專利名稱::金剛石絲鋸用樹脂結合劑及其制備方法
技術領域:
:本發(fā)明屬于半導體材料加工行業(yè),提供一種金剛石絲鋸用樹脂結合劑及其制備方法。
背景技術:
:20世紀70年代已經(jīng)提出了用金剛石絲鋸切割脆性半導體材料的工藝,20世紀80年代出現(xiàn)了可用于硅片切割的金剛石絲鋸。進入20世紀90年代尤其是近幾年來,金剛石絲鋸得到了快速發(fā)展,對其研究也更為深入。由于固結磨料切割絲鋸成本比較昂貴,所以目前無論國內和國外,線切割使用的絲鋸主要還是使用懸浮磨料切割。但是,固結磨料切割因為低能耗、使用環(huán)境無污染、切削效率高、加工精度高等優(yōu)點已經(jīng)開始逐步替代懸浮磨料切割。中國研究的重點集中在電鍍法制造金剛石絲鋸,由于采用傳統(tǒng)的鎳鍍技術只能得到數(shù)公里長的鋸絲,因此,電鍍金剛石絲鋸發(fā)展緩慢。近年來,國外新的電鍍技術突破了這一極限,電鍍金剛石絲鋸逐漸進入實用階段。但是由于生產速度較低,絲鋸成本還比較高,從而限制了電鍍金剛石絲鋸的廣泛應用。采用熱固化樹脂作為結合劑生產的金剛石絲鋸比電鍍法生產的金剛石絲鋸生產率高,成本有所降低,目前市場上使用的固結磨料絲鋸大多為國外生產的此類產品。由于生產速度依然較低,成本較高,目前還不能大范圍取代懸浮磨料切割。日本有學者提出了使用uv固化樹脂取代傳統(tǒng)熱固化樹脂作為結合劑固結金剛石磨料的新方法,主要集中研究了丙烯酸類uv固化樹脂,但是由于樹脂強度以及樹脂與金屬絲把持力達不到良好切割要求,所以該方法還處于進一步研究階段。
發(fā)明內容本發(fā)明的目的在于克服
背景技術:
的缺點,提供一種金剛石絲鋸用樹脂結合劑及其制備方法,即對市場常用uv固化樹脂進行選型和改性,通過添加無機填料、混合晶須、促進劑和偶聯(lián)劑改進樹脂與金屬絲的把持力,并增強樹脂的強度以提高切割效率,同時適度的柔韌性保證絲鋸的抗沖擊強度,大大增強絲鋸的技術和性能指標。完成上述發(fā)明任務的方案是一種金剛石絲鋸用樹脂結合劑,其特征在于所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑由UV固化樹脂、溶劑、無機填料、混合晶須、促進劑、偶聯(lián)劑組成;其重量份比例為UV固化樹脂30~90溶劑1~30無機填料1~30混合晶須0.5-20促進劑0.5-10偶聯(lián)劑0.5~10。本發(fā)明是采用UV固化技術,其中,所用樹脂為一種陽離子固化型UV樹脂,所述的UV樹脂由UV樹脂預聚物與光引發(fā)劑組成。本發(fā)明采用的UV樹脂中的預聚物選自活性環(huán)氧化合物或多元醇的混合物。UV樹脂中的光引發(fā)劑選自二苯硤総鹽或三^5克鐵鹽。所述的溶劑為活性單體溶劑,采用單官能或多官能度的丙烯酸單體和乙烯基醚類中的一種或多種;主要選自苯乙烯、丙烯酸丁酯、丙烯酸環(huán)己酯或丙烯酸異辛酯中的一種或多種;所述的無機填料由以下原料及重量份比例組成氧化鋁1~50、氧化硅1~50、石友化石圭140、氧化鈰1~40、氧化4各0~25。所述的混合晶須為一種含元素硅的晶須和聚四氟乙烯晶須混合物,該混合晶須既能顯著增強絲鋸強度,同時增加了絲鋸的柔韌性,大大改善了絲鋸的切割性能;所述的促進劑選自1氮雜環(huán)丙烯或含乙烯基膦的化合物、硫化型鏈轉移劑、碌"<乙醇酸異葵酯或十二烷基^^醇的一種或多種;所述的偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑。本申請推薦以下優(yōu)化方案所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑的重量份比例為UV固化樹脂50~60溶劑15~20無機填料10~15混合晶須510促進劑5~10所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑的最佳重量份比例為UV固化樹脂52溶劑16無才幾填料13混合晶須8促進劑7偶聯(lián)劑4。完成本申請第2個發(fā)明任務的技術方案是,以上所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑的生產工藝,其特征在于,步驟如下(1).首先將混合晶須和無機填料的各組分精確稱量混合;(2).將上述混合物在行星研磨機中研磨至超細粉;根據(jù)原料粒徑不同需要研磨的時間不同,直至各組分的分散性良好并且粒徑小于5微米;(3).將上述超細粉按比例加入UV固化樹脂,加入一定量的溶劑、促進劑和偶聯(lián)劑,得到一種新型金剛石絲鋸用樹脂結合劑。本發(fā)明與
背景技術:
