專利名稱：糊狀物分配器及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種糊狀物分配器及其控制方法，更具體地，涉及一種用于快速精確并具有減小振動(dòng)地形成糊狀物圖樣的糊狀物分配器及其控制方法。
背景技術(shù)：
糊狀物分配器被設(shè)計(jì)為在基板上以預(yù)定圖樣分配各種類型的糊狀物，例如粘含糊狀物和密封糊狀物。
糊狀物分配器包括工作臺(tái)，其上安裝有基板；頭單元，具有用于在基板上分配糊狀物的噴嘴；支柱，頭單元安裝在其上；以及控制器，控制支柱和頭單元的移動(dòng)。頭單元包括糊狀物容器，在其中容納有糊狀物。糊狀物容器連接到噴嘴。
糊狀物分配器在改變基板與噴嘴之間的相對(duì)距離的同時(shí)在基板上形成預(yù)定圖樣。即，當(dāng)分配糊狀物時(shí)，基板在預(yù)定方向移動(dòng)，并且安裝在支柱上的頭單元在垂直于基板移動(dòng)方向的方向移動(dòng)。以下，基板與噴嘴之間的這種移動(dòng)被稱作基板與噴嘴之間的相對(duì)移動(dòng)。
圖1示出了包括在糊狀物分配器中的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器的橫截面圖。圖2示出了包括在糊狀物分配器中的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器的透視圖。圖3A示出了初始置于包括在糊狀物分配器中的工作臺(tái)上的基板的示意圖。圖3B示出了通過旋轉(zhuǎn)其上安裝有基板的工作臺(tái)而將基板置于正確位置的示意圖。
下面將參考圖1至圖3B，詳細(xì)描述包括在傳統(tǒng)糊狀物分配器中的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器，以及通過使用該工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器設(shè)置基板位置的步驟。
糊狀物分配器包括框架10，其設(shè)置在糊狀物分配器的下部；以及工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器7，用于驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)40。工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器7包括Y軸工作臺(tái)支座3，用于沿Y軸移動(dòng)工作臺(tái)40。工作臺(tái)40設(shè)置在Y軸臺(tái)5上。當(dāng)Y軸臺(tái)5被Y軸工作臺(tái)支座3移動(dòng)時(shí)，工作臺(tái)40沿Y軸方向移動(dòng)。
θ軸驅(qū)動(dòng)器1設(shè)置在Y軸工作臺(tái)支座3上，以沿θ軸移動(dòng)工作臺(tái)。θ軸驅(qū)動(dòng)器1設(shè)置在工作臺(tái)40與Y軸臺(tái)5之間?；灏惭b在工作臺(tái)40上。
如圖2所示，θ軸驅(qū)動(dòng)器1包括旋轉(zhuǎn)導(dǎo)板1a和θ軸電機(jī)1b，以旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)40。當(dāng)θ軸電機(jī)1b旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)板1a時(shí)，置于旋轉(zhuǎn)導(dǎo)板1a上的工作臺(tái)40被旋轉(zhuǎn)。
下面將描述在基板上形成糊狀物圖樣之前將基板放置在正確位置的步驟。
操作員通過傳送器將基板200放置在工作臺(tái)40上。如圖3A所示，當(dāng)把基板通過傳送器放置在工作臺(tái)上時(shí)，基板移動(dòng)的Y軸方向通常不平行于將在基板上形成糊狀物圖樣的Y′軸方向。換句話說，分配頭移動(dòng)的X軸方向與將在基板上形成糊狀物圖樣的X′軸方向彼此偏離預(yù)定角度θ。
因此，需要校正基板的位置，從而X軸方向與X′軸方向在形成糊狀物圖樣之前可以彼此匹配。
糊狀物分配器通過θ軸驅(qū)動(dòng)器使工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度θ，以校正基板的位置。圖3B示出了放置在正確位置的基板。
隨后，糊狀物分配器將噴嘴移動(dòng)到分配起點(diǎn)，并在移動(dòng)基板和噴嘴的同時(shí)在基板上形成糊狀物圖樣。
然而，該糊狀物分配器及其控制方法具有以下問題。
