通路，一個循環(huán)通路接入所述的外冷卻系統(tǒng)，另一循環(huán)通路接入所述純水循環(huán)系統(tǒng)的純水冷卻回水槽12和純水冷卻進水槽11之間。外冷卻系統(tǒng)可以冷卻塔為中心，通過熱交換器I間接對純水循環(huán)系統(tǒng)的純水進行降溫。
[0029]本實用新型中還包括PLC，所述水溫傳感器6與PLC的輸入端相連，所述PLC的輸出端分別與所述第一電動流量調(diào)節(jié)閥、第二電動流量調(diào)節(jié)閥、第三電動流量調(diào)節(jié)閥和第四電動流量調(diào)節(jié)閥相連?？梢愿鶕?jù)第一水溫傳感器10-1和第二水溫傳感器10-2反饋的溫度信號，調(diào)整對所述第一電動流量調(diào)節(jié)閥、第二電動流量調(diào)節(jié)閥、第三電動流量調(diào)節(jié)閥和第四電動流量調(diào)節(jié)閥的流量，實現(xiàn)了不同爐體不同部件的分別控制，可根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)冷卻水溫度。
[0030]本實用新型中所述第一純水冷卻水回路和所述第二純水冷卻水回路設(shè)置有冷卻水閥門3-2，所述第一純水冷凍水回路和所述第二純水冷凍水回路設(shè)置有冷凍水閥門3-3?？筛鶕?jù)季節(jié)選擇冷卻方式。
[0031]本實用新型的工作過程如下:
[0032]純水冷卻進水槽12通過管路水栗為設(shè)備提供純水冷水，純水冷水最終分為三個支路:1.通過安裝有第一電動流量調(diào)節(jié)閥6-1的管路進入水冷套、副爐室7的進水口 ；2.通過安裝有第三電動流量調(diào)節(jié)閥6-3的管路進入主爐室9的進水口 ；3.進入水冷機組8的純水冷卻水進水口。
[0033]水冷機組的冷凍水出水口流出的冷凍水分為兩個支路:1.通過安裝有第二電動流量調(diào)節(jié)閥6-2的管路進入水冷套、副爐室7的進水口 ；2.通過安裝有第四電動流量調(diào)節(jié)閥6-4的管路進入主爐室9的進水口。
[0034]水冷套、副爐室7的出水口和主爐室9的出水口流出的回水分為兩個支路:1.直接通過管路進入純水冷卻回水槽11內(nèi)；2.通過管路進入水冷機組的純水冷凍水回水口，經(jīng)水冷機組的純水冷卻水回水口流出，進入純水冷卻水回水槽11內(nèi)。
[0035]純水冷卻水回水槽11內(nèi)的純水冷卻水經(jīng)帶有純水槽閥門3-4和純水槽栗4-3的管路經(jīng)熱交換器I進行熱交換冷卻后進入純水冷卻進水槽12內(nèi)。
[0036]水源槽5內(nèi)的水經(jīng)熱交換器I進行熱交換后進入冷卻塔進行冷卻后再返回水源槽5內(nèi)完成對純水循環(huán)系統(tǒng)的冷卻。
[0037]本實用新型第一水溫傳感器和第二水溫傳感器將溫度信號傳遞給PLC，PLC根據(jù)針對單晶爐不同階段工藝溫度曲線設(shè)置的冷卻水溫度曲線，控制調(diào)節(jié)四個電動流量調(diào)節(jié)閥5的出水流量，并在觸摸屏上顯示該溫度曲線及實時溫度。實現(xiàn)了不同爐體不同部件的分別控制，可根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)冷卻水溫度。
[0038]本實用新型中單晶爐爐體9中設(shè)置有水冷套13，與單晶硅棒距離較近，在長晶階段降低該水路水溫，可有效提高拉速。
[0039]以上所述實施方式僅為本實用新型的優(yōu)選實施例，而并非本實用新型可行實施的窮舉。對于本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本實用新型原理和精神的前提下對其所作出的任何顯而易見的改動，都應(yīng)當被認為包含在本實用新型的權(quán)利要求保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于單晶爐的變溫冷卻系統(tǒng)，其特征在于，其包括熱交換器(I)、外冷卻系統(tǒng)和純水循環(huán)系統(tǒng)； 所述外冷卻系統(tǒng)包括相互串聯(lián)連接形成回路的水冷塔(2)、閥門(3-1)、外水栗(4-1)和水源槽(5); 