技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種銀及銅清洗用清潔液組成物，所述組成物按重量百分比含有以下成分：選自銨衍生物及其鹽的至少一種化合物0.1～30、過氧化氫0.01～30、堿性無機(jī)化合物0.01～10、乙二醇乙醚化合物0.05～10、合成氨基酸化合物0.01～4、余量水。本發(fā)明的銀及銅清洗用清潔液組成物進(jìn)行真空鍍膜后清洗鍍膜室（Chamber）結(jié)構(gòu)物表面時(shí)使用堿性或中性清潔液來防止鍍膜室結(jié)構(gòu)物腐蝕、變色，并有效去除粘附于鍍膜室結(jié)構(gòu)物上的銀污染物及銅污染物。

技術(shù)研發(fā)人員：嚴(yán)正植;黃主淵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：制理世有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201510275047
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.27
技術(shù)公布日：2017.01.04