一種四氯化硅節(jié)能汽化器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種四氯化硅節(jié)能汽化器，包括：汽化器殼體、氫氣分布器和封閉式加熱管；所述汽化器殼體的兩個(gè)相對(duì)壁面的底端和頂端分別開(kāi)設(shè)有四氯化硅入口和四氯化硅蒸汽出口；所述氫氣分布器放置在所述汽化器殼體的底部，其上連接有連通至所述汽化器殼體外部的插入管，所述封閉式加熱管縱向排布在所述汽化器殼體內(nèi)；所述封閉式加熱管的管口密閉，其管內(nèi)插入有電加熱棒，并在所述電加熱棒與加熱管管殼之間密封填充有導(dǎo)熱油。本發(fā)明通過(guò)封閉式加熱管的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不僅簡(jiǎn)化了加熱操作，還避免加熱大量導(dǎo)熱油，有效降低了能耗，其加熱接觸面積大，溫度均勻，給四氯化硅提高高效穩(wěn)定的熱源，綜合性能優(yōu)異，市場(chǎng)前景廣闊。
【專利說(shuō)明】
一種四氯化硅節(jié)能汽化器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種四氯化硅節(jié)能汽化器。
【背景技術(shù)】
[0002]近幾年來(lái)，隨著太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，多晶硅作為太陽(yáng)能電池板或組件的原材料常量也大幅增加，與此同時(shí)，多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的副產(chǎn)物四氯化硅也大幅增多，這對(duì)環(huán)境產(chǎn)生了巨大的壓力，也為多晶硅生產(chǎn)的原料三氯氫硅的循環(huán)生成帶來(lái)了困擾，而要實(shí)現(xiàn)四氯化硅到三氯氫硅的轉(zhuǎn)化，首先就是要實(shí)現(xiàn)四氯化硅的汽化。因此，為了能夠?qū)崿F(xiàn)上述目的，四氯化硅必須先經(jīng)過(guò)汽化處理。
[0003]現(xiàn)有四氯化硅汽化裝置基本為臥式或立式，并采用電加熱棒或U型換熱管提供熱源實(shí)現(xiàn)汽化的目的。但電加熱棒存在接觸面積小、溫度不均勻，四氯化硅易出現(xiàn)湍流等缺點(diǎn)，而采用U型換熱管，以導(dǎo)熱油為換熱介質(zhì)，需要另外設(shè)置導(dǎo)熱油存儲(chǔ)箱，分別與U型換熱管的入口和出口連接，工藝復(fù)雜，且導(dǎo)熱油的加熱量大，能量成本高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種一種四氯化硅節(jié)能汽化器，能夠解決現(xiàn)有四氯化硅汽化器存在的上述缺點(diǎn)。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種四氯化硅節(jié)能汽化器，包括:汽化器殼體、氫氣分布器和封閉式加熱管;所述汽化器殼體的兩個(gè)相對(duì)壁面的底端和頂端分別開(kāi)設(shè)有四氯化硅入口和四氯化硅蒸汽出口；所述氫氣分布器放置在所述汽化器殼體的底部，其上連接有連通至所述汽化器殼體外部的插入管，所述封閉式加熱管縱向排布在所述汽化器殼體內(nèi)；所述封閉式加熱管的管口密閉，其管內(nèi)插入有電加熱棒，并在所述電加熱棒與加熱管管殼之間密封填充有導(dǎo)熱油。
[0006]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述導(dǎo)熱油在所述封閉式加熱管內(nèi)的填充量占所述封閉式加熱管體積的60?80%，且所述電加熱棒浸沒(méi)在所述導(dǎo)熱油內(nèi)。
[0007]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述電加熱棒位于所述封閉式加熱管的管口一端帶有與加熱電源連接的電極。
[0008]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述封閉式加熱管為U型管，所述U型管的至少一個(gè)管壁內(nèi)帶有電加熱棒。
[0009]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述氫氣分布器為倒錐形結(jié)構(gòu)，其錐形面上均勻分布有氣孔。
[0010]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述氫氣分布器的個(gè)數(shù)為I?3個(gè)。
[0011]在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中，所述插入管位于所述汽化器殼體外部的端口上連接有氫氣緩沖罐。