糊狀物分配器包括Y軸工作臺(tái)支座和θ軸驅(qū)動(dòng)器，并在沿Y軸移動(dòng)工作臺(tái)的同時(shí)形成糊狀物圖樣。在這種情況下，當(dāng)Y軸工作臺(tái)支座的驅(qū)動(dòng)力傳遞到工作臺(tái)時(shí)，由于夾置在Y軸工作臺(tái)支座與工作臺(tái)之間的θ軸驅(qū)動(dòng)器而產(chǎn)生振動(dòng)，引起工作臺(tái)振動(dòng)。此外，工作臺(tái)的振動(dòng)引起基板振動(dòng)，導(dǎo)致令人不滿意的糊狀物圖樣。
此外，因?yàn)楹隣钗锓峙淦靼╕軸工作臺(tái)支座和θ軸驅(qū)動(dòng)器，并在沿Y軸移動(dòng)工作臺(tái)的同時(shí)形成糊狀物圖樣，所以由于θ軸驅(qū)動(dòng)器而強(qiáng)加在Y軸工作臺(tái)支座上的負(fù)載增加。換句話說，由于θ軸驅(qū)動(dòng)器強(qiáng)加在Y軸工作臺(tái)支座上的負(fù)載，而導(dǎo)致施加用于移動(dòng)工作臺(tái)的控制信號(hào)的時(shí)刻與工作臺(tái)實(shí)際移動(dòng)的時(shí)刻之間的時(shí)間間隔增加。因此，糊狀物分配器不能在精確的位置分配精確量的糊狀物。
此外，糊狀物分配器需要在θ軸方向旋轉(zhuǎn)在其上放置有基板的工作臺(tái)，以在形成糊狀物圖樣之前將基板移動(dòng)到正確位置的步驟。因此，糊狀物分配器需要很長的時(shí)間在工作臺(tái)上設(shè)置基板位置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種糊狀物分配器及其控制方法，該糊狀物分配器基本上克服了現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺點(diǎn)和不足。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種糊狀物分配器及其控制方法，該糊狀物分配器快速精確并具有減小振動(dòng)地形成糊狀物圖樣。
本發(fā)明的另一目的是提供一種糊狀物分配器及其控制方法，該糊狀物分配器減少了施加用于移動(dòng)工作臺(tái)的控制信號(hào)的時(shí)刻與工作臺(tái)實(shí)際移動(dòng)的時(shí)刻之間的時(shí)間間隔，因此在精確位置分配精確量的糊狀物。
本發(fā)明的又一目的是提供一種糊狀物分配器及其控制方法，該糊狀物分配器減少了在工作臺(tái)上設(shè)置基板位置所需的時(shí)間。
本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)、目的和特征，部分將在隨后的描述中闡明，部分根據(jù)隨后的測試，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員將顯而易見，或可以從本發(fā)明的實(shí)施中了解。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)可以通過在說明書和權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)而實(shí)現(xiàn)并獲得。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種糊狀物分配器，包括分配頭，其上安裝有用于分配糊狀物的噴嘴；以及工作臺(tái)，其上安裝有基板，并相對(duì)于分配頭移動(dòng)，其中，安裝在工作臺(tái)上的基板在不旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的情況下被移動(dòng)，以形成糊狀物圖樣。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種糊狀物分配器，包括工作臺(tái)，其上安裝有基板；分配頭，其上安裝有用于在基板上分配糊狀物的噴嘴；以及位置傳感器，獲得在工作臺(tái)上的基板的位置信息，其中，分配頭在不旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的情況下被移動(dòng)，以設(shè)置噴嘴的位置。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種糊狀物分配器，包括分配頭，其上安裝有用于分配糊狀物的噴嘴；支柱，其上安裝有分配頭，并在分配糊狀物時(shí)停止運(yùn)轉(zhuǎn)；以及工作臺(tái)，沿垂直于分配頭移動(dòng)方向的方向移動(dòng)而不圍繞支柱旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種控制糊狀物分配器的方法，該方法包括將基板放置在工作臺(tái)上；獲得工作臺(tái)上的基板的位置信息；以及通過移動(dòng)在其上安裝有噴嘴的分配頭而不旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)來設(shè)置噴嘴的分配位置。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種控制糊狀物分配器的方法，該方法包括將基板放置在工作臺(tái)上；輸入形成于基板上的糊狀物圖樣的位置數(shù)據(jù)；獲得工作臺(tái)上的基板的位置信息；以及根據(jù)基板的位置信息校正糊狀物圖樣的初始位置數(shù)據(jù)。