相比有如下優(yōu)點本發(fā)明采用的UV固化樹脂使用一種陽離子型光引發(fā)體系,光引發(fā)劑主要為二^^典鑰鹽和三^f危鑰鹽,其特出優(yōu)點是固化時體積收縮小,形成聚合物的附著力強;不為氧氣阻聚,可以在空氣中快速而完全的聚合;固化反應不易終止,適用于厚膜;對金屬附著力好。預聚物主要為活性環(huán)氧化合物和多元醇的混合物。為增加強度和增加固化速度,一般使用酚醛環(huán)氧樹脂;為提高樹脂與金屬絲的附著力,要適當提高環(huán)氧化合物的環(huán)氧當量,并采用較高濃度的多元醇,其中,環(huán)氧化合物的環(huán)氧基與多元醇的羥基之比在3~10之間,多元醇占總體重量分數(shù)比(%)的1015。本發(fā)明采用的無機填料必須和混合晶須精確稱量混合,在行星研磨機中研磨至超細粉,要求所有組分的粒徑小于5微米。而市場采購的無機填料往往達不到超細的要求。本發(fā)明采用的超細粉能有效地改善無機填料和晶須的分散均勻性,改善樹脂的收縮性能、強度和柔韌性,滿足本發(fā)明所適用的4050微米的涂層厚度的要求。本發(fā)明采用的混合晶須為晶須硅和聚四氟乙烯晶須的混合物。晶須硅能顯著增強絲鋸強度,同時聚四氟乙烯晶須可以增加絲鋸的柔韌性。試驗證明兩種晶須混合比例(重量比)在63:37的時候效果最佳,可以顯著改善絲鋸的切割性能。UV固化生產金剛石絲鋸的一個難點就是樹脂混合物與金屬絲基體的附著強度。我們采取對生產工藝改進和樹脂進行改性的方法。生產工藝中,對金屬絲基體采用先腐蝕以增加基體的粗糙度,再用專用清洗劑清洗基體表面的雜質和不利于樹脂附著的氧化物等,再^f吏用高壓水洗和風干處理,最后采用紅外預熱器對基體和樹脂混合物進行預熱;樹脂改性為在樹脂中加入一種固化促進劑,固化促進劑為1氮雜環(huán)丙烯或含乙烯基膦的化合物、硫化型鏈轉移劑、硫代乙醇酸異葵酯和十二烷基硫醇的一種或多種。工藝改進以及本發(fā)明采用的促進劑的引入,能夠顯著改善樹脂混合物與金屬絲基體的附著強度。UV固化生產金剛石絲鋸的另一個難點就是樹脂與金剛石的結合力,如果結合強度不夠會導致切割過程中金剛石大量脫落,使用效果不佳。本發(fā)明采取對金剛石進行表面處理和對樹脂進行改性的方法。金剛石表面要經(jīng)過酸洗、活性處理和表面金屬鍍覆技術;樹脂改性主要采取在樹脂中加入活性偶聯(lián)劑,主要是一種硅烷類偶聯(lián)劑。通過金剛石表面活性處理和偶聯(lián)劑的使用,能有效增強金剛石與樹脂的結合力,減少金剛石在切割使用過程中的脫落。本發(fā)明采用的金剛石絲鋸的制造方法包括金剛石粉表面處理、樹脂結合劑制備、樹脂結合劑與金剛石粉混合均勻攪拌形成樹脂混合漿料,以下為工藝流程原料合金絲盤—電腦控制放絲—表面預處理—清洗—風干—樹脂混合漿料涂覆—固化—增加強度處理—牽引傳動裝置—電腦控制收絲—包裝入庫。相比較國內正在研究的電鍍法生產金剛石絲鋸和國外成熟的熱固化樹脂結合劑金剛石絲鋸,用本發(fā)明樹脂結合劑生產的絲鋸具有以下幾個主要優(yōu)點,列表》o下<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>本發(fā)明能耗低,無污染,切削效率高。除適用于金剛石絲鋸的生產外,還可以應用于金剛石超薄切割片和金剛石鋸片等多種金剛石工具的生產中。具體實施方式下面結合實例對本發(fā)明作進一步的論述,但實施例不應視作對本發(fā)明權利的限定。實施例1按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂40、溶劑25、無機填料17、混合晶須10、促進劑4.5、偶聯(lián)劑3.5。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁40、氧化硅30、碳化硅IO、氧化鈰10、氧化鉻10。先將混合晶須和無機填料的各組分精確稱量混合,研磨至超細粉(0.55微米),將此超細粉按比例加入UV固化樹脂,按上述比例加入一定量的溶劑、促進劑和偶聯(lián)劑,得到一種金剛石絲鋸用樹脂結合劑。取本結合劑127.35g,W40鍍鎳金剛石粉35.14g,W1.0金剛石粉15.23g,在磁力攪拌機中攪拌均勻,放入專用涂覆裝置的儲料罐。在專用絲鋸制造設備上,金屬絲經(jīng)過表面處理,涂覆以上樹脂和磨料混合漿料,經(jīng)過固化爐固化,制成金剛石絲鋸。本具體實施方式中采用直徑為0.16mm的琴鋼絲,表面鍍黃銅。W40為鍍鎳金剛石,W1.0為表面無鍍覆細粉,樹脂采用日本TESK公司環(huán)氧類UV固化樹脂。實施例2按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂50、溶劑20、無機填料20、混合晶須5、促進劑3、偶聯(lián)劑2。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁30、氧化硅25、碳化硅15、氧化鈰15、氧化4各15。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,杉于脂選用臺灣EVERWIDE品牌環(huán)氧類UV固化樹脂,其它材料選用同例l,絲鋸制備中樹脂結合劑和金剛石的使用量見表2。實施例3按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂65、溶劑14、無機填料15、混合晶須3.5、促進劑1.5、偶聯(lián)劑1。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁35、氧化硅35、碳化硅15、氧化鈰15。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,材料選用同例1,絲鋸制備中樹脂結合劑和金剛石的使用量見表2。實施例4按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂80、溶劑10、無機填料5、混合晶須2、促進劑2、偶聯(lián)劑1。