本發(fā)明涉及含有三嗪環(huán)的聚合物和包含其的組合物。
背景技術(shù)：
：近年來(lái)，在開發(fā)液晶顯示器、有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示器、觸摸面板、光半導(dǎo)體(LED)元件、固體攝像元件、有機(jī)薄膜太陽(yáng)能電池、色素增感太陽(yáng)能電池、和有機(jī)薄膜晶體管(TFT)等電子器件時(shí)，逐漸需要高功能的高分子材料。作為所要求的具體的特性，可列舉出1)耐熱性、2)透明性、3)高折射率、4)高溶解性、5)低體積收縮率、6)耐高溫高濕性、7)高膜硬度等。鑒于這點(diǎn)，本發(fā)明人已發(fā)現(xiàn)：含有具有三嗪環(huán)和芳環(huán)的重復(fù)單元的聚合物具有高折射率，聚合物單獨(dú)地就能夠?qū)崿F(xiàn)高耐熱性、高透明性、高折射率、高溶解性、低體積收縮，適合作為制作電子器件時(shí)的膜形成用組合物(專利文獻(xiàn)1)。在液晶顯示元件中的、間隔物、絕緣膜、保護(hù)膜等中，進(jìn)行使用了透明材料的圖案形成，目前為止在該用途中提出了眾多負(fù)型感光性組合物。特別地，近年來(lái)，由于高精細(xì)液晶顯示器、移動(dòng)電話用顯示器的需要高漲，因此逐漸需要直徑10μm以下的小的圖案。另外，在觸摸面板方面，為了提高透明電極的可視性，高折射率層的必要性提高，但如果在電極配線部分存在絕緣膜，則對(duì)響應(yīng)性產(chǎn)生影響，因此必須從配線部分以100～1,000μm的寬度將絕緣層除去。用于該用途的現(xiàn)有材料在折射率這方面不充分，另外，在維持透明性的同時(shí)將其折射率提高到超過(guò)1.7困難。在這方面，上述專利文獻(xiàn)1的聚合物雖然在折射率這方面滿足要求，但在微細(xì)圖案的形成性這方面有改善的余地。再有，雖然在專利文獻(xiàn)2中公開了包含含有三嗪環(huán)的聚合物的圖案形成用組合物，但該聚合物的折射率不到1.7，不適合要求更高的折射率的上述用途?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：國(guó)際公開第2010/128661號(hào)專利文獻(xiàn)2：日本特開2004-156001號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的課題本發(fā)明鑒于上述實(shí)際情況而完成，目的在于提供可形成高折射率且透明性優(yōu)異的薄膜、并且也可形成高折射率的微細(xì)圖案的含有三嗪環(huán)的聚合物和包含其的組合物。用于解決課題的手段本發(fā)明人為了實(shí)現(xiàn)上述目的，反復(fù)進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)：通過(guò)使用在側(cè)鏈具有芳基氨基、且在構(gòu)成主鏈或側(cè)鏈的芳基上具有羧基的含有三嗪環(huán)的聚合物，可形成高折射率、透明性優(yōu)異的薄膜，并且也可形成高折射率的微細(xì)圖案，完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明提供1.含有三嗪環(huán)的聚合物，其特征在于，含有由下述式(1)表示的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)，[化1]{式中，R和R′相互獨(dú)立地表示氫原子、烷基、烷氧基、芳基、或芳烷基，Ar1表示可被烷基、烷氧基、芳基、芳烷基或羧基取代的芳基，Ar2表示選自由式(2)～(13)表示的組中的至少1種；[化2][式中，R1～R92相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、羧基、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，R93和R94表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基，W1和W2相互獨(dú)立地表示單鍵、CR95R96(R95和R96相互獨(dú)立地表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基(其中，它們可一起來(lái)形成環(huán)。)。)、C＝O、O、S、SO、SO2、或NR97(R97表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基。)，X1和X2相互獨(dú)立地表示單鍵、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基、或由式(14)[化3](式中，R98～R101相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、羧基、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，Y1和Y2相互獨(dú)立地表示單鍵或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基。)表示的基團(tuán)。其中，Ar1與Ar2的任一者或兩者中在芳環(huán)上具有至少1個(gè)羧基。]2.1的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述Ar1為用羧基取代的芳基；3.1的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述式(2)～(13)均在其中的至少1個(gè)芳環(huán)上具有至少1個(gè)羧基；4.3的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述Ar1為用烷基、烷氧基、芳基或芳烷基取代的芳基；5.1～4的任一項(xiàng)的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，還包含由下述式(1′)表示的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)；[化4]{式中，R和R′相互獨(dú)立地表示氫原子、烷基、烷氧基、芳基、或芳烷基，Ar3表示用烷基、烷氧基、芳基或芳烷基取代的芳基，Ar4表示選自由式(2′)～(13′)表示的組中的至少1種。[化5][式中，R1′～R92′相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或者碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，R93和R94表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基，W1和W2相互獨(dú)立地表示單鍵、CR95R96(R95和R96相互獨(dú)立地表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基(其中，它們可一起來(lái)形成環(huán)。)。)、C＝O、O、S、SO、SO2、或NR97(R97表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基。)，X1′和X2′相互獨(dú)立地表示單鍵、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基、或由式(14′)[化6](式中，R98′～R101′相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，Y1和Y2相互獨(dú)立地表示單鍵或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基。)表示的基團(tuán)。]}6.5的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述Ar1和Ar4為在這些Ar1和Ar4上的相對(duì)于NH基的鄰位的至少一者具有碳數(shù)1～20的烷基的芳基；7.6的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述Ar1和Ar4為在上述鄰位的兩者具有碳數(shù)1～5的烷基的苯基；8.7的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述Ar1由式(15)表示：[化7]9.1和3～8的任一項(xiàng)的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述Ar2由式(16)表示：[化8]10.9的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述Ar2由式(17)表示：[化9]11.5的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，上述Ar4由式(18)表示：[化10]12.1或5的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，還含有由下述式(1″)表示的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)：[化11]{式中，R和R′相互獨(dú)立地表示氫原子、烷基、烷氧基、芳基、或芳烷基，Ar5表示未取代的芳基，Ar4表示選自由式(2′)～(13′)表示的組中的至少1種。[化12][式中，R1′～R92′相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或者碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，R93和R94表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基，W1和W2相互獨(dú)立地表示單鍵、CR95R96(R95和R96相互獨(dú)立地表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基(其中，它們可以一起來(lái)形成環(huán)。)。)、C＝O、O、S、SO、SO2、或者NR97(R97表示氫原子或者碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基。)，X1′和X2′相互獨(dú)立地表示單鍵、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基、或者由式(14′)[化13](式中，R98′～R101′相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或者碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，Y1和Y2相互獨(dú)立地表示單鍵或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基。)表示的基團(tuán)。]}13.1～12的任一項(xiàng)的含有三嗪環(huán)的聚合物，其中，具有至少1個(gè)二胺末端，該二胺末端的至少1個(gè)用?；?、烷氧基羰基、芳烷氧基羰基或芳氧基羰基封端；14.含有三嗪系聚合物的組合物，其包含1～13的任一項(xiàng)的含有三嗪環(huán)的聚合物和有機(jī)溶劑；15.14的含有三嗪系聚合物的組合物，其中，還包含交聯(lián)劑；16.15的含有三嗪系聚合物的組合物，其中，上述交聯(lián)劑為多官能(甲基)丙烯酸系化合物；17.15或16的含有三嗪系聚合物的組合物，其用于固化膜形成或者用于圖案形成；18.使14～17的任一項(xiàng)的含有三嗪系聚合物的組合物固化而得到的固化膜；19.由15～17的任一項(xiàng)的含有三嗪系聚合物的組合物制作的圖案；20.電子器件，其具有基材、和在該基材上形成的18的固化膜；21.光學(xué)構(gòu)件，其具有基材、和在該基材上形成的18的固化膜；22.電子器件，其具有基材、和在該基材上形成的19的圖案。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，可形成高折射率、透明性優(yōu)異的薄膜，并且通過(guò)在掩蔽、曝光·固化后對(duì)其進(jìn)行堿顯影等，從而能夠形成微細(xì)圖案。