于所述板玻璃的表面傾斜的方向朝向所述激光 的照射部噴射輔助氣體。
[0029] 這樣，由于能夠通過輔助氣體的壓力使因激光的加熱而熔融的熔融玻璃飛散而去 除，因此能夠更迅速且順暢地實施熔融玻璃的去除。另外，通過從相對于板玻璃的表面傾斜 的方向朝向照射部噴射輔助氣體，從而避免了板玻璃的切斷端部因輔助氣體的壓力而從表 面?zhèn)认虮趁鎮(zhèn)缺粡娏业匕磯骸Ｒ虼?，與上述的通過噴射整形氣體而產(chǎn)生的作用相結(jié)合，也能 夠防止在切斷端部形成塌邊的情況的產(chǎn)生。
[0030] 在上述的方法中，優(yōu)選為，通過透鏡將所述激光聚光而進行照射，并且沿著該激光 的照射方向噴射氣體。
[0031] 這樣，能夠通過沿著激光的照射方向噴射的氣體的壓力，盡可能地阻止飛散的浮 渣附著于透鏡的情況的產(chǎn)生。
[0032] 在上述的方法中，優(yōu)選為，使所述板玻璃的切斷的行進方向與所述整形氣體通過 所述激光的照射部的方向交叉，并且將切斷后的兩板玻璃中的、位于所述整形氣體的噴射 源側(cè)的板玻璃作為產(chǎn)品，將位于噴射前方側(cè)的板玻璃作為非產(chǎn)品。
[0033] 即，關(guān)于阻止形成切斷端部的突起的效果的大小，在對位于整形氣體的噴射源側(cè) 的板玻璃與位于噴射前方側(cè)的板玻璃進行比較的情況下，位于噴射源側(cè)的板玻璃能夠獲得 較大的效果。此外，由于在切斷板玻璃時產(chǎn)生的浮渣容易向整形氣體的噴射前方側(cè)飛散，因 此浮渣難以附著在位于噴射源側(cè)的板玻璃的切斷端部。因此，如果將切斷后的兩板玻璃中 的、位于整形氣體的噴射源側(cè)的板玻璃作為產(chǎn)品，則能夠提高產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0034] 【發(fā)明效果】
[0035] 如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過以形成沿著板玻璃的表背面中的至少一側(cè)的面的氣 流的方式噴射整形氣體通過激光的照射部，由此在利用激光熔斷法的板玻璃的切斷中，能 夠?qū)⑶袛嗪蟮陌宀ＡУ那袛喽瞬啃纬蔀椴淮嬖趫A團、塌邊的良好的形狀。
【附圖說明】
[0036] 圖1為表示本發(fā)明的實施方式的激光熔斷方法中所使用的激光熔斷裝置的縱剖 主視圖。
[0037] 圖2為表示本發(fā)明的實施方式的激光熔斷方法中所使用的激光熔斷裝置的局部 橫剖俯視圖。
[0038] 圖3a為表示本發(fā)明的實施方式的激光熔斷方法的作用的側(cè)視剖視圖。
[0039] 圖3b為表示本發(fā)明的實施方式的激光熔斷方法的作用的側(cè)視剖視圖。
[0040] 圖3c為表示本發(fā)明的實施方式的激光熔斷方法的作用的側(cè)視剖視圖。
[0041] 圖3d為表示本發(fā)明的實施方式的激光熔斷方法的作用的側(cè)視剖視圖。
[0042] 圖4為表示本發(fā)明的其他實施方式的激光熔斷方法的側(cè)視剖視圖。
[0043] 圖5為表示本發(fā)明的其他實施方式的激光熔斷方法的側(cè)視剖視圖。
[0044] 圖6為表示形成為不良的切斷端部的形狀的側(cè)視剖視圖。
[0045] 圖7為表示形成為不良的切斷端部的形狀的側(cè)視剖視圖。
【具體實施方式】
[0046] 以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。需要說明的是，在本實施方式中， 列舉如下的情況為例而進行說明，即，沿著切斷預(yù)定線通過激光熔斷法切斷橫置的板玻璃， 而將該板玻璃分割為成為產(chǎn)品的產(chǎn)品部、成為非產(chǎn)品（廢棄物）的非產(chǎn)品部。
[0047] 圖1、圖2分別為表示本發(fā)明的實施方式的板玻璃的激光熔斷方法中所使用的激 光熔斷裝置的縱剖主視圖和局部橫剖俯視圖。如這些圖所示，激光熔斷裝置1作為主要的 要素包括：加工臺5,其載置有板玻璃G ;激光照射器2,其朝向板玻璃G的表面S照射激光 L ;輔助氣體噴射嘴3,其噴射使因激光L的加熱而熔融的熔融玻璃M飛散的輔助氣體A2 ;作 為氣體噴射構(gòu)件的整形氣體噴射嘴4,其沿著板玻璃G的表面S噴射整形氣體A3。
[0048] 激光照射器2設(shè)置在固定位置，并且由圓筒狀的基端部和研缽狀的前端部構(gòu)成。 在基端部的內(nèi)周壁安裝有透鏡6,該透鏡6對從省略圖示的激光振蕩器發(fā)出的激光L進行聚 光，并朝向板玻璃G的表面S照射。另外，在前端部連結(jié)有將沿著激光L的照射方向噴射的 氣體A1向激光照射器2的內(nèi)部導(dǎo)入的氣體導(dǎo)入管2a，并且形成有用于照射激光L并噴射氣 體A1的圓形的照射噴射口 2b。
