擠壓壓力。
②通過用第2促動器給予旋轉(zhuǎn)運動，使形成有螺旋槽的柱塞旋轉(zhuǎn)并使其產(chǎn)生泵壓力，以便將涂覆流體向排出側壓送。
通過將上述①②組合，能夠?qū)崿F(xiàn)(1)在有效顯示區(qū)域中的連續(xù)線涂覆，和(2)在有效顯示區(qū)域和非有效顯示區(qū)域的交界部對涂覆線切斷、釋放的控制，和(3)在準有效顯示區(qū)域?qū)ν扛簿€切斷、釋放的控制。
以下，以電極線705為著眼點，對涂覆作為電極材料的銀糊劑的情況進行說明。
(i)涂覆開始時在涂覆開始前的狀態(tài)，排出噴嘴33(參照實施例2的圖6)的前端是準有效顯示區(qū)域701A的區(qū)域。這時，電機停止旋轉(zhuǎn)，柱塞(主軸2)處于上升位置。在計量供料器從非有效顯示區(qū)域704內(nèi)的電極線707的涂覆開始位置A’向圖26的下方開始移動后，在通過涂覆開始位置A之前的時間點，使電機旋轉(zhuǎn)，同時使柱塞下降。如已經(jīng)敘述的那樣，由于在涂覆開始位置A順暢地繪制涂覆線，所以柱塞行程越大、上升時間越短、上沖壓力就越大。即，只要在克服噴嘴前端的流體表面張力，同時在涂覆開始位置A的涂覆線處于不會變“粗”的范圍設定該上沖壓力的大小即可。
(ii)在準有效顯示區(qū)域內(nèi)的移動柱塞一邊保持與其對向面的間隙，一邊通過由螺旋槽的泵壓力的定量排出，從涂覆開始位置A經(jīng)過轉(zhuǎn)彎位置B和轉(zhuǎn)彎位置C直到有效顯示交界位置D涂覆連續(xù)線。在這個區(qū)間不產(chǎn)生擠壓壓力。在實施例中，在準有效顯示區(qū)域701A內(nèi)的電極線705的線寬，例如，b2＝0.1mm，在有效顯示區(qū)域700內(nèi)的線寬b1比0.075mm大。因此，排出噴嘴在準有效顯示區(qū)域701A和701B上移動時，比在有效顯示區(qū)域700上移動時以提高了螺旋槽轉(zhuǎn)速的狀態(tài)涂覆。
(iii)有效顯示區(qū)域內(nèi)的移動在從有效顯示交界位置D到有效顯示交界位置E區(qū)間，柱塞一邊保持與其對向面之間的間隙為一定，一邊保持線寬b1＝0.075mm地以把螺旋槽轉(zhuǎn)速從上述(ii)降低的狀態(tài)進行涂覆。
(iv)準有效顯示區(qū)域內(nèi)的移動和切斷直到在通過有效顯示交界位置E之后的涂覆結束位置F的涂覆條件，與上述(ii)相同。在到達涂覆結束位置F之前的時刻，停止電機，同時使柱塞急速上升。這時把h作為與對向面之間的間隙，把t作為時間，通過設定(dh/dt)＞0時的負壓產(chǎn)生的效應，在一瞬間排出后切斷。然后，排出噴嘴的前端，維持排出切斷狀態(tài)，從涂覆結束位置F迅速地向最短距離的非有效顯示區(qū)域704的右端的位置G’移動，并把位置G作為始點位置開始涂覆。
以后，以與上述(i)～(iv)同樣的方法反復進行連續(xù)線的涂覆。
通過以上所敘述的方法，能夠把使排出噴嘴33與對表面板保持定位的XY載物臺進行相對移動的時間消耗極力降低，實行高效率的涂覆。
在上述(iv)的過程中，在準有效顯示區(qū)域701A、701B內(nèi)使柱塞上升并切斷排出，用這個方法，能夠在可靠的時刻并以幾高的質(zhì)量形成繪制線的涂覆結束位置F。即，在涂覆結束位置F不發(fā)生繪制線的“粗”或“滯留”。如果發(fā)生嚴重的“粗”或“滯留”，會在與接近的電極線之間的電特性施加重大的影響。雖然有相反地把結束位置F作為始點位置繪制涂線的方法，但與最佳上沖壓力的設定方法為中端控制的情況相比，有些難以處理。對有效顯示區(qū)域700內(nèi)的線寬和準有效顯示區(qū)域701A、701B內(nèi)的線寬的設定，除了螺旋槽轉(zhuǎn)速以外，也可以調(diào)節(jié)排出噴嘴和載物臺的相對速度。
下面，作為涂覆方法的具體例(II)，對用多頭涂覆電極線的情況進行敘述。作為多頭系統(tǒng)，可以通過將1個主泵和多個微型泵的組合，例如可以像圖16所示那樣的結構。
在準有效顯示區(qū)域701A和701B，由于各電極線的傾斜角不同，所以很難用以排列間隔配置的多個頭同時在準有效顯示區(qū)域內(nèi)涂覆多根電極線。因此，用下面的方法進行涂覆。
首先，作為步驟S1，在繪制電極線705時，把準有效顯示區(qū)域701A作為始點，通過有效顯示區(qū)域700，并在準有效顯示區(qū)域701B結束涂覆。與此同時，具有同樣圖形的另外的電極線(例如707)，也由以排列間隔配置的多個頭以位置C’為始點，在位置F’結束涂覆。在使多頭整體從左側向右側移動后，接著使頭整體從右側向左側移動進行涂覆。通過反復進行這個動作，結束由多根平行線構成的電極線的涂覆。