通過參考附圖對(duì)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)將變得更顯而易見，附圖中圖1示出了包括在傳統(tǒng)糊狀物分配器中的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器的橫截面視圖；圖2示出了包括在傳統(tǒng)糊狀物分配器中的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器的透視圖；
圖3A示出了放置在包括在傳統(tǒng)糊狀物分配器中的工作臺(tái)上的基板的示意圖；圖3B示出了傳統(tǒng)糊狀物分配器中置于正確位置上的基板的示意圖；圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的結(jié)構(gòu)的透視圖；圖5示出了包括在根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器中的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器的橫截面視圖；圖6示出了包括在根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器中的頭單元的實(shí)施例的透視圖；圖7示出了用于控制根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的配置的方框圖；圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的通過移動(dòng)安裝在支柱上的噴嘴來設(shè)置正確分配位置的示意圖；以及圖9示出了控制根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
下面將詳細(xì)參考本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，其實(shí)例在附圖中示出。
圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的優(yōu)選實(shí)施例的透視圖。圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器的橫截面視圖。圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的頭單元的優(yōu)選實(shí)施例的透視圖。
參考圖4至圖6，將詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的結(jié)構(gòu)。
工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器700安裝在框架10上，以移動(dòng)其上放置有基板的工作臺(tái)40。Y軸工作臺(tái)支座30安裝在工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器700上，以沿Y軸方向移動(dòng)工作臺(tái)40。其上放置有基板的工作臺(tái)40安裝在Y軸工作臺(tái)支座30上。
即，在本實(shí)施例中，因?yàn)闆]有設(shè)置用于在θ軸方向移動(dòng)工作臺(tái)的θ軸驅(qū)動(dòng)器，所以工作臺(tái)40不旋轉(zhuǎn)，并且在將基板安裝在工作臺(tái)上時(shí)移動(dòng)基板。
至少一個(gè)支柱20設(shè)置在框架10上并沿Y軸移動(dòng)。
多個(gè)頭單元50安裝在支柱20上。每個(gè)頭單元50在X軸方向均可以移動(dòng)。使用多個(gè)頭單元50在基板上形成多個(gè)糊狀物圖樣可用減少處理時(shí)間。
頭單元50包括分配頭500，配備有分配糊狀物的噴嘴510；以及Y軸分配頭支座530，用于在Y軸方向移動(dòng)分配頭500。Y軸分配頭支座530在Y軸方向移動(dòng)分配頭500，以在分配糊狀物之前設(shè)置噴嘴510的位置。
