一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明專利涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]直拉單晶是一種周期性的、非連續(xù)的生產(chǎn)過程。每個(gè)周期結(jié)束后，都需要等待爐內(nèi)溫度冷卻到300°C以下后，才能進(jìn)行拆爐、清理及下個(gè)生產(chǎn)周期的準(zhǔn)備工作。另外，由于直拉單晶生產(chǎn)過程是持續(xù)的高溫過程，為了降低拉晶能耗，爐內(nèi)設(shè)置了大量的保溫層，導(dǎo)致停爐后需要等待6?1h才能使?fàn)t內(nèi)熱場冷卻下來，此段時(shí)間占整個(gè)生產(chǎn)周期的1/8。這期間爐子處于閑置狀態(tài)，降低了單晶制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)率，影響了單晶爐拉晶的效率。并且在利用單晶爐生產(chǎn)的過程中如果材料冷卻的過快，會(huì)對材料自身也會(huì)產(chǎn)生影響，從而產(chǎn)生不必要的損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是在輸送的過程中通過設(shè)置在兩側(cè)的噴霧冷卻裝置來對生成的單晶硅進(jìn)行噴霧冷卻，大大提高了其的工作效率;而發(fā)明了一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)。
[0004]為解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)，包括
[0005]底座，
[0006]輸送框架，所述的輸送框架設(shè)置在底座上，
[0007]滾輪組件，所述的滾輪組件安裝在輸送框架內(nèi)，所述的輸送框架內(nèi)安裝有5個(gè)或5個(gè)以上的滾輪組件，
[0008]驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在輸送框架的一側(cè)，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與5個(gè)或5個(gè)以上的滾輪組件相連，
[0009]導(dǎo)流板，所述的導(dǎo)流板設(shè)置有兩塊，所述的兩塊導(dǎo)流板呈相對傾斜放置，所述的兩塊導(dǎo)流板分別連接在輸送框架的兩側(cè)壁上，所述的滾輪組件位于兩塊導(dǎo)流板的下方，
[0010]噴霧冷卻裝置，所述的輸送框架的兩側(cè)都設(shè)置有噴霧冷卻裝置，所述的噴霧冷卻裝置安裝在底座上。
[0011]進(jìn)一步:所述的噴霧冷卻裝置包括兩項(xiàng)流噴嘴、空壓機(jī)和水箱，所述的兩項(xiàng)流噴嘴的一側(cè)壁上開設(shè)有出霧口，所述兩項(xiàng)流噴嘴的另一側(cè)壁上開設(shè)有進(jìn)氣口和進(jìn)液口，所述的空壓機(jī)通過進(jìn)氣管道與兩項(xiàng)流噴嘴的進(jìn)氣口相連，所述的進(jìn)氣管道上安裝有進(jìn)氣球閥，所述的水箱通過進(jìn)水管道與兩項(xiàng)流噴嘴的進(jìn)液口相連，所述的進(jìn)水管道上安裝有進(jìn)水球閥。
[0012]又進(jìn)一步:所述的進(jìn)氣管道上安裝有空氣過濾器，所述的進(jìn)水管道上安裝有水源過濾器。
[0013]又進(jìn)一步:所述的滾輪組件是由兩個(gè)滾輪和轉(zhuǎn)動(dòng)軸所組成，所述的兩個(gè)滾輪都安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端活動(dòng)連接在輸送框架的一側(cè)壁上，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸的另一端穿過輸送框架的另一側(cè)壁與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，所述的兩個(gè)滾輪位于兩塊導(dǎo)流板中間位置的正下方。
[0014]再進(jìn)一步:所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是由電機(jī)、主動(dòng)鏈輪、從動(dòng)鏈輪和鏈條所組成，所述的電機(jī)安裝在輸送框架上，所述的主動(dòng)鏈輪套裝在電機(jī)的出軸端上，所述的從動(dòng)鏈輪套裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸的伸出端上，所述的主動(dòng)鏈輪通過鏈條與從動(dòng)鏈輪相連。
[0015]采用上述結(jié)構(gòu)后，本發(fā)明的目的是在輸送的過程中通過設(shè)置在兩側(cè)的噴霧冷卻裝置來對生成的單晶硅進(jìn)行噴霧冷卻，大大提高了其的工作效率;并且其還具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實(shí)用尚效的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0016]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0017]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]如圖1所示的一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)，包括底座1、輸送框架2、滾輪組件、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