然后，進入步驟S2的涂覆。在準有效顯示區(qū)域701A、701B內(nèi)，在對傾斜角不同的各電極線用多頭繪制時使用下述方法。在準有效顯示區(qū)域701A、701B內(nèi)，如果把由傾斜角不同的各個電極線構成的電極線組設為AA1～AAn(參照圖26，n為組的總數(shù))，則這些組在PDP的表面板上形成多個群。因此，從多個組AA1～AAn中選出具有相同傾斜角的電極線，并把它們作為組BB。組BB例如是電極線705、708、709。如果使噴嘴與保持PDP的表面板的XY載物臺相對地在XY方向進行移動，則可同時涂覆組BB的各電極線。
以上，對用多頭、把在有效顯示區(qū)域內(nèi)繪制多根平行線的電極線過程(步驟S1)和在準有效顯示區(qū)域內(nèi)繪制相同傾斜角的電極線過程(步驟S2)的情況分開進行了說明。
在有效顯示區(qū)域內(nèi)的多根電極線的涂覆(步驟S1)，由于電極線的長度長，所以頭數(shù)越多對生產(chǎn)效率越有利。
在準有效顯示區(qū)域內(nèi)的電極線的涂覆(步驟S2)，從多頭中只選擇位于合適位置的頭(圖26中的n＝3個)使用于涂覆。這時，與步驟S1相比，雖然反復涂覆的次數(shù)變多，但由于在準有效顯示區(qū)域內(nèi)的電極線長度很短，所以節(jié)奏就不會那么慢。根據(jù)上述準有效顯示區(qū)域內(nèi)的涂覆方法，可在涂覆線的“始端”和“終端”的兩方要求高質(zhì)量的涂覆。如果將多個頭由1個主泵和多個微型泵組合構成，并且在這些微型泵中用實施例4中所說明的“2重柱塞方式”，則能夠在繪制線的始終端同時以高質(zhì)量繪制。
下面，作為涂覆方法的具體例(III)，對用多頭在有效顯示區(qū)域700和準有效顯示區(qū)域701A、701B內(nèi)的一些電極線進行一次繪制的情況進行敘述。這時，繪制線，例如只對“終端”進行控制即可，多頭的頭數(shù)可以只是組AA1～AAn(在圖26中n＝3個)。作為多頭系統(tǒng)，可以通過將1個主泵和多個微型泵的組合，例如可以像圖16所示那樣的結構。對于微型泵，可以使用利用伴隨柱塞的上升、下降所產(chǎn)生的負壓、正壓來進行繪制線的始終端控制的方法?；蛘撸部梢韵裨谏鲜鼍唧w例(I)中說明的，配置多根具有2自由度促動器的計量供料器。
具體地說，在圖26中，作為具有相同傾斜角的電極線，例如選擇電極線705、708、709。各頭的噴嘴之間的間隔由電極層的涂覆圖形預先決定的。由于以后的各頭的涂覆方法采用的是與具體例(I)同樣的方法，所以省略詳細的說明。
另外，對作為上述計量供料器相對于上述基板移動的另外例子，如圖27所示，以把計量供料器304安裝在固定板303上的狀態(tài)、使XY載物臺沿垂直于XY方向移動的機構進行說明。對以由Z軸用電機302只向Z軸方向可升降地將計量供料器304安裝在固定板303上的狀態(tài)、使XY載物臺沿垂直于XY方向移動的機構進行說明。由固定在固定框架上的X軸用電機300的驅(qū)動，Y軸用電機307沿X方向進退，由固定在Y軸工作臺307上的Y軸用電機301的驅(qū)動，保持定位基板306的基板放置臺305沿Y方向進退。
根據(jù)這個結構，通過Z軸用電機302只讓計量供料器304升降，而相對于XY方向，通過基板放置臺305向各個方向移動，能夠使上述計量供料器對上述基板實行相對移動。
在上述實施例中，當上述計量供料器與上述基板從上述有效顯示區(qū)域向上述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，通過在使上述螺旋槽式計量供料器的上述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速降低之后停止來停止上述排出，或者也可以在降低之后停止，進而使上述旋轉(zhuǎn)軸例如只反轉(zhuǎn)10msec以下，然后通過上升例如10μm左右而停止上述排出。
另外，取而代之，當上述計量供料器與上述基板從上述非有效顯示區(qū)域向上述有效顯示區(qū)域進行相對移動時，通過在使上述螺旋槽式計量供料器的上述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速增加之后，使上述旋轉(zhuǎn)軸維持一定的旋轉(zhuǎn)進行排出，或者也可以在增加之后降低，然后軸維上述旋轉(zhuǎn)軸一定的旋轉(zhuǎn)進行排出。
