技術(shù)編號：3613553
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及研磨液組合物及使用該組合物的基板的制造方法。 背景技術(shù)隨著計算機的迅速普及和數(shù)字播放等的開始等，希望增大硬盤驅(qū)動的記錄容量。 為了實現(xiàn)該記錄容量的增大，例如，在用于硬盤驅(qū)動的存儲硬盤的研磨工序中，實施了抑制端面下垂(rolloff)的產(chǎn)生、增大記錄面積的方法。作為抑制端面下垂的研磨液組合物，提出了含有聚氧乙烯的單體化合物和酸的研磨液組合物(特開2002-167575號)和含有聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯等的單體化合物的研磨液組合物(特開2003-16...
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