Y軸分配頭支座530包括伺服電機(jī)(未示出)以及被伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的電機(jī)軸(未示出)。伺服電機(jī)旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸，從而使連接到電機(jī)軸的分配頭500沿Y軸移動(dòng)。
用于容納糊狀物的糊狀物容器520安裝在包括在頭單元50中的分配頭500上。頭單元50包括Z軸電機(jī)52，用于在Z軸方向上移動(dòng)噴嘴510。
頭單元50還可以包括Z軸微調(diào)電機(jī)53(以下被稱作“ZZ軸電機(jī)”)，用于細(xì)微地調(diào)節(jié)頭單元50的高度，從而在將基板放置在工作臺(tái)上之后，精確地調(diào)節(jié)噴嘴與基板之間的距離。
此外，頭單元50包括距離傳感器57，用于在分配糊狀物時(shí)測量噴嘴與基板之間的相對(duì)距離；以及截面積傳感器55，用于在形成糊狀物圖樣之后測量糊狀物圖樣的截面積。
測量單元90設(shè)置在工作臺(tái)40的前、后側(cè)，以設(shè)置替換噴嘴的位置。測量單元90可以是諸如攝像機(jī)的圖像感測裝置。
糊狀物控制器包括控制器70，其連接到輸入/輸出單元80，該輸入/輸出單元用于輸入/輸出操作糊狀物分配器所需的操作信息。控制器70可以直接接收來自輸入/輸出單元80或個(gè)人計(jì)算機(jī)100的有關(guān)糊狀物圖樣的位置數(shù)據(jù)。
位置傳感器60設(shè)置在支柱20上，以獲得工作臺(tái)上的基板的位置信息。即，位置傳感器60設(shè)置在支柱20的兩端。位置傳感器60用于檢測放置在工作臺(tái)上的基板是否位于將分配糊狀物圖樣的位置。
下面將描述糊狀物分配器通過位置傳感器獲得基板的位置的過程。
在將基板放置在工作臺(tái)上之后，糊狀物分配器將其上安裝有位置傳感器60的支柱移動(dòng)到預(yù)定位置。預(yù)定位置預(yù)先被輸入糊狀物分配器的控制器。
位置傳感器60檢測基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在基板上指示了多個(gè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(未示出)，以識(shí)別基板的位置。
糊狀物分配器的控制器根據(jù)從位置傳感器獲得的位置信息，計(jì)算基板的位置變化，該變化對(duì)應(yīng)于基板與初始放置基板的參考位置的偏離。
位置的變化包括分配頭移動(dòng)的X軸方向與將分配糊狀物圖樣的X′軸方向之間形成的角度，以及初始輸入的糊狀物圖樣參考點(diǎn)與將在基板上分配的糊狀物圖樣的參考點(diǎn)之間的位置變化。
在X軸方向與X′軸方向之間形成的角度為0°，并且初始輸入的參考點(diǎn)與將被分配的糊狀物圖樣的參考點(diǎn)相同的情況下，糊狀物分配器確定基板位于參考位置。
位置傳感器可以安裝在頭單元上而不是在支柱上。位置傳感器可以是圖像感測裝置，例如攝像機(jī)，其可以測量工作臺(tái)上的基板的位置。任何測量工作臺(tái)上的基板的偏離的感測裝置均可以用作位置傳感器。
圖7示出了用于控制根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的配置的方框圖。
包括中央處理單元的控制器70連接到電機(jī)控制器15、輸入/輸出單元80、以及個(gè)人計(jì)算機(jī)100中的每一個(gè)。個(gè)人計(jì)算機(jī)100可以連接到輸入/輸出單元80，而不是直接連接到控制器70。
電機(jī)控制器15連接到控制工作臺(tái)沿Y軸移動(dòng)的Y軸工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)器3A。電機(jī)控制器15連接到沿X軸移動(dòng)頭單元的X軸頭單元驅(qū)動(dòng)器3B。當(dāng)設(shè)置多個(gè)頭單元時(shí)，多個(gè)X軸頭單元驅(qū)動(dòng)器被設(shè)置為沿X軸移動(dòng)每個(gè)頭單元。
此外，電機(jī)控制器連接到每個(gè)Y軸分配頭驅(qū)動(dòng)器3C、Z軸分配頭驅(qū)動(dòng)器3D、以及ZZ軸分配頭驅(qū)動(dòng)器3E中的每一個(gè)，以分別在Y軸、Z軸、和ZZ軸方向移動(dòng)噴嘴。此外，電機(jī)控制器連接到在Y軸方向移動(dòng)支柱的Y軸支柱驅(qū)動(dòng)器3F。
Y軸分配頭驅(qū)動(dòng)器3C被電機(jī)控制器15控制。電機(jī)控制器15連接到控制器70?？刂破?0連接到位置傳感器60。
圖8是示出了根據(jù)本發(fā)明的通過移動(dòng)安裝在支柱上的噴嘴來設(shè)置正確分配位置的示意圖。圖9示出了控制根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的方法的流程圖。