由本發(fā)明的組合物制作的固化膜、微細(xì)圖案由于可發(fā)揮由交聯(lián)的含有三嗪環(huán)的聚合物產(chǎn)生的、高耐熱性、高折射率、低體積收縮這樣的特性，因此能夠優(yōu)選地在制作液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器、觸摸面板、LED元件、固體攝像元件、有機(jī)薄膜太陽(yáng)能電池、色素增感太陽(yáng)能電池、TFT、透鏡、棱鏡、照相機(jī)、雙目鏡、顯微鏡、半導(dǎo)體曝光裝置等時(shí)的一構(gòu)件等電子器件、光學(xué)材料的領(lǐng)域中利用。特別地，由本發(fā)明的組合物制作的固化膜、微細(xì)圖案由于透明性高，折射率也高，因此能夠改善ITO、銀納米線等的透明導(dǎo)電膜的可視性，能夠抑制透明導(dǎo)電膜的劣化。另外，由本發(fā)明的組合物制作的高折射率圖案能夠優(yōu)選地在以防止上述的觸摸面板等的透明電極在視覺(jué)上明顯、有機(jī)EL顯示器的光取出用途、黑矩陣用途為首的要求高折射率圖案的用途中使用。附圖說(shuō)明圖1為實(shí)施例1中得到的高分子化合物[5]的1H-NMR波譜圖。圖2為實(shí)施例2中得到的高分子化合物[7]的1H-NMR波譜圖。圖3為實(shí)施例3中得到的高分子化合物[9]的1H-NMR波譜圖。圖4為實(shí)施例4中得到的高分子化合物[11]的1H-NMR波譜圖。圖5為實(shí)施例14中得到的高分子化合物[16]的1H-NMR波譜圖。具體實(shí)施方式以下對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明。本發(fā)明涉及的含有三嗪環(huán)的聚合物含有由下述式(1)表示的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)。[化14]上述式中，R和R′相互獨(dú)立地表示氫原子、烷基、烷氧基、芳基、或芳烷基，但從進(jìn)一步提高折射率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選都為氫原子。本發(fā)明中，作為烷基的碳數(shù)，并無(wú)特別限定，優(yōu)選1～20，如果考慮進(jìn)一步提高聚合物的耐熱性，則更優(yōu)選碳數(shù)1～10，進(jìn)一步優(yōu)選1～3。另外，其結(jié)構(gòu)可以為鏈狀、分支狀、環(huán)狀的任一種。作為烷基的具體例，可列舉出甲基、乙基、正丙基、異丙基、環(huán)丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、環(huán)丁基、1-甲基-環(huán)丙基、2-甲基-環(huán)丙基、正戊基、1-甲基-正丁基、2-甲基-正丁基、3-甲基-正丁基、1,1-二甲基-正丙基、1,2-二甲基-正丙基、2,2-二甲基-正丙基、1-乙基-正丙基、環(huán)戊基、1-甲基-環(huán)丁基、2-甲基-環(huán)丁基、3-甲基-環(huán)丁基、1，2-二甲基-環(huán)丙基、2,3-二甲基-環(huán)丙基、1-乙基-環(huán)丙基、2-乙基-環(huán)丙基、正己基、1-甲基-正戊基、2-甲基-正戊基、3-甲基-正戊基、4-甲基-正戊基、1,1-二甲基-正丁基、1,2-二甲基-正丁基、1,3-二甲基-正丁基、2,2-二甲基-正丁基、2,3-二甲基-正丁基、3,3-二甲基-正丁基、1-乙基-正丁基、2-乙基-正丁基、1,1,2-三甲基-正丙基、1,2,2-三甲基-正丙基、1-乙基-1-甲基-正丙基、1-乙基-2-甲基-正丙基、環(huán)己基、1-甲基-環(huán)戊基、2-甲基-環(huán)戊基、3-甲基-環(huán)戊基、1-乙基-環(huán)丁基、2-乙基-環(huán)丁基、3-乙基-環(huán)丁基、1,2-二甲基-環(huán)丁基、1,3-二甲基-環(huán)丁基、2,2-二甲基-環(huán)丁基、2,3-二甲基-環(huán)丁基、2,4-二甲基-環(huán)丁基、3,3-二甲基-環(huán)丁基、1-正丙基-環(huán)丙基、2-正丙基-環(huán)丙基、1-異丙基-環(huán)丙基、2-異丙基-環(huán)丙基、1,2,2-三甲基-環(huán)丙基、1,2,3-三甲基-環(huán)丙基、2,2,3-三甲基-環(huán)丙基、1-乙基-2-甲基-環(huán)丙基、2-乙基-1-甲基-環(huán)丙基、2-乙基-2-甲基-環(huán)丙基、2-乙基-3-甲基-環(huán)丙基等。作為上述烷氧基的碳數(shù)，并無(wú)特別限定，但優(yōu)選1～20，如果考慮進(jìn)一步提高聚合物的耐熱性，則更優(yōu)選碳數(shù)1～10，進(jìn)一步優(yōu)選1～3。另外，其烷基部分的結(jié)構(gòu)可以為鏈狀、分支狀、環(huán)狀的任一種。作為烷氧基的具體例，可列舉出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、1-甲基-正-丁氧基、2-甲基-正-丁氧基、3-甲基-正-丁氧基、1,1-二甲基-正-丙氧基、1,2-二甲基-正-丙氧基、2,2-二甲基-正-丙氧基、1-乙基-正-丙氧基、正己氧基、1-甲基-正戊氧基、2-甲基-正戊氧基、3-甲基-正戊氧基、4-甲基-正戊氧基、1,1-二甲基-正-丁氧基、1,2-二甲基-正-丁氧基、1,3-二甲基-正-丁氧基、2,2-二甲基-正-丁氧基、2,3-二甲基-正-丁氧基、3,3-二甲基-正-丁氧基、1-乙基-正-丁氧基、2-乙基-正-丁氧基、1,1,2-三甲基-正-丙氧基、1,2,2-三甲基-正-丙氧基、1-乙基-1-甲基-正-丙氧基、1-乙基-2-甲基-正-丙氧基等。作為上述芳基的碳數(shù)，并無(wú)特別限定，但優(yōu)選6～40，如果考慮進(jìn)一步提高聚合物的耐熱性，則優(yōu)選碳數(shù)6～16，更優(yōu)選6～13。作為芳基的具體例，可列舉出苯基、鄰-氯苯基、間-氯苯基、對(duì)-氯苯基、鄰-氟苯基、對(duì)-氟苯基、鄰-甲氧基苯基、對(duì)-甲氧基苯基、對(duì)-硝基苯基、對(duì)-氰基苯基、α-萘基、β-萘基、鄰-聯(lián)苯基、間-聯(lián)苯基、對(duì)-聯(lián)苯基、1-蒽基、2-蒽基、9-蒽基、1-菲基、2-菲基、3-菲基、4-菲基、9-菲基等。作為芳烷基的碳數(shù)，并無(wú)特別限定，但優(yōu)選碳數(shù)7～20，其烷基部分可以為直鏈、分支、環(huán)狀的任一種。作為其具體例，可列舉出芐基、對(duì)-甲基苯基甲基、間-甲基苯基甲基、鄰-乙基苯基甲基、間-乙基苯基甲基、對(duì)-乙基苯基甲基、2-丙基苯基甲基、4-異丙基苯基甲基、4-異丁基苯基甲基、α-萘基甲基等。上述Ar1表示可被烷基、烷氧基、芳基、芳烷基或羧基取代的芳基，只含有由式(1)表示的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的高分子化合物的情況下，從確保含有三嗪環(huán)的聚合物對(duì)于抗蝕劑溶劑等安全性高的溶劑的溶解性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選被烷基、烷氧基、芳基或芳烷基取代的苯基。作為取代基，優(yōu)選碳數(shù)1～20的烷基，更優(yōu)選碳數(shù)1～10的烷基，進(jìn)一步優(yōu)選碳數(shù)1～5的烷基。再有，作為這些烷基、烷氧基、芳基、芳烷基，可列舉出與上述例示的基團(tuán)同樣的基團(tuán)。另外，對(duì)取代基的數(shù)目、取代位置并無(wú)特別限定，但從提高含有三嗪環(huán)的聚合物對(duì)于抗蝕劑溶劑等安全性高的溶劑的溶解性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在Ar1上的相對(duì)于NH基的間位或鄰位存在至少1個(gè)取代基，更優(yōu)選在鄰位的至少一者存在取代基，進(jìn)一步優(yōu)選在鄰位的兩者存在取代基。從這樣的觀點(diǎn)出發(fā)，作為上述Ar1，優(yōu)選在該Ar1上的相對(duì)于NH基的鄰位的至少一者具有碳數(shù)1～20的烷基的芳基，更優(yōu)選在鄰位的兩者具有碳數(shù)1～5的烷基的苯基，最優(yōu)選由式(15)表示的、在鄰位的兩者具有甲基的苯基。[化15]另一方面，Ar2表示選自由式(2)～(13)表示的組中的至少1種。[化16]上述R1～R92相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、羧基、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或者碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，R93和R94表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基，W1和W2相互獨(dú)立地表示單鍵、CR95R96(R95和R96相互獨(dú)立地表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基(其中，它們可一起來(lái)形成環(huán)。)。)、C＝O、O、S、SO、SO2、或NR97(R97表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基。)。作為鹵素原子，可列舉氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。再有，作為烷基、烷氧基，可列舉出與上述同樣的基團(tuán)。另外，X1和X2相互獨(dú)立地表示單鍵、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基、或由式(14)表示的基團(tuán)。[化17]上述R98～R101相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、羧基、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或者碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，Y1和Y2相互獨(dú)立地表示單鍵或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基。作為這些鹵素原子、烷基、烷氧基，可列舉出與上述同樣的基團(tuán)。作為碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基，可列舉出亞甲基、亞乙基、亞丙基、三亞甲基、四亞甲基、五亞甲基等。再有，本發(fā)明中，從提高得到的薄膜、固化膜對(duì)于堿顯影液的溶解性的方面出發(fā)，優(yōu)選在Ar1與Ar2的任一者或兩者中在芳環(huán)上具有至少1個(gè)羧基，從制造工序的簡(jiǎn)便性等的方面出發(fā)，優(yōu)選在Ar2的芳環(huán)上具有至少1個(gè)羧基。在Ar2的芳環(huán)上具有至少1個(gè)羧基的情況下，為式(2)～(13)均在其中的至少1個(gè)芳環(huán)上具有至少1個(gè)羧基的情形，具體地，意味著式(2)的R1～R4的至少1個(gè)為羧基，式(3)的R5～R10的至少1個(gè)為羧基，式(4)的R11～R15的至少1個(gè)為羧基，式(5)的R16～R23的至少1個(gè)為羧基，式(6)的R24～R31的至少1個(gè)為羧基，式(7)的R32～R37的至少1個(gè)為羧基，式(8)的R38～R44的至少1個(gè)為羧基，式(9)的R45～R56的至少1個(gè)為羧基，式(10)的R57～R68的至少1個(gè)為羧基，式(11)的R69～R76的至少1個(gè)為羧基(X1和/或X2為式(14)的情況下，R69～R76和R98～R101的至少1個(gè)為羧基)，式(12)的R77～R84的至少1個(gè)為羧基，式(13)的R85～R92的至少1個(gè)為羧基。另外，對(duì)羧基的數(shù)目并無(wú)特別限定，如果考慮在堿顯影液中的顯影性和對(duì)于有機(jī)溶劑的溶解性的均衡，在任一基團(tuán)中為1個(gè)是合適的。特別地，作為Ar2，優(yōu)選由式(2)、(5)～(13)表示的至少1種，更優(yōu)選由式(2)、(5)、(7)、(8)、(11)～(13)表示的至少1種。作為由上述式(2)～(13)表示的芳基的具體例，可列舉出由下述式表示的芳基，但并不限定于這些。[化18]這些中，從得到更高折射率的聚合物出發(fā)，更優(yōu)選由下述式表示的芳基。