而且，在上述實施例中，當配置有多根螺旋槽式計量供料器時，能夠?qū)Χ喔菪凼接嬃抗┝掀鞯霓D(zhuǎn)速進行個別調(diào)節(jié)，設定規(guī)定的流量。
根據(jù)上述各種實施例，在對柱塞沿軸方向驅(qū)動的裝置上使用超磁應變促動器。但是，如果沒有必要將繪制線的始終端以那么高的質(zhì)量形成，也可以取代超磁應變促動器使用響應性低的直線電機、電磁螺線管等。
以上，雖然對在顯示板上繪制連續(xù)線的連續(xù)涂覆的實施例進行了說明，但本發(fā)明也能適用于間歇涂覆。這時也能應用在涂覆開始和結束時的始終端控制的考慮方法。
并且，通過將上述的各種實施例中的任意的實施例進行適當組合，能夠?qū)崿F(xiàn)各自所具有的效果。
根據(jù)本發(fā)明的顯示板的圖形形成方法以及形成裝置，不使用以往的網(wǎng)板掩膜，例如只以對基板規(guī)格設定數(shù)值、而對任意尺寸的基板能夠高精度地形成例如熒光體層、電極層等，同時可容易地對應基板規(guī)格的變更。另外，由于能夠?qū)咚龠^程，所以與以往的方法相比在生產(chǎn)效率上并不遜色，因沒有廢棄的材料而能夠大幅度減少材料的浪費。
在制造過程和制造生產(chǎn)線上也沒有必要擴大規(guī)模，用單個裝置能夠進行印刷，另外，對于多品種少量生產(chǎn)的顯示板，可提高批量生產(chǎn)效果進行制造，而且由于用單體進行印刷，所以能夠使自動化線小規(guī)模地啟動設備。其效果是巨大的。
關于本發(fā)明，已參照附圖對優(yōu)選實施例給于充分的記述，但很明顯對于熟悉這種技術的人可實行各種變形和修正。這樣的變形或修正只要不超出本發(fā)明的范圍可以認為自然是被包含在其中的。
權利要求
1.一種顯示板的圖形形成方法，通過使流量可變式計量供料器(55)一邊相對于基板(61)移動、一邊排出糊劑，在應向所述基板排出的位置順序排出所述糊劑，形成一種圖形的糊劑層，其特征在于對具有形成所述糊劑層的有效顯示區(qū)域(60a、700)和在該有效顯示區(qū)域的外側、并且不形成所述糊劑層的非有效顯示區(qū)域(60b、701A、701B)的所述基板中的所述有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時排出所述糊劑，而在所述非有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時切斷所述糊劑的排出。
2.根據(jù)權利要求1所述的顯示板的圖形形成方法，通過使計量供料器一邊相對于在表面排列形成有多根光吸收層的基板移動、一邊排出糊劑，在應向所述光吸收層間排出的位置順序排出所述糊劑，形成一種圖形的糊劑層，其特征在于使用流量可變式計量供料器作為所述計量供料器，控制所述糊劑的排出。
3.根據(jù)權利要求2所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于所述計量供料器與所述基板的相對速度一致地控制所述計量供料器而使所述糊劑的排出量可變。
4.根據(jù)權利要求2所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于對具有形成所述糊劑層的有效顯示區(qū)域(60a)和在該有效顯示區(qū)域的外側、并且不形成所述糊劑層的非有效顯示區(qū)域(60b)的所述基板中的所述有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行向?qū)σ苿訒r排出所述糊劑，而對所述非有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時切斷所述糊劑的排出。
5.根據(jù)權利要求2所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于使用螺旋槽式計量供料器作為所述計量供料器，通過所述螺旋槽式計量供料器的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)控制、控制所述糊劑的排出。
6.根據(jù)權利要求4所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于使用螺旋槽式計量供料器作為所述計量供料器，在所述計量供料器和所述基板在所述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，停止所述螺旋槽式計量供料器的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，或者在所述有效顯示區(qū)域進行移動時，使所述旋轉(zhuǎn)軸反旋。