下面參考圖8和圖9，詳細(xì)地描述用于控制根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的方法。
操作員將要在其上形成糊狀物圖樣的基板放置在工作臺(tái)上(S10)。操作員設(shè)置形成糊狀物圖樣所需的分配條件。分配條件包括噴嘴在平行于其上分配有糊狀物的基板的方向上移動(dòng)的速度(以下稱作‘分配速度’)，從其上分配有糊狀物的基板垂直地定位噴嘴的高度(以下稱作‘分配高度’)，以及施加到糊狀物容器以分配糊狀物的壓力(以下稱作‘分配壓力’)。
操作員將有關(guān)糊狀物圖樣的位置數(shù)據(jù)輸入到糊狀物分配器(S20)。應(yīng)該理解，在輸入分配條件和有關(guān)糊狀物圖樣的位置數(shù)據(jù)之后，基板可以安裝在工作臺(tái)上。
如圖3A所示，當(dāng)通過傳送器將基板安裝在工作臺(tái)上時(shí)，分配頭在工作臺(tái)上移動(dòng)的X軸方向與將在基板上形成糊狀物圖樣的X′軸方向彼此偏離預(yù)定角度θ。初始輸入的糊狀物圖樣上的參考點(diǎn)，即，初始參考點(diǎn)，與將在基板上分配糊狀物圖樣的參考點(diǎn)，即，最終參考點(diǎn)，在位置上彼此不同。
通常，糊狀物分配器使用θ軸驅(qū)動(dòng)器來使將在基板上形成糊狀物圖樣的X′軸方向和Y′軸方向分別與噴嘴的X軸方向和基板的Y軸方向相匹配，并在基板上形成糊狀物圖樣。即，當(dāng)形成沿Y軸方向延伸的糊狀物圖樣的線性部分時(shí)，傳統(tǒng)糊狀物分配器僅沿Y軸方向移動(dòng)工作臺(tái)以分配糊狀物，而當(dāng)形成沿X軸方向延伸的糊狀物圖樣的線性部分時(shí)，傳統(tǒng)糊狀物分配器僅沿X軸方向移動(dòng)頭單元以分配糊狀物。
然而，根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器形成糊狀物圖樣，而不校正安裝在工作臺(tái)上的基板的初始位置。
下面將參考圖8，描述形成糊狀物圖樣的步驟，其中初始參考點(diǎn)與最終參考點(diǎn)彼此相同，并且基板與參考位置偏離預(yù)定角度。
當(dāng)基板安裝在工作臺(tái)上時(shí)，糊狀物分配器沿Y軸移動(dòng)支柱，并通過安裝在支柱上的位置傳感器獲得基板的位置信息(S30)。
為了獲得基板的位置信息，糊狀物分配器將其上安裝有位置傳感器的支柱移動(dòng)到可以檢測對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置。糊狀物分配器通過位置傳感器為對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記拍照。
糊狀物分配器的控制器根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置數(shù)據(jù)，計(jì)算基板的位置變化，該變化對(duì)應(yīng)于基板與將定位基板的參考位置的偏離。即，控制器根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置變化，計(jì)算基板的偏離角度。
包括在控制器中的數(shù)據(jù)處理器73自動(dòng)校正初始輸入的有關(guān)糊狀物圖樣的位置數(shù)據(jù)(以下稱作‘初始圖樣數(shù)據(jù)’)(S40)。即，數(shù)據(jù)處理器73根據(jù)基板的偏離角度校正初始圖樣數(shù)據(jù)。以下，有關(guān)糊狀物圖樣的經(jīng)校正的位置數(shù)據(jù)被稱作最終圖樣數(shù)據(jù)。用戶可以直接輸入有關(guān)糊狀物圖樣的根據(jù)偏離角度經(jīng)校正的位置數(shù)據(jù)。
由于初始圖樣數(shù)據(jù)是基于X軸和Y軸坐標(biāo)，需要將初始圖樣數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成最終圖樣數(shù)據(jù)，以在X′軸和Y′軸坐標(biāo)上形成糊狀物圖樣。以下，X軸和Y軸坐標(biāo)系被稱作第一坐標(biāo)系，而X′軸和Y′軸坐標(biāo)系被稱作第二坐標(biāo)系。
例如，具有坐標(biāo)值(5，0)的初始圖樣數(shù)據(jù)被數(shù)據(jù)處理器轉(zhuǎn)換成具有坐標(biāo)值(5cosθ，5sinθ)的最終圖樣數(shù)據(jù)。符號(hào)θ表示將形成糊狀物圖樣的X′軸方向與移動(dòng)分配頭的X軸方向之間形成的角度。數(shù)據(jù)處理器是設(shè)置在包括在糊狀物分配器中的控制器中的微處理器。數(shù)據(jù)處理器可以與控制器分開設(shè)置。