[化19]進(jìn)而，如果考慮在堿顯影液中的顯影性和對(duì)于有機(jī)溶劑的溶解性的均衡，作為Ar2，優(yōu)選由式(16)表示的基團(tuán)，更優(yōu)選由式(17)表示的基團(tuán)。[化20]本發(fā)明的含有三嗪環(huán)的聚合物可以只含有由上述式(1)表示的重復(fù)單元，但優(yōu)選在含有由式(1)表示的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的同時(shí)含有使用不具有羧基的二胺得到的由式(1′)表示的重復(fù)單元。通過(guò)制成將這樣的2種二胺并用的共聚型，從而能夠進(jìn)一步提高含有三嗪環(huán)的聚合物對(duì)于抗蝕劑溶劑等安全性高的溶劑的溶解性。[化21]式(1′)中，R和R′表示與上述相同的含義，Ar3表示用烷基、烷氧基、芳基或芳烷基取代了的芳基，Ar4表示選自由式(2′)～(13′)表示的組中的至少1種。作為上述烷基、烷氧基、芳基、芳烷基，可列舉出與上述同樣的基團(tuán)。[化22]上述R1′～R92′相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或者碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，R93和R94表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基，W1和W2相互獨(dú)立地表示單鍵、CR95R96(R95和R96相互獨(dú)立地表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基(其中，它們可一起來(lái)形成環(huán)。)。)、C＝O、O、S、SO、SO2、或NR97(R97表示氫原子或碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基。)。作為這些鹵素原子、烷基、烷氧基，可列舉出與上述同樣的基團(tuán)。另外，X1′和X2′相互獨(dú)立地表示單鍵、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的亞烷基、或由式(14′)表示的基團(tuán)。[化23]上述R98′～R101′相互獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、磺基、碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷基、或者碳數(shù)1～10的可具有分支結(jié)構(gòu)的烷氧基，Y1和Y2表示與上述相同的含義。作為這些鹵素原子、烷基、烷氧基，可列舉出與上述同樣的基團(tuán)。特別地，作為Ar4，優(yōu)選由式(2′)、(5′)～(13′)表示的至少1種，更優(yōu)選由式(2′)、(5′)、(7′)、(8′)、(11′)～(13′)表示的至少1種。作為由上述式(2′)～(13′)表示的芳基的具體例，可列舉出由下述式表示的芳基，但并不限定于這些。[化24]這些中，從得到更高折射率的聚合物出發(fā)，更優(yōu)選由下述式表示的芳基。[化25]特別地，如果考慮進(jìn)一步提高含有三嗪環(huán)的聚合物對(duì)于抗蝕劑溶劑等安全性高的溶劑的溶解性，作為Ar4，優(yōu)選由式(18)表示的間-亞苯基。[化26]制成這樣的共聚型的聚合物的情況下，對(duì)由式(1)表示的重復(fù)單元與由式(1′)表示的重復(fù)單元的含有比率并無(wú)特別限定，如果考慮堿溶解性和對(duì)于有機(jī)溶劑的溶解性的均衡，以摩爾比表示，優(yōu)選50：50～99：1左右，更優(yōu)選60：40～90：10，進(jìn)一步優(yōu)選65：35～80：20。進(jìn)而，優(yōu)選在含有由式(1)表示的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的同時(shí)含有使用不具有取代基的胺和不具有羧基的二胺得到的由式(1″)表示的重復(fù)單元。通過(guò)制成含有該重復(fù)單元結(jié)構(gòu)的聚合物，能夠抑制折射率的降低。[化27]式(1″)中，R、R′和Ar4表示與上述相同的含義，Ar5表示未取代的芳基。作為該芳基，可列舉出與上述同樣的芳基，但優(yōu)選苯基。制成這樣的共聚型的聚合物的情況下，由式(1)表示的重復(fù)單元與由式(1″)表示的重復(fù)單元的含有比率(含有羧基的二胺與不含羧基的二胺的使用比率)并無(wú)特別限定，如果考慮堿溶解性和對(duì)于有機(jī)溶劑的溶解性的均衡以及折射率，用摩爾比表示，優(yōu)選50：50～99：1左右，更優(yōu)選60：40～90：10，進(jìn)一步優(yōu)選65：35～80：20。另外，制成含有由式(1)表示的重復(fù)單元、由式(1′)表示的重復(fù)單元和由式(1″)表示的重復(fù)單元的3成分共聚型的聚合物的情況下，對(duì)由式(1)表示的重復(fù)單元、由式(1′)表示的重復(fù)單元、和由式(1″)表示的重復(fù)單元的含有比率并無(wú)特別限定，如果考慮堿溶解性和對(duì)于有機(jī)溶劑的溶解性的均衡、以及折射率，用摩爾比表示，優(yōu)選50：10：40～98：1：1左右，更優(yōu)選60：10：30～90：5：5，進(jìn)一步優(yōu)選65：5：30～90：5：5。本發(fā)明中，作為特別優(yōu)選的含有三嗪環(huán)的聚合物，可列舉出由式(19)～(34)表示的聚合物。[化28](式中，R、R′、R1～R3和R1′～R4′表示與上述相同的含義，R102和R103相互獨(dú)立地表示碳數(shù)1～5的烷基，作為該烷基的具體例，可列舉出上述例示的烷基中碳數(shù)1～5的基團(tuán)。)[化29](式中，R、R′、R1～R3、R1′～R4′、R102和R103表示與上述相同的含義。)[化30](式中，R、R′、R1～R3和R1′～R4′表示與上述相同的含義。)[化31][化32](式中，R、R′、R1～R4和R1′～R4′表示與上述相同的含義，R102和R103相互獨(dú)立地表示碳數(shù)1～5的烷基，作為該烷基的具體例，可列舉出上述例示的烷基中碳數(shù)1～5的基團(tuán)。)[化33](式中，R、R′、R1～R4、R1′～R4′、R102和R103表示與上述相同的含義。)[化34](式中，R、R′、R1～R4和R1′～R4′表示與上述相同的含義。)[化35][化36](式中，R、R′、R1～R3和R1′～R4′表示與上述相同的含義，R102和R103相互獨(dú)立地表示碳數(shù)1～5的烷基，作為該烷基的具體例，可列舉出上述例示的烷基中碳數(shù)1～5的基團(tuán)。)[化37](式中，R、R′、R1～R3、R1′～R4′、R102和R103表示與上述相同的含義。)[化38](式中，R、R′、R1～R3和R1′～R4′表示與上述相同的含義。)[化39][化40](式中，R、R′、R1～R4和R1′～R4′表示與上述相同的含義，R102和R103相互獨(dú)立地表示碳數(shù)1～5的烷基，作為該烷基的具體例，可列舉出上述例示的烷基中碳數(shù)1～5的基團(tuán)。)[化41](式中，R、R′、R1～R4、R1′～R4′、R102和R103表示與上述相同的含義。)[化42](式中，R、R′、R1～R4和R1′～R4′表示與上述相同的含義。)[化43]對(duì)本發(fā)明中的聚合物的重均分子量(Mw)并無(wú)特別限定，但優(yōu)選500～500,000，更優(yōu)選500～100,000，從進(jìn)一步提高耐熱性、并且降低收縮率的方面出發(fā)，優(yōu)選2,000以上，從進(jìn)一步提高溶解性、降低得到的溶液的粘度的方面出發(fā)，優(yōu)選50,000以下，更優(yōu)選30,000以下，進(jìn)一步優(yōu)選10,000以下。應(yīng)予說(shuō)明，本發(fā)明中的Mw是采用凝膠滲透色譜法(以下稱為GPC)分析的由標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯換算得到的平均分子量。本發(fā)明的含有三嗪環(huán)的聚合物能夠采用上述的專利文獻(xiàn)1中公開的方法制造。例如，如下述合成路線1中所示那樣，含有三嗪環(huán)的聚合物(22)可以通過(guò)在適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑中使三嗪化合物(27)和芳基氨基化合物(28)反應(yīng)后，在適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑中使其與具有羧基的芳基二氨基化合物(29)和不具有羧基的芳基二氨基化合物(30)反應(yīng)而得到。[化44]合成路線1(式中，X相互獨(dú)立地表示鹵素原子。)在上述第1階段的反應(yīng)中，作為各原料的進(jìn)料量，并無(wú)特別限定，相對(duì)于三嗪化合物(27)1當(dāng)量，優(yōu)選芳基氨基化合物(28)1當(dāng)量。反應(yīng)溫度可在從使用的溶劑的熔點(diǎn)至溶劑的沸點(diǎn)的范圍內(nèi)適宜地設(shè)定，特別地，優(yōu)選-30～50℃左右，更優(yōu)選-10～30℃。各成分的配合順序是任意的，但優(yōu)選在包含三嗪化合物(27)和有機(jī)溶劑的溶液中加入芳基氨基化合物(28)的方法。芳基氨基化合物(28)可以純粹地加入，也可以以溶解于有機(jī)溶劑中的溶液加入，如果考慮操作的容易性、反應(yīng)的控制的容易性等，優(yōu)選后者的手法。另外，添加可通過(guò)滴入等慢慢地加入，也可將全部量一次性地加入。在上述第2階段的反應(yīng)中，只要獲得目標(biāo)的聚合物，芳基二氨基化合物(29)和(30)的進(jìn)料比是任意，相對(duì)于三嗪化合物(27)1當(dāng)量，作為芳基二氨基化合物(29)和(30)的總量，優(yōu)選0.01～10當(dāng)量，更優(yōu)選1～5當(dāng)量。具有羧基的芳基二氨基化合物(29)和不具有羧基的芳基二氨基化合物(30)的進(jìn)料比如上述那樣，以摩爾比表示，優(yōu)選芳基二氨基化合物(29)：芳基二氨基化合物(30)＝50：50～99：1左右，更優(yōu)選60：40～90：10，進(jìn)一步優(yōu)選65：35～80：20。芳基二氨基化合物(29)和(30)可以純粹地加入，也可以以溶解于有機(jī)溶劑中的溶液加入，如果考慮操作的容易性、反應(yīng)的控制的容易性等，優(yōu)選后者的手法。反應(yīng)溫度可在從使用的溶劑的熔點(diǎn)至溶劑的沸點(diǎn)的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定，特別地，優(yōu)選-30～150℃左右，更優(yōu)選-10～100℃。作為有機(jī)溶劑，能夠使用這種反應(yīng)中通常使用的各種溶劑，例如可列舉出四氫呋喃(THF)、二噁烷、二甲基亞砜(DMSO)；N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、四甲基脲、六甲基磷酸三酰胺、N,N-二甲基乙酰胺(DMAc)、N-甲基-2-哌啶酮、N,N-二甲基亞乙基脲、N,N,N′,N′-四甲基丙二酰胺、N-甲基己內(nèi)酰胺、N-乙酰基吡咯烷、N,N-二乙基乙酰胺、N-乙基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基丙酰胺、N,N-二甲基異丁酰胺、N-甲基甲酰胺、N,N′-二甲基亞丙基脲等酰胺系溶劑、和它們的混合溶劑。其中優(yōu)選DMF、DMSO、NMP、DMAc、和它們的混合溶劑，特別優(yōu)選DMAc、NMP。另外，在上述合成路線1的反應(yīng)中，在聚合時(shí)或聚合后可添加通常使用的各種堿。作為該堿的具體例，可列舉出碳酸鉀、氫氧化鉀、碳酸鈉、氫氧化鈉、碳酸氫鈉、乙醇鈉、醋酸鈉、碳酸鋰、氫氧化鋰、氧化鋰、醋酸鉀、氧化鎂、氧化鈣、氫氧化鋇、磷酸三鋰、磷酸三鈉、磷酸三鉀、氟化銫、氧化鋁、氨、正丙胺、三甲胺、三乙胺、二異丙胺、二異丙基乙基胺、N-甲基哌啶、2,2,6,6-四甲基-N-甲基哌啶、吡啶、4-二甲基氨基吡啶、N-甲基嗎啉等。堿的添加量，相對(duì)于三嗪化合物(27)1當(dāng)量，優(yōu)選1～100當(dāng)量，更優(yōu)選1～10當(dāng)量。再有，這些堿可制成水溶液而使用。優(yōu)選在得到的聚合物中沒(méi)有殘存原料成分，但只要不損害本發(fā)明的效果，也可殘存一部分的原料。反應(yīng)結(jié)束后，生成物能夠采用再沉法等容易地精制。