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁20、氧化硅40、碳化硅17、氧化鈰17、氧化鉻6。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,樹脂選用臺灣EVERWIDE品牌環(huán)氧類UV固化樹脂,其它材料選用同例l,絲鋸制備中樹脂結合劑和金剛石的使用量見表2。對以上實施例1~4中制備的絲鋸進行切割試驗,使用沈陽科晶設備制造有限公司生產的SXZ-2型全自動金剛石線切割機,切割對象為晶體硅,主要切割工藝條件如下切割線速度為150m/min,絲鋸張力為0.3MPa,切割時間為15min,自來水冷卻。切割試驗部分的性能指標如下表2:<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>以上為本發(fā)明4個優(yōu)選例,以下為本發(fā)明確定結合劑構成的10個實施例以及采用其它UV固化樹脂的2個對比例。實施例5按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂30、溶劑25、無機填料25、混合晶須15、促進劑3、偶聯(lián)劑2。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁40、氧化硅40、碳化硅IO、氧化鈰10。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,材料選用同例1,絲鋸制備中樹脂結合劑和金剛石的使用量見表3。實施例6按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂40、溶劑20、無機填料20、混合晶須15、促進劑4.5、偶聯(lián)劑0.5。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁30、氧化硅30、^灰化硅20、氧化鈰10、氧化4各10。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,樹脂選用臺灣EVERWIDE品牌環(huán)氧類UV固化樹脂,其它材料選用同例l,絲鋸制備中樹脂結合劑和金剛石的使用量見表3。實施例7按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂50、溶劑15、無機填料30、混合晶須0.5、促進劑2.5、偶聯(lián)劑2。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁50、氧化硅5、碳化硅15、氧化鈰15、氧化4各15。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,材料選用同例1,絲鋸制備中樹脂結合劑和金剛石的使用量見表3。實施例8按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂55、溶劑10、無機填料5、混合晶須20、促進劑9、偶聯(lián)劑1。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁40、氧化硅40、碳化硅IO、氧化鈰10。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,樹脂選用臺灣EVERWIDE品牌環(huán)氧類UV固化樹脂,其它材料選用同例l,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表3。實施例9按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂60、溶劑5、無機填料15、混合晶須13、促進劑0.5、偶聯(lián)劑6.5。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁5、氧化硅50、碳化硅20、氧化鈰10、氧化4各15。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,材料選用同例1,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表3。實施例10按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂65、溶劑15、無機填料5、混合晶須4.5、促進劑10、偶聯(lián)劑0.5。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁IO、氧化硅25、碳化硅40、氧化鈰10、氧化鉻15。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,樹脂選用臺灣EVERWIDE品牌環(huán)氧類UV固化樹脂,其他材料選用同例l,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表4。