控制器根據(jù)最終圖樣數(shù)據(jù)控制電機(jī)控制器，而電機(jī)控制器控制在Y軸方向上移動(dòng)分配頭的Y軸驅(qū)動(dòng)器，以移動(dòng)其上安裝有噴嘴的分配頭(S50)。
即，控制器在Y軸方向上移動(dòng)分配頭，從而形成糊狀物圖樣的X′軸方向與安裝在分配頭上的噴嘴的虛擬線511位于一條直線上(見圖8)。虛擬線511是通過將噴嘴出口的中心點(diǎn)彼此連接而形成的。將在基板200上形成的糊狀物圖樣由點(diǎn)線表示。
糊狀物分配器根據(jù)最終圖樣數(shù)據(jù)，將噴嘴移動(dòng)到將分配糊狀物的分配起始點(diǎn)(S60)。即，糊狀物分配器移動(dòng)支柱和分配頭，以將噴嘴放置在將分配糊狀物的正確位置。
最后，糊狀物分配器根據(jù)最終圖樣數(shù)據(jù)形成糊狀物圖樣(S70)。在這種情況下，糊狀物分配器的分配頭移動(dòng)到X軸方向，而基板移動(dòng)到Y(jié)軸方向。然而，實(shí)際形成在基板上的糊狀物圖樣形成為與基板和噴嘴在其上移動(dòng)的第一坐標(biāo)系偏離預(yù)定角度θ。
即，糊狀物圖樣的線性部分在第二坐標(biāo)系中梯度為0，但是在第一坐標(biāo)系中具有一定的梯度。因此，需要同時(shí)移動(dòng)基板和噴嘴，以形成在第一坐標(biāo)系中具有一定梯度的糊狀物圖樣的線性部分。
因此，在基板和噴嘴分別沿X軸方向和Y軸方向移動(dòng)，同時(shí)基板的偏離角度為θ時(shí)，形成糊狀物圖樣。
在僅使用單個(gè)噴嘴的情況下，在基板和噴嘴分別沿X軸方向和Y軸方向移動(dòng)，同時(shí)根據(jù)最終圖樣數(shù)據(jù)而不在Y軸方向上移動(dòng)分配頭時(shí)，可以形成糊狀物圖樣。
根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器形成糊狀物圖樣而不圍繞θ軸旋轉(zhuǎn)基板，即使在初始參考點(diǎn)，即，初始輸入的糊狀物圖樣上的參考點(diǎn)，與最終參考點(diǎn)，即，將形成在基板上的糊狀物圖樣的參考點(diǎn)彼此不同，并且基板與參考位置偏離一定角度的情況下。
在這種情況下，控制器根據(jù)從位置傳感器獲得的位置信息來計(jì)算基板與初始參考位置的偏離。即，控制器計(jì)算初始參考點(diǎn)與最終參考點(diǎn)之間的位置變化以及基板的偏離角度。數(shù)據(jù)處理器根據(jù)基板的偏離值，轉(zhuǎn)換初始圖樣數(shù)據(jù)。
在初始參考點(diǎn)具有坐標(biāo)值(0，0)、最終參考點(diǎn)具有坐標(biāo)值(1，1)、并且基板的偏離角度為θ的情況下，坐標(biāo)值為(5，0)的初始圖樣數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成坐標(biāo)值為(1+5cosθ，1+5sinθ)的最終圖樣數(shù)據(jù)。
接下來，糊狀物分配器根據(jù)經(jīng)轉(zhuǎn)換的圖樣數(shù)據(jù)，即，最終的圖樣數(shù)據(jù)，設(shè)置噴嘴的位置。即，糊狀物分配器在Y軸方向上移動(dòng)噴嘴，從而糊狀物圖樣的Y′軸方向和虛擬線彼此垂直，該虛擬線通過將安裝在分配頭上的噴嘴出口的中心點(diǎn)彼此相連而形成。
糊狀物分配器根據(jù)最終圖樣數(shù)據(jù)，將噴嘴移動(dòng)到初始分配糊狀物的分配起始點(diǎn)。最后，根據(jù)最終圖樣數(shù)據(jù)，同時(shí)在各自移動(dòng)方向上移動(dòng)噴嘴和基板時(shí)，糊狀物分配器形成糊狀物圖樣。
根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器具有下列優(yōu)點(diǎn)。
根據(jù)本發(fā)明，由于不需要在Y軸工作臺(tái)支座上設(shè)置θ軸驅(qū)動(dòng)器，所以可以消除由于工作臺(tái)沿Y軸方向移動(dòng)時(shí)θ軸驅(qū)動(dòng)器導(dǎo)致的振動(dòng)。此外，可以更精確地在基板上形成糊狀物圖樣。
此外，由于不需要θ軸驅(qū)動(dòng)器，可以減小強(qiáng)加在Y軸工作臺(tái)支座上的負(fù)載，從而提高了Y軸工作臺(tái)支座的響應(yīng)速度。
此外，不需要用于在θ軸方向移動(dòng)其上安裝有基板的工作臺(tái)以在形成糊狀物圖樣之前校正基板位置的θ軸驅(qū)動(dòng)器，并且不需要校正θ軸的步驟，從而減少了處理時(shí)間。
另外，由于不需要θ軸驅(qū)動(dòng)器，所以可以減小糊狀物分配器的體積并縮減生產(chǎn)成本。