再有，制造在側(cè)鏈具有羧基的含有三嗪環(huán)的聚合物的情況下，在第1階段的反應(yīng)中，可以優(yōu)選地以芳基二氨基化合物(29)和芳基二氨基化合物(30)的使用比率使用具有羧基的芳基氨基化合物和不具有羧基的芳基氨基化合物，并且在第2階段的反應(yīng)中只使用不具有羧基的二氨基化合物即可，其他的反應(yīng)條件等與上述相同。再有，本發(fā)明的含有三嗪環(huán)的聚合物優(yōu)選具有至少1個(gè)二胺末端，該二胺末端的至少1個(gè)用?；⑼檠趸驶?、芳烷氧基羰基或芳氧基羰基等含有羰基的基團(tuán)封端。通過(guò)這樣用含有羰基的基團(tuán)進(jìn)行封端，從而能夠抑制含有三嗪環(huán)的聚合物的著色。作為?；木唧w例，可列舉出乙酰基、乙基羰基、丙烯?；⒓谆；?、苯甲?；?。作為烷氧基羰基的具體例，可列舉出甲氧基羰基、乙氧基羰基、叔丁氧基羰基等。作為芳烷氧基羰基的具體例，可列舉出芐氧基羰基等。作為芳氧基羰基的具體例，可列舉出苯氧基羰基等。這些中，作為封端基，優(yōu)選?；绻紤]試劑的獲得容易性等，更優(yōu)選丙烯?；?、甲基丙烯?；⒁阴；?。作為封端方法，可采用公知的方法，例如，可以用作為給予封端基的封端劑的、酰鹵、酸酐等對(duì)采用上述的手法得到的含有三嗪環(huán)的聚合物(22)進(jìn)行處理。這種情況下，封端劑的使用量，相對(duì)于聚合反應(yīng)中沒(méi)有使用的剩余的來(lái)自二氨基化合物的氨基1當(dāng)量，優(yōu)選0.05～10當(dāng)量左右，更優(yōu)選0.1～5當(dāng)量，進(jìn)一步優(yōu)選0.5～2當(dāng)量。上述的本發(fā)明的含有三嗪環(huán)的聚合物可以優(yōu)選地與交聯(lián)劑一起作為膜形成用組合物、圖案形成用組合物使用。作為交聯(lián)劑，只要是具有可與上述的含有三嗪環(huán)的聚合物反應(yīng)的取代基的化合物，則并無(wú)特別限定。作為這樣的化合物，可列舉出具有羥甲基、甲氧基甲基等交聯(lián)形成取代基的三聚氰胺系化合物、取代脲系化合物、含有環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基等交聯(lián)形成取代基的化合物、含有封端化異氰酸酯的化合物、具有酸酐的化合物、具有(甲基)丙烯?；幕衔铩⒎尤┧芰匣衔锏?，從耐熱性、保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含有環(huán)氧基、封端異氰酸酯基、(甲基)丙烯?；幕衔铮貏e優(yōu)選具有封端異氰酸酯基的化合物、給予即使不使用引發(fā)劑也可光固化的組合物的多官能環(huán)氧化合物和/或多官能(甲基)丙烯酸系化合物。再有，這些化合物在用于聚合物的末端處理的情況下，可具有至少1個(gè)交聯(lián)形成取代基，在用于聚合物之間的交聯(lián)處理的情況下，必需具有至少2個(gè)交聯(lián)形成取代基。作為多官能環(huán)氧化合物，只要是在一分子中具有2個(gè)以上的環(huán)氧基的多官能環(huán)氧化合物，則并無(wú)特別限定。作為其具體例，可列舉出異氰脲酸三(2,3-環(huán)氧丙基)酯、1,4-丁二醇二縮水甘油基醚、1,2-環(huán)氧-4-(環(huán)氧乙基)環(huán)己烷、甘油三縮水甘油基醚、二甘醇二縮水甘油基醚、2,6-二縮水甘油基苯基縮水甘油基醚、1,1,3-三[對(duì)-(2,3-環(huán)氧丙氧基)苯基]丙烷、1,2-環(huán)己烷二羧酸二縮水甘油酯、4,4′-亞甲基雙(N,N-二縮水甘油基苯胺)、3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3,4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、三羥甲基乙烷三縮水甘油基醚、雙酚A二縮水甘油基醚、季戊四醇多縮水甘油基醚等。另外，作為市售品，也能夠使用作為具有至少2個(gè)環(huán)氧基的環(huán)氧樹脂的、YH-434、YH434L(東都化成(株)制造)；作為具有氧化環(huán)己烯結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂的、EpoleadGT-401、GT-403、GT-301、GT-302、Celloxide2021、3000(大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制造)；作為雙酚A型環(huán)氧樹脂的、Epikote(現(xiàn)為jER)1001、1002、1003、1004、1007、1009、1010、828(以上為日本環(huán)氧樹脂(株)制造)；作為雙酚F型環(huán)氧樹脂的、Epikote(現(xiàn)為jER)807(日本環(huán)氧樹脂(株)制造)；作為苯酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂的、Epikote(現(xiàn)為jER)152、154(以上為日本環(huán)氧樹脂(株)制造)、EPPN201、202(以上為日本化藥(株)制造)；作為甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂的、EOCN-102、103S、104S、1020、1025、1027(以上為日本化藥(株)制造)、Epikote(現(xiàn)為jER)180S75(日本環(huán)氧樹脂(株)制造)；作為脂環(huán)式環(huán)氧樹脂的、DenacolEX-252(NagaseChemteXCorporation制造)、CY175、CY177、CY179(以上為CIBA-GEIGYA.G制造)、AralditeCY-182、CY-192、CY-184(以上為CIBA-GEIGYA.G制造)、EPICLON200、400(以上為DICCorporation制造)、Epikote(現(xiàn)為jER)871、872(以上為日本環(huán)氧樹脂(株)制造)、ED-5661、ED-5662(以上為塞拉尼斯涂料(株)制造)；作為脂肪族多縮水甘油基醚的、DenacolEX-611、EX-612、EX-614、EX-622、EX-411、EX-512、EX-522、EX-421、EX-313、EX-314、EX-321(NagaseChemteXCorporation制造)等。作為多官能(甲基)丙烯酸系化合物，只要是在一分子中具有2個(gè)以上的(甲基)丙烯?；亩喙倌?甲基)丙烯酸系化合物，則并無(wú)特別限定。作為其具體例，可列舉出乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A二丙烯酸酯、乙氧基化雙酚A二甲基丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、乙氧基化甘油三丙烯酸酯、乙氧基化甘油三甲基丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化季戊四醇四甲基丙烯酸酯、乙氧基化二季戊四醇六丙烯酸酯、聚甘油單環(huán)氧乙烷多丙烯酸酯、聚甘油聚乙二醇多丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三環(huán)癸烷二甲醇二丙烯酸酯、三環(huán)癸烷二甲醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、多元酸改性丙烯酸系低聚物等。另外，多官能(甲基)丙烯酸系化合物可作為市售品獲得，作為其具體例，可列舉出NKEsterA-200、NKEsterA-400、NKEsterA-600、NKEsterA-1000、NKEsterA-9300(異氰脲酸三(2-丙烯酰氧基乙基)酯)、NKEsterA-9300-1CL、NKEsterA-TMPT、NKEsterUA-53H、NKEster1G、NKEster2G、NKEster3G、NKEster4G、NKEster9G、NKEster14G、NKEster23G、NKEsterABE-300、NKEsterA-BPE-4、NKEsterA-BPE-6、NKEsterA-BPE-10、NKEsterA-BPE-20、NKEsterA-BPE-30、NKEsterBPE-80N、NKEsterBPE-100N、NKEsterBPE-200、NKEsterBPE-500、NKEsterBPE-900、NKEsterBPE-1300N、NKEsterA-GLY-3E、NKEsterA-GLY-9E、NKEsterA-GLY-20E、NKEsterA-TMPT-3EO、NKEsterA-TMPT-9EO、NKEsterAT-20E、NKEsterATM-4E、NKEsterATM-35E(以上為新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、KAYARAD(注冊(cè)商標(biāo))DPEA-12、KAYARADPEG400DA、KAYARADTHE-330、KAYARADRP-1040(以上為日本化藥(株)制造)、ARONIX(注冊(cè)商標(biāo))M-210、M-350(以上為東亞合成(株)制造)、KAYARADDPHA、KAYARADNPGDA、KAYARADPET30(以上為日本化藥(株)制造)、NKEsterA-DPH、NKEsterA-TMPT、NKEsterA-DCP、NKEsterA-HD-N、NKEsterTMPT、NKEsterDCP、NKEsterNPG、NKEsterHD-N(以上為新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、NKOligoU-15HA(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、NKPolymerVanaresinGH-1203(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)、DN-0075(日本化藥(株)制造)等。上述多元酸改性丙烯酸系低聚物也可作為市售品獲得，作為其具體例，可列舉出ARONIXM-510、520(以上為東亞合成(株)制造)等。作為酸酐化合物，只要是使2分子的羧酸脫水縮合而成的羧酸酐，則并無(wú)特別限定，作為其具體例，可列舉出鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸酐、甲基六氫鄰苯二甲酸酐、納迪克酸酐、甲基納迪克酸酐、馬來(lái)酸酐、琥珀酸酐、辛基琥珀酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐等在分子內(nèi)具有1個(gè)酸酐基的酸酐化合物；1,2,3,4-環(huán)丁烷四羧酸二酐、均苯四甲酸酐、3,4-二羧基-1,2,3,4-四氫-1-萘琥珀酸二酐、雙環(huán)[3.3.0]辛烷-2,4,6,8-四羧酸二酐、5-(2,5-二氧代四氫-3-呋喃基)-3-甲基-3-環(huán)己烯-1,2-二羧酸酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐、3,3′,4,4′-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3′,4,4′-聯(lián)苯四羧酸二酐、2,2-雙(3,4-二羧基苯基)六氟丙烷二酐、1,3-二甲基-1,2,3,4-環(huán)丁烷四羧酸二酐等在分子內(nèi)具有2個(gè)酸酐基的酸酐化合物等。作為含有封端化異氰酸酯的化合物，只要是在一分子中具有2個(gè)以上異氰酸酯基(-NCO)被適當(dāng)?shù)谋Ｗo(hù)基封端了的封端化異氰酸酯基，如果暴露于熱固化時(shí)的高溫，則保護(hù)基(封端部分)熱解離而脫離，生成的異氰酸酯基在與樹脂之間發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)，則并無(wú)特別限定，例如可列舉出在一分子中具有2個(gè)以上由下述式表示的基團(tuán)(應(yīng)予說(shuō)明，這些基團(tuán)可以相同，也可彼此不同)的化合物。[化45](式中，Rb表示封端部的有機(jī)基團(tuán)。)這樣的化合物例如可以通過(guò)使適當(dāng)?shù)姆舛藙┡c在一分子中具有2個(gè)以上的異氰酸酯基的化合物反應(yīng)而得到。作為在一分子中具有2個(gè)以上的異氰酸酯基的化合物，例如可列舉出異佛爾酮二異氰酸酯、1,6-六亞甲基二異氰酸酯、亞甲基雙(4-環(huán)己基異氰酸酯)、三甲基六亞甲基二異氰酸酯的多異氰酸酯、它們的二聚體、三聚體、以及它們與二醇類、三醇類、二胺類、或三胺類的反應(yīng)物等。