7.根據(jù)權利要求5所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于所述計量供料器和所述基板在從所述有效顯示區(qū)域向所述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，通過在降低所述螺旋槽式計量供料器的所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速后使其停止來停止所述排出，或者通過在降低后使其停止、并使所述旋轉(zhuǎn)軸反旋來停止所述排出。
8.根據(jù)權利要求5所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于所述計量供料器和所述基板在從所述非有效顯示區(qū)域向所述有效顯示區(qū)域進行相對移動時，在增加所述螺旋槽式計量供料器的所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速后、維持所述旋轉(zhuǎn)軸的特定旋轉(zhuǎn)并進行排出，或者在增加之后降低，然后維持所述旋轉(zhuǎn)軸的特定旋轉(zhuǎn)并進行排出。
9.根據(jù)權利要求5所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于使用多個螺旋槽式計量供料器作為所述計量供料器，個別調(diào)節(jié)所述多個螺旋槽式計量供料器的轉(zhuǎn)速來設定規(guī)定的流量。
10.根據(jù)權利要求2所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于所述計量供料器，通過向由作為糊劑壓送裝置的缸筒和柱塞形成的流體輸送室供給所述糊劑，同時對所述缸筒和所述柱塞施與相對于軸方向的運動、增減所述流體輸送室的空間而改變所述糊劑的排出量。
11.根據(jù)權利要求10所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于對形成在所述缸筒和所述柱塞的相對移動面上的螺旋槽施與相對的旋轉(zhuǎn)運動來壓送所述糊劑。
12.根據(jù)權利要求10所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于在所述噴嘴前端與所述基板從所述有效顯示區(qū)域向所述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，增大所述流體輸送室的空間而停止所述糊劑的排出。
13.根據(jù)權利要求10所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于在所述噴嘴前端與所述基板從所述非有效顯示區(qū)域向所述有效顯示區(qū)域進行相對移動時，減小由所述缸筒和所述柱塞形成的所述流體輸送室的空間而排出所述糊劑。
14.根據(jù)權利要求10所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于在所述噴嘴前端與所述基板在所述非有效顯示區(qū)域進行相對移動時，增大由所述缸筒和所述柱塞形成的所述流體輸送室的空間而持續(xù)地停止所述糊劑的排出。
15.根據(jù)權利要求2所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于所述計量供料器，作為糊劑壓送裝置，向由缸筒和柱塞以及收納該柱塞的至少一部分的套筒形成的流體輸送室壓送所述糊劑，同時通過對所述缸筒和所述柱塞、以及該柱塞與所述套筒施與相對軸方向的運動，增減所述流體輸送室的空間而改變所述糊劑的排出量。
16.根據(jù)權利要求15所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于把所述缸筒與所述柱塞的相對位移曲線和所述柱塞與所述缸筒的相對位移曲線設定為大致反相位，或者使移動方向相反，而進行所述糊劑的開始排出或停止排出。