本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白，在不脫離本發(fā)明的精神或保護(hù)范圍的情況下，可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變換。因此，本發(fā)明包括在權(quán)利要求及其等同物的范圍內(nèi)對(duì)本發(fā)明的修改和變換。
權(quán)利要求
1.一種糊狀物分配器，包括分配頭，其上安裝有用于分配糊狀物的噴嘴；以及工作臺(tái)，其上安裝有基板，并相對(duì)于所述分配頭移動(dòng)，其中，安裝在所述工作臺(tái)上的所述基板被移動(dòng)而不旋轉(zhuǎn)所述工作臺(tái)，以形成糊狀物圖樣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的糊狀物分配器，還包括位置傳感器，用于獲取所述工作臺(tái)上的所述基板的位置信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的糊狀物分配器，還包括控制器，用于根據(jù)由所述位置傳感器獲得的所述基板的位置信息，計(jì)算對(duì)應(yīng)于所述基板與所述基板的初始參考位置偏離的所述基板的位置變化。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的糊狀物分配器，其中所述位置變化包括在所述分配頭的X軸移動(dòng)方向與所述糊狀物圖樣的X′軸方向之間形成的角度，以及在所述糊狀物圖樣上的初始參考點(diǎn)與將在安裝于所述工作臺(tái)上的所述基板上形成的所述糊狀物圖樣的參考點(diǎn)之間的位置變化。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的糊狀物分配器，還包括數(shù)據(jù)處理器，用于根據(jù)所述基板的所述位置變化，校正所述糊狀物圖樣的初始位置數(shù)據(jù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任一項(xiàng)所述的糊狀物分配器，其中，當(dāng)從所述噴嘴中分配所述糊狀物時(shí)，所述基板和所述噴嘴同時(shí)在彼此垂直的方向上移動(dòng)。
7.一種糊狀物分配器，包括工作臺(tái)，其上安裝有基板；分配頭，其上安裝有噴嘴，用于在所述基板上分配糊狀物；以及位置傳感器，用于獲取所述工作臺(tái)上的所述基板的位置信息，其中，移動(dòng)所述分配頭而不旋轉(zhuǎn)所述工作臺(tái)，以設(shè)置所述噴嘴的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的糊狀物分配器，還包括Y軸分配頭支座，用于移動(dòng)所述噴嘴，以根據(jù)所述基板的位置信息來設(shè)置所述噴嘴的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的糊狀物分配器，其中，所述Y軸分配頭支座包括伺服電機(jī)以及被所述伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的電機(jī)軸。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的糊狀物分配器，其中，將要形成在所述基板上的所述糊狀物圖樣的X′軸方向與通過將多個(gè)安裝在每個(gè)分配頭上的各噴嘴出口的中心點(diǎn)彼此相連而形成的虛擬線位于一條直線上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的糊狀物分配器，還包括數(shù)據(jù)處理器，用于根據(jù)所述基板的位置信息，自動(dòng)校正形成于所述基板上的所述糊狀物圖樣的位置數(shù)據(jù)。
12.根據(jù)權(quán)利要求7至11中任一項(xiàng)所述的糊狀物分配器，還包括控制器，用于從所述噴嘴中分配所述糊狀物時(shí)，控制所述基板和所述噴嘴同時(shí)在彼此垂直的方向上移動(dòng)。
13.一種糊狀物分配器，包括分配頭，其上安裝有用于分配糊狀物的噴嘴；支柱，其上安裝有所述分配頭，并在分配所述糊狀物時(shí)停止運(yùn)轉(zhuǎn)；以及工作臺(tái)，沿垂直于所述分配頭移動(dòng)方向的方向移動(dòng)，而不圍繞所述支柱旋轉(zhuǎn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的糊狀物分配器，還包括控制器，用于從所述噴嘴中分配所述糊狀物時(shí)，控制所述基板和所述噴嘴同時(shí)沿彼此垂直的方向移動(dòng)。
