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一種大直徑石英坩堝模具的制作方法

文檔序號(hào):10029762閱讀:521來(lái)源:國(guó)知局
一種大直徑石英坩堝模具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型設(shè)及石英相蝸,具體設(shè)及一種大直徑石英相蝸模具。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前國(guó)內(nèi)石英相蝸生產(chǎn)還停留在22寸-24寸生產(chǎn),大尺寸28寸-32寸石英相蝸 還依賴進(jìn)口,國(guó)內(nèi)生產(chǎn)大尺寸石英相蝸的工藝還不成熟,在生產(chǎn)過(guò)程中遇到各種各樣的問(wèn) 題,包含烙制時(shí)石英相蝸外形不達(dá)標(biāo)、石英相蝸內(nèi)表面玻璃化程度低導(dǎo)致拉晶變形等,主要 原因還是制造大尺寸石英相蝸時(shí)烙制的關(guān)鍵因素溫度不能達(dá)到合理要求,大尺寸石英相蝸 與小尺寸石英相蝸的明顯區(qū)別在于相蝸的外徑大、壁厚厚,正常工藝?yán)又茣r(shí),由于電極與模 具內(nèi)壁的距離Dl比烙制小尺寸時(shí)的大(如圖3和圖4所示),電極產(chǎn)生的溫度在大尺寸模 具內(nèi)不能充分將模具內(nèi)表面的原料融化,模具上口的溫度流失大,延長(zhǎng)烙制時(shí)間能源消耗 大效果不明顯,導(dǎo)致石英相蝸外形尺寸很難形成,內(nèi)表面的玻璃化程度也會(huì)相應(yīng)的降低,導(dǎo) 致相蝸品質(zhì)下降,在拉制單晶過(guò)程中石英相蝸容易出現(xiàn)很多問(wèn)題,變形、析晶、易斷線等。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003] 發(fā)明目的:本實(shí)用新型的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,提供一種大直徑石 英相蝸模具。
[0004] 技術(shù)方案:本實(shí)用新型所述的一種大直徑石英相蝸模具,包括不誘鋼水冷模具、 石墨模具、石英砂料層W及保溫圈,所述石墨模具設(shè)置于不誘鋼水冷模具內(nèi)部,石墨模具的 內(nèi)壁處覆有石英砂料層,石墨模具上方設(shè)置有保溫圈,所述保溫圈為耐高溫材質(zhì)制成的保 溫圈,保溫圈的外徑比石英砂料層的外徑大100mm,保溫圈的厚度為10mm,保溫圈的高度為 100 ~150mm.D
[0005] 進(jìn)一步的,所述保溫圈在石英相蝸電弧烙制過(guò)程中保持置于石墨模具上口,保溫 圈與石墨模具之間的距離為小于10mm。
[0006] 進(jìn)一步的,所述保溫圈由石墨或石英制成。
[0007] 進(jìn)一步的,還包括石墨電極,所述石墨電極穿過(guò)保溫圈后置于石英砂料層中,每根 石墨電極之間呈正=角形分布,每根石墨電極的底端與石墨模具內(nèi)壁之間的距離為10~ 20畑1。
[0008] 有益效果:本實(shí)用新型在大尺寸石英相蝸的烙制過(guò)程中增加保溫圈,能夠充分提 高相蝸烙制溫度,保證石英相蝸外形尺寸,提高相蝸內(nèi)表面玻璃化結(jié)構(gòu),大大提高了石英相 蝸的質(zhì)量。
【附圖說(shuō)明】
[0009] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0010] 圖2為本實(shí)用新型中保溫圈的結(jié)構(gòu);
[0011] 圖3為本實(shí)用新型中保溫圈與石墨模具之間的安裝示意圖;
[0012] 圖4為本實(shí)用新型的俯視圖;
[0013] 圖5為本實(shí)用新型的石墨電極的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014] 下面對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于 所述實(shí)施例。