作為封端劑，例如可列舉出甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-乙氧基己醇、2-N,N-二甲基氨基乙醇、2-乙氧基乙醇、環(huán)己醇等醇類；苯酚、鄰-硝基苯酚、對(duì)-氯苯酚、鄰-、間-或?qū)?甲酚等酚類；ε-己內(nèi)酰胺等內(nèi)酰胺類、丙酮肟、甲乙酮肟、甲基異丁基酮肟、環(huán)己酮肟、苯乙酮肟、二苯甲酮肟等肟類；吡唑、3,5-二甲基吡唑、3-甲基吡唑等吡唑類；十二烷硫醇、苯硫酚等硫醇類等。含有封端化異氰酸酯的化合物也可作為市售品獲得，作為其具體例，可列舉出B-830、B-815N、B-842N、B-870N、B-874N、B-882N、B-7005、B-7030、B-7075、B-5010(以上為MitsuiChemicalsPolyurethanes,Inc.制造)、Duranate(注冊(cè)商標(biāo))17B-60PX、DuranateTPA-B80E、DuranateMF-B60X、DuranateMF-K60X、DuranateE402-B80T(以上為旭化成化學(xué)(株)制造)、KarenzMOI-BM(注冊(cè)商標(biāo))(以上為昭和電工(株)制造)等。作為氨基塑料化合物，只要在一分子中具有2個(gè)以上甲氧基亞甲基的化合物，則并無(wú)特別限定，例如可列舉出六甲氧基甲基三聚氰胺CYMEL(注冊(cè)商標(biāo))303、四丁氧基甲基甘脲CYMEL1170、四甲氧基甲基苯并胍胺CYMEL1123(以上為NihonCytecIndustries,Inc.制造)等CYMEL系列、作為甲基化三聚氰胺樹脂的Nikalac(注冊(cè)商標(biāo))MW-30HM、NikalacMW-390、NikalacMW-100LM、NikalacMX-750LM、作為甲基化脲醛樹脂的NikalacMX-270、NikalacMX-280、NikalacMX-290(以上為SanwaChemicalCo.,Ltd.制造)等Nikalac系列等三聚氰胺系化合物。作為氧雜環(huán)丁烷化合物，只要是在一分子中具有2個(gè)以上氧雜環(huán)丁基的化合物，則并無(wú)特別限定，例如可列舉出含有氧雜環(huán)丁基的OXT-221、OX-SQ-H、OX-SC(以上為東亞合成(株)制造)等。酚醛塑料化合物在一分子中具有2個(gè)以上的羥基亞甲基，而且如果暴露于熱固化時(shí)的高溫，則在與本發(fā)明的聚合物之間通過(guò)脫水縮合反應(yīng)而進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)。作為酚醛塑料化合物，例如可列舉出2,6-二羥基甲基-4-甲基苯酚、2,4-二羥基甲基-6-甲基苯酚、雙(2-羥基-3-羥基甲基-5-甲基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3-羥基甲基-5-甲基苯基)甲烷、2,2-雙(4-羥基-3,5-二羥基甲基苯基)丙烷、雙(3-甲酰基-4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)甲酰基甲烷、α,α-雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-4-甲?；妆降取７尤┧芰匣衔镆部勺鳛槭惺燮帆@得，作為其具體例，可列舉出26DMPC、46DMOC、DM-BIPC-F、DM-BIOC-F、TM-BIP-A、BISA-F、BI25X-DF、BI25X-TPA(以上為旭有機(jī)材工業(yè)(株)制造)等。這些中，從可抑制交聯(lián)劑配合引起的折射率降低、并且固化反應(yīng)迅速地進(jìn)行的方面出發(fā)，優(yōu)選多官能(甲基)丙烯酸系化合物，其中，從與含有三嗪環(huán)的聚合物的相容性優(yōu)異出發(fā)，更優(yōu)選下述具有異氰脲酸骨架的多官能(甲基)丙烯酸系化合物。作為具有這樣的骨架的多官能(甲基)丙烯酸系化合物，例如可列舉出NKEsterA-9300、NKEsterA-9300-1CL(均為新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)。[化46](式中，R111～R113相互獨(dú)立地為在末端具有至少1個(gè)(甲基)丙烯?；囊粌r(jià)的有機(jī)基團(tuán)。)另外，從進(jìn)一步提高固化速度、并且提高得到的固化膜的耐溶劑性、耐酸性和耐堿性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選將25℃下為液體、并且其粘度為5,000mPa·s以下、優(yōu)選地1～3,000mPa·s、更優(yōu)選地1～1,000mPa·s、進(jìn)一步優(yōu)選地1～500mPa·s的多官能(甲基)丙烯酸系化合物(以下稱為低粘度交聯(lián)劑)單獨(dú)地或者將2種以上組合使用，或者，與上述具有異氰脲酸骨架的多官能(甲基)丙烯酸系化合物組合使用。這樣的低粘度交聯(lián)劑可作為市售品獲得，例如在上述的多官能(甲基)丙烯酸系化合物中，可列舉出NKEsterA-GLY-3E(85mPa·s，25℃)、NKEsterA-GLY-9E(95mPa·s，25℃)、NKEsterA-GLY-20E(200mPa·s，25℃)、NKEsterA-TMPT-3EO(60mPa·s，25℃)、NKEsterA-TMPT-9EO、NKEsterATM-4E(150mPa·s，25℃)、NKEsterATM-35E(350mPa·s，25℃)(以上為新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)等(甲基)丙烯?；g的鏈長(zhǎng)比較長(zhǎng)的交聯(lián)劑。進(jìn)而，如果考慮也使得到的固化膜的耐堿性提高，則優(yōu)選將NKEsterA-GLY-20E(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)和NKEsterATM-35E(新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)中的至少一者與上述具有異氰脲酸骨架的多官能(甲基)丙烯酸系化合物組合使用。另外，將由本發(fā)明的含有三嗪環(huán)的聚合物制成的薄膜層疊于PET、聚烯烴膜等保護(hù)膜，經(jīng)由保護(hù)膜進(jìn)行光照射的情況下，即使在薄膜層疊膜中也能夠不受氧阻礙地獲得良好的固化性。這種情況下，保護(hù)膜由于需要在固化后剝離，因此優(yōu)選使用給予剝離性良好的薄膜的多元酸改性丙烯酸系低聚物。上述的交聯(lián)劑可單獨(dú)使用，也可將2種以上組合使用。交聯(lián)劑的使用量，相對(duì)于含有三嗪環(huán)的聚合物100質(zhì)量份，優(yōu)選1～100質(zhì)量份，如果考慮耐溶劑性，其下限優(yōu)選為2質(zhì)量份，更優(yōu)選為5質(zhì)量份，進(jìn)而，如果考慮控制折射率，則其上限優(yōu)選為20質(zhì)量份，更優(yōu)選為15質(zhì)量份。在本發(fā)明的組合物中也能夠配合與各自的交聯(lián)劑相符的引發(fā)劑。再有，如上述那樣，使用多官能環(huán)氧化合物和/或多官能(甲基)丙烯酸系化合物作為交聯(lián)劑的情況下，即使不使用引發(fā)劑，光固化也進(jìn)行，給予固化膜，但在這種情況下也可使用引發(fā)劑。使用多官能環(huán)氧化合物作為交聯(lián)劑的情況下，能夠使用光致產(chǎn)酸劑、光致產(chǎn)堿劑。作為光致產(chǎn)酸劑，可從公知的光致產(chǎn)酸劑中適當(dāng)?shù)剡x擇使用，例如能夠使用重氮鹽、锍鹽、碘鎓鹽等鎓鹽衍生物。作為其具體例，可列舉出苯基重氮六氟磷酸鹽、4-甲氧基苯基重氮六氟銻酸鹽、4-甲基苯基重氮六氟磷酸鹽等芳基重氮鹽；二苯基碘鎓六氟銻酸鹽、二(4-甲基苯基)碘鎓六氟磷酸鹽、二(4-叔丁基苯基)碘鎓六氟磷酸鹽等二芳基碘鎓鹽；三苯基锍六氟銻酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍六氟磷酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟磷酸鹽、4,4′-雙(二苯基锍)苯基硫醚-雙六氟銻酸鹽、4,4′-雙(二苯基锍)苯基硫醚-雙六氟磷酸鹽、4,4′-雙[二(β-羥基乙氧基)苯基锍]苯基硫醚-雙六氟銻酸鹽、4,4′-雙[二(β-羥基乙氧基)苯基锍]苯基硫醚-雙-六氟磷酸鹽、4-[4′-(苯甲?；?苯硫基]苯基-二(4-氟苯基)锍六氟銻酸鹽、4-[4′-(苯甲?；?苯硫基]苯基-二(4-氟苯基)锍六氟磷酸鹽等三芳基锍鹽等。這些鎓鹽可使用市售品，作為其具體例，可列舉出San-AidSI-60、SI-80、SI-100、SI-60L、SI-80L、SI-100L、SI-L145、SI-L150、SI-L160、SI-L110、SI-L147(以上為三新化學(xué)工業(yè)(株)制造)、UVI-6950、UVI-6970、UVI-6974、UVI-6990、UVI-6992(以上為UnionCarbide公司制造)、CPI-100P、CPI-100A、CPI-200K、CPI-200S(以上為San-AproLtd.制造)、AdekaOptomerSP-150、SP-151、SP-170、SP-171(以上為旭電化工業(yè)(株)制造)、Irgacure261(BASF公司制造)、CI-2481、CI-2624、CI-2639、CI-2064(以上為日本曹達(dá)(株)制造)、CD-1010、CD-1011、CD-1012(以上為SartomerCompany制造)、DS-100、DS-101、DAM-101、DAM-102、DAM-105、DAM-201、DSM-301、NAI-100、NAI-101、NAI-105、NAI-106、SI-100、SI-101、SI-105、SI-106、PI-105、NDI-105、BENZOINTOSYLATE、MBZ-101、MBZ-301、PYR-100、PYR-200、DNB-101、NB-101、NB-201、BBI-101、BBI-102、BBI-103、BBI-109(以上為MidoriKagakuCo.,Ltd.制造)、PCI-061T、PCI-062T、PCI-020T、PCI-022T(以上為日本化藥(株)制造)、IBPF、IBCF(SanwaChemicalCo.,Ltd.制造)等。另一方面，作為光致產(chǎn)堿劑，也可從公知的光致產(chǎn)堿劑中適當(dāng)?shù)剡x擇使用，例如能夠使用Co-胺絡(luò)合物系、肟羧酸酯系、氨基甲酸酯系、季銨鹽系光致產(chǎn)堿劑等。作為其具體例，可列舉出2-硝基芐基環(huán)己基氨基甲酸酯、三苯基甲醇、O-氨基甲?；u胺、O-氨基甲?；?、[[(2,6-二硝基芐基)氧]羰基]環(huán)己胺、雙[[(2-硝基芐基)氧]羰基]己烷-1,6-二胺、4-(甲硫基苯甲?；?-1-甲基-1-嗎啉代乙烷、(4-嗎啉代苯甲?；?-1-芐基-1-二甲基氨基丙烷、N-(2-硝基芐氧基羰基)吡咯烷、六氨合鈷(III)三(三苯基甲基硼酸酯)、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮、2,6-二甲基-3,5-二乙?；?4-(2′-硝基苯基)-1,4-二氫吡啶、2,6-二甲基-3,5-二乙酰基-4-(2′,4′-二硝基苯基)-1,4-二氫吡啶等。另外，光致產(chǎn)堿劑可使用市售品，作為其具體例，可列舉出TPS-OH、NBC-101、ANC-101(均為制品名、MidoriKagakuCo.,Ltd.制造)等。使用光致產(chǎn)酸劑或光致產(chǎn)堿劑的情況下，相對(duì)于多官能環(huán)氧化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選在0.1～15質(zhì)量份的范圍內(nèi)使用，更優(yōu)選為1～10質(zhì)量份的范圍。再有，根據(jù)需要，相對(duì)于多官能環(huán)氧化合物100質(zhì)量份，可以以1～100質(zhì)量份的量配合環(huán)氧樹脂固化劑。另一方面，使用多官能(甲基)丙烯酸系化合物的情況下，能夠使用光自由基聚合引發(fā)劑。作為光自由基聚合引發(fā)劑，可從公知的光自由基聚合引發(fā)劑中適當(dāng)?shù)剡x擇使用，例如可列舉出苯乙酮類、二苯甲酮類、米蚩酮的苯甲酰苯甲酸酯、amyloxime酯、肟酯類、一硫化四甲基秋蘭姆和噻噸酮類等。