專利名稱：研磨液組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及研磨液組合物及使用該組合物的基板的制造方法。
背景技術(shù)：
隨著計(jì)算機(jī)的迅速普及和數(shù)字播放等的開始等，希望增大硬盤驅(qū)動(dòng)的記錄容量。 為了實(shí)現(xiàn)該記錄容量的增大，例如，在用于硬盤驅(qū)動(dòng)的存儲(chǔ)硬盤的研磨工序中，實(shí)施了抑制端面下垂(rolloff)的產(chǎn)生、增大記錄面積的方法。作為抑制端面下垂的研磨液組合物，提出了含有聚氧乙烯的單體化合物和酸的研磨液組合物(特開2002-167575號(hào))和含有聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯等的單體化合物的研磨液組合物(特開2003-160781號(hào))。但是，隨著信息化社會(huì)的擴(kuò)大，要求進(jìn)一步增大記錄容量，所以由以往的研磨液組合物產(chǎn)生的抑制效果不足，要求可以進(jìn)一步抑制端面下垂的研磨液組合物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種研磨液組合物，其含有共聚物和研磨材料，上述共聚物是具有下述式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元、和選自下述式(II)-(IV)表示的結(jié)構(gòu)單元中的至少一種結(jié)構(gòu)單元的共聚物。本發(fā)明還涉及基板的制造方法，其包含使用上述研磨液組合物對(duì)被研磨基板進(jìn)行研磨的工序。
權(quán)利要求
1. 一種研磨液組合物，其含有共聚物以及研磨材料，所述共聚物具有下述式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元和選自下述式(II)和(III)表示的結(jié)構(gòu)單元中的至少一種結(jié)構(gòu)單元，
2.根據(jù)權(quán)利要求1記載的研磨液組合物，其中所述共聚物中的式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元與式(II)和(III)表示的結(jié)構(gòu)單元的重量比為25/75-97. 5/2. 5。
3.根據(jù)權(quán)利要求2記載的研磨液組合物，其中所述共聚物中的式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元與式(II)和(III)表示的結(jié)構(gòu)單元的重量比為65/35-85/15。
4.根據(jù)權(quán)利要求1記載的研磨液組合物，其中所述共聚物的重均分子量為5000-50萬(wàn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任何一項(xiàng)記載的研磨液組合物，其中所述研磨材料是氧化鋁。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任何一項(xiàng)記載的研磨液組合物，其中所述式(II)中，X是氧原子。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任何一項(xiàng)記載的研磨液組合物，其中所述式(II)中，R4是碳原子數(shù)為4-30的烷基。
8.一種基板的制造方法，其包括使用權(quán)利要求1 7中任何一項(xiàng)記載的研磨液組合物對(duì)被研磨基板進(jìn)行研磨的工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求8記載的基板的制造方法，其中所述基板是硬盤用基板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠抑制端面下垂的研磨液組合物，其含有共聚物以及研磨材料，所述共聚物具有下述式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元和下述式(II)-(III)表示的一種以上的結(jié)構(gòu)單元。作為用于形成下述式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元的單體，可列舉出甲基丙烯酸甲氧基聚乙二醇酯等，作為用于形成下述式(II)表示的結(jié)構(gòu)單元的單體，可列舉出甲基丙烯酸硬脂酸酯等，作為用于形成下述式(III)表示的結(jié)構(gòu)單元的單體，可列舉出甲基丙烯酸聚丙二醇酯等。
文檔編號(hào)C08F290/06GK102153990SQ201110130439
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2007年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月8日
發(fā)明者山脅有希子, 本間祐一, 鈴木真彥 申請(qǐng)人:花王株式會(huì)社