[0015] 如圖1至圖5所示,本實(shí)用新型所述的一種大直徑石英相蝸模具,包括不誘鋼水冷 模具1、石墨模具2、石英砂料層3W及保溫圈4,所述石墨模具2設(shè)置于不誘鋼水冷模具1 內(nèi)部,石墨模具2的內(nèi)壁處覆有石英砂料層3,石墨模具2上方設(shè)置有保溫圈4,所述保溫圈 4為耐高溫材質(zhì)制成的保溫圈4,保溫圈4的外徑比石英砂料層3的外徑大100mm,保溫圈4 的厚度為10mm,保溫圈4的高度為100~150mm.。
[0016] 其中,保溫圈4在石英相蝸電弧烙制過(guò)程中保持置于石墨模具2上口,保溫圈4與 石墨模具2之間的距離為小于IOmm;保溫圈4由石墨或石英制成。
[0017] 并且,本實(shí)用新型中還包括石墨電極5,所述石墨電極5穿過(guò)保溫圈4后置于石英 砂料層3中,每根石墨電極5之間呈正=角形分布,每根石墨電極5的底端與石墨模具2內(nèi) 壁之間的距離為10~20畑1。
[001引實(shí)施例1 :
[0019] 本實(shí)施中,烙制28寸石英相蝸,28寸石英相蝸的尺寸要求如表1 :
[0020] 表 1
[0021]
[0022] 同時(shí),選擇石墨和石英等耐高溫材料制作保溫圈4,保溫圈4的外徑要求大于烙制 石英相蝸尺寸的100mm,厚度10mm,高度100-150mm,本實(shí)施例中,保溫圈4的具體參數(shù)如表 2 :
[0023]表 2
[0024]
[002引保溫圈4在烙制過(guò)程中一直保持放在模具上口,與模具的間隙a控制在IOmmW內(nèi)。
[0026] 本實(shí)用新型能夠防止石墨模具2口的溫度流失過(guò)快,具有良好的保溫效果。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種大直徑石英坩堝模具,其特征在于:包括不銹鋼水冷模具、石墨模具、石英砂料 層以及保溫圈,所述石墨模具設(shè)置于不銹鋼水冷模具內(nèi)部,石墨模具的內(nèi)壁處覆有石英砂 料層,石墨模具上方設(shè)置有保溫圈,所述保溫圈為耐高溫材質(zhì)制成的保溫圈,保溫圈的外徑 比石英砂料層的外徑大1〇〇_,保溫圈的厚度為1〇_,保溫圈的高度為100~150mm.。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的大直徑石英坩堝模具,其特征在于:所述保溫圈在石英坩堝 電弧熔制過(guò)程中保持置于石墨模具上口,保溫圈與石墨模具之間的距離為小于l〇mm。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的大直徑石英坩堝模具,其特征在于:所述保溫圈由石墨或石 英制成。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的大直徑石英坩堝模具,其特征在于:還包括石墨電極,所述石 墨電極穿過(guò)保溫圈后置于石英砂料層中,每根石墨電極之間呈正三角形分布,每根石墨電 極的底端與石墨模具內(nèi)壁之間的距離為10~20cm。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種大直徑石英坩堝模具,包括不銹鋼水冷模具、石墨模具、石英砂料層以及保溫圈,所述石墨模具設(shè)置于不銹鋼水冷模具內(nèi)部,石墨模具的內(nèi)壁處覆有石英砂料層,石墨模具上方設(shè)置有保溫圈,所述保溫圈為耐高溫材質(zhì)制成的保溫圈,保溫圈的外徑比石英砂料層的外徑大100mm,保溫圈的厚度為10mm,保溫圈的高度為100~150mm。本實(shí)用新型在大尺寸石英坩堝的熔制過(guò)程中增加保溫圈,能夠充分提高坩堝熔制溫度,保證石英坩堝外形尺寸,提高坩堝內(nèi)表面玻璃化結(jié)構(gòu),大大提高了石英坩堝的質(zhì)量。
【IPC分類】C03B20/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204939261
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520623131
【發(fā)明人】劉福鴻, 馮濤
【申請(qǐng)人】江蘇華爾石英材料股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月6日
【申請(qǐng)日】2015年8月18日
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