特別優(yōu)選光開裂型的光自由基聚合引發(fā)劑。對(duì)于光開裂型的光自由基聚合引發(fā)劑，記載于最新UV固化技術(shù)(159頁(yè)、發(fā)行人：高薄一弘、發(fā)行所：(株)技術(shù)情報(bào)協(xié)會(huì)、1991年發(fā)行)。作為市售的光自由基聚合引發(fā)劑，例如可列舉出BASF公司制商品名：Irgacure127、184、369、379、379EG、651、500、754、819、903、907、784、2959、CGI1700、CGI1750、CGI1850、CG24-61、OXE01、OXE02、Darocur1116、1173、MBF、BASF公司制商品名：LucirinTPO、UCB公司制商品名：UvecrylP36、FratelliLambertiCompany制商品名：EsacureKIP150、KIP65LT、KIP100F、KT37、KT55、KTO46、KIP75/B等。使用光自由基聚合引發(fā)劑的情況下，相對(duì)于多官能(甲基)丙烯酸酯化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選以0.1～200質(zhì)量份的范圍使用，更優(yōu)選以1～150質(zhì)量份的范圍使用。優(yōu)選在本發(fā)明的組合物中添加各種溶劑，使含有三嗪環(huán)的聚合物溶解而使用。作為溶劑，例如可列舉出水、甲苯、對(duì)二甲苯、鄰二甲苯、間二甲苯、乙基苯、苯乙烯、乙二醇二甲基醚、丙二醇單甲基醚(PGME)、乙二醇單甲基醚、丙二醇、丙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單異丙基醚、乙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯(PGMEA)、乙二醇乙基醚乙酸酯、二甘醇二甲基醚、丙二醇單丁基醚、乙二醇單丁基醚、二甘醇二乙基醚、二丙二醇單甲基醚、二甘醇單甲基醚、二丙二醇單乙基醚、二甘醇單乙基醚、三甘醇二甲基醚、二甘醇單乙基醚乙酸酯、二甘醇、1-辛醇、乙二醇、己二醇、1,3-丙二醇、1-甲氧基-2-丁醇、環(huán)己醇、雙丙酮醇、糠醇、四氫糠醇、丙二醇、芐醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、2,3-丁二醇、γ-丁內(nèi)酯、丙酮、甲乙酮、甲基異丙基酮、二乙基酮、甲基異丁基酮、甲基正丁基酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮(CHN)、醋酸乙酯、醋酸異丙酯、醋酸正丙酯、醋酸異丁酯、醋酸正丁酯、乳酸乙酯、甲醇、乙醇、2-丙醇、叔丁醇、烯丙醇、1-丙醇、2-甲基-2-丁醇、異丁醇、1-丁醇、2-甲基-1-丁醇、1-戊醇、2-甲基-1-戊醇、2-乙基己醇、1-甲氧基-2-丙醇、THF、1,4-二噁烷、DMF、DMAc、NMP、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、DMSO、N-環(huán)己基-2-吡咯烷酮等，這些可單獨(dú)使用，也可將2種以上混合使用。此時(shí)，組合物中的固體成分濃度，只要是不對(duì)保存穩(wěn)定性產(chǎn)生影響的范圍，則并無(wú)特別限定，可根據(jù)目標(biāo)的膜的厚度適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。具體地，從溶解性和保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選固體成分濃度0.1～50質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.1～40質(zhì)量％。在本發(fā)明的組合物中，只要不損害本發(fā)明的效果，則可包含含有三嗪環(huán)的聚合物、交聯(lián)劑和溶劑以外的其他成分，例如流平劑、表面活性劑、硅烷偶聯(lián)劑、無(wú)機(jī)微粒等添加劑。作為表面活性劑，例如可列舉出聚氧乙烯十二烷基醚、聚氧乙烯十八烷基醚、聚氧乙烯十六烷基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚類；聚氧乙烯辛基酚醚、聚氧乙烯壬基酚醚等聚氧乙烯烷基烯丙基醚類；聚氧乙烯·聚氧丙烯嵌段共聚物類；山梨糖醇酐單月桂酸酯、山梨糖醇酐單棕櫚酸酯、山梨糖醇酐單硬脂酸酯、山梨糖醇酐單油酸酯、山梨糖醇酐三油酸酯、山梨糖醇酐三硬脂酸酯等山梨糖醇酐脂肪酸酯類；聚氧乙烯山梨糖醇酐單月桂酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐單棕櫚酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐單硬脂酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐三油酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇酐三硬脂酸酯等聚氧乙烯山梨糖醇酐脂肪酸酯類等非離子系表面活性劑、商品名EftopEF301、EF303、EF352(三菱綜合材料電子化成(株)制造(原JemcoInc.制造))、商品名MegafacF171、F173、R-08、R-30、R-40、F-553、F-554、RS-75、RS-72-K(DICCorporation制造)、FluoradFC430、FC431(住友3M(株)制造)、商品名AsahiGuardAG710、SurflonS-382、SC101、SC102、SC103、SC104、SC105、SC106(旭硝子(株)制造)等氟系表面活性劑、有機(jī)硅氧烷聚合物KP341(信越化學(xué)工業(yè)(株)制造)、BYK-302、BYK-307、BYK-322、BYK-323、BYK-330、BYK-333、BYK-370、BYK-375、BYK-378(畢克化學(xué)日本(株)制)等。這些表面活性劑可單獨(dú)地使用，也可將2種以上組合使用。相對(duì)于含有三嗪環(huán)的聚合物100質(zhì)量份，表面活性劑的使用量?jī)?yōu)選0.0001～5質(zhì)量份，更優(yōu)選0.001～1質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選0.01～0.5質(zhì)量份。作為無(wú)機(jī)微粒，例如可列舉出選自Be、Al、Si、Ti、V、Fe、Cu、Zn、Y、Zr、Nb、Mo、In、Sn、Sb、Ta、W、Pb、Bi和Ce中的1種或2種以上的金屬的氧化物、硫化物或氮化物，特別優(yōu)選它們的金屬氧化物。再有，無(wú)機(jī)微?？梢詥为?dú)地使用，也可將2種以上組合使用。作為金屬氧化物的具體例，可列舉出Al2O3、ZnO、TiO2、ZrO2、Fe2O3、Sb2O5、BeO、ZnO、SnO2、CeO2、SiO2、WO3等。另外，使用多個(gè)金屬氧化物作為復(fù)合氧化物也是有效的。復(fù)合氧化物為在微粒的制造階段將2種以上的無(wú)機(jī)氧化物混合而成的產(chǎn)物。例如可列舉出TiO2和ZrO2、TiO2和ZrO2和SnO2、ZrO2和SnO2的復(fù)合氧化物等。進(jìn)而，可以是上述金屬的化合物。例如可列舉出ZnSb2O6、BaTiO3、SrTiO3、SrSnO3等。這些化合物可以單獨(dú)使用或者將2種以上混合使用，進(jìn)而可以與上述的氧化物混合使用。再有，上述其他成分能夠在制備本發(fā)明的組合物時(shí)的任意的工序中添加。就本發(fā)明的膜形成用組合物而言，能夠涂布于基材，然后，根據(jù)需要進(jìn)行加熱而使溶劑蒸發(fā)后，進(jìn)行加熱或光照射而制成所期望的固化膜。組合物的涂布方法是任意的，例如能夠采用旋涂法、浸漬法、流涂法、噴墨法、射流分配器法、噴涂法、棒涂法、照相凹版涂布法、狹縫涂布法、輥涂法、轉(zhuǎn)印印刷法、毛刷涂布、刮刀涂布法、氣刀涂布法等方法。另外，作為基材，可列舉出由硅、形成了銦錫氧化物(ITO)膜的玻璃、形成了銦鋅氧化物(IZO)膜的玻璃、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、塑料、玻璃、石英、陶瓷等制成的基材等，也能夠使用具有可撓性的柔性基材。對(duì)于使溶劑蒸發(fā)的目的而言，對(duì)燒成溫度并無(wú)特別限定，例如能夠在110～400℃下進(jìn)行。作為燒成方法，并無(wú)特別限定，例如，可使用熱板、烘箱，在大氣、氮等非活性氣體、真空中等適當(dāng)?shù)臍夥障率蛊湔舭l(fā)即可。燒成溫度和燒成時(shí)間可選擇與目標(biāo)的電子器件的加工工序適合的條件，可選擇使得得到的膜的物性值適合于電子器件的要求特性的燒成條件。對(duì)進(jìn)行光照射時(shí)的條件也無(wú)特別限定，可根據(jù)使用的含有三嗪環(huán)的聚合物和交聯(lián)劑，采用適宜的照射能量和時(shí)間。另外，對(duì)上述組合物通過(guò)光照射制作固化膜時(shí)，也能夠在經(jīng)由掩模進(jìn)行了光照射后，通過(guò)使用顯影液進(jìn)行顯影而形成微細(xì)圖案。這種情況下，曝光后的顯影能夠通過(guò)例如在有機(jī)溶劑顯影液或水性顯影液中將曝光樹脂浸漬而進(jìn)行。作為有機(jī)溶劑顯影液的具體例，可列舉出PGME、PGMEA、PGME與PGMEA的混合溶劑、NMP、γ-丁內(nèi)酯、DMSO等，另一方面，作為水性顯影液的具體例，可列舉出碳酸鈉、碳酸鉀、氫氧化鈉、氫氧化鉀、四甲基氫氧化銨等的堿水溶液。制成負(fù)型的圖案形成用組合物的情況下，可在上述組合物中進(jìn)一步配合含有環(huán)氧乙烷環(huán)的化合物和光固化型催化劑。作為含有環(huán)氧乙烷環(huán)的化合物，可列舉出在分子內(nèi)具有1個(gè)以上、優(yōu)選地2個(gè)以上環(huán)氧乙烷環(huán)的化合物，作為其具體例，可列舉出縮水甘油基醚型環(huán)氧樹脂、縮水甘油基酯型環(huán)氧樹脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹脂、環(huán)氧改性聚丁二烯樹脂、氧雜環(huán)丁烷化合物等。它們可以單獨(dú)使用，也可以將2種以上組合使用。對(duì)含有環(huán)氧乙烷環(huán)的化合物的配合量并無(wú)特別限定，相對(duì)于含有三嗪環(huán)的聚合物100質(zhì)量份，能夠設(shè)為10～400質(zhì)量份左右。作為光固化型催化劑，可列舉出光致陽(yáng)離子產(chǎn)生劑。作為光致陽(yáng)離子產(chǎn)生劑的具體例，可列舉出三苯基锍六氟磷酸鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽等三芳基锍鹽；三芳基硒鹽；二苯基碘鎓六氟磷酸鹽、二苯基碘鎓六氟銻酸鹽等二芳基碘鎓鹽等。這些可單獨(dú)使用，也可將2種以上組合使用。對(duì)光固化型催化劑的配合量并無(wú)特別限定，但相對(duì)于含有三嗪環(huán)的聚合物100質(zhì)量份，能夠設(shè)為0.1～100質(zhì)量份左右。對(duì)上述負(fù)型圖案形成用組合物的制備法并無(wú)特別限定，可以以任意的順序?qū)⒏鞒煞峙浜隙苽?。另外，此時(shí)，可使用上述的溶劑。對(duì)于上述組合物，在采用上述的手法涂布后，例如，能夠以1～4,000mJ/cm2用紫外光等進(jìn)行光照射而使其固化。光照射可使用高壓汞燈、金屬鹵化物燈、氙燈、LED、激光器等公知的各種手法進(jìn)行。再有，根據(jù)需要，在曝光前后可在110～180℃左右進(jìn)行加熱。曝光后的顯影能夠通過(guò)將曝光樹脂浸漬于上述的有機(jī)溶劑顯影液或水性顯影液中而進(jìn)行。另一方面，制成正型的圖案形成用組合物的情況下，可在上述組合物中進(jìn)一步配合疊氮化合物。作為疊氮化合物，優(yōu)選具有1個(gè)以上、優(yōu)選地2個(gè)以上的1，2-萘醌二疊氮基的化合物，作為其具體例，可列舉出2，3，4-三羥基二苯甲酮與1,2-萘醌-2-二疊氮基-5-磺酸的酯等1,2-萘醌二疊氮基磺酸衍生物等。對(duì)疊氮化合物的配合量并無(wú)特別限定，相對(duì)于含有三嗪環(huán)的聚合物100質(zhì)量份，能夠設(shè)為4～60質(zhì)量份左右。對(duì)上述正型圖案形成用組合物的制備法也無(wú)特別限定，可以以任意的順序?qū)⒏鞒煞峙浜隙苽?。另外，此時(shí)，可使用上述的溶劑。對(duì)于上述組合物，在采用上述的手法涂布后，例如，能夠采用上述的光照射法、以1～2,000mJ/cm2用紫外光等進(jìn)行光照射而使其固化。