一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于直拉法單晶爐生長(zhǎng)單晶硅技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，半導(dǎo)體及太陽(yáng)能行業(yè)所用硅單晶的主要生長(zhǎng)方法是直拉法，此方法用到的設(shè)備是單晶爐。把固態(tài)塊狀的多晶硅裝入到單晶爐中的石英坩禍中，用單晶爐中的石墨加熱器對(duì)多晶硅進(jìn)行加熱熔化，爐內(nèi)溫度高達(dá)1500 0C，熔化后經(jīng)過引晶、放肩、等徑、收尾、停爐等過程拉制出單晶硅棒，整個(gè)過程需要40-60小時(shí)，整個(gè)過程熔硅中的硅的氧化物、各種摻雜劑的氧化物等持續(xù)的揮發(fā)出來，沉積到單晶爐的爐壁及石墨熱場(chǎng)的各個(gè)部件之上，拉晶結(jié)束后需要對(duì)單晶爐的各部件進(jìn)行清掃，以便進(jìn)行下一爐次的生長(zhǎng)。另一方面，重?fù)絅型單晶硅的需求日益增多，重?fù)絅型單晶使用的摻雜劑主要有銻，砷，磷三種元素。拉晶過程中該三種物質(zhì)產(chǎn)生的氧化物是毒有害物質(zhì)，當(dāng)單晶硅棒拉制完成后，人員對(duì)單晶爐各部件和熱場(chǎng)各部件進(jìn)行清掃時(shí)，不當(dāng)?shù)牟僮魅菀自斐扇藛T的傷害和環(huán)境污染。對(duì)單晶爐清掃一般使用簡(jiǎn)易吸塵器或者袋式除塵器進(jìn)行，使用一定時(shí)間后吸塵器及袋式除塵器的濾芯也需要進(jìn)行人工清掃，產(chǎn)生二次污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置，該裝置有效地解決了清掃單晶爐和更換濾芯對(duì)工作人員造成傷害和環(huán)境污染的問題，同時(shí)提高了清掃效率。
[0004]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置，包括支架和設(shè)置在支架上的過濾腔，過濾腔的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口，另一側(cè)設(shè)有排氣口，過濾腔的底部依次連接錐形導(dǎo)流筒和收塵筒；所述過濾腔的內(nèi)部水平設(shè)置有多個(gè)濾芯，濾芯的出氣口處設(shè)有脈沖反吹管道，脈沖反吹管道的進(jìn)氣端與壓縮空氣管道連接，且在脈沖反吹管道上，沿進(jìn)氣方向依次設(shè)有球閥、脈沖閥和穩(wěn)壓閥；所述過濾腔的排氣口處連接有排氣管道，排氣管道上設(shè)有氣環(huán)真空泵。
[0005]進(jìn)一步優(yōu)化，所述的水平設(shè)置的濾芯共有四個(gè)。
[0006]進(jìn)一步優(yōu)化，所述的錐形導(dǎo)流筒的底端通過快脫卡箍連接收塵筒。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型至少具有下述優(yōu)點(diǎn)及有益效果:
[0008]本實(shí)用新型提供的單晶爐清掃裝置，有效地解決了清掃單晶爐、尤其是重?fù)诫s單晶爐，造成人員傷害和環(huán)境污染的問題，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了多臺(tái)單晶爐同時(shí)進(jìn)行清掃，減小了清掃爐子所需的人力，提高了爐子清掃效率，更最大程度上避免了更換濾芯和更換收塵筒時(shí)對(duì)人員和環(huán)境的危害。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實(shí)用新型中濾芯的布置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]附圖標(biāo)記:1、支架，2、過濾腔，3、進(jìn)氣口，4、錐形導(dǎo)流筒，5、收塵筒，6、濾芯，7、脈沖反吹管道，8、球閥，9、脈沖閥，10、穩(wěn)壓閥，11、排氣管道，12、氣環(huán)真空泵，13、快脫卡箍。
【具體實(shí)施方式】
[0012]為使本實(shí)用新型的內(nèi)容更明顯易懂，以下結(jié)合具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0013]如圖所示，一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置，包括支架I和設(shè)置在支架I上的過濾腔2，過濾腔2的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口 3，另一側(cè)設(shè)有排氣口，過濾腔2的底部依次連接錐形導(dǎo)流筒4和收塵筒5 ;所述過濾腔2的內(nèi)部水平設(shè)置有多個(gè)濾芯6，濾芯6的出氣口處設(shè)有脈沖反吹管道7，脈沖反吹管道7的進(jìn)氣端與壓縮空氣管道連接，且在脈沖反吹管道7上，沿進(jìn)氣方向依次設(shè)有球閥8、脈沖閥9和穩(wěn)壓閥10 ;所述過濾腔2的排氣口處連接有排氣管道11，排氣管道11上設(shè)有氣環(huán)真空泵12。