[0049] 輔助氣體噴射嘴3與激光照射器2同樣設(shè)置在固定位置，并且以相對于板玻璃G 的表面S傾斜的姿態(tài)設(shè)置。輔助氣體噴射嘴3的形狀形成為圓筒狀，并且構(gòu)成為，由省略圖 示的氣體壓縮裝置（例如，空氣壓縮機）壓縮后的輔助氣體A2通過輔助氣體噴射嘴3的內(nèi) 部，而朝向激光L的照射部C噴射。
[0050] 與激光照射器2、以及輔助氣體噴射嘴3同樣設(shè)置在表面S側(cè)的固定位置，并且以 與板玻璃G的表面S平行的姿態(tài)且與在板玻璃G的面方向上延伸的切斷預(yù)定線X正交的朝 向設(shè)置。整形氣體噴射嘴4的橫截面以及形成在前端的噴射口 4a形成為大致矩形，噴射口 4a在沿著切斷預(yù)定線X的方向上寬度較寬。而且，該整形氣體噴射嘴4采用如下的結(jié)構(gòu)， 即，由省略圖示的氣體壓縮裝置壓縮后的整形氣體A3通過整形氣體噴射嘴4的內(nèi)部，從噴 射口 4a與板玻璃G的表面S平行地噴射。另外，該整形氣體A3從切斷后的兩板玻璃G中 的成為產(chǎn)品部G1的一側(cè)朝向成為非產(chǎn)品部G2的一側(cè)噴射。
[0051] 加工臺5隔著切斷預(yù)定線X平行地設(shè)置有一對。另外，兩加工臺5采用如下的結(jié) 構(gòu)，即，在載置有板玻璃G的狀態(tài)下，能夠沿圖2所示的T方向（與切斷預(yù)定線X平行的方 向）同步地移動。
[0052] 根據(jù)以上內(nèi)容，在激光熔斷裝置1中，隨著載置有板玻璃G的加工臺5向T方向的 移動，激光照射器2沿著切斷預(yù)定線X對板玻璃的表面S連續(xù)地照射激光L。然后，從輔助 氣體噴射嘴3噴射的輔助氣體A2將被激光L的照射部C熔融的熔融玻璃M吹飛，通過使該 熔融玻璃M飛散而將其去除。該激光熔斷裝置1構(gòu)成為，之后，從整形氣體噴射嘴4噴射的 整形氣體A3沿著板玻璃G的表面S并且與切斷的行進方向正交地通過隨著熔融玻璃M的 去除而逐漸形成于板玻璃G的切斷端部Ga。另外，通過從激光照射器2噴射的氣體A1的壓 力來防止在去除熔融玻璃M時飛散的浮渣向透鏡6附著。
[0053] 此處，優(yōu)選為，氣體A1、輔助氣體A2、整形氣體A3的噴射壓力分別是氣體A1 : 0. 00~0. 02MPa、輔助氣體A2 :0. 00~0. 25MPa、整形氣體A3 :0. 01~1. OMPa。另外，形成于 整形氣體噴射嘴4的噴射口 4a與切斷預(yù)定線X的間隔距離優(yōu)選為1~30mm，更優(yōu)選為1~ 10mm。并且，輔助氣體A2的噴射方向與板玻璃G的表面S所成的角度優(yōu)選為25~60°。
[0054] 以下，參照附圖對使用上述激光熔斷裝置1的板玻璃的激光熔斷方法的作用進行 說明。需要說明的是，在用于對該作用進行說明的附圖中，省略了切斷后的兩板玻璃中的成 為非產(chǎn)品部一側(cè)的板玻璃的圖示。
[0055] 當利用輔助氣體A2的壓力吹散并去除因激光L的照射部C而熔融的熔融玻璃M 時，伴隨于此，在板玻璃G上逐漸形成切斷端部Ga。此時，在激光L的輸出高的情況、或激光 L的光束模式不可避免地惡化的情況下，熔融后的熔融玻璃M的量變得過多。
[0056] 因此，如圖3a中雙點劃線所示，熔融玻璃M因表面張力的作用而欲變圓，切斷端部 Ga的表面Gaa以及背面Gab欲形成突起的狀態(tài)。然而，如圖3b所示，通過整形氣體A3的壓 力，在欲形成于表面Gaa的突起上作用有將突起沿板玻璃G(產(chǎn)品部G1)的面方向推出的力 F〇
[0057] 此外，切斷端部Ga的表面Gaa側(cè)因整形氣體A3通過表面Gaa側(cè)，而處于與背面 Gab側(cè)相比氣壓較低的狀態(tài)下。因此，如圖3c所示，對欲形成在背面Gab的突起作用有從氣 壓高的背面Gab側(cè)向氣壓低的表面Gaa側(cè)按壓的力P。通過這兩個力F、P，切斷端部Ga的 表背面Gaa、Gab雙方平坦化，如圖3d所示，阻止了突起的形成。
[0058] 另外，在發(fā)揮這些作用時，由于整形氣體A3形成為沿著板玻璃G的表面S的氣流， 因此能夠避免整形氣體A3的氣流因加工臺5而紊亂的情況。另外，通過與板玻璃G的表面 S平行地噴射，能夠盡可能防止噴射出的整形氣體A3的流速因整形氣體A3與板玻璃G的 碰撞而減速的情況的產(chǎn)生。此外，通過切斷端部Ga的整形氣體A3的流速越快，作用于欲形 成在表面