這種情況下，根據(jù)需要，也可在曝光前后在110～180℃左右進(jìn)行加熱。曝光后的顯影能夠通過(guò)在上述的有機(jī)溶劑顯影液或水性顯影液中將曝光樹脂浸漬而進(jìn)行。在上述各圖案形成用組合物中，根據(jù)需要可加入各種添加劑。作為添加劑，可列舉出芐基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、1-萘基甲基-4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、4-羥基苯基二甲基锍甲基硫酸鹽等熱致陽(yáng)離子產(chǎn)生劑；2，5-二乙基噻噸酮、蒽、9,10-乙氧基蒽等光增感劑、在上述膜形成用組合物中例示的添加劑。如以上那樣得到的本發(fā)明的固化膜、微細(xì)圖案由于能夠?qū)崿F(xiàn)高耐熱性、高折射率和低體積收縮，因此能夠在制作液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器、觸摸面板、LED元件、固體攝像元件、有機(jī)薄膜太陽(yáng)能電池、色素增感太陽(yáng)能電池、TFT、透鏡、棱鏡照相機(jī)、雙目鏡、顯微鏡、半導(dǎo)體曝光裝置等時(shí)的一構(gòu)件等電子器件、光學(xué)材料領(lǐng)域中適合利用。特別地，由本發(fā)明的組合物制作的固化膜、微細(xì)圖案由于透明性高，折射率也高，因此能夠改善ITO、銀納米線等的透明導(dǎo)電膜的可視性，能夠抑制透明導(dǎo)電膜的劣化。作為透明導(dǎo)電膜，優(yōu)選ITO膜、IZO膜、金屬納米粒子、金屬納米線、金屬納米細(xì)粉等的具有導(dǎo)電性納米結(jié)構(gòu)的透明導(dǎo)電膜，更優(yōu)選具有導(dǎo)電性納米結(jié)構(gòu)的透明導(dǎo)電膜。對(duì)構(gòu)成導(dǎo)電性納米結(jié)構(gòu)的金屬并無(wú)特別限定，可列舉出銀、金、銅、鎳、鉑、鈷、鐵、鋅、釕、銠、鈀、鎘、鋨、銥、它們的合金等。即，優(yōu)選具有銀納米粒子、銀納米線、銀納米細(xì)粉、金納米粒子、金納米線、金納米細(xì)粉、銅納米粒子、銅納米線、銅納米細(xì)粉等的透明導(dǎo)電膜，特別優(yōu)選具有銀納米線的透明導(dǎo)電膜。另外，由本發(fā)明的組合物制作的高折射率圖案能夠適合用于上述的以防止觸摸面板等的透明電極在視覺(jué)上明顯、有機(jī)EL顯示器的光取出用途、黑矩陣用途為首的要求高折射率圖案的用途。實(shí)施例以下列舉實(shí)施例和比較例，對(duì)本發(fā)明更具體地說(shuō)明，但本發(fā)明并不限定于下述的實(shí)施例。再有，實(shí)施例中使用的各測(cè)定裝置如以下所述。[1H-NMR]裝置：VarianNMRSystem400NB(400MHz)JEOL-ECA700(700MHz)測(cè)定溶劑：DMSO-d6基準(zhǔn)物質(zhì)：四甲基硅烷(TMS)(δ0.0ppm)[GPC]裝置：SHIMADZUCorporation制造SCL-10Avp改造為GPC柱：ShodexKF-804L+KF-805L柱溫度：60℃溶劑：NMP(添加1％LiCl)檢測(cè)器：UV(254nm)校正曲線：標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯[紫外線可見分光光度計(jì)]裝置：(株)島津制作所制造SHIMADSUUV-3600[橢偏儀]裝置：JAWoollamJapan制造多入射角分光橢偏儀VASE[差熱天平(TG-DTA)]裝置：RigakuCorporation制造TG-8120升溫速度：10℃/分測(cè)定溫度：25℃-750℃[電子顯微鏡]日本電子(株)制造電子顯微鏡S-4800[1]含有三嗪環(huán)的聚合物的合成[實(shí)施例1]高分子化合物[5]的合成[化47]在氮?dú)庀隆?L四口燒瓶中加入DMAc467.12g，在0℃以下使2,4,6-三氯-1,3,5-三嗪(CYC)[1](105.59g、0.57摩爾、EvonikDegussa制造)溶解。將溫度控制在0℃以下，并且滴入2,6-二甲苯胺[2](69.11g、0.57摩爾、BASF制造)，使其反應(yīng)了1小時(shí)。然后，對(duì)于在NMP700.95g中溶解的間苯二胺(mPDA)[3](30.82g、0.285moL、AminoChem制造)和3,5-二氨基苯甲酸[4](86.73g、0.57摩爾、日本純良藥品(株)制造)，在將燒瓶?jī)?nèi)溫控制在30℃以下的同時(shí)滴入。滴入后，加熱到90℃，使其反應(yīng)2小時(shí)，加入正丙胺104.38g，1小時(shí)后降溫到室溫，使聚合停止。將反應(yīng)液滴入離子交換水7，104.45g中，進(jìn)行了再沉淀。將得到的沉淀物過(guò)濾，使濾物在THF543.52g中再溶解，進(jìn)而在離子交換水8，046.90g中再沉淀。然后，將通過(guò)過(guò)濾得到的生成物在100℃下干燥8小時(shí)，得到了目標(biāo)的高分子化合物[5]89.46g。將高分子化合物[5]的1H-NMR波譜的測(cè)定結(jié)果示于圖1中。得到的高分子化合物[5]為具有由式(1)表示的結(jié)構(gòu)單元的化合物，其通過(guò)采用GPC的聚苯乙烯換算所測(cè)定的Mw為6,500，多分散度(Mw/Mn)為1.47。將實(shí)施例1中得到的高分子化合物[5]5.87mg在鉑皿中稱量，采用TG-DTA以升溫速度15℃/min進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果5％重量減少為323℃。[實(shí)施例2]末端丙烯?；叻肿踊衔颷7]的合成[化48]在氮?dú)庀隆?L四口燒瓶中加入DMAc940.15g，使CYC[1](184.49g、1.0摩爾、EvonikDegussa制造)在0℃以下溶解。在將溫度控制在0℃以下的同時(shí)滴入2,6-二甲苯胺[2](121.27g、1.0摩爾、BASF制造)，使其反應(yīng)1小時(shí)。然后，對(duì)于在NMP1402.12g中溶解的mPDA[3](54.07g、0.5moL、AminoChem制造)和3，5-二氨基苯甲酸[4](152.15g、1.0摩爾、日本純良藥品(株)制造)，在將燒瓶?jī)?nèi)溫控制在30℃以下的同時(shí)滴入。滴入后，加熱到90℃，使其反應(yīng)2小時(shí)，降溫到50℃以下，滴入丙烯酰氯[6](72.85g、0.8摩爾、東京化成工業(yè)(株)制造)，然后，將三乙胺(384.79g、0.8摩爾、東京化成工業(yè)(株)制造)滴入控制在50℃以下的反應(yīng)體系中，攪拌了1小時(shí)。將得到的漿料狀的反應(yīng)液滴入離子交換水14,098g中，進(jìn)行了再沉淀。將得到的沉淀物過(guò)濾，使濾物在THF1,752.65g中再溶解，攪拌了1小時(shí)后靜置，分液。將水層部分除去，在有機(jī)層中追加THF50.45g，在離子交換水14038.23g中再沉淀。然后，將過(guò)濾得到的生成物在100℃下干燥10小時(shí)，得到了目標(biāo)的高分子化合物[7]353.5g。將高分子化合物[7]的1H-NMR波譜的測(cè)定結(jié)果示于圖2中。得到的高分子化合物[7]為具有由式(1)表示的結(jié)構(gòu)單元的化合物，其通過(guò)采用GPC的聚苯乙烯換算所測(cè)定的Mw為6,000，Mw/Mn為1.27。對(duì)于實(shí)施例2中得到的高分子化合物[7]，與實(shí)施例1同樣地采用TG-DTA以升溫速度15℃/min進(jìn)行了測(cè)定，結(jié)果5％重量減少為290℃。[實(shí)施例3]末端乙?；叻肿踊衔颷9]的合成[化49]除了將丙烯酰氯[6]變?yōu)橐阴Ｂ萚8](11.35g、0.144摩爾、關(guān)東化學(xué)(株)制造)以外，與實(shí)施例2同樣地得到了目標(biāo)的高分子化合物[9]64.49g。將高分子化合物[9]的1H-NMR波譜的測(cè)定結(jié)果示于圖3中。得到的高分子化合物[9]為具有由式(1)表示的結(jié)構(gòu)單元的化合物，其通過(guò)采用GPC的聚苯乙烯換算所測(cè)定的Mw為3,400，Mw/Mn為1.25。對(duì)于實(shí)施例3中得到的高分子化合物[9]，與實(shí)施例1同樣地采用TG-DTA以升溫速度15℃/min進(jìn)行了測(cè)定，結(jié)果5％重量減少為300℃。[實(shí)施例4]高分子化合物[11]的合成[化50]在氮?dú)庀隆?00mL四口燒瓶中加入2，6-二甲苯胺[2](1.82g、0.015摩爾、BASF制造)、3-氨基苯甲酸[10](4.81g、0.035g、日本純良藥品(株)制造)，溶解于NMP57.53g，降溫到0℃以下。然后，加入CYC[1](9.23g、0.05摩爾、EvonikDegussa制造)，攪拌了1小時(shí)后，對(duì)于在NMP38.32g中溶解的mPDA[3](8.11g、0.075moL、AminoChem制造)，將燒瓶?jī)?nèi)溫控制在30℃以下而滴入。滴入后，加熱到90℃，使其反應(yīng)2小時(shí)，加入正丙胺9.19g，降溫到室溫，使聚合停止。將反應(yīng)液滴入離子交換水574.91g中，進(jìn)行了再沉淀。將得到的沉淀物過(guò)濾，使濾物在THF95.78g中再分散，進(jìn)而在離子交換水575.30g中再沉淀。然后，將通過(guò)過(guò)濾得到的生成物在100℃下干燥8小時(shí)，得到了目標(biāo)的高分子化合物[11](以下稱為L(zhǎng)-TMX72)9.78g。將L-TMX72的1H-NMR波譜的測(cè)定結(jié)果示于圖4中。得到的L-TMX72為具有由式(1)表示的結(jié)構(gòu)單元的化合物。L-TMX72的通過(guò)采用GPC的聚苯乙烯換算所測(cè)定的Mw為6,500，Mw/Mn為1.47。[比較例1]高分子化合物[14]的合成(1)2-苯胺基-4,6-二氯-1,3,5-三嗪[13]的合成[化51]在500mL四口燒瓶中，裝入在THF190mL中溶解的CYC[1](25.0g、138mmol、東京化成工業(yè)(株)制造)，對(duì)體系內(nèi)進(jìn)行氮?dú)庵脫Q。將其冷卻到0℃，邊攪拌邊歷時(shí)30分鐘滴入在THF190mL中溶解的苯胺[12](12.8g、138mmol、純正化學(xué)(株)制造)后，繼續(xù)攪拌2小時(shí)。將反應(yīng)液轉(zhuǎn)移到分液漏斗，加入在離子交換水171mL中溶解的碳酸鉀(19.04g、138mmol)水溶液，對(duì)THF層進(jìn)行了清洗。將水層除去后，將THF減壓餾除，用離子交換水對(duì)得到的固體進(jìn)行清洗，得到了目標(biāo)的2-苯胺基-4,6-二氯-1,3,5-三嗪[13]27.8g。(2)高分子化合物[14]的合成[化52]在氮?dú)庀隆?00mL四口燒瓶中裝入mPDA[3](1.35g、12.44mmol、東京化成工業(yè)(株)制造)，溶解于DMAc17mL，用油浴加熱到100℃。然后，加入在DMAc26mL中溶解的2-苯胺基-4,6-二氯-1,3,5-三嗪[13](3.00g、12.44mmol)，開始聚合。進(jìn)行2小時(shí)反應(yīng)，放冷到室溫后，使其在使28％氨水溶液(2.27g)在水160mL和甲醇54mL中溶解而成的混合溶液中再沉淀。將沉淀物過(guò)濾，使其在DMF35mL中再溶解，在離子交換水170mL中再沉淀。將得到的沉淀物過(guò)濾，用減壓干燥機(jī)在120℃下干燥6小時(shí)，得到了目標(biāo)的高分子化合物[14]2.25g。高分子化合物[14]的通過(guò)采用GPC的聚苯乙烯換算所測(cè)定的Mw為3,100，Mw/Mn為1.60。對(duì)于比較例1中得到的高分子化合物[14]，與實(shí)施例1同樣地采用TG-DTA以升溫速度15℃/分鐘進(jìn)行了測(cè)定，結(jié)果5％重量減少為340℃。在使實(shí)施例1～3和比較例1中得到的高分子化合物在THF、CHN和PGME中以成為10質(zhì)量％、20質(zhì)量％、30質(zhì)量％的方式溶解的情況下，另外，在使粉末在大量的1％Na2CO3水溶液中溶解的情況下，通過(guò)目視確認(rèn)是否有不溶物，按照以下的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了評(píng)價(jià)。將其結(jié)果示于表1中。