[0012]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明一種四氯化硅節(jié)能汽化器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，其通過(guò)封閉式加熱管的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不僅簡(jiǎn)化了加熱操作，還避免加熱大量導(dǎo)熱油，有效降低了能耗，其加熱接觸面積大，溫度均勾，給四氯化娃提高高效穩(wěn)定的熱源，綜合性能優(yōu)異，市場(chǎng)前景廣闊。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本發(fā)明一種四氯化硅節(jié)能汽化器一較佳實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
附圖中各部件的標(biāo)記如下:1.汽化器殼體，2.氫氣分布器，3.封閉式加熱管，4.四氯化娃入口，5.四氯化娃蒸汽出口，6.插入管，7.氫氣緩沖罐，8.電加熱棒，9.導(dǎo)熱油，10.電極。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[00?5]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施例包括:
實(shí)施例1
一種四氯化娃節(jié)能汽化器，包括:汽化器殼體1、氫氣分布器2和封閉式加熱管3。
[0016]其中，所述汽化器殼體I的兩個(gè)相對(duì)壁面的底端和頂端分別開(kāi)設(shè)有四氯化硅入口4和四氯化硅蒸汽出口 5。
[0017]所述氫氣分布器2為倒錐形結(jié)構(gòu)，其錐形面上均勻分布有氣孔，用于將氫氣向下噴出，以與四氯化硅氣體成分混合，該氫氣分布器2的個(gè)數(shù)為I?3個(gè)，均勻放置在汽化器殼體I的底部，其底端與一根用于提供氫氣流的插入管6連通，該插入管6的另一端伸出汽化器殼體I的外部，并連接有氫氣緩沖罐7，以使氫氣以均勻平緩的速度流入氫氣分布器2內(nèi)。
[0018]所述封閉式加熱管3縱向排布在汽化器殼體I內(nèi)，其管口密閉，管內(nèi)插入有電加熱棒8，并在電加熱棒8與加熱管管殼之間密封填充有導(dǎo)熱油9，導(dǎo)熱油9的填充量占所述封閉式加熱管體積的60?80%，一方面使電加熱棒浸沒(méi)在導(dǎo)熱油內(nèi)，另一方面防止導(dǎo)熱油受熱脹破加熱管。電加熱棒8位于封閉式加熱管3的管口一端帶有電極10，用于與加熱電源連接。
[0019]上述封閉式加熱管3為U型管，且U型管的一個(gè)管臂內(nèi)帶有電加熱棒8。
[0020]實(shí)施例2
與實(shí)施例1的區(qū)別在于，所述封閉式加熱管3的兩個(gè)管臂上均帶有電加熱棒8。
[0021]以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種四氯化娃節(jié)能汽化器，其特征在于，包括:汽化器殼體、氫氣分布器和封閉式加熱管;所述汽化器殼體的兩個(gè)相對(duì)壁面的底端和頂端分別開(kāi)設(shè)有四氯化硅入口和四氯化硅蒸汽出口；所述氫氣分布器放置在所述汽化器殼體的底部，其上連接有連通至所述汽化器殼體外部的插入管，所述封閉式加熱管縱向排布在所述汽化器殼體內(nèi)；所述封閉式加熱管的管口密閉，其管內(nèi)插入有電加熱棒，并在所述電加熱棒與加熱管管殼之間密封填充有導(dǎo)熱油。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四氯化硅節(jié)能汽化器，其特征在于，所述導(dǎo)熱油在所述封閉式加熱管內(nèi)的填充量占所述封閉式加熱管體積的60?80%，且所述電加熱棒浸沒(méi)在所述導(dǎo)熱油內(nèi)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的四氯化硅節(jié)能汽化器，其特征在于，所述電加熱棒位于所述封閉式加熱管的管口一端帶有與加熱電源連接的電極。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的四氯化硅節(jié)能汽化器，其特征在于，所述封閉式加熱管為U型管，所述U型管的至少一個(gè)管臂內(nèi)帶有電加熱棒。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四氯化硅節(jié)能汽化器，其特征在于，所述氫氣分布器為倒錐形結(jié)構(gòu)，其錐形面上均勻分布有氣孔。6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的四氯化硅節(jié)能汽化器，其特征在于，所述氫氣分布器的個(gè)數(shù)為I?3個(gè)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四氯化硅節(jié)能汽化器，其特征在于，所述插入管位于所述汽化器殼體外部的端口上連接有氫氣緩沖罐。
【文檔編號(hào)】C01B33/107GK106082236SQ201610688765
【公開(kāi)日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年8月19日 公開(kāi)號(hào)201610688765.8, CN 106082236 A, CN 106082236A, CN 201610688765, CN-A-106082236, CN106082236 A, CN106082236A, CN201610688765, CN201610688765.8
【發(fā)明人】施兆武
【申請(qǐng)人】太倉(cāng)市金錨化工有限公司