17.根據(jù)權利要求2所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于所述流量可變式計量供料器，通過對軸和殼體沿軸方向相對驅(qū)動、使所述軸和所述殼體之間的流通路的間隙變化而實現(xiàn)所述糊劑的流體阻力的增減、對所述糊劑的排出量進行控制。
18.根據(jù)權利要求17所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于所述計量供料器，使軸和殼體進行相對旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生使所述糊劑從所述殼體的吸入口向排出口壓送的泵壓力，排出所述糊劑。
19.根據(jù)權利要求17所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于通過形成在所述軸和所述殼體的相對移動面上的動壓密封，切斷所述糊劑的流出。
20.根據(jù)權利要求19所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于所述計量供料器，通過使軸和殼體進行相對旋轉(zhuǎn)、同時使所述軸和所述殼體沿軸方向相對移動，而變化形成在所述軸和所述殼體之間的動壓密封的流通路的間隙，并通過實現(xiàn)對所述糊劑流體阻力的增減進行對所述糊劑流量的控制。
21.一種顯示板的圖形形成裝置，在并排設置在基板表面上的多根光吸收層之間排出糊劑、形成一種圖形的糊劑層，其特征在于，包括放置基板的放置臺，和具有至少1個排出所述糊劑的噴嘴的計量供料器，和使所述噴嘴和所述放置臺相對移動的輸送部，和為在所述光吸收層之間的規(guī)定位置上順序排出所述糊劑而控制所述輸送部和所述計量供料器的控制裝置；所述計量供料器為螺旋槽式。
22.根據(jù)權利要求21所述的顯示板的圖形形成裝置，其特征在于所述計量供料器，包括具有所述糊劑的吸入孔和排出孔、并且在內(nèi)部形成有流體輸送室的缸筒，和被收納于所述缸筒中的柱塞，和為增減由所述缸筒和所述柱塞形成的內(nèi)部空間而對所述缸筒和所述柱塞給與相對運動的促動器；從所述吸入孔流入所述流體輸送室的所述糊劑，經(jīng)過與所述內(nèi)部空間連接的流路從所述排出孔流出。
23.根據(jù)權利要求21所述的顯示板的圖形形成裝置，其特征在于所述計量供料器，取代螺旋槽式計量供料器，包括第1促動器，和由所述第1促動器沿直線方向驅(qū)動的柱塞，和收納該柱塞并且具有所述糊劑的吸入孔和排出孔的殼體，和與所述柱塞同軸配置的缸筒，和給予所述柱塞和所述缸筒之間相對旋轉(zhuǎn)運動的第2促動器；在所述柱塞與所述殼體之間，形成有連接所述吸入孔和所述排出孔的泵室，通過由所述第1促動器和所述第2促動器的驅(qū)動的所述柱塞與所述缸筒的相對旋轉(zhuǎn)運動或直線運動，給予所述泵室以泵作用，并且通過對所述第1促動器從外部供給電磁的非接觸式電力而移動或伸縮，使所述柱塞移動。
24.根據(jù)權利要求21所述的顯示板的圖形形成裝置，其特征在于所述計量供料器，取代螺旋槽式計量供料器，包括軸，和收納該軸、并且具有把在與所述軸之間形成的泵室和外部連接的所述糊劑的吸入口和排出口的殼體，和使所述軸與所述殼體相對旋轉(zhuǎn)的裝置，和給予所述軸與所述殼體之間沿軸方向相對位移的軸方向驅(qū)動裝置，和將流入所述泵室內(nèi)的所述糊劑向排出口側壓送的裝置；為實現(xiàn)在所述泵室與所述排出口之間的所述糊劑的流體阻力，通過所述軸方向驅(qū)動裝置變化所述軸與所述殼體之間的間隙。
25.根據(jù)權利要求21所述的顯示板的圖形形成裝置，其特征在于所述計量供料器，包括柱塞，和收納所述柱塞并且具有所述糊劑的吸入口和排出口的殼體，和使所述柱塞與所述殼體進行相對移動的第1促動器，和具有收納所述柱塞的至少一部分的沿軸向穿通的空間的缸筒，和使所述缸筒與所述殼體進行相對移動的第2促動器；自外部向由所述柱塞和所述缸筒以及所述殼體形成的泵室、從所述吸入口供給所述糊劑，并從所述排出口排出。
26.一種顯示板的圖形形成裝置，其特征在于所述計量供料器，由被收納于缸筒中的柱塞，和為增減由所述缸筒和所述柱塞形成的內(nèi)部空間而對所述缸筒和所述柱塞給與相對運動的促動器，和收納所述缸筒或與所述缸筒一體化、并且具有所述糊劑的吸入孔和排出孔的殼體，和形成在所述殼體內(nèi)部的流體輸送室構成；從所述吸入孔流入所述流體輸送室的所述糊劑，經(jīng)過與所述內(nèi)部空間連接的的流路從所述排出孔流出。
27.根據(jù)權利要求26所述的顯示板的圖形形成裝置，其特征在于使用在切斷所述糊劑時、把所述柱塞和與其對向面之間的間隙形成得比包含在排出材料中的微粒的粒徑大的計量供料器。
