油性金剛石研磨液的制作方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明設及表面超精研磨技術領域，特別設及一種油性金剛石研磨液。
【背景技術】
[0002] 超精密加工是現代尖端產業(yè)重要的生產技術，其不僅要求高精度、高質量，而且要 求低成本和高的再現性。而超精密研磨拋光由于具有獨特的加工原理和對加工設備、環(huán)境 因素要求不高等特點，可W實現納米級甚至原子級的加工，已成為超精密加工技術中的一 個重要部分，實現超精密研磨拋光的關鍵材料是精密研磨制品。目前，用磨粒去除材料的去 除單位已達到納米甚至是亞納米數量級，要達到運樣高的表面光潔度，可W使用含有磨料 的研磨液，或者使用磨料固定在薄膜上的拋光膜，分粗磨、中磨、精磨、拋光等數步進行，也 可W把研磨液和拋光膜結合起來交叉使用。
[0003] 金剛石微粉具有硬度高和耐腐蝕等優(yōu)點，成為精密研磨制品的首選原料。在研磨 液行業(yè)，在研磨部分器件比如高含鉆量的計算機磁頭的研拋、研磨盤采用鑄鐵盤的研磨體 系等，若用水性的拋光液會使其材料表面或研磨盤受到腐蝕，所W油性納米金剛石拋光液 的研制顯得非常迫切。
[0004] 本發(fā)明就是為了提供一種新的油性納米金剛石拋光液。

【發(fā)明內容】

[0005] 本發(fā)明的主要目的在于提供一種油性金剛石研磨液。
[0006] 本發(fā)明通過如下技術方案實現上述目的：一種油性金剛石研磨液，該研磨液由金 剛石微粉、軟化劑、馨合劑、表面活性劑W及燒控類溶劑組成，各成分的重量百分含量為：
[0007] 金剛石微粉：0.5-2%;
[0008]偶聯(lián)劑：0. 002-0. 04%;
[0009]軟化劑：0.1-1%;
[0010]馨合劑：0.2-5%;
[0011] 表面活性劑：〇. 4-25% ;
[0012] 其余為燒控類溶劑。
[0013] 具體的，所述金剛石微粉粒度為0. 5-1μm。。
[0014] 具體的，所述軟化劑為有機酸或有機堿中的一種。
[0015] 進一步的，所述有機酸為酒石酸、硬脂酸、油酸、亞油酸或月桂酸中的一種。
[0016] 進一步的，所述有機堿為Ξ乙胺、化晚、環(huán)己胺或贓晚中的一種。
[0017] 具體的，所述馨合劑為NTA或邸TA。
[001引具體的，所述表面活性劑為非離子表面活性劑。
[0019] 具體的，所述非離子表面活性劑為烷基酪聚氧乙締酸、高碳脂肪醇聚氧乙締酸、月旨 肪酸聚氧乙締醋、脂肪酸甲醋乙氧基化物、失水山梨醇醋中的一種或多種的混合物。
[0020] 具體的，所述燒控類溶劑為白油或石腦油中的一種。
[0021] 采用上述技術方案，本發(fā)明技術方案的有益效果是：
[0022] 1、經改性的小粒徑金剛石分散性能好，能夠長久保持狀態(tài)穩(wěn)定；
[0023] 2、軟化劑可使金屬表面氧化膜軟化，使之容易被研磨去除；
[0024] 3、馨合劑能使研磨下來的金屬被轉化為馨合物，抑制其再附著金屬表面，提高研 磨精度。
【具體實施方式】
[0025] 下面結合具體實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。
[0026] 該油基金剛石研磨液的制備方法如下：
[0027] 1)按配比將表面活性劑加入燒控類溶劑中，充分攬拌5分鐘，使表面活性劑均勻 分散于燒控類溶劑中的溶液；
[002引。按配比將粒度為0. 5-1μm的金剛石微粉加入上述溶液中，充分攬拌并超聲分 散12分鐘，制成對金剛石微粉表面有改性效果的分散液；
[0029] 3)按配比將軟化劑和馨合劑加入上述分散液中，超聲且繼續(xù)攬拌至粘度達到 101-103m/化.S后得到油基納米金剛石拋光液。
[0030] 小粒徑金剛石比表面積大，經改性后分散性能好，能夠長久保持狀態(tài)穩(wěn)定；軟化劑 可使金屬表面氧化膜軟化，使之容易被研磨去除；馨合劑能使研磨下來的金屬被轉化為馨 合物，抑制其再附著金屬表面，提高研磨精度。
[0031] 參照W上方法，通過改變不同組分配比制備得到的油基金剛石研磨液對2寸的初 始粗糖度28-30皿的L邸襯底片進行拋光效果測試，拋光壓力為化奸，轉速為60rpm/min， 拋光時間為lOmin，研磨液流量為2ml/min。
[0032] 各實施例組分配比及拋光效果如下表，從表上可W看出拋光處理后表面粗糖度能 夠達到4. 723-5. 832皿，拋光效率達到1. 52-2. 25ym/min。
[0033]
[0034]
[0035] W上所述的僅是本發(fā)明的一些實施方式。對于本領域的普通技術人員來說，在不 脫離本發(fā)明創(chuàng)造構思的前提下，還可W做出若干變形和改進，運些都屬于本發(fā)明的保護范 圍。
【主權項】
1. 一種油性金剛石研磨液，其特征在于：該研磨液由金剛石微粉、軟化劑、螯合劑、表 面活性劑以及烷烴類溶劑組成，各成分的重量百分含量為： 金剛石微粉：〇. 5-2% ; 軟化劑：〇. 1-1% ; 螯合劑：0.2-5% ; 表面活性劑：〇. 4-25% ; 其余為烷烴類溶劑。2. 根據權利要求1所述的油性金剛石研磨液，其特征在于：所述金剛石微粉粒度為 0. 5-1μm〇3. 根據權利要求1所述的油性金剛石研磨液，其特征在于：所述軟化劑為有機酸或有 機堿中的一種。4. 根據權利要求3所述的油性金剛石研磨液，其特征在于：所述有機酸為酒石酸、硬脂 酸、油酸、亞油酸或月桂酸中的一種。5. 根據權利要求3所述的油性金剛石研磨液，其特征在于：所述有機堿為三乙胺、吡 啶、環(huán)己胺或哌啶中的一種。6. 根據權利要求1所述的油性金剛石研磨液，其特征在于：所述螯合劑為NTA或EDTA。7. 根據權利要求1所述的油性金剛石研磨液，其特征在于：所述表面活性劑為非離子 表面活性劑。8. 根據權利要求1所述的油性金剛石研磨液，其特征在于：所述非離子表面活性劑為 烷基酚聚氧乙烯醚、高碳脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯、脂肪酸甲酯乙氧基化物、 失水山梨醇酯中的一種或多種的混合物。9. 根據權利要求1所述的油性金剛石研磨液，其特征在于：所述烷烴類溶劑為白油或 石腦油中的一種。
【專利摘要】本發(fā)明屬于表面超精研磨技術領域，涉及一種油性金剛石研磨液，該研磨液由金剛石微粉、軟化劑、螯合劑、表面活性劑以及烷烴類溶劑組成。本發(fā)明改性金剛石微粒分散性能好，長久穩(wěn)定，軟化劑具有軟化金屬表面氧化膜效果，研磨效率高，螯合物能防止研磨下來的金屬再附著金屬表面，研磨精度高。
【IPC分類】C09K3/14, C09G1/02
【公開號】CN105368324
【申請?zhí)枴緾N201510888450
【發(fā)明人】王國祥
【申請人】蘇州博洋化學股份有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年12月7日