、導(dǎo)流板6和噴霧冷卻裝置，所述的輸送框架2設(shè)置在底座I上，所述的滾輪組件安裝在輸送框架2內(nèi)，所述的輸送框架2內(nèi)安裝有5個(gè)或5個(gè)以上的滾輪組件，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在輸送框架2的一側(cè)，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與5個(gè)或5個(gè)以上的滾輪組件相連，所述的導(dǎo)流板6設(shè)置有兩塊，所述的兩塊導(dǎo)流板6呈相對傾斜放置，所述的兩塊導(dǎo)流板6分別連接在輸送框架2的兩側(cè)壁上，所述的滾輪組件位于兩塊導(dǎo)流板6的下方，所述的輸送框架2的兩側(cè)都設(shè)置有噴霧冷卻裝置，所述的噴霧冷卻裝置安裝在底座I上。工作時(shí)，生成的單晶硅棒掉落在滾輪組件上，此時(shí)啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使其帶著滾輪組件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，單晶硅棒在滾輪組件的作用下沿著兩側(cè)的導(dǎo)流板6向前運(yùn)輸，然后啟動(dòng)兩側(cè)的噴霧冷卻裝置對輸送過程中的單晶硅棒進(jìn)行噴霧冷卻。本發(fā)明的目的是在輸送的過程中通過設(shè)置在兩側(cè)的噴霧冷卻裝置來對生成的單晶硅進(jìn)行噴霧冷卻，大大提高了其的工作效率。
[0019]如圖1所示的噴霧冷卻裝置包括兩項(xiàng)流噴嘴7、空壓機(jī)16和水箱17，所述的兩項(xiàng)流噴嘴7的一側(cè)壁上開設(shè)有出霧口，所述兩項(xiàng)流噴嘴7的另一側(cè)壁上開設(shè)有進(jìn)氣口9和進(jìn)液口8，所述的空壓機(jī)16通過進(jìn)氣管道10與兩項(xiàng)流噴嘴7的進(jìn)氣口 9相連，所述的進(jìn)氣管道10上安裝有進(jìn)氣球閥12，所述的水箱17通過進(jìn)水管道11與兩項(xiàng)流噴嘴7的進(jìn)液口 8相連，所述的進(jìn)水管道11上安裝有進(jìn)水球閥13，所述的進(jìn)氣管道10上安裝有空氣過濾器14，所述的進(jìn)水管道11上安裝有水源過濾器15。在輸送單晶硅棒的過程中，啟動(dòng)空壓機(jī)16向兩項(xiàng)流噴嘴7內(nèi)輸送增壓氣體，與此同時(shí)通過水箱17向兩項(xiàng)流噴嘴7內(nèi)輸送液體，液體在兩項(xiàng)流噴嘴7內(nèi)受到增壓氣體的影響會(huì)迅速霧化，霧化后的液滴會(huì)從出霧口噴出對單晶硅棒進(jìn)行冷卻，霧化的液滴快速蒸發(fā)后對單晶硅棒進(jìn)行冷卻，本發(fā)明的目的是在輸送的過程中通過設(shè)置在兩側(cè)的噴霧冷卻裝置來對生成的單晶硅進(jìn)行噴霧冷卻，大大提高了其的工作效率;本設(shè)計(jì)通過空氣過濾器14和水源過濾器15來去除空氣和水里的雜質(zhì)，防止堵塞管道，減少了不必要的損失。
[0020]如圖1所示的滾輪組件是由兩個(gè)滾輪3和轉(zhuǎn)動(dòng)軸4所組成，所述的兩個(gè)滾輪3都安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸4上，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸4的一端活動(dòng)連接在輸送框架2的一側(cè)壁上，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸4的另一端穿過輸送框架2的另一側(cè)壁與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，所述的兩個(gè)滾輪3位于兩塊導(dǎo)流板6中間位置的正下方。本設(shè)計(jì)通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶著轉(zhuǎn)動(dòng)軸4進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而使兩個(gè)滾輪3跟著轉(zhuǎn)動(dòng)軸4 一同進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，單晶硅棒在旋轉(zhuǎn)滾輪3的作用下會(huì)進(jìn)行水平運(yùn)動(dòng).。
[0021]如圖1所示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是由電機(jī)5、主動(dòng)鏈輪、從動(dòng)鏈輪和鏈條所組成，所述的電機(jī)5安裝在輸送框架2上，所述的主動(dòng)鏈輪套裝在電機(jī)5的出軸端上，所述的從動(dòng)鏈輪套裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸4的伸出端上，所述的主動(dòng)鏈輪通過鏈條與從動(dòng)鏈輪相連。當(dāng)需要輸送單晶硅棒時(shí)，啟動(dòng)電機(jī)5使其帶著主動(dòng)鏈輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從動(dòng)鏈輪在鏈條的帶動(dòng)下會(huì)跟著一同轉(zhuǎn)動(dòng)，從而利用從動(dòng)鏈輪帶著滾輪組件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，完成對料棒的運(yùn)輸。