所述純水循環(huán)系統(tǒng)包括水冷套、副爐室水冷水路和主爐室水冷水路，所述水冷套、副爐室水冷水路由第一純水冷卻水回路與第一純水冷凍水回路并聯(lián)組成，所述主爐室水冷水路由第二純水冷卻水回路與第二純水冷凍水回路并聯(lián)組成； 所述第一純水冷卻水回路為包含純水冷卻水槽、水栗(4-2)、第一電動流量調(diào)節(jié)閥(6-1)和水冷套、副爐室(7)的串聯(lián)回路; 所述第一純水冷凍水回路為包含純水冷卻水槽、水栗(4-2)、冷凍機組(8)、第二電動流量調(diào)節(jié)閥(6-2)和水冷套、副爐室(7)的串聯(lián)回路； 所述第二純水冷卻水回路為包含純水冷卻水槽、水栗(4-2)、第三電動流量調(diào)節(jié)閥(6-3)和主爐室(9)的串聯(lián)回路； 所述第二純水冷凍水回路為包含純水冷卻水槽、水栗、冷凍機組、第四電動流量調(diào)節(jié)閥(6-4)和主爐室(9)的串聯(lián)回路； 所述熱交換器(I)包含兩個獨立的循環(huán)通路，一個循環(huán)通路接入所述的外冷卻系統(tǒng)，另一循環(huán)通路接入所述的純水循環(huán)系統(tǒng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶爐的變溫冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述純水冷卻水槽包括串聯(lián)設(shè)置的純水冷卻回水槽(12)和純水冷卻進水槽(11)，所述熱交換器(I)設(shè)置于所述純水冷卻回水槽(12)和純水冷卻進水槽(11)之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶爐的變溫冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述水冷套、副爐室水冷水路出水口設(shè)置有第一水溫傳感器(10-1)，所述主爐室的出水口設(shè)置有第二水溫傳感器(10-2)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶爐的變溫冷卻系統(tǒng)，其特征在于，還包括PLC，第一水溫傳感器(10-1)和第二水溫傳感器(10-2)分別與PLC的輸入端相連，所述PLC的輸出端分別與所述第一電動流量調(diào)節(jié)閥(6-1)、第二電動流量調(diào)節(jié)閥(6-2)、第三電動流量調(diào)節(jié)閥(6-3)和第四電動流量調(diào)節(jié)閥(6-4)相連。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶爐的變溫冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述第一純水冷卻水回路和所述第二純水冷卻水回路設(shè)置有冷卻水閥門(3-2)，所述第一純水冷凍水回路和所述第二純水冷凍水回路設(shè)置有冷凍水閥門(3-3)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于單晶爐的變溫冷卻系統(tǒng),其包括熱交換器、外冷卻系統(tǒng)和純水循環(huán)系統(tǒng)；所述外冷卻系統(tǒng)包括相互串聯(lián)連接形成回路的水冷塔、閥門、外水泵和水源槽；所述純水循環(huán)系統(tǒng)包括水冷套、副爐室水冷水路和主爐室水冷水路，所述水冷套、副爐室水冷水路由第一純水冷卻水回路與第一純水冷凍水回路并聯(lián)組成，所述主爐室水冷水路由第二純水冷卻水回路與第二純水冷凍水回路并聯(lián)組成；所述熱交換器包含兩個獨立的循環(huán)通路，一個循環(huán)通路接入所述的外冷卻系統(tǒng)，另一循環(huán)通路接入所述的純水循環(huán)系統(tǒng)。本實用新型可以根據(jù)季節(jié)選擇冷卻方式，亦可根據(jù)不同工藝階段需要的冷卻水溫度調(diào)配冷卻水。本實用新型可有效提高單晶爐拉晶速度、降低加熱損耗。
【IPC分類】C30B15/00, C30B29/06
【公開號】CN204825114
【申請?zhí)枴緾N201520376166
【發(fā)明人】劉英江, 黃旭光, 趙京通
【申請人】河北晶龍陽光設(shè)備有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年6月3日