另外，對(duì)于實(shí)施例4中得到的高分子化合物，采用與上述同樣的方法使粉末溶解于1％Na2CO3水溶液中，結(jié)果沒(méi)有確認(rèn)有不溶物?！穑簾o(wú)不溶物△：少許分散的不溶物×：有沉降物[表1]如表1中所示那樣，實(shí)施例1～3中得到的高分子化合物由于使用了在側(cè)鏈具有帶有取代基的芳基、并且在主鏈具有含有羧基的亞芳基的高分子化合物，因此與比較例1中得到的高分子化合物相比，對(duì)于各種有機(jī)溶劑的溶解性和對(duì)于弱堿水溶液的溶解性優(yōu)異。作為對(duì)于有機(jī)溶劑的溶解性提高的理由，推測(cè)原因在于，利用具有側(cè)鏈的取代基的芳香族胺化合物，使高分子化合物的牢固的氫鍵緩和。[2]被膜的制作[實(shí)施例5～7]使實(shí)施例1～3中得到的高分子化合物分別溶解于PGME以致成為10質(zhì)量％，使用旋涂器在玻璃基板上旋涂，用120℃的熱板燒成3分鐘，得到了被膜。[比較例2]加入CHN/離子交換水(96/4(質(zhì)量份/質(zhì)量份))以致使比較例1中得到的高分子化合物成為10質(zhì)量％，用過(guò)濾器將沉降物過(guò)濾后，使用旋涂器在玻璃基板上旋涂，用150℃的熱板臨時(shí)燒成2分鐘，接下來(lái)，在大氣下、用250℃的熱板燒成5分鐘，得到了被膜。將上述實(shí)施例5～7和比較例2中制作的被膜的折射率和膜厚示于表2中。[表2]實(shí)施例5實(shí)施例6實(shí)施例7比較例2折射率(@550nm)1.7341.7191.7211.757膜厚(nm)447352278260如表2中所示那樣，可知由實(shí)施例1～3中得到的高分子化合物制作的薄膜具有超過(guò)1.70的折射率。[3]交聯(lián)劑添加組合物的制備以及圖案形成和固化膜的制作[實(shí)施例8]在實(shí)施例2中得到的高分子化合物[7]0.6g中加入多官能丙烯酸酯(DN-0075、日本化藥(株)制造)0.3g、多官能丙烯酸酯(A-GLY-20E、新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)0.3g、光自由基引發(fā)劑(IrgacureOXE01、BASF公司制造)0.06g和PGME5.04g，制備固體成分20質(zhì)量％的圖案形成用組合物6.36g。將該組合物用0.45μm的過(guò)濾器過(guò)濾，使用旋涂器在玻璃基板上涂布后，在熱板上、120℃下燒成60秒而形成了涂膜。采用紫外線照射裝置MA6(SUSS公司制造)、經(jīng)由光掩模對(duì)該涂膜照射了365nm下的照射量為100mJ/cm2的紫外線。然后，用23℃的0.04質(zhì)量％的氫氧化鉀水溶液浸漬60秒而使其顯影，進(jìn)而用超純水進(jìn)行了流水清洗。顯影后，線/間隙為60μm/500μm的條狀圖案無(wú)殘?jiān)匚鱿?。在鈉燈下進(jìn)行了目視觀察，結(jié)果在玻璃基板上形成的固化膜中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)異物。進(jìn)而，進(jìn)行了電子顯微鏡觀察，結(jié)果在固化膜上沒(méi)有發(fā)現(xiàn)異物。[實(shí)施例9]在實(shí)施例2中得到的高分子化合物[7]0.6g中加入多官能丙烯酸酯(DN-0075、日本化藥(株)制造)0.3g、多官能丙烯酸酯(A-GLY-20E、新中村化學(xué)工業(yè)(株)制造)0.3g、光自由基引發(fā)劑(IrgacureOXE01、BASF公司制造)0.06g和PGME5.04g，制備了固體成分20質(zhì)量％的圖案形成用組合物6.36g。將該組合物用0.45μm的過(guò)濾器過(guò)濾，使用旋涂器在玻璃基板上涂布后，在熱板上、120℃下燒成60秒而形成了涂膜。采用紫外線照射裝置MA6(SUSS公司制造)對(duì)該涂膜全面照射了365nm下的照射量為100mJ/cm2的紫外線。對(duì)于得到的固化膜，采用橢偏儀測(cè)定了550nm下的折射率和膜厚，結(jié)果為折射率1.608(＠550nm)、膜厚1,440nm。另外，對(duì)于得到的固化膜，測(cè)定了400nm的透射率，透射率為90％。[實(shí)施例10]在實(shí)施例2中得到的高分子化合物[7]0.6g中加入多官能丙烯酸酯(DN-0075、日本化藥(株)制造)0.15g、多官能丙烯酸酯(AT-20E、新中化學(xué)工業(yè)(株)制造)0.45g、光自由基引發(fā)劑(IrgacureOXE01、BASF公司制造)0.12g、流平劑(F-477、DIC公司制造)0.0003g和PGME11.8827g，制備了固體成分10質(zhì)量％的圖案形成用組合物13.203g。將該組合物用0.45μm的過(guò)濾器過(guò)濾，使用旋涂器在玻璃基板上以200rpm旋涂涂布5秒、以800rpm旋涂涂布30秒后，在熱板上、120℃下燒成2分鐘而形成了涂膜。采用紫外線照射裝置MA6(SUSS公司制造)、經(jīng)由光掩模對(duì)該涂膜照射了365nm下的照射量為100mJ/cm2的紫外線。然后，用23℃的0.04質(zhì)量％的氫氧化鉀水溶液浸漬60秒而使其顯影，進(jìn)而用超純水進(jìn)行了流水清洗。顯影后，線/間隙為20μm/500μm的條狀圖案無(wú)殘?jiān)匚鱿?。在鈉燈下進(jìn)行了目視觀察，結(jié)果在玻璃基板上形成的固化膜中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)異物。進(jìn)而，進(jìn)行了電子顯微鏡觀察，結(jié)果在固化膜上沒(méi)有發(fā)現(xiàn)異物。[實(shí)施例11]在實(shí)施例2中得到的高分子化合物[7]0.6g中加入多官能丙烯酸酯(DN-0075、日本化藥(株)制造)0.15g、多官能丙烯酸酯(AT-20E、新中化學(xué)工業(yè)(株)制造)0.45g、光自由基引發(fā)劑(IrgacureOXE01、BASF公司制造)0.12g、流平劑(F-477、DIC公司制造)0.0003g和PGME11.8827g，制備了固體成分10質(zhì)量％的圖案形成用組合物13.203g。將該組合物用0.45μm的過(guò)濾器過(guò)濾，使用旋涂器在玻璃基板上以200rpm旋涂涂布5秒、以800rpm旋涂涂布30秒后，在熱板上、120℃下燒成2分鐘而形成了涂膜。采用紫外線照射裝置MA6(SUSS公司制造)對(duì)該涂膜全面照射365nm下的照射量為100mJ/cm2的紫外線。對(duì)于得到的固化膜，使用橢偏儀測(cè)定了550nm下的折射率和膜厚，結(jié)果為折射率1.604(＠550nm)、膜厚513nm。另外，對(duì)于得到的固化膜，測(cè)定了400nm的透射率，結(jié)果為透射率90％以上。[實(shí)施例12]在實(shí)施例2中得到的高分子化合物[7]0.6g中加入多官能丙烯酸酯(DN-0075、日本化藥(株)制造)0.15g、多官能丙烯酸酯(AT-20E、新中化學(xué)工業(yè)(株)制造)0.45g、光自由基引發(fā)劑(IrgacureOXE01、BASF公司制造)0.12g、多官能封端異氰酸酯(TRIXENEBI-7982、Baxenden公司制造)0.257g、流平劑(BYK-333、畢克化學(xué)公司制造)0.024g和PGME6.019g，制備了固體成分20質(zhì)量％的圖案形成用組合物7.62g。將該組合物用0.45μm的過(guò)濾器過(guò)濾，使用旋涂器在玻璃基板上以200rpm旋涂涂布5秒、以1,200rpm旋涂涂布30秒后，在熱板上、60℃下燒成5分鐘而形成了涂膜。采用紫外線照射裝置MA6(SUSS公司制造)、經(jīng)由光掩模對(duì)該涂膜照射了365nm下的照射量為100mJ/cm2的紫外線。然后，用23℃的0.04質(zhì)量％的氫氧化鉀水溶液浸漬60秒而使其顯影，進(jìn)而用超純水進(jìn)行了流水清洗。最后在熱板上、120℃下進(jìn)行了10分鐘后烘焙。顯影后，線/間隙為20μm/500μm的條狀圖案無(wú)殘?jiān)匚鱿?。在鈉燈下進(jìn)行了目視觀察，結(jié)果在玻璃基板上形成的固化膜中沒(méi)有發(fā)現(xiàn)異物。進(jìn)而，進(jìn)行了電子顯微鏡觀察，結(jié)果在固化膜上沒(méi)有發(fā)現(xiàn)異物。[實(shí)施例13]在實(shí)施例2中得到的高分子化合物[7]0.6g中加入多官能丙烯酸酯(DN-0075、日本化藥(株)制造)0.15g、多官能丙烯酸酯(AT-20E、新中化學(xué)工業(yè)(株)制造)0.45g、光自由基引發(fā)劑(IrgacureOXE01、BASF公司制造)0.12g、多官能封端異氰酸酯(TRIXENEBI-7982、Baxenden公司制造)0.257g、流平劑(BYK-333、畢克化學(xué)公司制造)0.024g和PGME6.019g，制備固體成分20質(zhì)量％的圖案形成用組合物7.62g。將該組合物用0.45μm的過(guò)濾器過(guò)濾，在玻璃基板上使用旋涂器以200rpm旋涂涂布5秒、以1,200rpm旋涂涂布30秒后，在熱板上、60℃下燒成5分鐘，形成了涂膜。采用紫外線照射裝置MA6(SUSS社制造)對(duì)該涂膜全面照射365nm下的照射量為100mJ/cm2的紫外線，最后在熱板上120℃下進(jìn)行了10分鐘后烘焙。對(duì)于得到的固化膜，采用橢偏儀測(cè)定了550nm下的折射率和膜厚，結(jié)果折射率為1.610(＠550nm)，膜厚為1,020nm。另外，對(duì)于得到的固化膜，測(cè)定了400nm的透射率，結(jié)果透射率為95％。[4]三嗪環(huán)聚合物的合成2[實(shí)施例14]末端丙烯酰基化高分子化合物[16]的合成[化53]除了代替2,6-二甲苯胺而使用了2,6-二甲苯胺(3.64g、0.03摩爾、BASF制造)和苯胺(1.86g、0.02摩爾、純正化學(xué)(株)制造)的混合單體以外，在與實(shí)施例2同樣的摩爾比和反應(yīng)條件下進(jìn)行反應(yīng)，得到了高分子化合物[16](以下稱為L(zhǎng)-TAX15A)6.94g。將L-TAX15A的1H-NMR波譜的測(cè)定結(jié)果示于圖5。得到的高分子化合物[16]的由采用GPC的聚苯乙烯換算所測(cè)定的Mw為5,700，Mw/Mn為1.45。[實(shí)施例15]末端丙烯酰基化高分子化合物[17]的合成[化54]代替2，6-二甲苯胺而使用2，6-二甲苯胺(3.88g、0.032摩爾、BASF制造)和苯胺(4.47g、0.048摩爾、純正化學(xué)(株)制造)的混合單體，與實(shí)施例2同樣地使用3,5-二氨基苯甲酸(9.74g、0.064摩爾、日本純良化學(xué)(株)制造)和間苯二胺(3.46g、0.032摩爾、Aminochem公司制造)的混合單體，得到了目標(biāo)的高分子化合物[17](以下稱為L(zhǎng)-TAX18A)14.48g。得到的L-TAX18A的由采用GPC的聚苯乙烯換算所測(cè)定的Mw為1,500，Mw/Mn為1.78。使實(shí)施例14、15中得到的高分子化合物在THF、CHN和PGME中溶解以致成為10質(zhì)量％、20質(zhì)量％、30質(zhì)量％的情況下，另外，使粉末在大量的1％Na2CO3水溶液中溶解的情況下，通過(guò)目視確認(rèn)是否有不溶物，按照以下的標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)。將其結(jié)果示于表3中?！穑簾o(wú)不溶物△：少許分散的不溶物×：有沉降物[表3]如表3中所示那樣，實(shí)施例14、15中得到的高分子化合物由于使用了在側(cè)鏈具有帶有取代基的芳基、并且在主鏈具有含有羧基的亞芳基的高分子化合物，因此對(duì)于各種有機(jī)溶劑的溶解性和對(duì)于弱堿水溶液的溶解性優(yōu)異。[5]被膜的制作2[實(shí)施例16、17]使實(shí)施例14、15中得到的高分子化合物分別溶解于PGME以致成為10質(zhì)量％，在玻璃基板上使用旋涂器進(jìn)行旋涂，用120℃的熱板燒成3分鐘，得到了被膜。將上述實(shí)施例16、17中制作的被膜的折射率和膜厚示于表4中。[表4]實(shí)施例16實(shí)施例17折射率(@550nm)1.7431.737膜厚(nm)377254如表4中所示那樣，可知由實(shí)施例14、15中得到的高分子化合物制作的薄膜具有超過(guò)1.73的折射率。當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3