實施例11按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂70、溶劑10、無機填料9、混合晶須0.5、促進劑0.5、偶聯(lián)劑10。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁15、氧化硅15、碳化硅20、氧化傳40、氧化4各10。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,材料選用同例1,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表4。實施例12按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂75、溶劑5、無機填料IO、混合晶須8、促進劑1、偶聯(lián)劑1。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁20、氧化硅25、碳化硅20、氧化鈰10、氧化4各25。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,樹脂選用臺灣EVERWIDE品牌環(huán)氧類UV固化樹脂,其它材料選用同例l,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表4。實施例13按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂80、溶劑5、無機填料9、混合晶須0.5、促進劑2.5、偶聯(lián)劑3。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁25、氧化硅20、石友化硅20、氧化鈰20、氧化4各15。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,材料選用同例1,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表4。實施例14按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂90、溶劑1、無機填料7、混合晶須1、促進劑0.5、偶聯(lián)劑0.5。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁20、氧化硅20、碳化硅20、氧化鈰20、氧化鉻20。結合劑的制備方法和絲鋸的制備方法同例1,樹脂選用臺灣EVERWIDE品牌環(huán)氧類UV固化樹脂,其它材料選用同例l,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表4。實施例15,與實施例l基本相同,但其中按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂52、溶劑1、無機填料7、混合晶須l、促進劑0.5、偶聯(lián)劑0.5。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁20、氧化石圭l、石友化硅20、氧化鈰20、氧化4各20。實施例16,與實施例l基本相同,但其中按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂90、溶劑30、無機填料l、混合晶須10、促進劑5、偶聯(lián)劑5。其中,無機填料的組分及重量分數(shù)比是氧化鋁40、氧化石圭20、碳化硅20、氧化4市1、氧化4各20。實施例17,與實施例l基本相同,但其中按重量份計,金剛石絲鋸用樹脂結合劑的組分及重量分數(shù)比是UV固化樹脂90、溶劑15、無機填料l、混合晶須1、促進劑10、偶聯(lián)劑3。只十比例1樹脂采用日本CRCBOND公司丙烯酸類UV固化樹脂,結合劑的配方及制備方法同例2,絲鋸的制備方法同例1,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表3。乂十比例2樹脂采用日本CRCBOND公司丙烯酸類UV固化樹脂,結合劑的配方及制備方法同例3,絲鋸的制備方法同例1,絲鋸制備中樹脂和金剛石的使用量見表4。表3絲鋸的技術與性能參數(shù)<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>本發(fā)明研究的樹脂結合劑與經(jīng)過表面活化處理過的金剛石粉混合,混合漿料在特定的攪拌裝置中分散攪拌。經(jīng)過攪拌均勻的混合漿料在一定工藝下在金屬絲表面進行涂覆、固化,制成的金剛石絲鋸具有固化速度極快、樹脂與金剛石把持力強,金剛石不易脫落,涂層和絲鋸外徑均勻等優(yōu)點,并具有良好的切割效率和切割表面平整度。本結合劑的開發(fā),除用于金剛石絲鋸外,還可以應用于金剛石超薄切割片和金剛石鋸片等多種金剛石工具。權利要求1、一種金剛石絲鋸用樹脂結合劑,其特征在于所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑由UV固化樹脂、溶劑、無機填料、混合晶須、促進劑、偶聯(lián)劑組成;其重量份比例為UV固化樹脂30~90溶劑1~30無機填料1~30混合晶須0.5~20促進劑0.5~10偶聯(lián)劑0.5~10。