28.根據(jù)權利要求27所述的顯示板的圖形形成裝置，其特征在于在從所述吸入口到所述排出噴嘴的流通路中，在切斷所述糊劑時的最小間隙為8μm以上。
29.根據(jù)權利要求21所述的顯示板的圖形形成裝置，其特征在于所述控制裝置，實行下述控制，對具有形成所述糊劑層的有效顯示區(qū)域(60a、700)和在該有效顯示區(qū)域的外側、并且不形成所述糊劑層的非有效顯示區(qū)域(60b、701A、701B)的所述基板中的所述有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時排出所述糊劑，而對所述非有效顯示區(qū)域、在所述計量供料器進行相對移動時切斷所述糊劑的排出。
30.根據(jù)權利要求1所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于當所述計量供料器、在具有形成作為所述糊劑層的電極層(705)的有效顯示區(qū)域(700)，和與所述有效顯示區(qū)域鄰接設置、并形成與連續(xù)的所述電極層不連續(xù)的電極層(706)的準有效顯示區(qū)域(701A、701B)，和假定設置在所述有效顯示區(qū)域與所述準有效顯示區(qū)域外側、并不形成電極層的非有效顯示區(qū)域(704)的所述基板中的所述有效顯示區(qū)域和所述準有效顯示區(qū)域上、進行相對移動時，排出所述糊劑，而當所述計量供料器在所述非有效顯示區(qū)域上進行相對移動時，切斷所述糊劑的排出。
31.根據(jù)權利要求2所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)開始排出所述糊劑，或者在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)切斷在所述有效顯示區(qū)域內(nèi)的排出。
32.根據(jù)權利要求3所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于通過具有以等節(jié)距設置的多根噴嘴的計量供料器，當在與所述有效顯示區(qū)域鄰接的所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)開始所述糊劑的多根線條狀的排出后，經(jīng)過所述有效顯示區(qū)域，在與所述有效顯示區(qū)域另一側鄰接的所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)切斷所述糊劑的多根線條狀的排出。
33.根據(jù)權利要求2所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于通過具有以等節(jié)距設置的多根噴嘴的計量供料器，在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)的所述糊劑層中，只選擇具有同樣的傾斜角的彎曲的多根線條狀的電極層，在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)、和/或者在所述有效顯示區(qū)域內(nèi)同時進行所述多根線條狀的排出，形成所述多根線條狀的所述電極層。
34.根據(jù)權利要求3所述的顯示板的圖形形成方法，其特征在于當在所述準有效顯示區(qū)域內(nèi)切斷所述糊劑的排出時，利用隨著所述計量供料器的內(nèi)部流路的間隙的增大而產(chǎn)生的負壓，實行對上述排出的切斷。
全文摘要
一種顯示板的圖形形成方法以及形成裝置，在制造PDP、CRT的顯示板中，以網(wǎng)板印刷方式和同等或以更高的生產(chǎn)率形成例如屏幕線條。在具有形成糊劑層的有效顯示區(qū)域和在該有效顯示區(qū)域外側不形成糊劑層的非有效顯示區(qū)域的顯示器屏板上，通過使用流量可變式計量供料器，當排出噴嘴在顯示器屏板的非有效顯示區(qū)域上移動時，可快速地切斷糊劑的排出。
文檔編號B05C11/10GK1426852SQ0215705
公開日2003年7月2日 申請日期2002年12月19日 優(yōu)先權日2001年12月19日
發(fā)明者丸山照雄, 外園信貴, 古川貴之, 松尾孝二, 兼久孝, 大久保貴史, 吉田隆弘 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社