15.一種控制糊狀物分配器的方法，所述方法包括將基板放置在工作臺(tái)上；獲得所述工作臺(tái)上的所述基板的位置信息；以及通過移動(dòng)其上安裝有噴嘴的分配頭而不旋轉(zhuǎn)所述工作臺(tái)，來設(shè)置噴嘴的分配位置。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，還包括根據(jù)所述基板的位置信息，自動(dòng)校正糊狀物圖樣的初始位置數(shù)據(jù)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述獲取所述基板的位置信息的步驟還包括根據(jù)所述基板的位置信息，計(jì)算對(duì)應(yīng)于所述基板與所述基板的初始參考位置偏離的所述基板的位置變化。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述設(shè)置噴嘴的分配位置的步驟包括移動(dòng)分配頭，從而將形成在所述基板上的所述糊狀物圖樣的Y′軸方向與通過將多個(gè)噴嘴出口的中心點(diǎn)彼此相連而形成的虛擬線位于彼此垂直的方向上，所述多個(gè)噴嘴中的每個(gè)安裝在每個(gè)所述分配頭上。
19.根據(jù)權(quán)利要求15至18中任一項(xiàng)所述的方法，還包括在移動(dòng)所述基板的同時(shí)，在垂直于所述基板移動(dòng)方向的方向上移動(dòng)所述噴嘴時(shí)形成所述糊狀物圖樣。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，還包括根據(jù)所述基板的所述位置信息，轉(zhuǎn)換所述糊狀物圖樣的初始位置數(shù)據(jù)時(shí)形成糊狀物圖樣，以及根據(jù)所述經(jīng)轉(zhuǎn)換的位置數(shù)據(jù)，同時(shí)沿各自的移動(dòng)方向移動(dòng)所述噴嘴和所述基板。
21.一種控制糊狀物分配器的方法，所述方法包括將基板放置在工作臺(tái)上；輸入形成于所述基板上的糊狀物圖樣的位置數(shù)據(jù)；獲得所述工作臺(tái)上的所述基板的位置信息；以及根據(jù)所述基板的位置信息，校正所述糊狀物圖樣的初始位置數(shù)據(jù)。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，還包括根據(jù)所述經(jīng)校正的位置數(shù)據(jù)，同時(shí)沿各自的移動(dòng)方向移動(dòng)所述基板和所述噴嘴時(shí)，形成所述糊狀物圖樣。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，還包括將安裝在支柱上的分配頭移動(dòng)到將形成的所述糊狀物圖樣的分配起始點(diǎn)。
24.根據(jù)權(quán)利要求21至23中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述獲得所述基板的位置信息的步驟包括將其上安裝有位置傳感器的支柱移動(dòng)到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置；以及通過所述位置傳感器識(shí)別所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中，所述獲得所述基板的位置信息的步驟還包括根據(jù)所述識(shí)別的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置數(shù)據(jù)，計(jì)算對(duì)應(yīng)于所述基板與所述基板的初始參考位置偏離的所述基板的位置變化。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種糊狀物分配器及其控制方法。糊狀物分配器包括分配頭，其上安裝有用于分配糊狀物的噴嘴；以及工作臺(tái)，其上安裝有基板，并相對(duì)于分配頭移動(dòng)，其中，安裝在工作臺(tái)上的基板移動(dòng)而不旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，以形成糊狀物圖樣。該控制糊狀物分配器的方法包括將基板放置在工作臺(tái)上；獲得工作臺(tái)上基板的位置信息；以及通過移動(dòng)其上安裝有噴嘴的分配頭而不旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)來設(shè)置噴嘴的分配位置。
文檔編號(hào)B05B13/04GK1891349SQ20061009847
公開日2007年1月10日 申請日期2006年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月8日
發(fā)明者趙容柱, 李載昱, 金潤會(huì), 孫世豪 申請人:塔工程有限公司