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)，其特征在于:包括 底座(1)， 輸送框架(2)，所述的輸送框架(2)設(shè)置在底座(I)上， 滾輪組件，所述的滾輪組件安裝在輸送框架(2)內(nèi)，所述的輸送框架(2)內(nèi)安裝有5個(gè)或5個(gè)以上的滾輪組件， 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在輸送框架(2)的一側(cè)，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與5個(gè)或5個(gè)以上的滾輪組件相連， 導(dǎo)流板(6)，所述的導(dǎo)流板(6)設(shè)置有兩塊，所述的兩塊導(dǎo)流板(6)呈相對傾斜放置，所述的兩塊導(dǎo)流板(6)分別連接在輸送框架(2)的兩側(cè)壁上，所述的滾輪組件位于兩塊導(dǎo)流板(6)的下方， 噴霧冷卻裝置，所述的輸送框架(2)的兩側(cè)都設(shè)置有噴霧冷卻裝置，所述的噴霧冷卻裝置安裝在底座(I)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)，其特征在于:所述的噴霧冷卻裝置包括兩項(xiàng)流噴嘴(7)、空壓機(jī)(16)和水箱(17)，所述的兩項(xiàng)流噴嘴(7)的一側(cè)壁上開設(shè)有出霧口，所述兩項(xiàng)流噴嘴(7)的另一側(cè)壁上開設(shè)有進(jìn)氣口(9)和進(jìn)液口(8)，所述的空壓機(jī)(16)通過進(jìn)氣管道(10)與兩項(xiàng)流噴嘴(7)的進(jìn)氣口(9)相連，所述的進(jìn)氣管道(10)上安裝有進(jìn)氣球閥(12)，所述的水箱(17)通過進(jìn)水管道(11)與兩項(xiàng)流噴嘴(7)的進(jìn)液口(8)相連，所述的進(jìn)水管道(11)上安裝有進(jìn)水球閥(13)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)，其特征在于:所述的進(jìn)氣管道(10)上安裝有空氣過濾器(14)，所述的進(jìn)水管道(11)上安裝有水源過濾器(15)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)，其特征在于:所述的滾輪組件是由兩個(gè)滾輪(3)和轉(zhuǎn)動(dòng)軸(4)所組成，所述的兩個(gè)滾輪(3)都安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸(4)上，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸(4)的一端活動(dòng)連接在輸送框架(2)的一側(cè)壁上，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸(4)的另一端穿過輸送框架(2)的另一側(cè)壁與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連，所述的兩個(gè)滾輪(3)位于兩塊導(dǎo)流板(6)中間位置的正下方。5.根據(jù)權(quán)利要求1或4中任一項(xiàng)所述的一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)，其特征在于:所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是由電機(jī)(5)、主動(dòng)鏈輪、從動(dòng)鏈輪和鏈條所組成，所述的電機(jī)(5)安裝在輸送框架(2)上，所述的主動(dòng)鏈輪套裝在電機(jī)(5)的出軸端上，所述的從動(dòng)鏈輪套裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸(4)的伸出端上，所述的主動(dòng)鏈輪通過鏈條與從動(dòng)鏈輪相連。
【專利摘要】本發(fā)明專利涉及一種單晶爐出料冷卻系統(tǒng)，包括底座、輸送框架、滾輪組件、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、導(dǎo)流板和噴霧冷卻裝置，所述的輸送框架設(shè)置在底座上，所述的滾輪組件安裝在輸送框架內(nèi)，所述的輸送框架內(nèi)安裝有5個(gè)或5個(gè)以上的滾輪組件，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在輸送框架的一側(cè)，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與5個(gè)或5個(gè)以上的滾輪組件相連，所述的導(dǎo)流板設(shè)置有兩塊，所述的兩塊導(dǎo)流板呈相對傾斜放置，所述的兩塊導(dǎo)流板分別連接在輸送框架的兩側(cè)壁上，所述的滾輪組件位于兩塊導(dǎo)流板的下方，所述的輸送框架的兩側(cè)都設(shè)置有噴霧冷卻裝置，所述的噴霧冷卻裝置安裝在底座上。本設(shè)計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實(shí)用高效的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】C30B15/00
【公開號(hào)】CN105568367
【申請?zhí)枴緾N201610151795
【發(fā)明人】潘清躍, 王平
【申請人】江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2016年3月16日