2、根據(jù)權利要求1所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑,其特征在于所用樹脂為陽離子固化型UV樹脂;該UV樹脂中所舉的光引發(fā)劑選自二苯碘鐵鹽或三苯碌Jt鹽;所述的UV樹脂的預聚物選自活性環(huán)氧化合物或多元醇的混合物。3、根據(jù)權利要求1所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑,其特征在于所述的溶劑為活性單體溶劑,采用單官能或多官能度的丙烯酸單體和乙烯基醚類中的一種或多種;所述的無機填料由以下原料及重量份比例組成氧化鋁150、氧化硅150、碳化硅1~40、氧化鈰1~40、氧化鉻025;6*:i'AA.、.曰.人S_A入^本riaAPL《S3no名7、l"恭曰.^ST.'曰,入JA.〃ij^H'j/p"口wn"《/v力,u,t、w工"v日tj/wr一夕i^H昨、(一j沖日日"。'口一f,所述的促進劑選自1氮雜環(huán)丙烯或含乙烯基膦的化合物、硫化型鏈轉移劑、硫代乙醇酸異葵酯或十二烷基硫醇的一種或多種;所述的偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑。4、根據(jù)權利要求3所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑,其特征在于所述的溶劑選自苯乙烯、丙烯酸丁酯、丙烯酸環(huán)己酯或丙烯酸異辛酯中的一種或多種。5、根據(jù)權利要求1或2或3或4所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑,其特征在于所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑的重量份比例為UV固化樹脂5060溶劑1520無機填料10~15混合晶須510促進劑5~10偶聯(lián)劑3~5。6、根據(jù)權利要求5所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑,其特征在于所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑的最佳重量份比例為UV固化樹脂52溶劑16無機填料13混合晶須8促進劑7'偶耳關劑4。7、一種權利要求1所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑的生產方法,其特征在于,步驟如下(1).首先將混合晶須和無機填料的各組分精確稱量混合;(2).將上述混合物在行星研磨機中研磨至超細粉;根據(jù)原料粒徑不同需要研磨的時間不同,直至各組分的分散性良好并且粒徑小于5微米;(3).將上述超細粉按比例加入UV固化樹脂,加入一定量的溶劑、促進劑和偶聯(lián)劑,得到一種新型金剛石絲鋸用樹脂結合劑。8、根據(jù)權利要求7所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑的生產方法,其特征在于所用樹脂為陽離子固化型UV樹脂;該UV樹脂中所述的光引發(fā)劑選自二苯碘鐵鹽或三苯硫鐵鹽;所述的UV樹脂的預聚物選自活性環(huán)氧化合物或多元醇的混合物。9、根據(jù)權利要求7或8所述的金剛石絲鋸用樹脂結合劑的生產方法,其特征在于所述的溶劑為活性單體溶劑,選自苯乙烯、丙烯酸丁酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸異辛酯中的一種或多種;所述的無機填料由以下原料及重量份比例組成氧化鋁1~50、氧化硅1~50、碳化硅1~40、氧化鈰140、氧化鉻0~25;所述的混合晶須為一種含元素硅的晶須和聚四氟乙烯晶須混合物;所述的促進劑為1氮雜環(huán)丙烯、含乙烯基膦的化合物、疏化型鏈轉移劑、硫代乙醇酸異葵酯或十二烷基硫醇的一種或多種;所述的偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑。全文摘要金剛石絲鋸用樹脂結合劑及其制備方法樹脂結合劑的重量份比例為UV固化樹脂30~90;溶劑1~30;無機填料1~30;混合晶須0.5~20;促進劑0.5~10;偶聯(lián)劑0.5~10。所用樹脂為陽離子固化型UV樹脂;其中的光引發(fā)劑選自二苯碘鎓鹽或三苯硫鎓鹽;其中的預聚物選自活性環(huán)氧化合物或多元醇的混合物。溶劑為活性單體溶劑,采用單官能或多官能度的丙烯酸單體和乙烯基醚類中的一種或多種;混合晶須為含元素硅的晶須和聚四氟乙烯晶須混合物;促進劑選自1~氮雜環(huán)丙烯或含乙烯基膦的化合物、硫化型鏈轉移劑、硫代乙醇酸異葵酯或十二烷基硫醇的一種或多種;偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑。本發(fā)明能耗低,無污染,切削效率高。文檔編號C08G59/18GK101445587SQ200810243228公開日2009年6月3日申請日期2008年12月26日優(yōu)先權日2008年12月26日發(fā)明者朱漢波,莫祥銀申請人:南京師范大學