[0014]為了使本實(shí)用新型具有更好的使用效果，所述的水平設(shè)置的濾芯6共有四個(gè)，所述的錐形導(dǎo)流筒4的底端通過快脫卡箍13連接收塵筒5。
[0015]本技術(shù)方案中，附圖中箭頭表示揮發(fā)物等的流動(dòng)方向。當(dāng)單晶爐停爐進(jìn)行清掃時(shí)，啟動(dòng)圖中氣環(huán)真空泵12，把單晶爐揮發(fā)物等抽入裝置進(jìn)氣口 3，在過濾腔2中，大粒徑顆粒石英渣等經(jīng)過錐形導(dǎo)流筒4進(jìn)入到收塵筒5中，小粒徑顆粒經(jīng)過濾芯6過濾，潔凈的氣體經(jīng)過排氣管道11排入大氣。當(dāng)處理一定時(shí)間后，壓縮空氣經(jīng)過壓縮空氣管道，經(jīng)過球閥8、穩(wěn)壓閥10、脈沖閥9，把干燥潔凈的壓縮空氣吹入濾芯6出氣口中，對(duì)濾芯6進(jìn)行吹掃，保持濾芯6的潔凈，延遲更換濾芯6的時(shí)間及延長(zhǎng)濾芯6的壽命。當(dāng)收集一段時(shí)間后，通過快脫卡箍13，更換收塵筒5，實(shí)現(xiàn)清掃裝置的繼續(xù)運(yùn)行。
[0016]本實(shí)用新型所列舉的技術(shù)方案和實(shí)施方式并非是限制，與本實(shí)用新型所列舉的技術(shù)方案和實(shí)施方式等同或者效果相同方案都在本實(shí)用新型所保護(hù)的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置，包括支架(I)和設(shè)置在支架(I)上的過濾腔(2)，過濾腔(2)的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口(3)，另一側(cè)設(shè)有排氣口，過濾腔(2)的底部依次連接錐形導(dǎo)流筒(4)和收塵筒(5)，其特征在于:所述過濾腔(2)的內(nèi)部水平設(shè)置有多個(gè)濾芯(6)，濾芯(6)的出氣口處設(shè)有脈沖反吹管道(7)，脈沖反吹管道(7)的進(jìn)氣端與壓縮空氣管道連接，且在脈沖反吹管道(7 )上，沿進(jìn)氣方向依次設(shè)有球閥(8 )、脈沖閥(9 )和穩(wěn)壓閥(10 );所述過濾腔(2 )的排氣口處連接有排氣管道(11)，排氣管道(11)上設(shè)有氣環(huán)真空泵(12 )。2.如權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置，其特征在于:所述的水平設(shè)置的濾芯(6)共有四個(gè)。3.如權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置，其特征在于:所述的錐形導(dǎo)流筒(4 )的底端通過快脫卡箍(13 )連接收塵筒(5 )。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置，包括支架和設(shè)置在支架上的過濾腔，過濾腔的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口，另一側(cè)設(shè)有排氣口，過濾腔的底部依次連接錐形導(dǎo)流筒和收塵筒；所述過濾腔的內(nèi)部水平設(shè)置有多個(gè)濾芯，濾芯的出氣口處設(shè)有脈沖反吹管道，脈沖反吹管道的進(jìn)氣端與壓縮空氣管道連接，且在脈沖反吹管道上，沿進(jìn)氣方向依次設(shè)有球閥、脈沖閥和穩(wěn)壓閥；所述過濾腔的排氣口處連接有排氣管道，排氣管道上設(shè)有氣環(huán)真空泵。本實(shí)用新型提供的直拉單晶爐揮發(fā)物清掃裝置有效地解決了清掃單晶爐和更換濾芯對(duì)工作人員造成傷害和環(huán)境污染的問題，同時(shí)提高了清掃效率。
【IPC分類】C30B15/00
【公開號(hào)】CN204690160
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520360611
【發(fā)明人】劉要普, 鄧德翼, 張明亮, 令狐鐵兵, 李中軍
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年10月7日
【申請(qǐng)日】2015年5月30日